JPH01123346U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01123346U JPH01123346U JP1988018599U JP1859988U JPH01123346U JP H01123346 U JPH01123346 U JP H01123346U JP 1988018599 U JP1988018599 U JP 1988018599U JP 1859988 U JP1859988 U JP 1859988U JP H01123346 U JPH01123346 U JP H01123346U
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- JP
- Japan
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- light
- detection device
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- chip
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- Granted
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案の対象とする半導体チツプの概
要を示す拡大平面図、第２図は基準線の拡大図、
第３図は基準線の拡大断面図第４図Ａ，Ｂは検出
信号の波形図、第５図は本考案の実施例を示す側
面図、第６図、第７図は受光素子の配置説明図第
８図は本考案の概略構成図。 １…半導体チツプ、２…ストリート、３，４…
Ｘ，Ｙ方向基準線、６…投光スポツト、１０…投
光装置、１１，１２…受光素子、２１…ＣＰＵ、
２２…座標値検出装置。
要を示す拡大平面図、第２図は基準線の拡大図、
第３図は基準線の拡大断面図第４図Ａ，Ｂは検出
信号の波形図、第５図は本考案の実施例を示す側
面図、第６図、第７図は受光素子の配置説明図第
８図は本考案の概略構成図。 １…半導体チツプ、２…ストリート、３，４…
Ｘ，Ｙ方向基準線、６…投光スポツト、１０…投
光装置、１１，１２…受光素子、２１…ＣＰＵ、
２２…座標値検出装置。
補正 昭６３．４．５
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
(1) 半導体チツプと一体に形成されＸ，Ｙ座標
を規定した基準線を設けられたチツプにおいて、
チツプ面の直上より小径の光のスポツトを基準線
に対して投射する投光装置とチツプを移動し、か
つその移動量を検知する座標値検出装置と、投光
装置の外周に位置して、スポツトからの乱反射光
を受けて電気量として出力する受光素子と、スポ
ツトの移動により受光素子出力の変化量を検知し
、基準線の座標値を演算する電気計算回路とから
構成される半導体チツプの基準線検出装置。 (2) 請求の範囲第１項の記載において、受光素
子が複数個であつて、これがほぼ等間隔に配置さ
れてなる検出装置。 (3) 請求の範囲第１項、第２項において、受光
素子が４個であつて、相互に約９０°の間隔を有
し、移動方向に対して４５°の位置に設けられた
検出装置。 (4) 請求の範囲第１項の記載において、受光素
子が投光装置を取巻くリング状である検出装置。 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第７頁第１４行の「拡大断面図」と「第
４図」の間に「、」を加入する。 明細書第７頁第１６行〜第１７行の「配置説明
図」と「第８図」の間に「、」を加入する。
を規定した基準線を設けられたチツプにおいて、
チツプ面の直上より小径の光のスポツトを基準線
に対して投射する投光装置とチツプを移動し、か
つその移動量を検知する座標値検出装置と、投光
装置の外周に位置して、スポツトからの乱反射光
を受けて電気量として出力する受光素子と、スポ
ツトの移動により受光素子出力の変化量を検知し
、基準線の座標値を演算する電気計算回路とから
構成される半導体チツプの基準線検出装置。 (2) 請求の範囲第１項の記載において、受光素
子が複数個であつて、これがほぼ等間隔に配置さ
れてなる検出装置。 (3) 請求の範囲第１項、第２項において、受光
素子が４個であつて、相互に約９０°の間隔を有
し、移動方向に対して４５°の位置に設けられた
検出装置。 (4) 請求の範囲第１項の記載において、受光素
子が投光装置を取巻くリング状である検出装置。 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第７頁第１４行の「拡大断面図」と「第
４図」の間に「、」を加入する。 明細書第７頁第１６行〜第１７行の「配置説明
図」と「第８図」の間に「、」を加入する。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体チツプと一体に形成されＸ，Ｙ座標
を規定した基準線を設けられたチツプにおいて、
チツプ面の直上より小径の光のスポツトを基準線
に対して投射する投光装置又はチツプを移動し、
かつその移動量を検知する座標値検出装置と、投
光装置の外周に位置して、スポツトからの乱反射
光を受けて電気量として出力する受光素子と、ス
ポツトの移動により受光素子出力の変化量を検知
し、基準線の座標値を演算する電気計算回路とか
ら構成される半導体チツプの基準線検出装置。 (2) 請求の範囲第１項の記載において、受光素
子が複数個であつて、これがほぼ等間隔に配置さ
れてなる検出装置。 (3) 請求の範囲第１項、第２項において、受光
素子が４個であつて、相互に約９０°の間隔を有
し、移動方向に対して４５°の位置に設けられた
検出装置。 (4) 請求の範囲第１項の記載において、受光素
子が投光装置を取巻くリング状である検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988018599U JPH0625011Y2 (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | 半導体チップの基準線検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988018599U JPH0625011Y2 (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | 半導体チップの基準線検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01123346U true JPH01123346U (ja) | 1989-08-22 |
| JPH0625011Y2 JPH0625011Y2 (ja) | 1994-06-29 |
Family
ID=31233389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988018599U Expired - Lifetime JPH0625011Y2 (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | 半導体チップの基準線検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625011Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5722239U (ja) * | 1980-07-11 | 1982-02-04 | ||
| JPS60187020A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-24 | Canon Inc | 半導体回路製造用素子及びその位置決め装置 |
| JPS60194537A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-10-03 | ケイエルエイ・インストラメンツ・コ−ポレ−シヨン | 整列装置 |
-
1988
- 1988-02-15 JP JP1988018599U patent/JPH0625011Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5722239U (ja) * | 1980-07-11 | 1982-02-04 | ||
| JPS60194537A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-10-03 | ケイエルエイ・インストラメンツ・コ−ポレ−シヨン | 整列装置 |
| JPS60187020A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-24 | Canon Inc | 半導体回路製造用素子及びその位置決め装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0625011Y2 (ja) | 1994-06-29 |