JPH01119031A - ペレットボンディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はペレットボンディング装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に半導体装置の組立工程の一つに、半導体小片から
なる半導体回路素子（ペレット）をセラミックケース等
の基板に搭載するペレットポンディング工程がある。

従来、この工程に使用されているペレットボンディング
装置の構成を第３図に示す。シート１１上に貼り付けら
れた複数のペレット１はズームレンズ５付のカメラ６の
認識部によ１個ずつ認識され、図示されないＸＹθステ
ージにより所定の位置に位置決めされる。そして、吸着
治具（コレット）２が上方より下動してペレット１を吸
着し、これと同期してシート１１下面より突上針１０が
ペレット１を突き上げてシート１１から剥がす。

ペレット１はコレット２により横方向へ移動されて半導
体装置のケース３上に移送され、ボンディングが行われ
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来のペレットボンディング装置では、シート
１１上で位置決めされたペレット１をシート１１から剥
がしてコレット２で吸着する際に、シート１１の粘着力
の違いやシート下面からの突上針１０の位置誤差により
ペレットがコレット内で多少ずれることがある。そして
、ずれた状態でケース等の基板３にボンディングを行う
ため、基板に対するペレット１のボンディング位置精度
が悪く、ベレット位置修正の工数が増加するという問題
があった。

本発明は、ボンディング位置精度を向上させ、ベレット
位置の修正を不要にしたペレットボンディング装置を提
供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 本発明のベレットボンディング装置は、平面位置の調整
可能なステージ上に載置したケースに、吸着治具に吸着
されたペレットを搭載するベレットボンディング装置に
おいて、前記ケースの位置を認識する手段と、前記ケー
スの直上位置に移動されたペレットの位置を認識する手
段とを備え、これら両手段の認識結果により前記ステー
ジの位置を調整し得るようにし、常にペレットとケース
とを所定の位置関係に設定し、高精度のペレットボンデ
ィングを可能な構成としている。

〔実施例〕 次に、本発明を図面を参照して説明する。

（第１実施例） 第１図は本発明の第１実施例の構成図であり、ここでは
第３図に示した構成を前提とし、これに付加する構成を
示している。

図において、ここではペレット１は図外のシート上から
剥がされてコレット２に吸着され、ペレットをボンディ
ングするケース３の上部にまで移動された状態を示して
いる。このケース３はＸＹθステージ９上に載置され、
その平面ＸＹ力方向び回転θ方向がステージ９のパルス
モータの動作によって変化できるようにしている。

一方、前記ＸＹθステージ９の一側位置にはズームレン
ズ５を備えたカメラ６を水平方向に向けて配置し、また
他側位置にもズームレンズ７を備えたカメラ８を水平方
向に向けて配置している。

そして、これらのカメラ６．８間には、図示を省略した
シリンダ機構によって両カメラ６．８とケース３上で待
機されているコレット２の間に進退可能な両面ミラー４
を配置している。この両面ミラー４は垂直方向に４５°
傾斜されている。

したがって、この構成のベレットボンディング装置によ
れば、第３図に示したようにシート１１から剥がされて
コレット２に吸着されたペレット１は、ケース３の直上
位置に移動された時点で一時停止される。そして、シリ
ンダにより両面ミラー４がペレット１とケース３の中間
に移動されると、ペレット１は両面ミラー４の上面で反
射されてその位置がズームレンズ５とカメラ６により検
出され、またケース３は下面で反射されてズームレンズ
７とカメラ８によりその位置が検出される。

そして、これら各カメラ６．８の情報に基づいて、カメ
ラ６によるペレット１のセンタと、カメラ８によるケー
ス３のセンタを一致させるようにパルスモータを駆動し
てＸＹθステージ９を移動させる。ペレット１のセンタ
とケース３のセンタが一致すると、両面ミラー４はシリ
ンダにより初期の退避位置に戻される。その上で、コレ
ット２が下降し、ペレット１をケース３にボンディング
する。

したがって、ペレット１がコレット２に対して位置ずれ
が生じていても、ステージ９上においてカメラ６．８に
よりペレット１とケース３のセンタ位置を正確に一致さ
せるので、高精度のボンディングを実行でき、ペレット
位置の修正を解消できる。

（実施例２） 第２図は本発明の第２実施例の構成図であり、ここでは
吸着治具に細いチューブからなる吸着ノズルを用いた例
を示している。

即ち、吸着ノズル２Ａはその先端にペレット１を吸着し
、ケース３の真上に移動されるが、このときケース３と
ペレット１との間隔は非常に小さくなるように、しかも
ペレットｌの外形寸法よりよりも小さい外形状となるよ
うに吸着ノズル２Ａを構成している。また、ＸＹθステ
ージ９に載置されたケース３の直上位置にズームレンズ
５を備えたカメラ６を配置している。

この構成によれば、ケース３の直上位置に吸着ノズル２
Ａが位置された時に、１台のカメラ６によりペレット１
の一部とケース３の一部を同時に観察し、両者の位置を
夫々認識している。これはペレット１がケース３に近接
していること、及びペレット１の外側縁が吸着ノズル２
Ａの外側に出ていることから可能とされる。これにより
、ケース３をＸＹθステージ９により所定の位置に移動
させ、ケース３に対して高精度にペレット１をボンディ
ングすることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ケースの位置を認識する
手段と、ケースの直上位置に移動されたペレットの位置
を認識する手段とを備え、これら両手段の認識結果によ
りケースを載置したステージの位置を調整し得るように
構成しているので、ステージ位置を調整して常にペレッ
トとケースとを所定の位置関係に設定でき、ボンディン
グ位置精度を向上するとともに、ペレット位置修正を不
要にして工数削減を図ることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の正面図、第２図は本発明
の第２実施例の正面図、第３図は従来装置の正面図であ
る。 １・・・ペレット、２・・・コレット、２Ａ・・・吸着
ノズル、３・・・ケース、４・・・両面ミラー、５・・
・ズームレンズ、６・・・カメラ、７・・・ズームレン
ズ、８・・・カメラ、°９・・・ＸＹθステージ、工０
・・・突上針、１１・・・シート。 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）平面位置の調整可能なステージ上に載置したケー
   スに、吸着治具に吸着されたペレットを搭載するペレッ
   トボンディング装置において、前記ケースの位置を認識
   する手段と、前記ケースの直上位置に移動されたペレッ
   トの位置を認識する手段とを備え、これら両手段の認識
   結果により前記ステージの位置を調整し得るように構成
   したことを特徴とするペレットボンディング装置。