JPH01113183U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH01113183U
JPH01113183U JP6806988U JP6806988U JPH01113183U JP H01113183 U JPH01113183 U JP H01113183U JP 6806988 U JP6806988 U JP 6806988U JP 6806988 U JP6806988 U JP 6806988U JP H01113183 U JPH01113183 U JP H01113183U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pump
pump section
backflow
conduit
type vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6806988U
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP6806988U priority Critical patent/JPH01113183U/ja
Publication of JPH01113183U publication Critical patent/JPH01113183U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP6806988U 1988-05-25 1988-05-25 Pending JPH01113183U (da)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6806988U JPH01113183U (da) 1988-05-25 1988-05-25

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6806988U JPH01113183U (da) 1988-05-25 1988-05-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01113183U true JPH01113183U (da) 1989-07-31

Family

ID=31293398

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6806988U Pending JPH01113183U (da) 1988-05-25 1988-05-25

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01113183U (da)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012066781A1 (ja) * 2010-11-17 2012-05-24 株式会社アルバック 真空排気装置の接続構造及び真空排気システム
WO2012066780A1 (ja) * 2010-11-17 2012-05-24 株式会社アルバック 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム
WO2012066782A1 (ja) * 2010-11-17 2012-05-24 株式会社アルバック 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム
JP2016008531A (ja) * 2014-06-23 2016-01-18 株式会社荏原製作所 真空ポンプ装置
JP2020037921A (ja) * 2018-09-05 2020-03-12 株式会社宇野澤組鐵工所 多段ルーツ式ポンプ
JP2020037922A (ja) * 2018-09-05 2020-03-12 株式会社宇野澤組鐵工所 多段ルーツ式ポンプ
JP2021067265A (ja) * 2020-06-24 2021-04-30 オリオン機械株式会社 クローポンプ

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2489887A (en) * 1946-07-11 1949-11-29 Roots Connersville Blower Corp Rotary pump
GB1350636A (en) * 1970-06-03 1974-04-18 Aerzener Maschf Gmbh Rotary piston compressors

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2489887A (en) * 1946-07-11 1949-11-29 Roots Connersville Blower Corp Rotary pump
GB1350636A (en) * 1970-06-03 1974-04-18 Aerzener Maschf Gmbh Rotary piston compressors

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012066781A1 (ja) * 2010-11-17 2012-05-24 株式会社アルバック 真空排気装置の接続構造及び真空排気システム
WO2012066780A1 (ja) * 2010-11-17 2012-05-24 株式会社アルバック 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム
WO2012066782A1 (ja) * 2010-11-17 2012-05-24 株式会社アルバック 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム
JP5645229B2 (ja) * 2010-11-17 2014-12-24 株式会社アルバック 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム
JP2016008531A (ja) * 2014-06-23 2016-01-18 株式会社荏原製作所 真空ポンプ装置
JP2020037921A (ja) * 2018-09-05 2020-03-12 株式会社宇野澤組鐵工所 多段ルーツ式ポンプ
JP2020037922A (ja) * 2018-09-05 2020-03-12 株式会社宇野澤組鐵工所 多段ルーツ式ポンプ
JP2021067265A (ja) * 2020-06-24 2021-04-30 オリオン機械株式会社 クローポンプ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3763193B2 (ja) 多段式真空ポンプ
CN101238294B (zh) 真空泵
JP4082009B2 (ja) ターボ圧縮機
JPH0658278A (ja) 多段スクリュー式真空ポンプ
JPH0270990A (ja) 冷却水路を内蔵する逆流冷却式多段ロータリー形真空ポンプ
JP2537696B2 (ja) 多段真空ポンプ
JPH0733834B2 (ja) ロータ内蔵ハウジングの外周温度が安定化された内部分流逆流冷却多段式の三葉式真空ポンプ
JPH01113183U (da)
CN219366316U (zh) 一种多级罗茨真空泵
JPH0368237B2 (da)
US3218984A (en) Fluid pressure device
JP2001514361A (ja) 多段サイドチャンネルポンプ
JPS6336086A (ja) 多段型スクリユウ式真空ポンプ
JPH07305689A (ja) 多段式真空ポンプ
JPH03550Y2 (da)
JPS61234290A (ja) 多段スクリユ−真空ポンプ装置
JP4248055B2 (ja) 油冷式スクリュー圧縮機
JP2618825B2 (ja) インタークーラーレス空冷式4段ルーツ型真空ポンプ
JP2933352B2 (ja) 多段ルーツ型真空ポンプ
JPH01216092A (ja) 真空ポンプ装置
JPH04269391A (ja) 多段真空ポンプ
JPS6444383U (da)
JPS6232294A (ja) 多段式真空ル−ツブロワ−の冷却装置
JPH0240875B2 (ja) Fukugogatadoraishinkuhonpu
JP2005256845A (ja) 真空排気装置