JPH01112142A - 連続鋳造片の表面状態測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は連続鋳造片のデイプレッション等の表面状態を
測定する表面状態測定装置に関する。

［従来の技術］ 連続鋳造装置では、溶湯から凝固したスラブやビレット
等の連続鋳造片が連続的に搬出されるので、高い生産性
を得ることができる。連続鋳造装置では、連続鋳造片の
不良率を低減させ生産性を高める等の理由で、連続鋳造
片の表面状態、例えば表面凹み欠陥であるデイプレッシ
ョンの有無を調べることが望ましい。そこで従来より、
連続鋳造装置の連続鋳造片の表面に回転ローラをあてが
って、回転ローラの変位で連続鋳造片の表面状況を測定
していた。

更に近年、連続鋳造片の幅方向に複数個のレーザー装置
を並べて固定し、連続的に搬出される連続鋳造片の表面
状態を概略的に測定する装置が知られている。しかしこ
の連続鋳造片の幅方向に複数個のレーザー装置を並べて
固定したものでは、レーザー装置は固定状態であるため
、測定状況の把握が充分でなかった。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は上記した実情に鑑みなされたものであり、その
目的は、従来の回転ローラ方式、レーザ一方式とは異な
り、連続鋳造片の表面状況を一層精度よく調べうる連続
鋳造片の表面状態測定装置を提供することを目的とする
。

［問題点を解決するための手段］ 第１の発明にかかる連続鋳造片の表面状態測定装置は、
連続鋳造装置で製造された連続鋳造片の−〇　　− 搬出側に設置される基部と、 該基部に設置され該連続鋳造片の幅方向にのびる案内部
と、 該案内部にそって該連続鋳造片の幅方向に往復移動自在
に設けられたヘッドと該ヘッドに設けられ該連続鋳造片
の検査面にレーザー光を照射するレーザー射光部と該連
続鋳造片の該検査面で反射した該レーザー光を受けるレ
ーザー受光部とをもつレーザー装置と、 該ヘッドを案内部にそって該連続鋳造片の幅方向に往復
移動させる駆動装置と、 該連続鋳造片の少なくとも一部を覆い該連続鋳造片の熱
を遮蔽する遮熱部材と、 該レーザー装置の該レーザー受光部の出力信号を受けて
該連続鋳造片の検査面の表面状況を判別する判別部と、
で構成されていることを特徴とするものである。

第２の発明にかかる連続鋳造片の表面状態測定装置は、
連続鋳造装置で製造された連続鋳造片の搬出側に設置さ
れる基部と、 シリンダ本体と該シリンダ本体に該連続鋳造片の幅方向
にそって前進および後退自在に設けられたロッドとで形
成された駆動装置と、 該駆動装置の該ロッドに保持されたヘッドと、該ヘッド
に設けられ該連続鋳造片の検査面にレーザー光を照射す
るレーザー射光部と、該ヘッドに設けられ該連続鋳造片
の該検査面で反射した該レーザー光を受けるレーザー受
光部とをもつレーザー装置と、 該連続鋳造片の少なくとも一部を覆い該連続鋳造片の熱
を遮蔽する遮熱部材と、 該レーザー装置の該レーザー受光部からの出力信号を受
けて該連続鋳造片の検査面の表面状況を判別する判別部
と、で構成されていることを特徴とするものである。

以下、更に説明を加える。

基部は連続鋳造装置に固定されているか、連続鋳造片に
同期して走行する構成とすることができる。基部が連続
鋳造装置に固定されているタイプの場合には、基部は、
例えば、連続鋳造装置の搬出側のピンチローラを保持す
るハウジングで形成できる。

ヘッドは連続鋳造片の幅方向に往復移動自在に設けられ
でいる。ヘッドはレーザー射光部をもつ。

ヘッドのレーザー射光部は、レーザー光を発振するレー
ザー発振器で形成することができる。レーザー発振器は
、価格、小型性等を考慮して赤外線レーザー光を発振す
る発振器を採用できる。また、レーザー発振器は、可視
レーザー光、例えば、緑色レーザー光を発振する発振器
を採用できる。この場合、精度を向上させるため緑色フ
ィルターを受光系に設けることが望ましい。更に、レー
ザー光の波長を安定化させるために波長安定化部を設け
ることができる。

場合によっては、ヘッドのレーザー射光部は、レーザー
発振器からのレーザー光を受けて連続鋳造片の検査面に
向けて反射するミラーで形成することもできる。レーザ
ー射光部をミラーで形成する場合には、レーザー発振器
を連続鋳造片から遠ざけることができ、レーザー発振器
が高温状態の連続鋳造片の熱の影響を受（することを避
けるのに有利である。

ヘッドはレーザー受光部をもつ。ヘッドのレーザー受光
部はＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ　　３ｅｎｓｉｔｉｖｅ
　　１）ｅｔｅｃｔｏｒ）まＩｃはＣＯＤ等のレーザー
受光素子で形成することができる。

ＰＳＤは、光スポツト位置検出用半導体であり、受光面
に光スポットを受けると両端の電極から光スポットまで
の距離に逆比例した電流を出力するものである。連続鋳
造片の検査面までの距離が変動すれば、ＰＳＤで受ける
スポットが移動するので、電流値から３角測量法により
紡造片の検査面までの距離を計算できる。

場合によっては、ヘッドのレーザー受光部は、連続鋳造
片の検査面で反射したレーザー光を受（−ｊるミラーで
形成することもできる。レーザー受光部をミラーで形成
する場合には、レーザー受光素子を連続鋳造片から遠ざ
けることができ、レーザー受光素子が高温状態の連続鋳
造片の熱の影響を受けることを避けるのに有利である。

一般的に、ヘッドのレーザー射光部には射光用のレンズ
系、ヘッドのレーザー受光部には、受光用のレンズ系が
配置されている。

ヘッドには液体や気体で冷却する冷却部、例えば、水冷
部、空冷部を設けることが望ましい。このようにヘッド
に冷却部を設ければ、ヘッドを熱から（ｇ　ｌするに有
利である。空冷部としてはエアーなどの流体を噴出する
構成とすることができる。

このように空冷部を設ければ、ヘッド付近の塵、熱気な
どを除去するに有利であり、よってヘッドの走行異常の
回避、測定精度の向上、ヘッドの熱からの保護等に有利
である。空冷部はコンプレッサに接続されたパイプ、ノ
ズルで形成できる。

判別部は、レーザー受光部の受光信号を受けて連続鋳造
片の表面状況を判別するものである。判別部は、レーザ
ー受光部からの受光信号に応じて処理して画像信号を出
力するコンピュータと、画像信号に応じた画像を表示す
る画像表示部と、画像信号を記憶する記憶装置とで形成
できる。画像表示部としては、ＣＲＴ、ハードコピー用
のプリンタ、半導体表示装置、液晶、プラズマデイスプ
レー等を採用できる。

又、判別部は、所定の連続鋳造片の表面状態つまり表面
の凹凸度に対応した基準信号を記憶する基準信号格納部
と、レーザー受光部からの出力信号と基準信号とを比較
して、両者の差が一定値を越えたときに警告を発する警
告部とで形成できる。

第１の発明にかかる案内部はレールで形成できる。案内
部は、連続鋳造片の熱の影響を極力避は得るように配置
することが望ましい。

第１の発明にかかる駆動装置は、ヘッドをがたつかせる
ことなく案内部によって連続鋳造片の幅方向に移動させ
るものが望ましい。第１の発明にかかる駆動装置は、サ
ーボモータ等の駆動モータと、駆動モータの駆動力をヘ
ッドに伝達する伝達部とで形成できる。この場合には、
ヘッドの走行速度を一定にするに有利である。伝達部は
ボールねじを採用できる。

第２の発明にかかる駆動装置は、シリンダ本体と、シリ
ンダ本体に前進および後退自在に設けられたロッドとで
形成されている。この場合、ロッドは油圧または空気圧
で駆動されるため、走行速度が厳密には一定になりくい
。そのため、走行速度の影響を受けて連続鋳造片の正確
な表面状態を把握しにくい。そこで、ロッドの前進およ
び後退量を検出する変位計を設けることができる。この
場合、変位計の信号を判別部に入力して、走行速度の変
動を補正して表面状態のプロフィールをＣＲＴ等で描く
ことができる。

遮熱部材は、連続鋳造片の熱の影響をできるだけ回避す
るものであり、連続鋳造片の検査面を覆う遮熱効果の高
い覆い部材と、覆い部材の孔に取付けられた透過率の高
い硼珪酸ガラス製の透明ガラス部（レーザ光透過率９１
％）と、で形成することが望ましい。透明ガラス部は、
レーザー光が通過するため透過率が高い方が望ましい。

透明ガラス部の厚みは、連続鋳造片の遮熱効果、透過率
確保を考慮して設定されるが、一般的には３〜６ｍｍと
することができる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例について第１図〜第１５図を参
照して説明する。

第１図に連続鋳造装置１の概略図を示す。第１図に示す
ように、連続鋳造装置１は、タンプツシ、：Ｌｌｏｏと
、水冷鋳型１０１と、Ｏ−ラ１０２をもつ冷却帯１０３
と、ガイドローラ１０４とピンチロール１０５とをもつ
。第２図に示すように、本実施例では連続鋳造装置１の
連続鋳造片Ｗの搬出側にローラハウジング２が複数個設
置されている。各ローラハウジング２にはピンチローラ
１０５が回転自在に取付けられている。複数個のローラ
ハウジング３のうち搬出方向の最後のローラハウジング
２Ａには、第３図に示す案内部としてのレール４が連続
鋳造片Ｗの幅方向にのばして固定されている。レール４
の下方には遮熱板５が固定されている。レール４には、
走行部３、走行部３と一体のアーム６を介してレーザー
装置７が設置されている。レーザー装置７はヘッドとし
てのレンサヘッド８を備えている。レーザー装置７は、
レール４にそって連続鋳造片Ｗの幅方向に往復移動自在
とされている。即ち、センサヘッド８は連続鋳造片Ｗの
検査面としての上面の上方１０ｃｍ上を往復動する。

第４図に示すように、センサヘッド８は、連続鋳造片Ｗ
の検査面としての上面にレーザー光を照射するレーザー
射光部としてのレーザー発振器１０と、連続鋳造片Ｗの
上面で反射したレーザー光を受けるレーザー受光部とし
てのレーザー受光素子１１とをもつ。レーザー発振器１
０は波長７８０ｎｍのレーザー光を発振する。レーザー
受光素子１１はＰＳＤで形成されている。第４図に示す
ように、センサヘッド８のレーザー発振器１０には射光
用のレンズ系１０ａが配置され、センサヘッド８のレー
ザー受光素子１１には、受光用のレンズ系１１ａ１光学
フイルタ１１ｂが配置されている。

第３図に示すように、レール４には駆動装置としての駆
動モータ１５およびボールねじ１６が配置されている。

ここで駆動モータ１５が回転駆動すると、ボールねじ１
６が回転し、これによりセンサヘッド８がレール４にそ
って連続鋳造片Ｗの幅方向に往復移動する。本例ではセ
ンサヘッド８は３秒間で一往復する。センサヘッド８が
連続鋳造片Ｗの幅方向に移動する移動速度はＭＡＸ５０
０　ｍｍ／　ｓｅａ程度テアル。

第５図（Ａ）（Ｂ）に示すように、センサヘッド８は、
ボルト１２を保護板１３で挟持されている。保護板１３
には水冷室１４ａをもつ水冷部１４が取付けられている
。水冷部１４の水冷室１４ａには給水パイプ１４ｂ１排
水パイプ１４Ｃが設けられている。又、センサヘッド８
には空冷部としての送風パイプ２１が設けられている。

送風パイプ２１は図略のブロアに接続されている。

第３図に示す遮熱部材１７は、連続鋳造片Ｗの上面を近
接して覆い、センサヘッド８、レール４等を熱から保護
するものである。遮熱部材１７は、第６図および第７図
に示すように、連続鋳造片Ｗの幅方向にのびる孔１８を
もつ遮熱効果の高い鉄板製の覆い部材１９をもつ。ここ
で、孔１８の幅が狭いと、連続鋳造片Ｗの上面で反射し
たレーザ一光を拾えなくなるので、孔１８の幅は２０〜
３Ｑｎｖに設定した。覆い部材１９のボルト部２０に、
遮熱効果及び緩衝効果をもつアスベスト板２５を介して
、透明ガラス部としてのレーザー光透過率の高い高シリ
カ製のガラス板２６の孔が挿通され、ボルト部２０にナ
ツト２７を締付けることにより、高シリカ製のガラス板
２６が覆い部材１９に取付けられている。

判別部３０は、ＰＳＤからなるレーザー受光素子１１の
出力信号に応じて画像を形成して連続鋳造片Ｗの表面状
況を判別するものである。判別部３０は、ＰＳＤからな
るレーザー受光素子１１で光電変換された出力信号をデ
ジタル信号に変換する入力回路部と、入力回路部から出
力されるデジタル信号をうけとり画像信号を出力する制
御回路部と、画像信号に応じた画像を表示するＣＲＴ３
１とで形成されている。制御回路部は、マイクロコンビ
コータで形成されている。

さて、使用する場合について説明する。即ち、連続鋳造
装＠１から１０００℃程度の連続鋳造片Ｗがピンチロー
ラ１０５を介して連続的に３秒間に約ｉｏｏ＋ｎｍの速
度で搬出される。このとき、駆動モータ１５が駆動して
センサヘッド８はレール４にそって連続鋳造片Ｗの幅方
向へ往復移動する。

このように移動する際、レーザー発振器１０はスポット
径２．０〜１．０ｍｍのレーザー光（波長７８Ｑｎｍの
レーザー光）を発振し、連続鋳造片Ｗの上面のスキャン
がなされる。すると、レーザー光は、ガラス板２６を通
過し連続鋳造片Ｗの検査面としての上面で反射し、更に
ガラス板２６を通過し、レーザー装置７の受光素子１１
で受光される。

受光素子１１の出力信号は判別部３０に入力される。こ
のとき判別部３０は、受光信号を演算し、受光素子１１
とレーザー発振器１０との間隔が一定であるため、三角
測量法を利用してセンサヘッド８から連続鋳造片Ｗの上
面までの距離が計算される。従って判別部３０のＣＲＴ
３１の画面上に、スキャンした連続鋳造片Ｗの上面のプ
ロフィールが描かれる。上記のようにスキャンするとき
、給水パイプ１４ｂから水冷部１４の水冷室１４ａに冷
却水を供給するとともに、送風パイプ２１がら空気が供
給され、これによりセンサヘッド８は熱から保護される
。

次に判別部３０のコンピュータが実行する動作を第８図
に示すフローチャートに基づいて説明する。まず、図示
しない起動スイッチが投入されるとルーチンが開始され
５１００に進む。５１００ではレジスタやメモリなどを
初期設定する。

＄１０１ではＣＲＴ３１の画面を作成する。５１０２で
は、駆動モータ１５を駆動してセンサヘッド８をスター
１〜位置、つまり第３図に示すＡ点まで移動させる。５
１０４では、タイマーにより一定時間Ａ点で待機する。

８１０６では、駆動モータ１５を駆動してセンサヘッド
８を連続鋳造片Ｗの幅方向の一端部側への移動を開始さ
せる。５１０８ではデータ読込みサブルーチンが開始さ
れる。即ち、５１０８では、センサヘッド８を連続鋳造
片Ｗの幅方向へ移動させつつ、レーザー装置７のレーザ
ー発振器１０からレーザー光を発振し、連続鋳造片Ｗの
上面で反射したレーザー光を受光素子１１で受け、レー
ザー受光素子１１からの出力信号を判別部３０に読み込
む。このときレーザー発振器１０から連続鋳造片Ｗの上
面までの距離は、三角測量方式で計算される。第３図に
示すＢ点にセンサヘッド８が走行し、往動が終了したら
、５１１０に進み、駆動モータ１５を逆回転してセンサ
ヘッド８を連続鋳造片Ｗの幅方向にそって逆方向へに復
動を開始する。＄１１２はデータ読み込みサブルーチン
であり、５１１２では、センサヘッド８を連続鋳造片Ｗ
の幅方向へ移動させつつ、レーザー装＠７のレーザー発
振器１０からレーザーを射光し、連続鋳造片Ｗの上面で
反射したレーザー光を受光素子１１で受け、レーザー受
光素子１１からの出力信号を判別部３０に読み込む。

復動が終了したら、８１０６に進み、再び、センサヘッ
ド８をＢ点に向けて往動させ、５１０８．８１１０．５
１１２をループする。

＄１０８のデータ読込みサブルーチンについて第９図を
参照して説明する。データ読込みナブル−チンでは、８
２００でダミー信号を読取る。Ｓ２０２では駆動モータ
１５を停止させるストップキーが押されているかを判別
する。ストップキーが押されていないならば、５２０４
ではデータの読込みを開始する。ここでレーザー光が連
続鋳造片Ｗから外れるとレーザー光が連続鋳造片Ｗの上
面で反射されないので、レーザ光をレーザー受光素子１
１で受けることができない。そのため、エラー信号（Ｘ
ｎ＝Ｏ）が判別部３０から出力される。

５２０６ではエラー信号が生じたかを判定する。

エラー信号が出ていなければ、５２０８に進み５２０８
でレーザー受光素子１１の出力信号をＣＲＴ３１に表示
する。次に８２１０でレーザー発振回数をカウント数を
１クリメントし、５２０２に戻る。８２０６でエラー信
号が出ておりｘｎ＝。

になったときには、８２１６に進み、８２１６ではエラ
ー信号が生じたかを２回目の判定を行う。

２回目の判定を行うのは、誤作動を防止するためである
。８２１６でエラー信号が出ていなければ、３２０８に
戻る。５２１６でエラー信号が生じたときにはレーザー
光が連続鋳造片Ｗから外れたことを意味するため、リタ
ーンし、５１１０に戻る。

なお、５２０２でストップキーが押されていると判断し
たときには、５２２０へ進み、センサヘッド８をスター
ト位置まで戻す。５１１２のデータ読み込みサブルーチ
ンも８１０８のデータ読み込みサブルーチンと同じステ
ップを実行する。

以上説明したように本実施例では、レーザー装置７のセ
ンサヘッド８を鋳造片Ｗの幅方向にそって往復動し、セ
ンサヘッド８のレーザー発振器１０から発振され、連続
鋳造片Ｗの上面で反射したレーザー光をレーザー受光素
子１１で受光し、三角測量方式でセンサヘッド８と）■
続鋳造片Ｗの上面までの距離を測定し、これにより連続
鋳造片Ｗの表面状態つまり表面の凹凸状態のプロフィー
ルをＣＲＴ３１にえがくことにしているので連続鋳造片
Ｗの上面の凹凸状態の把握に有利である。特に透明ガラ
ス板２６をもつ遮熱部材１７によりセンサヘッド８を保
護できる。又、水冷部１４による水冷、送風バイブ２１
による空冷によりセンサヘッド８を一層保護できる。

ところで連続鋳造片Ｗの上面とレーザー装置７のセンサ
ヘッド８との間の距離を変えた場合のセンサヘッド８の
分解能を第１０図に示す。第１０図に示す縦軸はセンサ
ヘッド８と連続鋳造片Ｗまでの距離を示し、横軸は時間
を示す。縦軸のｒＯＪはヒンサヘッド８の基準距離値を
示し、ｒ＋１５４は基準距離値よりも１５ｍｍ遠いこと
を示し、「−１５」ば基準距離値よりも１５ｍｍ近いこ
とを示す。

第１０図に示すＡ部のように、連続鋳造片Ｗの上面とレ
ーザー装置７のセンサヘッド８との間の距離が近い程、
特性線の上下のばらつき度は少なくなり、分解能が高ま
る。その理由は、距離が近い程、連続鋳造片Ｗで反射し
たレーザー光を受光しやすいためであると推察される。

したがって、連続鋳造片Ｗの熱影響を回避できる限り、
センサヘッド８を連続鋳造片Ｗに近付（プることが望ま
しい。

次に、高硬珪酸製の透明ガラス板２６（透過率９１％）
の厚みが６ｍｒｎの場合、センサヘッド８をｒ−１−３
０，１からｒ　−３０Ｊまで連続鋳造片Ｗの上＝　　２
３　− 面に近付けたときの影響を第１３図に示す。第１３図に
おいて縦軸は、第１０図と同様に、センサヘッド８から
連続鋳造片Ｗの上面までの距離を示し、横軸は時間を示
す。第１３図のＢ部で示すように、センサヘッド８を近
づいたときには特性線のばらつきは極めて小さい。

次に、透明ガラス板を厚み３ｍｌｌ１の通常の市販ガラ
スに変更した場合、センサヘッド８を連続鋳造片Ｗの上
面に近付けたときの影響を第１１図に示す。第１１図に
示すようにこの透明ガラス板の透過率が低い為、センサ
ヘッド８の分解能を示す特性線のばらつきが大きい。さ
らに、通常の市販透明ガラス板の厚みを２倍（６＋１１
１１１）に変更した場合、センサヘッド８を連続鋳造片
Ｗの上面に近付けたときの影響を第１２図に示す。第１
２図に示すように透明ガラス板の透過率が低い為、受光
量が減少しばらつきが大きい。

第１４図はレーザー変位計の応答速度が１ｍ５ｅｃであ
る場合、センサヘッド８を連続鋳造片Ｗの上面に近付け
たときの影響を示ず。第１５図は＝　　２４　− 応答速度が２０ｍ５ｅｃである場合、センサヘッド８を
連続鋳造片Ｗの上面に近付けたときの影響を示す。第１
４図と第１５図の比較から明らかなように、受光信号が
平均化されるため、応答速度が２０ｍ５ｅｃの場合の方
がばらつきが少なく精度がよい。

（他の実施例） 第２発明の実施例を第１６図に示す。この実施例の測定
装置は、基本的には前記した第３図に示−リー実施例の
場合と同じである。従って同一部分には同一符号を付し
て説明する。但し次の点が貢なる。駆動装置４０は、シ
リンダ本体４１と、シリンダ本体４１に前進および後退
自在に設けられアーム４３を介してセンサヘッド８をも
つロッド４２と、で形成されている。この場合、ロッド
４２は空気圧で駆動されるため、走行速度が厳密には一
定になりくい。そのため、走行速度の影響を受けて連続
鋳造片Ｗの表面の凹凸の正確なプロフィールをＣＲＴ３
１に描きにくい。そこで、ロッド４２の前進および後退
ともに前進および後退して前進量および後退量を検出−
づ−る変位計４４が設けられている。変位計４４の信号
は判別部３０に入力され、走行速度の変動を補正してＣ
ＲＴ３１でプロフィールを描くことができる。

上記各実施例では、連続鋳造片Ｗの上面のみの表面状態
を検出しているが、これに限らず、連続鋳造片Ｗの上面
および下面の双方の表面状態を検出してもよく、さらに
は、上面、下面、両側面の合計４面の表面状態を検出し
てもよいことは勿論である。この場合には、上面、下面
で連続鋳）告片Ｗの幅方向に移動するセンサヘッド８を
設けると共に、各側面に連続鋳造片Ｗの厚み方向に移動
するセンサヘッド８を設ける。

［発明の効果］ 本発明では、従来の回転ローラ方式、レーザー方式とは
異なり、連続鋳造片の表面の凹凸状況を一層精度よく調
べうる連続鋳造片の表面状態測定装置を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

本発明では、第１図は連続鋳造装置の模式図、第２図は
連続鋳造装置の搬出側の側面図、第３図は測定中の概略
斜視図、第４図はセンサヘッドで受光している状態の説
明図、第５図（△）はセンサヘッド付近の側面図、第５
図（Ｂ）はセンサヘッド付近の正面図、第６図は遮熱板
の平面図、第７図は遮熱板の側面図、第８図は判定部の
コンピュータが実行するフローチャート、第９図はデー
タ読み込みサブルーチンのフローチャート、第１０図は
縦軸をセンサヘッドと連続鋳造片との間の距離とし、横
軸を時間どしたときのセンサヘッドの分解能を示すグラ
フであり、第１１図は縦軸をセンサヘッドと連続鋳造片
との間の距離とし、横軸を時間とし、透明ガラス板が通
常のガラスで厚みが３ｍｍの場合の分解能を示すグラフ
、第１２図は縦軸をセンサヘッドと連続鋳造片との間の
距離とし、横軸を時間とし、透明ガラス板が通常のガラ
スで厚みが６ｍｍの場合のセンサヘッドの分解能を示す
グラフ、第１３図は縦軸をセンサヘッドと連続鋳造片と
の間の距離とし、横軸を時間とし、透明ガラス板が高シ
リカガラス製で厚みが６ｍｍの＝　　２７　− 場合の分解能を示すグラフ、第１４図は応答速度が１ｍ
　ｓｅｃである場合の分解能を示すグラフ、第１５図は
応答速度が２０ｍ５ｅｃである場合の分解能を示すグラ
フである。 第１６図は別の実施例を示し、測定中の概略斜視図であ
る。 図中、１は連続鋳造装置、２はローラハウジング（基部
）、４はレール（案内部）、７はレーザー装置、８はセ
ンサヘッド（ヘッド）、１０はレーザー発振器（レーザ
ー射光部）、１１はレーザー受光素子（レーザー受光部
）、１５は駆動モータ（駆動装置）、１７は遮熱部材、
３０は判別部、３１はＣＲＴ、４０は駆動装置をそれぞ
れ示す。

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. （１）連続鋳造装置で製造された連続鋳造片の搬出側に
   設置される基部と、 該基部に設置され該連続鋳造片の幅方向にのびる案内部
   と、 該案内部にそって該連続鋳造片の幅方向に往復移動自在
   に設けられたヘッドと該ヘッドに設けられ該連続鋳造片
   の検査面にレーザー光を照射するレーザー射光部と該ヘ
   ッドに設けられ該連続鋳造片の該検査面で反射した該レ
   ーザー光を受けるレーザー受光部とをもつレーザー装置
   と、 該ヘッドを案内部にそって該連続鋳造片の幅方向に往復
   移動させる駆動装置と、 該連続鋳造片の少なくとも一部を覆い該連続鋳造片の熱
   を遮蔽する遮熱部材と、 該レーザー装置の該レーザー受光部からの出力信号を受
   けて該連続鋳造片の検査面の表面状況を判別する判別部
   と、で構成されていることを特徴とする連続鋳造片の表
   面状態測定装置。
2. （２）駆動装置は、駆動モータと、駆動モータの回転を
   ヘッドに伝達する伝達部と、で形成されている特許請求
   の範囲第１項記載の連続鋳造片の表面状態測定装置。
3. （３）レーザー装置のレーザー射光部はレーザー発振器
   であり、レーザー受光部はレーザー受光素子である特許
   請求の範囲第１項記載の連続鋳造片の表面状態測定装置
   。
4. （４）レーザー装置はレーザー光を発振するレーザー発
   振器とレーザー光を受けるレーザー受光素子とをもち、
   ヘッドのレーザー射光部は、該レーザー発振器からのレ
   ーザー光を受けて連続鋳造片の検査面に向けて反射する
   ミラーであり、レーザー受光部は連続鋳造片で反射した
   レーザー光を受けて該レーザー受光素子に反射するミラ
   ーである特許請求の範囲第１項記載の連続鋳造片の表面
   状態測定装置。
5. （５）遮熱部材は、連続鋳造片の検査面を覆い且つ孔を
   もつ覆い部材と、該覆い部材の該孔に取付けられた高シ
   リカガラス製の透明ガラス部と、で形成されている特許
   請求の範囲第１項記載の連続鋳造片の表面状態測定装置
   。
6. （６）基部は連続鋳造装置に固定されているか、連続鋳
   造片に周期して走行する構成である特許請求の範囲第１
   項記載の連続鋳造片の表面状態測定装置。
7. （７）連続鋳造装置で製造された連続鋳造片の搬出側に
   設置される基部と、 シリンダ本体と該シリンダ本体に該連続鋳造片の幅方向
   にそって前進および後退自在に設けられたロッドとで形
   成された駆動装置と、 該駆動装置の該ロッドに保持されたヘッドと、該ヘッド
   に設けられ該連続鋳造片の検査面にレーザー光を照射す
   るレーザー射光部と、該ヘッドに設けられ該連続鋳造片
   の該検査面で反射した該レーザー光を受けるレーザー受
   光部とをもつレーザー装置と、 該連続鋳造片の少なくとも一部を覆い該連続鋳造片の熱
   を遮蔽する遮熱部材と、 該レーザー装置の該レーザー受光部からの出力信号を受
   けて該連続鋳造片の検査面の表面状況を判別する判別部
   と、で構成されていることを特徴とする連続鋳造片の表
   面状態測定装置。
8. （８）駆動装置は、ロッドの前進量および後退量を検出
   する変位計をもつ特許請求の範囲第７項記載の連続鋳造
   片の表面状態測定装置。
9. （９）レーザー装置のレーザー射光部はレーザー発振器
   であり、レーザー受光部はレーザー受光素子である特許
   請求の範囲第７項記載の連続鋳造片の表面状態測定装置
   。
10. （１０）レーザー装置はレーザーを発振するレーザー発
    振器とレーザーを受ける受光素子とをもち、ヘッドのレ
    ーザー射光部は、レーザー発振器からのレーザー光を受
    けて連続鋳造片の検査面に向けて反射するミラーであり
    、レーザー受光部は連続鋳造片で反射したレーザー光を
    受けてレーザー受光素子に反射するミラーである特許請
    求の範囲第７項記載の連続鋳造片の表面状態測定装置。
11. （１１）遮熱部材は、連続鋳造片の検査面を覆い且つ孔
    をもつ覆い部材と、該覆い部材の該孔に取付けられた高
    シリカガラス製の透明ガラス部と、で形成されている特
    許請求の範囲第７項記載の連続鋳造片の表面状態測定装
    置。
12. （１２）基部は連続鋳造装置に固定されているか、連続
    鋳造片に同期して走行する構成である特許請求の範囲第
    ７項記載の連続鋳造片の表面状態測定装置。