JPH01112043U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01112043U JPH01112043U JP678688U JP678688U JPH01112043U JP H01112043 U JPH01112043 U JP H01112043U JP 678688 U JP678688 U JP 678688U JP 678688 U JP678688 U JP 678688U JP H01112043 U JPH01112043 U JP H01112043U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- dust collection
- electrostatic dust
- load chamber
- collection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第1図は本考案のロード室の斜視図、第2図は
第1図のA―A断面図、第3図は同じくB―B断
面図、第4図は静電型ダスト収集装置の構造図、
第5図はロード室に設置した静電型ダスト収集装
置の等価回路図である。 1:処理室、2:ウエハー、3:ウエハーカセ
ツト、6:ロード室、8:静電型ダスト収集装置
。
第1図のA―A断面図、第3図は同じくB―B断
面図、第4図は静電型ダスト収集装置の構造図、
第5図はロード室に設置した静電型ダスト収集装
置の等価回路図である。 1:処理室、2:ウエハー、3:ウエハーカセ
ツト、6:ロード室、8:静電型ダスト収集装置
。
Claims (1)
- 半導体ウエハーの加工・形成を行う処理室と大
気圧の作業室との間でウエハーカセツトを搬入搬
出するための気密閉鎖可能なロード室において、
板状の静電型ダスト収集装置を壁面に設けたこと
を特徴とする静電型ダスト収集ロード室。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP678688U JPH01112043U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP678688U JPH01112043U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01112043U true JPH01112043U (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=31211246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP678688U Pending JPH01112043U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01112043U (ja) |
-
1988
- 1988-01-21 JP JP678688U patent/JPH01112043U/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH01112043U (ja) | ||
JPS642442U (ja) | ||
JPS6295712U (ja) | ||
JPS60111038U (ja) | 真空チヤツク | |
JPS6054327U (ja) | 半導体製造装置 | |
JPH0275724U (ja) | ||
JPH0367440U (ja) | ||
JPH01161334U (ja) | ||
JPS6130233U (ja) | 真空処理装置 | |
JPH0313741U (ja) | ||
JPS63147811U (ja) | ||
JPH025531Y2 (ja) | ||
JPH0374665U (ja) | ||
JPS6219740U (ja) | ||
JP2569175Y2 (ja) | ベローズ形ウェーハ真空チャック | |
JPS6252929U (ja) | ||
JPS60927U (ja) | 半導体ウエハ貼付装置 | |
JPH02120831U (ja) | ||
JPS6161016U (ja) | ||
JPS6192052U (ja) | ||
JPS62197577U (ja) | ||
JPH0258331U (ja) | ||
JPS60180206U (ja) | ウエハ搬送装置 | |
JPS5972733U (ja) | ウエハ搬送装置 | |
JPS63200326U (ja) |