JPS5972733U - ウエハ搬送装置 - Google Patents

ウエハ搬送装置

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JPS5972733U
JPS5972733U JP16808982U JP16808982U JPS5972733U JP S5972733 U JPS5972733 U JP S5972733U JP 16808982 U JP16808982 U JP 16808982U JP 16808982 U JP16808982 U JP 16808982U JP S5972733 U JPS5972733 U JP S5972733U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
transfer device
belt
wafer transfer
cassette
Prior art date
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Pending
Application number
JP16808982U
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English (en)
Inventor
武 小池
小沼　武男
Original Assignee
株式会社日立製作所
日立那珂精器株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ＡおよびＢは従来のアンローダ側のウェハをカセ
ットに搬入する上面図および側面図、第２図ＡおよびＢ
は本考案による上面図および側面図を示す。 １・・・打込室から搬出されたウェハ、２・・・ベルト
、３・・・モータ、４・・・カセット、５・・・カセッ
トの左端、６・・・カセット台、７・・・光センサ、８
・・・ロータリンレノイド、９・・・線、１０・・・カ
セット４の奥まで入ったウェハ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウェハを搬送するための搬送用ベルトと、該搬送
    された半導体ウェハを収納しつつ半導体ウェハの厚み方
    向に移動できるカセットとから成るウェハ搬送装置にお
    いて、 前記搬送用ベルト上を搬送されてきたウェハを該搬送用
    ベルトから前記カセットに収納させる収納補助手段と、
    前記搬送用ベルトから前記ウェハを前記収納補助手段に
    引き継ぐ位置を検出するための検出手段とを有すること
    を特徴とするウェハ搬送装置。
JP16808982U 1982-11-08 1982-11-08 ウエハ搬送装置 Pending JPS5972733U (ja)

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JP16808982U JPS5972733U (ja) 1982-11-08 1982-11-08 ウエハ搬送装置

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JPS5972733U true JPS5972733U (ja) 1984-05-17

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ID=30367562

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