JPH01106119A - デイジタル位置サーボ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ディジタル位置サーボ装置に係り、特に、産
業用ロボットのサーボ装置等に用いて好適な、低速状態
で速度変動の小さい制御を行うことを可能としたディジ
タル位置サーボ装置に関する。

〔従来の技術〕

産業用ロボットや数値制御装置等に用いられる位置サー
ボ装置に関する従来技術として、例えば、柿倉著「産業
用ロボットの制御方式と利用技術」日刊工業新聞社、１
９８６年（ｐｐ　−２０４−２０８）等に記載された技
術が知られている。この種従来技術は、サーボ駆動系に
対する位置指令値と、アクチュエータに取付けられたエ
ンコーダの出力パルスを計数して得られる位置検出値と
から位置偏差を演算し、この位置偏差に比例してアクチ
ュエータに対する速度指令値を決定するものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕 前記従来技術は、ロークリエンコーダ等の離散値的に位
置検出を行う位置検出器を用いるものであり、このよう
な位置検出器のエンコーダパルスを計数することにより
得られる位置検出値の分解能が、エンコーダの検出分解
能で制限されるため、エンコーダの出力パルス周期が長
くなる低速動作状態において、位置検出の１パルスのば
らつきにより、アクチュエータに対する速度指令値が変
動してしまうという問題点を有し、特に、ＴＩＧ溶接等
のように低速状態の制御が必要な機器に用いる場合には
、速度むらのない制御を行うことが困難であるという問
題点があった。

本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決し、低速
の動作状態においても、速度変動の小さい安定な位置制
御を行うことのできるディジタル位置サーボ装置を提供
することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によれば、前記目的は、サーボ処理のサンプリン
グ周期内にエンコーダによる位置検出パルスが変化しな
いような低速度状態において、エンコーダパルス間の位
置変化を推定し、これにより得られる位置検出値に基づ
いて、位置制御系のフィードバック制御を実行すること
により達成される。

〔作用〕

エンコーダパルス間の位置変化を推定する位置推定器は
、エンコーダ出力パルスの１パルス以内の位置変化を高
い分解能で推定するために用いられる。この位置推定器
の出力を用い１．実際に得られるエンコーダパルス間の
位置を内挿することにより、より高い分解能の位置検出
値を得ることができる。本発明は、この位置検出値を用
いてサーボ系の制御を行うことにより、速度指令の分解
能を向上させることができ、特に、低速制御状態での速
度変動を低減することができる。

〔実施例〕

以下、本発明によるディジタル位置サーボ装置の一実施
例を図面により詳細に説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の構成を示すブロック図
、第２図は動作を説明するフローチャート、第３図は本
発明の動作原理を説明する図、第４図（ａ）〜（ｅ）は
各部の動作波形を示す図である。第１図、第３図におい
て、１はマイクロコンピュータ、２は位置制御処理部、
３．１６はＤ／Ａ変換器、４は速度制御処理部、５はパ
ワーアンプ、６は電流検出器、７はモータ、８は負荷、
９は速度検出器、１０はエンコーダ、１１．１４はカウ
ンタ、１２は位置推定器、１３はＶ／ｆ変換器である。

第１図に示す本発明の第１の実施例は、本発明を負荷８
としてのアクチュエータをモータ７で駆動するサーボ系
に適用したものであり、ディジタル位置制御を実行する
マイクロコンピュータ（以下マイコンという）１と、Ｄ
／Ａ変換器３と、アナログ回路である速度制御処理部４
と、エンコーダ１０の出力パルスを計数するカウンタ１
１と、位置推定器１２と、モータ７を駆動するパワーア
ンプ５とにより構成される。モータ７の速度を検出する
速度検出器９により検出されるモータ速度（負荷８の動
作速度と等価）検出値ω１．は、速度制御処理部４にフ
ィードバックされ、モータ７の速度制御処理に用いられ
るとともに、位置推定器１２にも与えられ、エンコーダ
パルス間の位置推定のために用いられる。エンコーダ１
０によるモータ７の位置検出信号（負荷８の位置と等価
）となるエンコーダパルスＰＥは、カウンタ１１により
計数され位置検出値θ１とされる。位置推定器１２は、
マイコン１によるソフトウェア処理と、速度検出器９の
出力値をパルス信号に変換するＶ／ｆ（ｖｏｌｔａｇｅ
　ｔｏ　ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）変換器１３と、この発生
パルスを計数するカウンタ１４と、位置推定値の補正量
Δθ０をアナログ値に変換し、モータ速度検出値ω、を
補正するＤ／Ａ変換器とにより構成され、カウンタ１１
の出力である位置検出値θ１とモータ速度検出値ω、と
により、エンコーダ１０より高い分解能で位置推定値ｔ
、を演算し、この値をマイコン１内の位置制御処理部２
に与える。

これにより、マイコン１は、ソフトウェア処理によりモ
ータ７の位置サーボ、すなわち、アクチュエータである
負荷８の位置サーボを実行する。

以下、マイコン１が位置制御を行う処理を第２図に示す
フローチャートにより説明する。

マイコン１は、一定周期毎の割込みにより、位置制御１
処理及び位置推定器１２における位置推定処理を実行す
る。以下の説明では、ｉ番目の割込み時点の処理を説明
する。

（１）　　まず、外部より与えられる位置指令値θ。

（ｉ）、カウンタ１１からの位置検出値θ６（ｉ）及び
カウンタ１４からの位置推定値？ｍ（ｉ）を取込む（処
理５１０１〜５１０３）。

（２）次に、前回の割込時点（ｉ−１）における位置検
出値θ、（ｔ−１）と今回の検出値θ、（ｉ）とを比較
し、両者の値に変化があるか否かをチエツクする（処理
Ｓ　１０４）。

（３）処理３１０４で、位置検出値に変化があれば、今
回の位置検出値θい（ｉ）と位置推定値θ。

（ｉ）との差を演算し、位置推定値の補正量Δθイを演
算し、この補正量をＤ／Ａ変換器１６に出力する。この
補正量により、位置推定器１２が出力位置検出値に変化
がない場合、位置指令値θ、、（ｉ）と位置推定値θ、
（ｉ）とを用いて位置制御処理が実行され、その制御演
算結果が位置制御処理部２よりＤ／Ａ変換器３に出力さ
れる。これにより、モータ７に対する速度指令値ω１が
更新され、モータ７を位置指令値に追従して制御するた
めの位置サーボが実行される。

次に、位置推定器１２の動作原理を第３図により説明す
る。

第３図において、モータ７の速度ω、は、速度検出器９
により検出されるので、この検出値を位置推定器１２内
の積分器１８で積分することにより位置推定値θ、を得
ることができる。積分器１８におけるＳは、ラプラス演
算子であり、１／Ｓが積分機能を表わしている。しかし
、このような積分だけでは、初期位置オフセット等によ
る人力誤差のため、位置推定値ｔｍとエンコーダから構
成される装置検出値θ１とを一致させることができない
。このような線形システムの状態を推定する方法として
、例えば、伊藤外著「線形制御系の設計理論」　（計測
自動制御学会列、昭５３年）に記載されているような、
状態推定器の手法が知られている。この方法によれば、
モータの状態変数としてその位置θ１を選ぶと、システ
ムの状態方程式は、次式で与えられる。

□θ、＝Ａθ、＋Ｂω、　　　　−・−・・−（１）ｔ 但し、Ａ＝Ｏ，Ｂ＝１、ωいはモータ速度である。

これに対し、モータの位置を推定するための状態推定器
は、次式を演算するように構成される。

”ｌ”　ｓ　＝　Ａ　Ｍ　’ｌ’　ｓ　”　Ｂ　Ｎ　’
　ＩＩ　十ｇ　＋　（θ、−介、）ｔ −−−−−−・（２） 但し、ＡＭ＋ＢＭは、夫々Ａ、Ｂに等しく設定され、ｇ
ｌは、状態推定器の出力を実際のシステムの状態変数（
この場合は位置検出値）と一致させるための推定器ゲイ
ンである。

この第（２）式において、ＡＭ　＝０．ＢＭ　＝１に設
定されるので、状態推定器（この場合状態変数として位
置が選ばれているので、位置推定器と同義）の出力であ
る位置推定値θ、は、 ｇ　、　＝５　（ωｓ十ｇ＋（θ、−↑、））　ａｔ　
　、−−−−−・−（３）として求めることができる。

すガわち、第３図に示す位置推定器１２は、積分器１８
の出力である位置推定器θ、と、エンコーダ１０の出力
パルスを計数することにより得られる位置検出値θ１と
の減算を行い、この減算結果に推定器ゲインｇ。

を乗じた値を、正しく位置推定値θ、を推定するための
補正量とする。このとき、ｇ、を大きく選ぶことにより
位置推定誤差を小さくすることができるが、補正量の演
算は、エンコーダ１０の出力パルス毎にしか実行されな
いため、位置推定器１２の動作が離散値系となる。この
ため、推定器ゲインｇ＋は、位置推定器１２の安定性を
損なわない範囲で位置推定値誤差が充分に小さくなるよ
うに設定される。

次に、このような原理でエンコーダ１０の出力パルス間
の位置変化を推定する位置推定器１２の動作波形を第４
図（ａｌ〜第４図（ｅ）により説明する。

まず、第１図において、位置推定器１２内の■／ｆ変換
器１３は、速度検出器９より得られるモータ速度ω、と
補正量Δωいとを加算したアナログ値を、その大きさに
比例した周波数のパルス列に変換する。このパルス列を
カウンタ１４で計数することにより、位置推定値θ、を
得ることができる。すなわち、Ｖ／ｆ変換器１３とカウ
ンタ１４とが、第３図における積分器１８の機能を実行
している。一方、マイコン１のソフトウェア処理により
計算された位置推定誤差Δθ、％（＝θ、−θ、）は、
Ｄ／Ａ変換器１６によりアナログ値に変換され、補正量
Δω１とされる。このとき、推定器ゲインｇｌは、Ｄ／
Ａ変換器１６における変換係数に含まれるものとした。

第４図（ａ）、　（ｂ）は夫々カウンタ１１及び１４の
動作波形を示している。カウンタ１１は、エンコーダ１
０の出力パルスＰ、を計数することにより、その計数値
である位置検出値θ、を出力する。−方、カウンタ１４
は、Ｖ／ｆ変換器１３の出力パルス列を計数した位置推
定誤差。を出力する。このとき、両カウンタ１１．１４
とも回転方向を検出してアップ、ダウンカウントが制御
される。これに対し、マイコン１は、一定周期毎の割込
みにより制御演算を実行する。この割込みパルス列が第
４図（Ｃ）に示されている。このパルス周期Ｔ、が位置
制御（ＡＰＲ）周期となる。マイコン１は、この割込み
毎に、カウンタ１１及びカウンタ１４の計数値を読出す
ので、マイコン内の位置検出値θ。

及び位置推定値θ、は、この割込みパルスに同期して第
４図（ｄ）のように変化する。また、マイコン１は、位
置検出値θ１．が前回の割込時点より更新されている場
合に、位置推定誤差Δθ、を演算し、これをＤ／Ａ変換
することにより補正量Δω、を算出する。この動作波形
が第４図（ｅｌに示されている。

第１図に示す実施例において、位置推定値か。

を得るためのＶ／ｆ変換器１３は、その分解能を充分高
く選ぶことができるので、エンコーダ１０の出力パルス
を計数して得られる位置検出値θ。

より、高い分解能の位置推定器か、を得ることができる
。第１図に示す実施例は、これにより、等価的に位置検
出分解能を向上することができるので、位置検出器とし
てポテンショメータのような連続的に位置検出できる手
段を用いた場合と同様な円滑な位置サーボ性能を得るこ
とができる。このため、前述の実施例は、特に、極低速
で速度変動の小さい位置送り制御が要求される数値制御
工作機や溶接作業用ロボット等の位置サーボに適した制
御を行うことができる。

前述したように、本発明の第１の実施例によれば、位置
検出分解能の高い高級なエンコーダを用いることなく、
等価的に高分解能のエンコーダを用いたのと同一の高性
能な低速送り制御を実行することができるという効果を
奏する。また、一般に、モータに取付けられるエンコー
ダの出力パルス信号は、基本的にその伝送上の問題から
パルスレートをあまり高く選ぶことができず、エンコー
、ダ自体を高分解能化したとき、単にエンコーダ単体の
コストだけでなく、エンコーダの出力パルスのレシーブ
回路を含めて制御回路が複雑になるという問題点が生じ
る。これに対し、本発明の実施例によれば、安価なパル
スレシーブ回路のままで、等価的に位置検出信号を高分
解能化することができるという効果を生じる。このとき
、位置推定値を得るためのＶ／ｆ変換器のパルス出力は
、制御回路内部で処理されるので、エンコーダ１０の出
力パルスに比較して充分高い周期に設定しても問題とは
ならない。

次に、本発明の第２の実施例を第５図のフローチャート
により説明する。

前述の第１の実施例は、位置サーボ処理に用いる位置フ
ィードバック値として、恒に位置推定値θ。を用いるも
のであった。この第１の実施例では、特に低速での位置
制御状態において滑らかな追従特性を得ることができる
。しかし、この実施例は、位置推定器を用いているので
エンコーダの出力パルス間の位置検出分解能を向上させ
ることができるが、精度そのものはエンコーダ自体の分
解能に制約されることになる。このため、本発明の第２
の実施例は、最終的な位置決め領域に近づいたとき、位
置フィードバックを位置推定値θ。

から、エンコーダの出力パルスによる位置検出値θ、に
切換え、制御精度の向上を図るものであり、その動作フ
ローが第５図に示されている。

（１）　　まず、すでに説明した第１の実施例の場合と
同じ第２図の処理５１０１〜５１０６が実行される（処
理３１１０）。

（２）次に、位置検出値θ。（ｉ）と位置決め位置θ□
との偏差θ、（ｉ）を計算し、この偏差θ、（ｉ）が位
置決め範囲内か否かを判別する（処理Ｓ　１１１゜５１
１２）。

（３）　　処理５１１２の結果、偏差θ、（ｉ）がまだ
位置決め領域内に入っていなければ、引続き位置推定値
ｆｊ”、　（ｉ）　’ｆｃ用いた位置制御を実行し、こ
の結果をＤ／Ａ変換器３に出力する（処理５１１３゜３
１１５）。

（４）一方、処理５１１２の結果、偏差θ、（ｉ）が位
置決め領域内のときには、エンコーダの出力パルスの計
数値であるθ１（ｉ）をフィードバック値として位置制
御を実行し、この結果をＤ／Ａ変換器３に出力する（処
理５１１４．５１１５）。

この実施例は、最終的な位置決めに、位置推定器の推定
誤差を含まず、精度よく位置決めを実行・することがで
き、また、位置決め点に向うまでの動作経路を高分解能
な位置推定器の出力を用いて円滑に制御することができ
るという効果を有する。

次に、本発明の第３の実施例を第６図のフローチャート
により説明する。

前述した第１の実施例は、位置検出の分解能を向上させ
ることにより、特に、低速領域での速度変動を低減でき
るものである。従って、高速の動作状態で位置サーボを
実行している場合には、エンコーダの位置検出の量子化
に起因する速度変動率は充分小さくなる。本発明の第３
の実施例は、このような点を配慮したもので、モータ速
度に応じて位置推定器を用いるか否か切換えるようにし
たものであり、その動作フローが第６図に示されている
。

＋１）　　まず、すでに説明した第１の実施例の場合と
同じ第２図の処理５１０１−８１０６が実行される（処
理５１１７）。

（２）　　次に、今回の位置検出値θ、（ｉ）と、前回
の位置検出値θ、（ｉ−１）との差Ｖ、　（ｉ）を求め
、この大きさよりモータの速度領域を判別し、この絶対
値ｌ　Ｖ、（ｉ）　ｌが予め定めた所定の大きさ■□８
より大きいか小さいか判定する（処理５１１８゜５１１
９）。

（３）　　処理５１１９で、ｌ　Ｖ、　（ｉ）　ｌがＶ
　ｖａｓｔより小さい場合、位置推定値ｙ、　（ｉ）を
用いて位置制御を行い、Ｉ　Ｖ、　（ｉ）　ｌがＶ□８
より大きい場合、高速領域と判別し、エンコーダの出力
パルスによる位置検出値θ、（ｉ）を用いて位置制御を
実行し、その結果を、Ｄ／Ａ変換器３に出力する（フロ
ー５１２０−３１２２）。

この本発明の第３の実施例は、位置推定器を用いる速度
範囲を特定の低速領域に制限しているので、第１の実施
例のＶ／ｆ変換器１３のグイナミツクレンジ及びカウン
タ１４の上限周波数を制限できるため、より簡単なハー
ドウェアで位置推定器を構成することができるという効
果を有する。

前述した本発明の第２及び第３の実施例のハードウェア
構成は、第１の実施例と同一でよい。これらの実施例に
おいて、速度検出値を積分する手段として、Ｖ／ｆ変換
器とその出力パルスを計数するカウンタを用いているが
、速度検出値を積分する手段は、ディジタルサーボ技術
で用いられるように、エンコーダの出力パルス間の時間
計測により速度を演算し、その速度検出値をマイコンの
ソフトウェア処理により積算する構成としてもよい。

第７図は本発明の第４の実施例の構成を示すブロック図
である。第７図において、２０はＤ／Ａ変換器、１０１
は位置制御処理部、１０２は速度制御処理部、１０３は
速度検出器、１０４は位置検出器、１０５は速度及び位
置推定器、１１２は切換え部であり、他の符号は第１図
の場合と同一である。

第７図に示す本発明の第４の実施例は、位置推定器の構
成を、単に速度の積分として位置推定値を求める構成と
するのではなく、速度の推定も可能な速度及び位置推定
器とした点で、第１の実施例と相違している。そして、
この実施例は、位置制御処理、速度制御処理、速度検出
、位置検出及び速度位置推定の各機能がマイコン１内の
ソフトウェア処理により実行されるように構成されてい
る。

第７図に示す実施例において、マイコン１の制御処理の
結果は、電流指令ｉｍｒとしてＤ／Ａ変換器２０に与え
られ、このＤ／Ａ変換器２０の出力に応じて、パワーア
ンプ５がモータ７を駆動制御する。モータ７の位置及び
速度の検出にエンコーダ１０が用いられ、エンコーダ１
０の出力パルスがカウンタ１１により計数され、その計
数結果がマイコン１に与えられる。マイコン１内のソフ
トウェア処理による速度検出器１０３及び位置検出器１
０４は、一定周期毎のカウンタ１１のパルス計数値の変
化から、モータ速度ω、及びモータ位置θ１を検出する
。

速度及び位置推定器１０５は、パワーアンプ５及びモー
タ７の動作特性を表わすモデル部及びモデルの状態を実
際の検出値に一致させるための補正量を演算する部分に
より構成されており、第１の実施例の場合と同様に線形
システムにおける状態推定器として構成される。まず、
モデル１０６は、パワーアンプ５及びモータ７の駆動ト
ルクを生成する部分のモデルであり、次式に従って駆動
トルクの推定値を演算する。

ｌ　　。

↑＋ａ　＝　ＫＴ　　］コ］１ｇｏ＋＋ｒ　　　　　゛
−−−−−４４）但し、？、は駆動トルクの推定値、↑
Ｔ＋ＴＣは駆動トルク定数及び電流制御系時定数の設定
値である。

この駆動トルクの推定値により、モータの速度推定値Ｃ
１が次式により演算される。

６、−　−上−（↑、＋Ｆ（Ｓ）・（ω、４．）Ｊ、　
　Ｓ 十ｇ冨（６ｍ”＋ｓ））　　−−−−−−・（５）但し
、Ｊ、はモータを含めた駆動系の慣性モーメントの設定
値、Ｓはラプラス演算子、Ｆ　（Ｓ）、ｇ２は推定器ゲ
インであり、Ｆ　（Ｓ）は、「２ Ｆ　（Ｓ）　＝　ｆ　、　＋　−−−−・〜・・−（６
）として設定される。１／Ｓは積分機能を表わしている
ので、前記第（５）式に第（６）式を代入すると、速度
推定値♂、は、次式のように演算される。

命、＝ゴトＳ（τ、＋ｆ＋（ω、−Ｑ、）＋ｆｔ（ω、
−ω、）ｄｔ ＋ｇ２（θ、−θｍ））ｄｔ ・−・−（７） この速度推定値会、から位置推定値ｔ１は、第１の実施
例の場合と同様に、次式のように演算することができる
。

ｆ、＝Ｓ　ｔΩ＋ａ十ｇ＋（θｍ−ｆｓ））　ｄｔ　　
、−、−・・（８）前述の第（７）、（８）式において
、ｆ＋、ｆｔ９ｇｔ９ｇｇは速度及び位置推定器の推定
器ゲインであり、推定器の状態推定値ω１．θ１が、検
出値と一致するように最適に設定される。

速度及び位置推定器１０５より得られた、速度推定誤差
（ω０呵れ）を含めて演算された位置推定値θ、は、切
換え部１１２を介して位置制御処理部１０１にフィード
バックされ、また、速度検出器１０３の速度検出値ω、
は、速度制御処理部１０２にフィードバックされる。こ
れにより、マイコンｌは、位置指令値θ、ｒに基づいて
、モータ７を制御する電流指令１ＩＩＩｒを出力する。

前述した本発明の第４の実施例は、専用の速度検出器を
用いることなく、エンコーダの出力パルスのみで位置及
び速度を演算できるディジタルサーボ系であり、エンコ
ーダの出力パルス間の速度及び位置の状態を充分高分解
能に推定することができる。このため、この実施例は、
単に速度検出値を積分する方法を用いるのに比較して、
より安定に位置推定器θ、を演算することができるとい
う効果を有している。さらに、この実施例は、速度及び
位置、推定器が、第（７）式に示すように、速度推定値
♂１の演算に、速度推定誤差（ω、−Ｓ、）だけでなく
、位置推定誤差（θ−＝’−）をフィードバックしてい
るので、その推定器ゲインｇｔを最適に設定することに
より、エンコーダの出力パルス間の速度をより安定に推
定することができるという効果を有する。

さ、らに、このようにして得られた位置推定値θ。

は、前述した本発明の第２．第３の実施例で説明したと
同様に、位置決め範囲や速度領域に応じて、エンコーダ
の出力パルスによる位置検出値θ。と切換えられて、位
置制御のために用いられてよい。

このときの切換えは、第７図に示す切換え部１１２で行
われる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、高価なエンコー
ダを用いることな（、高分解能の位置検出値が得られる
ので、低速時においても滑らかな位置サーボを実行する
ことができるという効果を奏することができる。また、
高分解能のエンコーダを用いた場合、高速動作状態にお
いてエンコーダパルスレートが高くなり、パルスレシー
ブ回路等が高価なものとなるが、本発明によれば、エン
コーダパルス数を増すことなく高分解能化を達成できる
ので、システム全体のコストを低減できるという効果も
奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の構成を示すブロック図
、第２図は動作を説明するフローチャート、第３図は本
発明の動作原理を説明する図、第４図（ａｔ、　（ｂ）
、　（ｃｌ、　（ｄ）、　（ｅ）は各部の動作波形を示
ス図、第５図、第６図は本発明の第２．第３の実施例の
動作を説明するフローチャート、第７図は本発明の第４
の実施例の構成を示すブロック図である。 ｌ・−・−・マイクロコンピュータ、２．　１０１−・
・−位置制御処理部、３，１６．２０−・−・−・・Ｄ
／Ａ変換器、４．１０２・−・−速度制御処理部、５−
−−−−−−パワーアンプ、６−・−・電流検出器、？
−−−−−・−モータ、８−・−負荷、９，１０３・−
−−−−一速度検出器、１０−・・・−・エンコーダ、
１１．１４−・−・・カウンタ、１２−・−・−・位置
推定器、１３−−−−−−−Ｖ　／　ｆ変換器、１０４
−−−−−−位置検出器、１０５−−−一〜〜−・速度
及び位置推定器、第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、アクチュエータを駆動する手段、アクチュエータの
   位置検出のために前記駆動手段に設けたエンコーダを備
   え、該エンコーダの出力パルスの計数値と、外部から与
   えられる位置指令値とに基づいて、アクチュエータの位
   置サーボを行うサーボ装置において、エンコーダの出力
   パルス間の位置変化を推定し、この推定した位置変化と
   エンコーダの出力パルスの計数値とによりアクチュエー
   タの位置を検出する位置推定手段を備え、該位置推定手
   段の出力により位置サーボを行うことを特徴とするディ
   ジタル位置サーボ装置。 ２、前記特許請求の範囲第１項において、アクチュエー
   タの位置が所定の位置決め領域内にあるとき、前記位置
   推定手段の出力でなく、エンコーダの出力パルスの計数
   値により位置サーボを行うことを特徴とするディジタル
   位置サーボ装置。 ３、前記特許請求の範囲第１項において、アクチュエー
   タの速度が所定の動作速度以下の場合、前記位置推定手
   段の出力により位置サーボを行い、アクチュエータの速
   度が所定の動作速度以上の場合、前記エンコーダの出力
   パルスの計数値により位置サーボを行うことを特徴とす
   るディジタル位置サーボ装置。 ４、前記特許請求の範囲第１項、第２項または第３項に
   おいて、位置推定手段は、アクチュエータの速度検出値
   と、エンコーダの出力パルスのカウント値とにより、ア
   クチュエータの位置を検出することを特徴とするディジ
   タル位置サーボ装置。 ５、前記特許請求の範囲第１項、第２項または第３項に
   おいて、位置推定手段は、エンコーダの出力より得た速
   度検出値より、エンコーダの出力パルス間のアクチュエ
   ータ速度を推定し、この速度の推定値によりアクチュエ
   ータの位置を検出することを特徴とするディジタル位置
   サーボ装置。