JPH01100438U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01100438U JPH01100438U JP19559387U JP19559387U JPH01100438U JP H01100438 U JPH01100438 U JP H01100438U JP 19559387 U JP19559387 U JP 19559387U JP 19559387 U JP19559387 U JP 19559387U JP H01100438 U JPH01100438 U JP H01100438U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor manufacturing
- bonding
- groove
- manufacturing apparatus
- island portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 claims description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の半導体製造装置の
構成を示す斜視図、第２図は本考案にかかるＶ溝
加工機の断面図、第３図は半導体素子をアイラン
ド部上に接着する従来半導体製造装置の構成を示
す斜視図である。 １……Ｖ溝加工機、１ａ……ホルダー、２……
スプリング止め、３……スプリング、４……Ｖ型
の刃、５……マウントヘツド、６……共晶ソルダ
ー供給アーム、７……共晶ソルダー、８……リー
ドフレーム、９ａ……アイランド部、９ｂ……セ
ラミツクパツケージ、１０……半導体素子、１１
……リング。
構成を示す斜視図、第２図は本考案にかかるＶ溝
加工機の断面図、第３図は半導体素子をアイラン
ド部上に接着する従来半導体製造装置の構成を示
す斜視図である。 １……Ｖ溝加工機、１ａ……ホルダー、２……
スプリング止め、３……スプリング、４……Ｖ型
の刃、５……マウントヘツド、６……共晶ソルダ
ー供給アーム、７……共晶ソルダー、８……リー
ドフレーム、９ａ……アイランド部、９ｂ……セ
ラミツクパツケージ、１０……半導体素子、１１
……リング。
Claims (1)
- 半導体製造工程中の半導体素子をリードフレー
ムまたはセラミツクパツケージ等のアイランド部
に共晶ソルダー等にて接着する機構を有する半導
体製造装置において、前記半導体素子を接着する
直前に接着エリアに対しＶ型の溝を加工形成する
Ｖ溝加工機が前記アイランド部上に設けられるこ
とを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19559387U JPH01100438U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19559387U JPH01100438U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01100438U true JPH01100438U (ja) | 1989-07-05 |
Family
ID=31486265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19559387U Pending JPH01100438U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01100438U (ja) |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP19559387U patent/JPH01100438U/ja active Pending