JP7846475B2 - 圧力検出装置 - Google Patents
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Description
ここで、前記電極部材の前記接触面は、凸面として構成しても良い。
より詳細には、前記電極部材の前記接触面は、一の直径に沿う部位が他の部位よりも高い凸面としても良い。
また、前記圧電素子は圧電単結晶であり、前記圧電単結晶における格子定数が最も小さな結晶軸が、前記凸面と直交する構成としても良い。
また、前記電極部材の前記接触面は、中央が最も高い凸面としても良い。
また、前記隙間は、前記電極部材の前記接触面における周縁部の少なくとも一部に設けられる構成としても良い。
さらに詳細には、前記隙間は、前記電極部材の前記接触面において、周縁部に向かって次第に広くなる構成としても良い。
また、前記電極部材の前記接触面は、予め定められた深さ以内の凹面として構成しても良い。
より詳細には、前記電極部材の前記接触面は、一の直径に沿う部位が他の部位よりも低い凹面としても良い。
また、前記電極部材の前記接触面は、中央が最も低い凹面としても良い。
また、前記隙間は、前記電極部材の前記接触面において、当該接触面の中央を含む領域に設けられる構成としても良い。
[圧力検出システムの構成]
図1は、実施の形態に係る圧力検出システム1の概略構成図である。
この圧力検出システム1は、内燃機関10における燃焼室C内の圧力(燃焼圧)を検出する圧力検出装置20と、圧力検出装置20に対する給電を行うとともに圧力検出装置20が検出した圧力に基づいて内燃機関10の動作を制御する制御装置100と、圧力検出装置20と制御装置100とを電気的に接続する接続ケーブル80とを備えている。
図2は、圧力検出装置の側面図である。また、図3は、圧力検出装置20の断面図(図2のIII-III断面図)である。さらに、図4は、圧力検出装置20の先端側(図3のIV領域)の拡大断面図である。
筐体部30は、先端外部筐体31と、先端外部筐体31の先端側に取り付けられたダイアフラムヘッド32とを備えている。また、筐体部30は、先端外部筐体31の内側であってダイアフラムヘッド32の後端側に取り付けられた第1内部筐体33と、先端外部筐体31および第1内部筐体33の内側であってダイアフラムヘッド32の後端側に取り付けられた第2内部筐体34とを備えている。さらに、筐体部30は、先端外部筐体31の後端側に取り付けられた後端外部筐体35を備えている。筐体部30において、先端外部筐体31、ダイアフラムヘッド32および後端外部筐体35は外部に露出する。これに対し、第1内部筐体33および第2内部筐体34は外部に露出せず、先端外部筐体31の内側に収容されるようになっている。
先端外部筐体31は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。先端外部筐体31は、導電性を有するとともに耐熱性および耐酸性が高いステンレス鋼等の金属材料によって構成されている。また、先端外部筐体31は、先端側から後端側に向かって、外径が最も小さい小径部31aと、外径が最も大きい大径部31bと、外径がこれらの中間となる中径部31cとを有している。そして、先端外部筐体31における小径部31aの先端側の外周面には、雄ねじ31dが設けられている。
ダイアフラムヘッド32は、全体として円板状を呈する部材である。ダイアフラムヘッド32は、導電性を有するとともに耐熱性および耐酸性が高いステンレス鋼等の金属材料によって構成されている。ダイアフラムヘッド32は、先端外部筐体31における先端側の開口部を塞ぐように設けられている。そして、ダイアフラムヘッド32と先端外部筐体31との境界部には、全周にわたってレーザ溶接が施されている。
第1内部筐体33は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。第1内部筐体33は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス鋼等の金属材料によって構成されている。第1内部筐体33は、その全体が先端外部筐体31の内部に収容されるとともに、その先端側の一部がダイアフラムヘッド32の後端側の一部に突き当たるように設けられている。そして、第1内部筐体33とダイアフラムヘッド32との境界部には、全周にわたってレーザ溶接が施されている。
第2内部筐体34は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。第2内部筐体34は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス鋼等の金属材料によって構成されている。第2内部筐体34は、その全体が先端外部筐体31の内部に収容されるとともに、後端側を除くほぼ全域が第1内部筐体33の内部に収容されるように設けられている。そして、第2内部筐体34と第1内部筐体33との境界部には、全周にわたってレーザ溶接が施されている。
収容部材の一例としての後端外部筐体35は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。後端外部筐体35は、導電性を有するとともに耐熱性および耐酸性が高いステンレス鋼等の金属材料で構成されている。また、後端外部筐体35は、先端側から後端側に向かって、第1筒状部35aと、第2筒状部35bと、第3筒状部35cと、第4筒状部35dと、第5筒状部35eとを有している。ここで、第1筒状部35a、第2筒状部35b、第3筒状部35cおよび第4筒状部35dは、この順で外径が小さくなっている。これに対し、第5筒状部35eは、隣接する第4筒状部35dよりも外径が大きくなっており、第3筒状部35cとほぼ同じになっている。また、後端外部筐体35では、先端側の内部が第1内径部35fとなっており、後端側の内部が第2内径部35gとなっている。ここで、第2内径部35gは、第1内径部35fよりも内径が小さくなっており、第1内径部35fと第2内径部35gとの境界には、内側段差部35hが設けられている。後端外部筐体35における第1筒状部35aの先端側は、先端外部筐体31における大径部31bの後端側に突き当たるように設けられている。そして、後端外部筐体35と先端外部筐体31との境界部には、全周にわたってレーザ溶接が施されている。
検出機構部40は、圧電素子41と、先端電極部材42と、後端電極部材43と、絶縁部材44と、コイルばね45と、回路内蔵部材46と、接続部材47と、閉塞部材48とを備えている。
圧電素子41は、全体として円柱状を呈する部材である。圧電素子41は、圧電縦効果の圧電作用を示す圧電体を備えている。圧電素子41は、先端外部筐体31(および第1内部筐体33)の内側に配置されている。
先端電極部材42は、全体として円柱状を呈する部材である。先端電極部材42は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス鋼等の金属材料によって構成されている。特に先端電極部材42としては、圧電素子の熱膨張率に近い、低熱膨張の金属材料が好ましい。先端電極部材42は、先端外部筐体31(第1内部筐体33)の内側且つ圧電素子41の先端側に配置されており、先端電極部材42の後端側の面が、圧電素子41の先端側の面と接触するようになっている。先端電極部材42の後端側の面と圧電素子41の先端側の面とは、少なくとも面の一部に隙間を有して接している。これらの面の形状および接触の状態の詳細については後述する。また、先端電極部材42の先端側の面は、ダイアフラムヘッド32の中央部から後端側に向かって突出する凸部の面と接触するようになっている。そして、先端電極部材42の外径は、圧電素子41の外径よりも大きくなっている。
後端電極部材43は、全体として独楽状を呈する部材である。より具体的に説明すると、後端電極部材43は、T字状の断面を有しており、先端側の外径よりも後端側の外径が小さくなっている。後端電極部材43は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス鋼等の金属材料によって構成されている。特に後端電極部材43としては圧電素子の熱膨張率に近い、低熱膨張の金属材料が好ましい。後端電極部材43は、先端外部筐体31(第1内部筐体33)の内側に配置されており、後端電極部材43の先端側の面が、圧電素子41の後端側の面と接触するようになっている。後端電極部材43の先端側の面と圧電素子41の後端側の面とは、少なくとも面の一部に隙間を有して接している。これらの面の形状および接触の状態の詳細については後述する。また、後端電極部材43の先端側の外径は、圧電素子41の外径よりもわずかに大きくなっており、後端電極部材43の後端側の外径は、圧電素子41の外径よりも小さくなっている。
絶縁部材44は、中空構造を有し且つ全体として環状(円筒状)を呈する部材である。絶縁部材44は、絶縁性を有するとともに耐熱性が高いアルミナ等のセラミックス材料によって構成されている。絶縁部材44は、先端外部筐体31(第1内部筐体33)の内側且つ後端電極部材43の後端側に配置されており、絶縁部材44の先端側の面が、後端電極部材43の先端側における後端側の面と接触するようになっている。また、絶縁部材44に設けられた貫通孔の先端側には、後端電極部材43の後端側に設けられた凸部が挿入されるようになっている。さらに、絶縁部材44の後端側の面は、第2内部筐体34の先端側の面と接触するようになっている。これにより、先端電極部材42、圧電素子41、後端電極部材43および絶縁部材44は、第1内部筐体33を介して、ダイアフラムヘッド32と第2内部筐体34とによって挟み込まれ、固定されるようになっている。このとき、先端電極部材42、圧電素子41、後端電極部材43および絶縁部材44と、第1内部筐体33の内周面との間には、ギャップが存在していることが望ましい。
コイルばね45は、全体として螺旋状を呈する部材であって、中心線方向に伸縮するようになっている。コイルばね45は、導電性を有するリン青銅等の金属材料によって構成されている。コイルばね45は、先端外部筐体31(第1内部筐体33)の内側であって、絶縁部材44の内部と第2内部筐体34の内部とに跨がって配置されている。このため、コイルばね45の外径は、絶縁部材44に設けられた貫通孔の内径よりも小さくなっている。そして、コイルばね45の先端側は、絶縁部材44の内部において後端電極部材43の後端側の面と接触している。
回路内蔵部材46は、圧電素子41が出力する微弱な電荷による電気信号に処理を施す回路基板50と、回路基板50を内部に収容することで回路基板50を封止する封止部60とを備えている。また、回路内蔵部材46は、回路基板50と電気的に接続される、入力信号電極71、入力接地電極72、受電電極73、出力信号電極74および出力接地電極75をさらに備えている。ここで、入力信号電極71は、回路基板50よりも先端側に設けられており、入力接地電極72、受電電極73、出力信号電極74および出力接地電極75は、回路基板50よりも後端側に設けられている。そして、これら入力信号電極71~出力接地電極75は、それぞれの一端側が封止部60に封止されて回路基板50に接続される一方、それぞれの他端側は封止部60によって覆われることなく外部に露出している。なお、入力信号電極71~出力接地電極75は、それぞれ、導電性を有する板状の金属材料によって構成されている。
接続部材47は、全体として柱状を呈する部材である。接続部材47は、絶縁性を有するPPSあるいはPPT等の合成樹脂材料によって構成された基材と、導電性を有する銅等の金属材料で構成された配線および端子等を含んでいる。接続部材47は、後端外部筐体35の内側に配置されている。接続部材47の先端側には、回路内蔵部材46の後端側が対峙しており、回路内蔵部材46に設けられた受電電極73、出力信号電極74および出力接地電極75の、それぞれの後端側が挿入されている。
閉塞部材48は、全体として柱状を呈する部材である。ただし、閉塞部材48には、中心線方向に沿って3つの貫通孔が形成されている。閉塞部材48は、絶縁性を有するゴム材料で構成されている。閉塞部材48は、その先端側が後端外部筐体35の内側に配置され、その後端側が後端外部筐体35の後端よりも外側に飛び出している。閉塞部材48の先端側は、接続部材47の後端側に対峙している。また、閉塞部材48に設けられた3つの貫通孔には、接続ケーブル80を構成する各電線(詳細は後述する)が挿入されている。閉塞部材48の外径は、後端外部筐体35の後端側(第2内径部35g)の内径よりもわずかに大きくなっており、後端外部筐体35と閉塞部材48とは、圧入(しまりばめ)により一体化している。
接続ケーブル80は、撚り合わせられた電源線81、信号線82および接地線83と、これら電源線81、信号線82および接地線83の外周を覆う被覆部材84と、電源線81、信号線82および接地線83と、被覆部材84との隙間を埋める介在物85とを備えている。そして、電源線81は受電電極73に、信号線82は出力信号電極74に、接地線83は出力接地電極75に、接続部材47を介してそれぞれ接続される。ここで、電源線81、信号線82および接地線83は、それぞれ、錫メッキ軟銅撚り線で構成された導体部と、電子線等を用いて架橋構造を強化してなるポリエチレン(架橋ポリエチレン)等で構成されるとともに導体部の外周を被覆して絶縁する絶縁部とを有している。また、被覆部材84は、絶縁性を有するゴム材料または樹脂材料で構成されている。なお、接続ケーブル80には、必要に応じて、電源線81、信号線82および接地線83を遮へいする遮へい体を設けてもかまわない。
回路内蔵部材46は、上述したように、回路基板50と封止部60とを備えている(図3参照)。また、回路内蔵部材46は、入力信号電極71と、入力接地電極72と、受電電極73と、出力信号電極74と、出力接地電極75とをさらに備えている。
ここで、圧力検出装置20における電気的な接続構造について説明を行う。
(正の経路)
圧力検出装置20において、圧電素子41の後端側の端面(正極)は、後端電極部材43およびコイルばね45と電気的に接続される。また、コイルばね45は、回路内蔵部材46に設けられた入力信号電極71と電気的に接続される。そして、入力信号電極71は、同じ回路内蔵部材46に設けられた回路基板50と電気的に接続される。以下では、圧電素子41の後端側の面から、後端電極部材43、コイルばね45および入力信号電極71を介して、回路基板50に至る電気的な経路を『正の経路』と称する。
一方、圧力検出装置20において、圧電素子41の先端側の端面(負極)は、先端電極部材42、ダイアフラムヘッド32(第1内部筐体33および第2内部筐体34)、先端外部筐体31および後端外部筐体35と電気的に接続される。また、後端外部筐体35は、自身に設けられた内側段差部35hを介して、回路内蔵部材46に設けられた入力接地電極72と電気的に接続される。そして、入力接地電極72は、同じ回路内蔵部材46に設けられた回路基板50と電気的に接続される。以下では、圧電素子41の先端側の面から、先端電極部材42、ダイアフラムヘッド32、先端外部筐体31、後端外部筐体35および入力接地電極72を介して、回路基板50に至る電気的な経路を『負の経路』と称する。なお、圧力検出装置20を、図1に示す内燃機関10のシリンダヘッド13に取り付けた場合、例えば先端外部筐体31(雄ねじ31d)が、連通孔13aの内周面に接触する。このとき、シリンダヘッド13(およびシリンダブロック11)と負の経路とは、略同電位となる。
ここで、本実施の形態の圧力検出装置20では、正の経路の外側に負の経路が存在している。換言すれば、負の経路の内部に正の経路が収容されている。そして、正の経路と負の経路とは、絶縁部材44、封止部60および両経路の間に形成されるエアギャップによって、電気的に絶縁されている。
では、圧力検出装置20による圧力検出動作について説明を行う。
内燃機関10が動作しているとき、ダイアフラムヘッド32の先端側の面(表面)には、燃焼室C内で発生した圧力(燃焼圧)が付与される。ダイアフラムヘッド32では、自身の表面で受けた圧力が裏面へと伝達され、さらに裏面から先端電極部材42へと伝達される。そして、先端電極部材42に伝達された圧力は、先端電極部材42と後端電極部材43とに挟まれた圧電素子41に作用し、圧電素子41では、受けた圧力に応じた電荷が生じる。圧電素子41に生じた電荷は、正の経路および負の経路を介して、回路基板50に電荷信号として供給される。回路基板50に供給された電荷信号は、回路基板50に実装された処理回路において各種処理が施されることで出力信号とされる。そして、回路基板50から出力された出力信号は、接続部材47および接続ケーブル80を介して、制御装置100に送信され、内燃機関10の制御に用いられる。なお、この間、回路基板50に実装された処理回路には、制御装置100から電源電圧が供給されている。
続いて、本実施の形態の圧力検出装置20の製造手順について説明を行う。
(第1構造体の製造)
最初に、ダイアフラムヘッド32の裏面すなわち後端側と、第1内部筐体33の先端側とを対峙させて突き当てる。このとき、ダイアフラムヘッド32の中央部の後端側から突出する凸部は、第1内部筐体33の内部に配置される。そして、この状態で、ダイアフラムヘッド32と第1内部筐体33との境界部に、一周にわたってレーザ溶接を行うことで、第1構造体が得られる。
次に、第1構造体の第1内部筐体33に対し、後端側から、先端電極部材42、圧電素子41、後端電極部材43、絶縁部材44および第2内部筐体34を、この順で挿入する。このとき、先端電極部材42の先端側の面が、ダイアフラムヘッド32の後端側の面に突き当たる。また、このとき、第2内部筐体34の先端側は、第1内部筐体33の内部に収容されるが、その後端側は、第1内部筐体33の後端側からはみ出す。それから、固定される第1構造体に対し、第2内部筐体34に加える中心線方向の力を調整し、圧電素子41にかかる予荷重を目標値に設定する。そして、この状態で、第1内部筐体33と第2内部筐体34との境界部に、一周にわたってレーザ溶接を行うことで、第2構造体が得られる。
次に、第2構造体に対し、後端側から、小径部31aを先端側として先端外部筐体31を装着する。このとき、先端外部筐体31(小径部31a)の先端側の面が、ダイアフラムヘッド32の後端側の面に突き当たる。また、第1内部筐体33、第2内部筐体34、先端電極部材42、圧電素子41、後端電極部材43および絶縁部材44は、先端外部筐体31の内部に収容される。そして、この状態で、ダイアフラムヘッド32と先端外部筐体31との境界部に、一周にわたってレーザ溶接を行うことで、第3構造体が得られる。
また、上述した第1構造体~第3構造体とは別工程にて、回路内蔵部材46(第4構造体)を製造する。なお、回路内蔵部材46の製造は、例えば次のような手順で行われる。まず、入力信号電極71、入力接地電極72、受電電極73、出力信号電極74および出力接地電極75となる部品が形成されたリードフレームと回路基板50とを半田付け等により接続する。そして、各電極71、72、73、74、75が接続された回路基板50を封止部60で封止する。この後、各電極71、72、73、74、75をリードフレームから切り離す。
次に、第4構造体(回路内蔵部材46)の先端側に位置し且つ外部に露出する、入力信号電極71の突出部712の先端側に、コイルばね45をはめ込むことで、第5構造体が得られる。なお、必要に応じて、入力信号電極71とコイルばね45とを、レーザ溶接等により一体化してもかまわない。
次に、上述した第3構造体に対し、後端側から、コイルばね45を先端側として第5構造体を挿入する。これに伴い、回路内蔵部材46を構成する封止部60のうち、一部は先端外部筐体31の内側に配置され、他の一部は外部に露出したままである。そして、封止部60における先端外部筐体31の外部に露出する部位の先端側の面が、挿入に伴って先端外部筐体31(中径部31c)の後端側の面に突き当たることにより、先端外部筐体31に対する回路内蔵部材46の位置決めがなされ、第6構造体が得られる。
次に、第6構造体に対し、後端側から、第1筒状部35aを先端側として後端外部筐体35を装着する。このとき、後端外部筐体35(第1筒状部35a)の先端側の面が、先端外部筐体31(大径部31b)の後端側の面に突き当たる。また、このとき、後端外部筐体35(内側段差部35h)が、回路内蔵部材46に設けられた入力接地電極72の後端側の面に突き当たる。そして、この状態で、先端外部筐体31と後端外部筐体35との境界部に、一周にわたってレーザ溶接を行うことで、第7構造体が得られる。
また、上述した第1構造体~第7構造体とは別工程にて、接続部材47、閉塞部材48および接続ケーブル80をこの順に並べ、閉塞部材48を介して接続部材47と接続ケーブル80とを接続することにより、第8構造体が得られる。
そして、上述した第7構造体に対し、後端側から、接続部材47を先端側として第8構造体を挿入する。そして、回路内蔵部材46に設けられた受電電極73、出力信号電極74および出力接地電極75と、接続部材47とを接続することで、圧力検出装置20と接続ケーブル80とを有する第9構造体(圧力検出装置20と接続ケーブル80との接続体)が得られる。
次に、圧電素子41と先端電極部材42および後端電極部材43との接触構造の詳細について説明する。上述したように、圧電素子41は、第1内部筐体33の内部で、先端電極部材42と後端電極部材43とにより予荷重がかけられた状態で挟まれている。また、圧電素子41には、本実施形態では、圧電素子41の先端側の面と先端電極部材42の後端側の面、および、圧電素子41の後端側の面と後端電極部材43の先端側の面が、それぞれ隙間を有して接している。
図5は、先端電極部材42の接触面の第1の例を示す図であり、図5(A)は第1の例による先端電極部材42の斜視図を示す図、図5(B)は圧電素子41と第1の例による先端電極部材42との接触状態を示す図である。第1の例は、先端電極部材42の接触面42aを尾根状の凸面とした例である。図5(A)において、破線42bで示した部位が接触面42aにおける尾根の部分である。図示のように、第1の例では、凸面である接触面42aの最も高い部分が一つの直径に沿って連続する尾根となっている。図5(B)は、接触面41a、42aを接触させた圧電素子41および先端電極部材42を、接触面42aの尾根を形成する直径方向に沿って見た状態を示している。
図6は、先端電極部材42の接触面の第2の例を示す図であり、図6(A)は第2の例による先端電極部材42の斜視図を示す図、図6(B)は圧電素子41と第2の例による先端電極部材42との接触状態を示す図である。第2の例は、先端電極部材42の接触面42aを山形の凸面とした例である。図6(A)において、破線42cで示した部位が接触面42aにおける頂部である。図示のように、第2の例では、凸面である接触面42aの中心が最も高い部位となっている。図6(B)は、接触面41a、42aを接触させた圧電素子41および先端電極部材42を、側方から見た状態を示している。
図7は、先端電極部材42の接触面の第3の例を示す図であり、図7(A)は第3の例による先端電極部材42の斜視図を示す図、図7(B)は圧電素子41と第3の例による先端電極部材42との接触状態を示す図である。第3の例は、先端電極部材42の接触面42aを谷状の凹面とした例である。図7(A)において、破線42dで示した部位が接触面42aにおける谷の底の部分である。図示のように、第3の例では、凹面である接触面42aの最も低い部分が一つの直径に沿って連続する谷となっている。図7(B)は、接触面41a、42aを接触させた圧電素子41および先端電極部材42を、接触面42aの谷の最も低い部位を形成する直径方向に沿って見た状態を示している。
図8は、先端電極部材42の接触面の第4の例を示す図であり、図8(A)は第4の例による先端電極部材42の斜視図を示す図、図8(B)は圧電素子41と第4の例による先端電極部材42との接触状態を示す図である。第4の例は、先端電極部材42の接触面42aをすり鉢形の凹面とした例である。図8(A)において、破線42eで示した部位が接触面42aにおける底部である。図示のように、第4の例では、凹面である接触面42aの中心が最も低い部位となっている。図8(B)は、接触面41a、42aを接触させた圧電素子41および先端電極部材42を、中心線(図2参照)を含む面で切った断面を示している。
以上、図5乃至図8を参照して、先端電極部材42の接触面42aに関する第1乃至第4の例を説明したが、本実施形態における接触面42aの形状は、上記の例には限定されない。本実施形態は、圧電素子41の接触面41aと先端電極部材42の接触面42aとが隙間を有して接していれば良く、接触面41aと接触面42aとが異なる形状であれば良い。例えば、上記の第1乃至第4の例では、先端電極部材42の接触面42aを全体が湾曲した凸面や凹面としたが、第1の例における尾根、第2の例における頂部、第3の例における谷底、第4の例における底部は、適当な広さの平面としても良い。また、上記の第1乃至第4の例では、先端電極部材42の接触面42aを全体的に単純な凸面や凹面としたが、凸面と凹面とが組み合わされた、例えば波打つような形状の面等としても良い。
Claims (6)
- 圧力を受けて電荷を発生させる圧電素子と、
前記圧電素子の電荷が発生する面と対向する接触面を有する電極部材と、
前記圧電素子および前記電極部材を収容する筐体と、を備え、
前記電極部材の前記接触面は、一の直径に沿う部位が他の部位よりも高い凸面であり、
前記電極部材の前記接触面の一部において、当該接触面と前記圧電素子との間に隙間を有することを特徴とする圧力検出装置。 - 前記圧電素子は圧電単結晶であり、前記圧電単結晶における格子定数が最も小さな結晶軸が、前記凸面と直交することを特徴とする、請求項1に記載の圧力検出装置。
- 圧力を受けて電荷を発生させる圧電素子と、
前記圧電素子の電荷が発生する面と対向する接触面を有する電極部材と、
前記圧電素子および前記電極部材を収容する筐体と、を備え、
前記電極部材の前記接触面は、予め定められた深さ以内の凹面であり、
前記電極部材の前記接触面の一部において、当該接触面と前記圧電素子との間に隙間を有することを特徴とする圧力検出装置。 - 前記電極部材の前記接触面は、一の直径に沿う部位が他の部位よりも低い凹面であることを特徴とする、請求項3に記載の圧力検出装置。
- 前記電極部材の前記接触面は、中央が最も低い凹面であることを特徴とする、請求項4に記載の圧力検出装置。
- 前記隙間は、前記電極部材の前記接触面において、当該接触面の中央を含む領域に設けられることを特徴とする、請求項3に記載の圧力検出装置。
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