JP7686827B2

JP7686827B2 - 半導体装置

Info

Publication number: JP7686827B2
Application number: JP2024047811A
Authority: JP
Inventors: 舜平山崎; 健一岡崎; 正美神長; 貴弘井口; 行徳島
Original assignee: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Current assignee: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date: 2018-03-29
Filing date: 2024-03-25
Publication date: 2025-06-02
Anticipated expiration: 2039-03-15
Also published as: WO2019186315A1; US20210028313A1; JP2023060345A; JP7462087B2; US20230020210A1; JP7245230B2; US11482626B2; JPWO2019186315A1; JP2024081709A; US12278292B2

Description

本発明の一態様は、半導体装置に関する。本発明の一態様は、表示装置に関する。本発
明の一態様は、半導体装置、または表示装置の作製方法に関する。

なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する本発
明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置
、電子機器、照明装置、入力装置、入出力装置、それらの駆動方法、又はそれらの製造方
法、を一例として挙げることができる。半導体装置は、半導体特性を利用することで機能
しうる装置全般を指す。

トランジスタに適用可能な半導体材料として、金属酸化物を用いた酸化物半導体が注目
されている。例えば、特許文献１では、複数の酸化物半導体層を積層し、当該複数の酸化
物半導体層の中で、チャネルとなる酸化物半導体層がインジウム及びガリウムを含み、且
つインジウムの割合をガリウムの割合よりも大きくすることで、電界効果移動度（単に移
動度、またはμＦＥという場合がある）を高めた半導体装置が開示されている。

半導体層に用いることのできる金属酸化物は、スパッタリング法などを用いて形成でき
るため、大型の表示装置を構成するトランジスタの半導体層に用いることができる。また
、多結晶シリコンや非晶質シリコンを用いたトランジスタの生産設備の一部を改良して利
用することが可能なため、設備投資を抑えられる。また、金属酸化物を用いたトランジス
タは、非晶質シリコンを用いた場合に比べて高い電界効果移動度を有するため、駆動回路
を設けた高性能の表示装置を実現できる。

また、特許文献２には、ソース領域およびドレイン領域に、アルミニウム、ホウ素、ガ
リウム、インジウム、チタン、シリコン、ゲルマニウム、スズ、および鉛からなる群のう
ちの少なくとも一種をドーパントとして含む低抵抗領域を有する酸化物半導体膜が適用さ
れた薄膜トランジスタが開示されている。

特開２０１４－７３９９号公報特開２０１１－２２８６２２号公報

本発明の一態様は、電気特性の良好な半導体装置を提供することを課題の一とする。特
に、大きな電流を流すことのできる半導体装置を提供することを課題の一とする。または
、電気特性の安定した半導体装置を提供することを課題の一とする。または、信頼性の高
い半導体装置を提供することを課題の一とする。または、信頼性の高い表示装置を提供す
ることを課題の一とする。

なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の
一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課
題は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。

本発明の一態様は、半導体層と、第１の絶縁層と、第２の絶縁層と、第３の絶縁層と、
第１の導電層と、を有する半導体装置である。半導体層は、第１の絶縁層上に設けられる
。第１の絶縁層は、半導体層と重なる一部が厚さ方向に突出した形状を有し、且つ、半導
体層と重なる第１の領域と、半導体層と重ならず、第１の領域よりも薄い第２の領域と、
を有する。第２の絶縁層は、第２の領域の上面、第１の領域の側面、並びに半導体層の上
面及び側面を覆って設けられる。第１の導電層は、第２の絶縁層上に設けられ、且つ、第
２の領域上における下面が、半導体層の下面よりも低く位置する部分を有する。半導体層
は、第２の絶縁層及び第１の導電層と重なる第３の領域と、第１の導電層及び第２の絶縁
層と重ならない第４の領域と、を有する。第３の絶縁層は、半導体層の第４の領域と接し
て設けられる。半導体層は、金属酸化物を含み、第３の絶縁層は、窒化物を含む。

また、上記において、第１の絶縁層は、第１の領域の厚さが、第２の領域の厚さの１．
２倍以上１０倍以下であることが好ましい。

また、上記において、第１の絶縁層は、第１の領域の側面が、半導体層の下端部と接す
る部分から第２の領域にかけて、勾配が連続的に変化する形状を有することが好ましい。

また、上記において、第１の導電層は、その上面が半導体層の下面よりも低く位置する
部分を有することが好ましい。

また、上記において、半導体層は、第１の金属酸化物膜と、第２の金属酸化物膜とがこ
の順に積層された積層構造を有することが好ましい。このとき、第２の金属酸化物膜は、
第１の金属酸化物膜よりも結晶性が高いことが好ましい。

または、上記において、半導体層は、第１の金属酸化物膜と、第２の金属酸化物膜とを
有することが好ましい。このとき、第１の金属酸化物膜は、第１の領域上に位置し、第２
の金属酸化物膜は、第１の領域の側面、並びに第１の金属酸化物膜の側面及び上面に接し
て設けられることが好ましい。さらに、第２の金属酸化物膜は、第１の金属酸化物膜より
も結晶性が高いことが好ましい。

また、上記において、第３の絶縁層は、アルミニウム、チタン、タンタル、タングステ
ン、クロム、またはルテニウムから選ばれる一以上の元素と、窒素とを含むことが好まし
い。このとき、半導体層の第４の領域は、金属状態のインジウムが存在することが好まし
い。

または、上記において、第３の絶縁層は、シリコンと、窒素と、水素と、を含むことが
好ましい。

また、上記において、第１の導電層の、半導体層と重畳する領域におけるチャネル長方
向の長さが、２μｍ以上３μｍ以下であることが好ましい。

また、上記において、半導体層の、第１の導電層に覆われる領域におけるチャネル幅方
向の長さが、１μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましい。

また、本発明の他の一態様は、酸化物を含む第１の絶縁層を形成する第１の工程と、第
１の絶縁層上に、金属酸化物膜を成膜する第２の工程と、金属酸化物膜上にレジストマス
クを形成し、当該レジストマスクに覆われない金属酸化物膜の一部をエッチングして半導
体層を形成すると共に、第１の絶縁層の一部を露出させる第３の工程と、レジストマスク
に覆われない第１の絶縁層の一部をエッチングして薄膜化し、半導体層と重なる第１の領
域と、半導体層と重ならない第２の領域と、を形成する第４の工程と、レジストマスクを
除去する第５の工程と、半導体層、第１の領域の側面、及び第２の領域の上面を覆う第２
の絶縁層と、当該第２の絶縁層上に、下面が半導体層の下面よりも低く位置する第１の導
電層と、を形成する第６の工程と、半導体層の、第１の導電層に覆われない部分に接して
、窒化物を含む第１の層を形成した後に、加熱処理を行なう第７の工程と、を有する、半
導体装置の作製方法である。

また、上記において、第１の層は、アルミニウム、チタン、タンタル、タングステン、
クロム、またはルテニウムから選ばれる一以上の元素と、窒素とを含むように形成するこ
とが好ましい。

または、上記において、第１の層は、シリコンと、窒素と、水素とを含むように形成す
ることが好ましい。

本発明の一態様によれば、電気特性の良好な半導体装置を提供できる。または、大きな
電流を流すことのできる半導体装置を提供できる。または、電気特性の安定した半導体装
置を提供できる。または、信頼性の高い半導体装置を提供できる。または、信頼性の高い
表示装置を提供できる。

なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の
一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果
は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。

（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）半導体装置の構成例。（Ａ）、（Ｂ）半導体装置の構成例。（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）半導体装置の構成例。（Ａ）、（Ｂ）半導体装置の構成例。（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）半導体装置の構成例。（Ａ）、（Ｂ）半導体装置の作製方法を説明する図。（Ａ）、（Ｂ）半導体装置の作製方法を説明する図。（Ａ）、（Ｂ）半導体装置の作製方法を説明する図。（Ａ）、（Ｂ）半導体装置の作製方法を説明する図。（Ａ）、（Ｂ）半導体装置の作製方法を説明する図。（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）表示装置の上面図。表示装置の断面図。表示装置の断面図。表示装置の断面図。表示装置の断面図。（Ａ）表示装置のブロック図、（Ｂ）、（Ｃ）回路図。（Ａ）、（Ｃ）、（Ｄ）表示装置の回路図、（Ｂ）タイミングチャート。（Ａ）、（Ｂ）表示モジュールの構成例。（Ａ）、（Ｂ）電子機器の構成例。（Ａ）乃至（Ｅ）電子機器の構成例。（Ａ）乃至（Ｇ）電子機器の構成例。（Ａ）乃至（Ｄ）電子機器の構成例。

以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。ただし、実施の形態は多くの
異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形
態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明
は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。

また、本明細書で説明する各図において、各構成の大きさ、層の厚さ、または領域は、
明瞭化のために誇張されている場合がある。

また、本明細書にて用いる「第１」、「第２」、「第３」という序数詞は、構成要素の
混同を避けるために付したものであり、数的に限定するものではない。

また、本明細書において、「上に」、「下に」などの配置を示す語句は、構成同士の位
置関係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている。また、構成同士の位置関
係は、各構成を描写する方向に応じて適宜変化するものである。従って、明細書で説明し
た語句に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。

また、本明細書等において、トランジスタが有するソースとドレインの機能は、異なる
極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合など
には入れ替わることがある。このため、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いるこ
とができるものとする。

なお、本明細書等において、トランジスタのチャネル長方向とは、ソース領域とドレイ
ン領域間を最短距離で結ぶ直線に平行な方向のうちの１つをいう。すなわち、チャネル長
方向は、トランジスタがオン状態のときに半導体層を流れる電流の方向のうちの１つに相
当する。また、チャネル幅方向とは、当該チャネル長方向に直交する方向をいう。なお、
トランジスタの構造や形状によっては、チャネル長方向及びチャネル幅方向は１つに定ま
らない場合がある。

また、本明細書等において、「電気的に接続」には、「何らかの電気的作用を有するも
の」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するも
の」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない
。例えば、「何らかの電気的作用を有するもの」には、電極や配線をはじめ、トランジス
タなどのスイッチング素子、抵抗素子、インダクタ、キャパシタ、その他の各種機能を有
する素子などが含まれる。

また、本明細書等において、「膜」という用語と、「層」という用語とは、互いに入れ
替えることが可能である。例えば、「導電層」や「絶縁層」という用語は、「導電膜」や
「絶縁膜」という用語に相互に交換することが可能な場合がある。

また、本明細書等において、特に断りがない場合、オフ電流とは、トランジスタがオフ
状態（非導通状態、遮断状態、ともいう）にあるときのドレイン電流をいう。オフ状態と
は、特に断りがない場合、ｎチャネル型トランジスタでは、ゲートとソースの間の電圧Ｖ
_ｇｓがしきい値電圧Ｖ_ｔｈよりも低い（ｐチャネル型トランジスタでは、Ｖ_ｔｈよりも高
い）状態をいう。

本明細書等において、表示装置の一態様である表示パネルは表示面に画像等を表示（出
力）する機能を有するものである。したがって表示パネルは出力装置の一態様である。

また、本明細書等では、表示パネルの基板に、例えばＦＰＣ（ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒ
ｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）もしくはＴＣＰ（ＴａｐｅＣａｒｒｉｅｒＰａｃｋａ
ｇｅ）などのコネクターが取り付けられたもの、または基板にＣＯＧ（ＣｈｉｐＯｎ
Ｇｌａｓｓ）方式等によりＩＣが実装されたものを、表示パネルモジュール、表示モジュ
ール、または単に表示パネルなどと呼ぶ場合がある。

なお、本明細書等において、表示装置の一態様であるタッチパネルは表示面に画像等を
表示する機能と、表示面に指やスタイラスなどの被検知体が触れる、押圧する、または近
づくことなどを検出するタッチセンサとしての機能と、を有する。したがってタッチパネ
ルは入出力装置の一態様である。

タッチパネルは、例えばタッチセンサ付き表示パネル（または表示装置）、タッチセン
サ機能つき表示パネル（または表示装置）とも呼ぶことができる。タッチパネルは、表示
パネルとタッチセンサパネルとを有する構成とすることもできる。または、表示パネルの
内部または表面にタッチセンサとしての機能を有する構成とすることもできる。

また、本明細書等では、タッチパネルの基板に、コネクターやＩＣが実装されたものを
、タッチパネルモジュール、表示モジュール、または単にタッチパネルなどと呼ぶ場合が
ある。

（実施の形態１）
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置、表示装置、およびその作製方法につ
いて説明する。

本発明の一態様は、第１の絶縁層上に、チャネルが形成される半導体層と、半導体層上
にゲート絶縁層と、ゲート絶縁層上にゲート電極として機能する導電層（第１の導電層と
もいう）と、を有するトランジスタである。半導体層は、半導体特性を示す金属酸化物（
以下、酸化物半導体ともいう）を含んで構成されることが好ましい。

第１の絶縁層は、半導体層と重畳する第１の領域と、それ以外の第２の領域とを有する
。また第１の絶縁層は、第１の領域の厚さが、第２の領域の厚さよりも厚い。言い換える
と、第１の領域が第２の領域よりも厚さ方向に突出した凸部を有する。このとき、半導体
層は、第１の絶縁層の第１の領域の凸部の上に設けられる。

また、第１の絶縁層の第１の領域の側面（すなわち、凸部の外縁部）は、テーパ形状を
有することが好ましい。このとき、第１の領域の側面と第２の領域の上面との成す角が、
９０°より大きく１８０°未満、好ましくは１００°以上１７０°以下、より好ましくは
１１０°以上１６０°以下とする。これにより、第１の領域の側面を覆うゲート絶縁層の
被覆性を向上できるため、この部分の厚さが薄くなることを抑制することができる。

また、第１の絶縁層の第１の領域の側面は、半導体層の下端部と接する部分から、第２
の領域にかけて、連続的に勾配が変化する形状とすることが好ましい。これにより、半導
体層及び第１の絶縁層を覆うゲート絶縁層、ゲート電極、また後述する第１の層等の被覆
性をさらに向上させることができる。

また、ゲート絶縁層及びゲート電極は、トランジスタのチャネル幅方向において、半導
体層の上面及び側面、ならびに第１の絶縁層の第１の領域の側面、及び第２の領域の上面
を覆って設けられる。このとき、第２の領域と重なる部分におけるゲート電極の下面が、
第１の領域上の半導体層の下面よりも下側に位置することが好ましい。これにより、ゲー
ト電極に電圧を印加した時に生じる電界が、半導体層の上面側からだけでなく、側面側、
及び斜め下方側からも作用し、当該電界で半導体層を電気的に取り囲むことができる。し
たがって、半導体層にチャネルを誘起させるための電界を、より効果的に印加することが
できるため、トランジスタの電界効果移動度が向上し、オン電流を増大させることができ
る。

第１の絶縁層の、第１の領域と第２の領域との厚さの差は、ゲート絶縁層の厚さ等を考
慮して制御することができる。第１の領域と第２の領域との厚さの差は、少なくともゲー
ト絶縁層の厚さよりも大きくする。また、半導体層と、ゲート電極との間に、ゲート絶縁
層以外の層を設ける場合には、その層の厚さも考慮して、第２の領域を薄く加工すること
が好ましい。

例えば、第１の領域の厚さは、第２の領域の厚さの１．２倍以上、好ましくは１．５倍
以上、より好ましくは２倍以上、さらに好ましくは２．５倍以上であって、１０倍以下の
厚さとすることができる。

または、第１の領域の厚さと、第２の領域の厚さの差が、ゲート絶縁層の厚さの１倍以
上、好ましくは１．２倍以上、より好ましくは１．５倍以上、さらに好ましくは２倍以上
であって、２０倍以下となるように、第１の絶縁層が加工されていることが好ましい。

第１の絶縁層の形成方法の例について説明する。まず、第１の絶縁層となる絶縁膜上に
半導体層となる金属酸化物膜を成膜し、当該金属酸化物膜上にレジストマスクを形成して
、当該レジストマスクに覆われない金属酸化物膜の一部をエッチングして半導体層を形成
する。続いて、第１の絶縁層となる絶縁膜の、上記レジストマスクに覆われない部分をエ
ッチングにより薄膜化することで、半導体層と重畳する第１の領域と、これよりも厚さの
薄い第２の領域とを形成することができる。このとき、第２の領域が消失しない程度にエ
ッチングすることが重要である。

なお、第１の絶縁層を２以上の絶縁膜を積層した積層構造とし、第２の領域は、第１の
絶縁層の上部に位置する１以上の絶縁膜を除去した構成としてもよい。

ここで、金属酸化物膜のエッチングにウェットエッチング法を用い、第１の絶縁層とな
る絶縁膜のエッチングには、異方性のドライエッチング法を用いることが好ましい。また
は、金属酸化物膜と、第１の絶縁層となる絶縁膜とを、ドライエッチング法により連続し
てエッチングしてもよい。

半導体層のゲート電極に覆われる領域は、チャネル形成領域として機能する。一方、ゲ
ート電極に覆われない領域は、ソース領域またはドレイン領域として機能し、チャネル形
成領域よりも低抵抗な領域（以下、低抵抗領域ともいう）とすることが好ましい。そこで
、半導体層のゲート電極に覆われない部分に、半導体層を低抵抗化させることのできる第
１の層（第３の絶縁層ともいう）を接して設けることが好ましい。

例えば、半導体層の低抵抗領域は、当該低抵抗領域を覆って、第１の層を形成した状態
で加熱処理を施すことで、低抵抗化された領域であることが好ましい。

第１の層としては、アルミニウム、チタン、タンタル、タングステン、クロム、及びル
テニウムなどの金属元素の少なくとも一を含む膜を用いることができる。特に、アルミニ
ウム、チタン、タンタル、及びタングステンの少なくとも一を含むことが好ましい。また
は、これら金属元素を少なくとも一を含む窒化物、またはこれら金属元素の少なくとも一
を含む酸化物を好適に用いることができる。

例えば、窒化アルミニウム膜、窒化アルミニウムチタン膜、窒化チタン膜などの窒化物
膜や、酸化アルミニウムチタン膜などの酸化物膜などを好適に用いることができる。また
は、タングステン膜、チタン膜などの金属膜を用いてもよい。

例えば窒化アルミニウムチタン膜を用いる場合、組成式がＡｌＴｉＮ_ｘ（ｘは０より大
きく３以下の実数）、または組成式がＡｌＴｉ_ｘＮ_ｙ（ｘは０より大きく２以下の実数、
ｙは０より大きく４以下の実数）を満たす膜を用いることがより好ましい。

また、加熱処理の温度は高いほど低抵抗領域の低抵抗化が促進されるため好ましい。加
熱処理の温度は、ゲート電極の耐熱性などを考慮して決定すればよい。例えば、１５０℃
以上５００℃以下、好ましくは２００℃以上４５０℃以下、より好ましくは２５０℃以上
４５０℃以下、さらに好ましくは３００℃以上４００℃以下の温度とすることができる。
例えば加熱処理の温度を３５０℃程度とすることで、大型のガラス基板を用いた生産設備
で歩留り良く半導体装置を生産することができる。

半導体層の一部に第１の層を接して設けた状態で、加熱処理を行うことで、半導体層中
の酸素が第１の層に吸引され、半導体層中に酸素欠損を多く形成することができる。これ
により、極めて低抵抗な低抵抗領域を形成することができる。

このように形成された低抵抗領域は、後の処理で高抵抗化しにくいといった特徴を有す
る。例えば、酸素を含む雰囲気下での加熱処理や、酸素を含む雰囲気下での成膜処理など
を行っても、低抵抗領域の導電性が損なわれる恐れがないため、電気特性が良好で、且つ
信頼性の高いトランジスタを実現できる。

また、加熱処理を経た後の第１の層が導電性を有する場合には、加熱処理後に第１の層
を除去することが好ましい。一方、第１の層が絶縁性を有する場合には、これを残存させ
ることで第１の層を保護絶縁膜（第３の絶縁層）として機能させることができる。

特に、上述した窒化アルミニウム、または窒化アルミニウムチタン膜は絶縁性に優れた
膜であるため、残存させることが好ましい。

または、低抵抗領域は、チャネル形成領域よりも水素を多く含む領域としてもよい。こ
れにより、低抵抗領域を、チャネル形成領域よりも低抵抗な状態とすることができる。こ
れにより、チャネル形成領域はキャリア密度が極めて低く、ソース領域及びドレイン領域
は極めて低抵抗な状態となるため、電気特性に優れたトランジスタを実現できる。

低抵抗領域に水素を供給する方法としては、例えば、第１の層として水素を含む膜（第
３の絶縁層）を半導体層の一部に接して設け、その状態で加熱処理を行なうことが好まし
い。これにより、低抵抗領域の水素濃度を、チャネル形成領域よりも高くすることができ
る。

第１の層としては、例えばシリコンと、水素と、窒素とを含む絶縁膜を用いることが特
に好ましい。より具体的には、プラズマＣＶＤ法により成膜された、水素を含む窒化シリ
コン膜（ＳｉＮ：Ｈとも表記する）を用いることが好ましい。

なお、低抵抗領域に水素を供給する方法は上記に限られず、例えばゲート電極をマスク
として、イオンドーピング法やイオン注入法、水素を含む雰囲気下における加熱処理など
の方法により、半導体層に水素を供給してもよい。

ここで、第１の絶縁層は、加熱により酸素を放出しうる膜であることが好ましい。この
とき、半導体層の下部に位置する第１の領域から、加熱により半導体層のチャネル形成領
域に酸素を供給することができる。

さらに、第１の層（第３の絶縁層）は、半導体層の低抵抗領域を覆うだけでなく、トラ
ンジスタのチャネル長方向において、半導体層の低抵抗領域よりも外側に位置する、第１
の絶縁層の第１の領域の側面を覆って設けられることが好ましい。上述した第１の層は、
酸素を透過しにくい性質を有するため、第１の領域に含まれる酸素が、その側面から外方
拡散することを防ぐことができる。これにより、半導体層のチャネル形成領域に多くの酸
素を供給することができ、チャネル形成領域中のキャリア密度が低減し、信頼性の高いト
ランジスタを実現できる。

このような構成を有する本発明の一態様のトランジスタは、良好な電気特性と、高い信
頼性を兼ね備えたトランジスタである。

以下では、より具体的な例について、図面を参照して説明する。

［構成例１］
図１（Ａ）は、トランジスタ１００の上面図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す
一点鎖線Ａ１－Ａ２における切断面の断面図に相当し、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）に示す
一点鎖線Ｂ１－Ｂ２における切断面の断面図に相当する。なお、図１（Ａ）において、ト
ランジスタ１００の構成要素の一部（絶縁層等）を省略して図示している。また、一点鎖
線Ａ１－Ａ２方向はチャネル長方向、一点鎖線Ｂ１－Ｂ２方向はチャネル幅方向に相当す
る。また、トランジスタの上面図については、以降の図面においても図１（Ａ）と同様に
、構成要素の一部を省略して図示するものとする。

トランジスタ１００は、基板１０２上に設けられ、絶縁層１０３、半導体層１０８、絶
縁層１１０、金属酸化物層１１４、導電層１１２、絶縁層１１６、絶縁層１１８等を有す
る。島状の半導体層１０８は、絶縁層１０３上に設けられる。絶縁層１１０、金属酸化物
層１１４、及び導電層１１２は、この順に半導体層１０８の一部、及び絶縁層１０３の一
部を覆って積層されている。また絶縁層１１０、金属酸化物層１１４、及び導電層１１２
は、平面視において、上面形状が概略一致するように設けられている。絶縁層１１６は、
導電層１１２の上面及び側面、金属酸化物層１１４の側面、絶縁層１１０の上面及び側面
、半導体層１０８の上面及び側面、並びに絶縁層１０３の表面を覆って設けられている。
絶縁層１１８は、絶縁層１１６を覆って設けられている。

なお、本明細書等において「上面形状が概略一致」とは、積層した層と層との間で少な
くとも輪郭の一部が重なることをいう。例えば、上層と下層とが、同一のマスクパターン
、または一部が同一のマスクパターンにより加工された場合を含む。ただし、厳密には輪
郭が重なり合わず、上層が下層の内側に位置することや、上層が下層の外側に位置するこ
ともあり、この場合も「上面形状が概略一致」という。

導電層１１２の一部は、ゲート電極として機能する。絶縁層１１０の一部は、ゲート絶
縁層として機能する。半導体層１０８の導電層１１２と重畳する部分は、チャネル形成領
域として機能する。トランジスタ１００は、半導体層１０８上にゲート電極が設けられる
、いわゆるトップゲート型のトランジスタである。

また、図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、トランジスタ１００は、絶縁層１１８上に導
電層１２０ａ及び導電層１２０ｂを有していてもよい。導電層１２０ａ及び導電層１２０
ｂはソース電極またはドレイン電極として機能する。導電層１２０ａ及び導電層１２０ｂ
は、それぞれ絶縁層１１８及び絶縁層１１６に設けられた開口部１４１ａまたは開口部１
４１ｂを介して、後述する領域１０８Ｎに電気的に接続される。

半導体層１０８は、金属酸化物を含むことが好ましい。

例えば半導体層１０８は、インジウムと、Ｍ（Ｍは、ガリウム、アルミニウム、シリコ
ン、ホウ素、イットリウム、スズ、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル
、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウ
ム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムから選ばれた一種または複数種）と、
亜鉛と、を有すると好ましい。特にＭはアルミニウム、ガリウム、イットリウム、または
スズから選ばれた一種または複数種とすることが好ましい。

特に、半導体層１０８として、インジウム、ガリウム、及び亜鉛を含む酸化物を用いる
ことが好ましい。

半導体層１０８として、組成の異なる層、または結晶性の異なる層、または不純物濃度
の異なる層を積層した積層構造としてもよい。

絶縁層１１０と導電層１１２との間に位置する金属酸化物層１１４は、絶縁層１１０に
含まれる酸素が導電層１１２側に拡散することを防ぐバリア膜として機能する。さらに金
属酸化物層１１４は、導電層１１２に含まれる水素や水が絶縁層１１０側に拡散すること
を防ぐバリア膜としても機能する。金属酸化物層１１４は、例えば少なくとも絶縁層１１
０よりも酸素及び水素を透過しにくい材料を用いることができる。

導電層１１２にアルミニウムや銅などの酸素を吸引しやすい金属材料を用いた場合であ
っても、金属酸化物層１１４により、絶縁層１１０から導電層１１２へ酸素が拡散するこ
とを防ぐことができる。また、導電層１１２が水素を含む場合であっても、導電層１１２
から絶縁層１１０を介して半導体層１０８へ水素が拡散することを防ぐことができる。そ
の結果、半導体層１０８のチャネル形成領域におけるキャリア密度を極めて低いものとす
ることができる。

金属酸化物層１１４としては、絶縁性材料または導電性材料を用いることができる。金
属酸化物層１１４が絶縁性を有する場合には、ゲート絶縁層の一部として機能する。一方
、金属酸化物層１１４が導電性を有する場合には、ゲート電極の一部として機能する。

金属酸化物層１１４として、酸化シリコンよりも誘電率の高い絶縁性材料を用いること
が好ましい。特に、酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、またはハフニウムアルミネ
ート膜等を用いると、駆動電圧を低減できるため好ましい。

金属酸化物層１１４として、例えば酸化インジウム、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）
、またはシリコンを含有したインジウムスズ酸化物（ＩＴＳＯ）などの、導電性酸化物を
用いることもできる。特にインジウムを含む導電性酸化物は、導電性が高いため好ましい
。

また、金属酸化物層１１４として、半導体層１０８と同一の元素を一以上含む酸化物材
料を用いることが好ましい。特に、上記半導体層１０８に適用可能な酸化物半導体材料を
用いることが好ましい。このとき、金属酸化物層１１４として、半導体層１０８と同じス
パッタリングターゲットを用いて形成した金属酸化物膜を適用することで、装置を共通化
できるため好ましい。

または、半導体層１０８と金属酸化物層１１４の両方に、インジウム及びガリウムを含
む金属酸化物材料を用いる場合、半導体層１０８に用いられる材料よりもガリウムの組成
（含有割合）が高い材料を金属酸化物層１１４に用いると、酸素に対するブロッキング性
をより高めることができるため好ましい。このとき、半導体層１０８には、金属酸化物層
１１４に用いられる材料よりもインジウムの組成が高い材料を用いることで、トランジス
タ１００の電界効果移動度を高めることができる。

また、金属酸化物層１１４は、スパッタリング装置を用いて形成すると好ましい。例え
ば、スパッタリング装置を用いて酸化物膜を形成する場合、酸素ガスを含む雰囲気で形成
することで、絶縁層１１０や半導体層１０８中に好適に酸素を添加することができる。

半導体層１０８は、絶縁層１１０を介して導電層１１２と重なる、チャネル形成領域を
有する。また、半導体層１０８は、当該チャネル形成領域を挟む一対の領域１０８Ｎを有
する。領域１０８Ｎは、チャネル形成領域よりも低抵抗な領域であり、トランジスタ１０
０のソース領域またはドレイン領域として機能する。

絶縁層１０３は、半導体層１０８と重畳する領域１０３ａと、半導体層１０８と重畳し
ない領域１０３ｂと、を有する。絶縁層１０３は、領域１０３ａが、領域１０３ｂよりも
厚さ方向に突出した形状を有する。領域１０３ａは凸部ともいうことができる。

絶縁層１０３の領域１０３ａは、領域１０３ｂよりも厚さが厚い領域である。また、領
域１０３ａの側面（絶縁層１０３の凸部の外縁部）は、半導体層１０８の下端部と接する
部分から、領域１０３ｂにかけて、テーパ形状を有することが好ましい。このとき、領域
１０３ａの側面と、領域１０３ｂの上面との成す角が鈍角であることが好ましい。より具
体的には、領域１０３ａの側面と、領域１０３ｂの上面との成す角が、９０°より大きく
１８０°未満、好ましくは１００°以上１７０°以下、より好ましくは１１０°以上１６
０°以下であることが好ましい。これにより、絶縁層１０３よりも上方に位置する膜（例
えば絶縁層１１０、金属酸化物層１１４、導電層１１２、絶縁層１１６等）の被覆性を向
上させることができ、これらに低密度な領域（鬆ともいう）が形成されにくくなるため、
トランジスタ１００の信頼性を高めることができる。

さらに、領域１０３ａの側面は、その上端部（半導体層１０８の下端部と接する部分の
近傍）から、領域１０３ｂの上面にかけて、連続的に勾配が変化する形状を有することが
好ましい。このように、領域１０３ａの側面がなだらかな曲面形状を有し、且つ、領域１
０３ａの側面と領域１０３ｂの上面とが連続的につながる形状を有することで、絶縁層１
０３の上方に位置する膜の被覆性をより高めることができる。

図１（Ｃ）に示すように、チャネル幅方向において、絶縁層１１０、金属酸化物層１１
４、及び導電層１１２は、半導体層１０８の上面及び側面、ならびに絶縁層１０３の領域
１０３ａの側面及び領域１０３ｂの上面を覆って設けられる。

図２（Ａ）は、図１（Ｃ）の一部の拡大図である。図２（Ａ）には、厚さｔ１乃至ｔ４
と、高さｈ１乃至ｈ４をそれぞれ示している。

厚さｔ１は、領域１０３ａの厚さであり、厚さｔ２は、領域１０３ｂの厚さである。ま
た、厚さｔ３は、領域１０３ｂと重畳する部分における、絶縁層１１０及び金属酸化物層
１１４の総厚である。また、厚さｔ４は、領域１０３ｂと重畳する部分における、絶縁層
１１０、金属酸化物層１１４、及び導電層１１２の総厚である。

ここで、領域１０３ａの厚さと、領域１０３ｂの厚さの差分を差分ｄ１とすると、「ｄ
１＝ｔ１－ｔ２」で表される。このとき、図２（Ａ）に示すように、差分ｄ１は、厚さｔ
３よりも大きいことが好ましい。また、差分ｄ１は、厚さｔ４よりも大きいことがより好
ましい。

一方、高さｈ１乃至ｈ４は、それぞれ絶縁層１０３の領域１０３ａの底面の高さを基準
とすることとする。高さｈ１は、半導体層１０８の下面（絶縁層１０３と半導体層１０８
とが接する場合には、これらの界面）の高さである。高さｈ２は、領域１０３ｂの上面（
絶縁層１０３と絶縁層１１０とが接する場合には、これらの界面）の高さである。高さｈ
３は、領域１０３ｂと重畳する部分における、導電層１１２の底面（導電層１１２と金属
酸化物層１１４とが接する場合には、これらの界面）の高さである。高さｈ４は、領域１
０３ｂと重畳する部分における、導電層１１２の上面（導電層１１２と絶縁層１１６とが
接する場合には、これらの界面）の高さである。

このとき、図２（Ａ）に示すように、半導体層１０８の下面の高さｈ１は、導電層１１
２の下面の高さｈ３よりも高いことが好ましい。また、高さｈ１は、導電層１１２の上面
の高さｈ４よりも高いことがより好ましい。

なお、図２（Ｂ）に示すように、領域１０３ａの厚さと領域１０３ｂの厚さの差分ｄ１
は、領域１０３ｂと重畳する部分における、絶縁層１１０、金属酸化物層１１４、及び導
電層１１２の厚さｔ４よりも小さくてもよい。また、図２（Ｂ）に示すように、半導体層
１０８の下面の高さｈ１は、導電層１１２の上面の高さｈ４よりも低くてもよい。

このような構成とすることで、チャネル幅方向において、導電層１１２を、半導体層１
０８の上面側だけでなく、側面側、及び下端部の斜め下方に位置するように設けることが
できる。このような構成とすることで、導電層１１２に電圧を印加した際に生じる電界で
、半導体層１０８を電気的に取り囲むことができ、トランジスタ１００のオン電流を増大
させることができる。

一般に、チャネル幅Ｗのチャネル長Ｌに対する比（Ｗ／Ｌ比）を大きく設計することで
、トランジスタのオン電流を増大させることができる。しかしながら本発明の一態様は、
これらの設計を変更することなく、すなわちチャネル幅Ｗを大きくすることなく、トラン
ジスタの電界効果移動度を向上させ、オン電流を増大させることが可能である。

トランジスタのチャネル幅Ｗは、回路に組み込んだときに要求される特性値に応じて設
定すればよいが、例えば、表示装置の画素回路や駆動回路等に適用する場合などでは、チ
ャネル幅Ｗを１μｍ以上１００μｍ以下、好ましくは１．２μｍ以上５０μｍ以下、より
好ましくは１．５μｍ以上３０μｍ以下としても、極めて大きな電流を流すことができる
。なお、チャネル幅Ｗはこれに限られず、要求される特性に応じて、１００μｍより大き
くしてもよい。

また、トランジスタ１００は電界効果移動度及びオン電流を高めることができるため、
チャネル長Ｌを比較的大きく設定することができ、トランジスタの特性ばらつきや、生産
歩留まりを高めることができる。トランジスタのチャネル長Ｌもチャネル幅Ｗと同様に、
要求される特性値に応じて設定すればよいが、例えば表示装置の画素回路や駆動回路等に
適用する場合などでは、チャネル長Ｌを１μｍ以上２０μｍ以下、好ましくは１．２μｍ
以上１５μｍ以下、より好ましくは１．５μｍ以上１０μｍ以下に設定することが好まし
い。特にチャネル長Ｌを１．５μｍ以上５μｍ以下、好ましくは２μｍ以上３μｍ以下と
することで、チャネル長Ｌの基板面内のばらつきが抑えられ、生産歩留まりを高くするこ
とができる。なお、チャネル長Ｌはこれに限られず、要求される特性に応じて、２０μｍ
よりも大きくしてもよい。

ここで、トランジスタ１００のチャネル長Ｌは、半導体層１０８と重畳する領域におけ
る導電層１１２のチャネル長方向の長さをいう。また、トランジスタ１００のチャネル幅
は、導電層１１２に覆われる領域における、チャネル幅方向における半導体層１０８の長
さをいう。

図１（Ｂ）に示すように、半導体層１０８の領域１０８Ｎに接して、絶縁層１１６が設
けられる。絶縁層１１６は、半導体層１０８と導電層１１２の両方に接するため、絶縁性
を有していることが好ましい。

領域１０８Ｎに接する絶縁層１１６としては、窒化物を含む絶縁膜を用いることができ
る。領域１０８Ｎに接して窒化物を含む絶縁層１１６を設けることで、領域１０８Ｎの導
電性をより高める効果を奏する。さらに、領域１０８Ｎに絶縁層１１６が接した状態で加
熱処理を行なうことで、より低抵抗化が促進されるため好ましい。

絶縁層１１６に適用できる窒化物としては、例えば窒化シリコンや窒化ガリウムなどの
半導体材料の窒化物、または窒化アルミニウムなどの金属窒化物を用いることが特に好ま
しい。例えば、窒化シリコンは、水素や酸素に対するブロッキング性を有するため、外部
から半導体層への水素の拡散と、半導体層から外部への酸素の脱離の両方を防ぐことがで
き、信頼性の高いトランジスタを実現できる。

また、金属窒化物を用いる場合、アルミニウム、チタン、タンタル、タングステン、ク
ロム、またはルテニウムの窒化物を用いることが好ましい。特に、アルミニウムまたはチ
タンを含むことが特に好ましい。例えば、アルミニウムをスパッタリングターゲットに用
い、成膜ガスとして窒素を含むガスを用いた反応スパッタリング法により形成した窒化ア
ルミニウム膜は、成膜ガスの全流量に対する窒素ガスの流量を適切に制御することで、極
めて高い絶縁性と、水素や酸素に対する極めて高いブロッキング性とを兼ね備えた膜とす
ることができる。そのため、このような金属窒化物を含む絶縁膜を、半導体層に接して設
けることで、半導体層を低抵抗化できるだけでなく、半導体層から酸素が脱離すること、
及び半導体層へ水素が拡散することを好適に防ぐことができる。

金属窒化物として、窒化アルミニウムを用いた場合、当該窒化アルミニウムを含む絶縁
層の厚さを５ｎｍ以上とすることが好ましい。このように薄い膜であっても、水素及び酸
素に対する高いブロッキング性と、半導体層の低抵抗化の機能とを両立できる。なお、当
該絶縁層の厚さはどれだけ厚くてもよいが、生産性を考慮し、５００ｎｍ以下、好ましく
は２００ｎｍ以下、より好ましくは５０ｎｍ以下とすることが好ましい。

絶縁層１１６に窒化アルミニウム膜を用いる場合、組成式がＡｌＮ_ｘ（ｘは０より大き
く２以下の実数、好ましくは、ｘは０．５より大きく１．５以下の実数）を満たす膜を用
いることが好ましい。これにより、絶縁性に優れ、且つ熱伝導性に優れた膜とすることが
できるため、トランジスタ１００を駆動させたときに生じる熱の放熱性を高めることがで
きる。

または、絶縁層１１６として、窒化アルミニウムチタン膜、窒化チタン膜などを用いる
ことができる。

このような絶縁層１１６を領域１０８Ｎに接して設けることで、絶縁層１１６が領域１
０８Ｎ中の酸素を吸引し、領域１０８Ｎ中に酸素欠損を形成させることができる。またこ
のとき、絶縁層１１６に金属酸化物を含む膜を用いた場合、絶縁層１１６と領域１０８Ｎ
との間に、絶縁層１１６に含まれる金属元素（例えばアルミニウム）の酸化物を含む層が
形成される場合がある。

ここで、半導体層１０８として、インジウムを含む金属酸化物膜を用いた場合、領域１
０８Ｎの絶縁層１１６側の界面近傍に、金属状態であるインジウムが析出した領域、また
は、インジウム濃度の高い領域が形成されている場合がある。このような領域の存在は、
例えば、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ：Ｘ－ｒａｙＰｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎＳｐｅ
ｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）等の分析法で観測できる場合がある。

このように、領域１０８Ｎは、チャネル形成領域に比べて酸素欠損を多く含む領域とす
ることができるため、チャネル形成領域よりも低抵抗化した領域とすることができる。さ
らに、絶縁層１１６として金属酸化物を含む絶縁膜を用いることで、領域１０８Ｎの絶縁
層１１６側の界面近傍には導電性の高いインジウムが析出した領域が形成され、さらに低
抵抗な領域とすることができる。

または、絶縁層１１６として、領域１０８Ｎに対する水素の供給源として機能する膜を
用いることもできる。例えば、絶縁層１１６は、加熱により水素を放出する膜であること
が好ましい。このような絶縁層１１６を領域１０８Ｎに接して設け、絶縁層１１６の形成
後に加熱処理を行なうことで、領域１０８Ｎに水素を供給して低抵抗化させることができ
る。

絶縁層１１６は、成膜の際に用いる成膜ガスに、水素元素を含むガスを用いて成膜され
る膜であることが好ましい。これにより、絶縁層１１６の成膜時にも、領域１０８Ｎに水
素を効果的に供給することができる。

絶縁層１１６としては、例えば、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化窒化シリコン
、窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウムなどの絶縁膜を用いることができる。

絶縁層１１６の成膜時、及び絶縁層１１６の成膜後の加熱処理により、領域１０８Ｎに
は水素が供給される。供給された水素は、領域１０８Ｎ中の酸素欠損と結合し、キャリア
生成源となりうる。これにより、チャネル形成領域よりもキャリア濃度が高く、低抵抗な
領域１０８Ｎを形成することができる。

半導体層１０８のチャネル形成領域に接する絶縁層１０３と絶縁層１１０には、酸化物
膜を用いることが好ましい。例えば、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミ
ニウム膜などの酸化物膜を用いることができる。これにより、トランジスタ１００の作製
工程における熱処理などで、絶縁層１０３や絶縁層１１０から脱離した酸素を半導体層１
０８のチャネル形成領域に供給し、半導体層１０８中の酸素欠損を低減することができる
。

ここで、図１（Ｂ）に示すように、絶縁層１１６は絶縁層１０３の領域１０３ａの側面
を覆って設けられることが好ましい。絶縁層１０３に含まれる、加熱により放出しうる酸
素は、絶縁層１０３の領域１０３ａから半導体層１０８に供給することができる。そのた
め、加熱により領域１０３ａの側面から酸素が脱離することを防ぐために、当該側面を酸
素が拡散しにくい絶縁層１１６で覆う構成とする。また、図１（Ｂ）に示すように、絶縁
層１１６は絶縁層１０３の領域１０３ｂの上面も覆う構成とすることがより好ましい。こ
れにより、絶縁層１０３から放出される酸素を効果的に半導体層１０８に供給することが
できる。これにより、半導体層１０８のチャネル形成領域におけるキャリア密度を低減す
ることができ、トランジスタ１００の信頼性を高めることができる。

絶縁層１１８は、トランジスタ１００を保護する保護層として機能する。絶縁層１１８
としては、例えば、酸化物または窒化物などの無機絶縁材料を用いることができる。より
具体的な例としては、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化アルミ
ニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ハフニウム、ハフニウムアルミ
ネートなどの無機絶縁材料を用いることができる。また、絶縁層１１８を平坦化層として
用いることもできる。その場合、絶縁層１１８として有機樹脂材料を用いることができる
。

なお、ここでは保護層として絶縁層１１６と絶縁層１１８の積層構造とする場合を示し
たが、絶縁層１１８は不要であれば設けなくてもよい。また、絶縁層１１８を２層以上の
積層構造としてもよい。

ここで、半導体層１０８について、及び半導体層１０８中に形成されうる酸素欠損につ
いて説明する。

半導体層１０８のチャネル形成領域に形成される酸素欠損は、トランジスタ特性に影響
を与えるため問題となる。例えば、半導体層１０８中に酸素欠損が形成されると、該酸素
欠損に水素が結合し、キャリア供給源となりうる。チャネル形成領域中にキャリア供給源
が生成されると、トランジスタ１００の電気特性の変動、代表的にはしきい値電圧のシフ
トが生じる。したがって、チャネル形成領域においては、酸素欠損が少ないほど好ましい
。

そこで、本発明の一態様においては、半導体層１０８のチャネル形成領域近傍の絶縁膜
、具体的には、チャネル形成領域の上方に位置する絶縁層１１０、及び下方に位置する絶
縁層１０３が、酸化物膜を含む構成である。作製工程中の熱などにより絶縁層１０３及び
絶縁層１１０からチャネル形成領域へ酸素を移動させることで、チャネル形成領域中の酸
素欠損を低減することが可能となる。

また、半導体層１０８は、Ｉｎの原子数比がＭの原子数比より多い領域を有すると好ま
しい。Ｉｎの原子数比が多いほど、トランジスタの電界効果移動度を向上させることがで
きる。

ここで、Ｉｎ、Ｇａ、Ｚｎを含む金属酸化物膜の場合、Ｉｎと酸素の結合力は、Ｇａと
酸素の結合力よりも弱いため、Ｉｎの原子数比が大きい場合には、金属酸化物膜中に酸素
欠損が形成されやすい。また、Ｇａに代えて、上記Ｍで示す金属元素を用いた場合でも同
様の傾向がある。金属酸化物膜中に酸素欠損が多く存在すると、トランジスタの電気特性
の低下や、信頼性の低下が生じる。

しかしながら本発明の一態様では、金属酸化物を含む半導体層１０８のチャネル形成領
域中に極めて多くの酸素を供給できるため、Ｉｎの原子数比の大きな金属酸化物材料を用
いることが可能となる。これにより、極めて高い電界効果移動度と、安定した電気特性と
、高い信頼性とを兼ね備えたトランジスタを実現することができる。

例えば、Ｉｎの原子数比が、Ｍの原子数比に対して１．５倍以上、または２倍以上、ま
たは３倍以上、または３．５倍以上、または４倍以上である金属酸化物を、好適に用いる
ことができる。

特に、半導体層１０８のＩｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比を、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２
：３またはその近傍とすることが好ましい。または、Ｉｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比を
、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：６またはその近傍とすると好ましい。また、半導体層１０８
の組成として、Ｉｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比を概略等しくしてもよい。すなわち、Ｉ
ｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比が、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：１：１またはその近傍である材
料を含んでいてもよい。

例えば、上記の電界効果移動度が高いトランジスタを、ゲート信号を生成するゲートド
ライバに用いることで、額縁幅の狭い（狭額縁ともいう）表示装置を提供することができ
る。また、上記の電界効果移動度が高いトランジスタを、ソースドライバ（特に、ソース
ドライバが有するシフトレジスタの出力端子に接続されるデマルチプレクサ）に用いるこ
とで、接続される配線数が少ない表示装置を提供することができる。

なお、半導体層１０８が、Ｉｎの原子数比がＭの原子数比より多い領域を有していても
、半導体層１０８の結晶性が高い場合、電界効果移動度が低くなる場合がある。半導体層
１０８の結晶性としては、例えば、Ｘ線回折（ＸＲＤ：Ｘ－ＲａｙＤｉｆｆｒａｃｔｉ
ｏｎ）を用いて分析する、あるいは、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉ
ｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いて分析することで解析できる。

ここで、半導体層１０８のチャネル形成領域は、不純物濃度が低く、欠陥準位密度を低
く（酸素欠損を少なく）することにより、膜中のキャリア密度を低くすることができる。
このような金属酸化物膜を半導体層のチャネル形成領域に用いたトランジスタは、しきい
値電圧がマイナスとなる電気特性（ノーマリーオンともいう。）になることが少ない。ま
た、このような金属酸化物膜を用いたトランジスタは、オフ電流が著しく小さい特性を得
ることができる。

半導体層１０８に結晶性の高い金属酸化物膜を用いると、半導体層１０８の加工時や、
絶縁層１１０の成膜時のダメージを抑制することができ、信頼性の高いトランジスタを実
現できる。一方、半導体層１０８に結晶性の比較的低い金属酸化物膜を用いることで、電
気伝導性が向上し、電界効果移動度の高いトランジスタを実現できる。

半導体層１０８としては、後述するＣＡＡＣ（ｃ－ａｘｉｓａｌｉｇｎｅｄｃｒｙ
ｓｔａｌ）構造を有する金属酸化物膜、ｎｃ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌ）構造を有する
金属酸化物膜、またはＣＡＡＣ構造とｎｃ構造とが混在した金属酸化物膜を用いることが
好ましい。

このような構成とすることで、電気特性に優れ、且つ信頼性の高いトランジスタ１００
を実現できる。

以下では、上記構成例１と一部の構成が異なるトランジスタの構成例について説明する
。なお、以下では、上記構成例１と重複する部分は説明を省略する場合がある。また、以
下で示す図面において、上記構成例と同様の機能を有する部分についてはハッチングパタ
ーンを同じくし、符号を付さない場合もある。

［構成例２］
図３（Ａ）は、トランジスタ１００Ａの上面図であり、図３（Ｂ）はトランジスタ１０
０Ａのチャネル長方向の断面図であり、図３（Ｃ）はトランジスタ１００Ａのチャネル幅
方向の断面図である。

トランジスタ１００Ａは、基板１０２と絶縁層１０３との間に導電層１０６を有する点
で、構成例１と主に相違している。導電層１０６は半導体層１０８のチャネル形成領域と
、導電層１１２と重畳する領域を有する。

トランジスタ１００Ａにおいて、導電層１０６は、第１のゲート電極（ボトムゲート電
極ともいう）としての機能を有し、導電層１１２は、第２のゲート電極（トップゲート電
極ともいう）としての機能を有する。また、絶縁層１０３の一部は第１のゲート絶縁層と
して機能し、絶縁層１１０の一部は、第２のゲート絶縁層として機能する。

半導体層１０８の、導電層１１２及び導電層１０６の少なくとも一方と重畳する部分は
、チャネル形成領域として機能する。なお以下では説明を容易にするため、半導体層１０
８の導電層１１２と重畳する部分をチャネル形成領域と呼ぶ場合があるが、実際には導電
層１１２と重畳せずに、導電層１０６と重畳する部分（領域１０８Ｎを含む部分）にもチ
ャネルが形成しうる。

また、図３（Ａ）、（Ｃ）に示すように、導電層１０６は、金属酸化物層１１４、絶縁
層１１０、及び絶縁層１０３に設けられた開口部１４２を介して、導電層１１２と電気的
に接続されていてもよい。これにより、導電層１０６と導電層１１２には、同じ電位を与
えることができる。

導電層１０６は、導電層１１２、導電層１２０ａ、または導電層１２０ｂと同様の材料
を用いることができる。特に導電層１０６に銅を含む材料を用いると、配線抵抗を低減で
きるため好ましい。また、導電層１０６にタングステンやモリブデンなどの高融点金属を
含む材料を用いると、後の工程において高い温度で処理を行なうことができる。

また、図３（Ａ）、（Ｃ）に示すように、チャネル幅方向において、導電層１１２及び
導電層１０６が、半導体層１０８の端部よりも外側に突出していることが好ましい。この
とき、図３（Ｃ）に示すように、半導体層１０８のチャネル幅方向の全体が、絶縁層１１
０と絶縁層１０３を介して、導電層１１２と導電層１０６に覆われた構成となる。

このような構成とすることで、半導体層１０８を一対のゲート電極によって生じる電界
で、電気的に取り囲むことができる。このとき特に、導電層１０６と導電層１１２に同じ
電位を与えることが好ましい。これにより、半導体層１０８にチャネルを誘起させるため
の電界を効果的に印加できるため、トランジスタ１００Ａのオン電流を増大させることが
できる。そのため、トランジスタ１００Ａを微細化することも可能となる。

なお、導電層１１２と導電層１０６とを接続しない構成としてもよい。このとき、一対
のゲート電極の一方に定電位を与え、他方にトランジスタ１００Ａを駆動するための信号
を与えてもよい。このとき、一方の電極に与えられる電位により、トランジスタ１００Ａ
を他方の電極で駆動する際のしきい値電圧を制御することもできる。

以上が、構成例２についての説明である。

［構成例３］
図４（Ａ）はトランジスタ１００Ｂのチャネル長方向の断面図であり、図４（Ｂ）はト
ランジスタ１００Ｂのチャネル幅方向の断面図である。なお、上面図は図３（Ａ）を援用
できるため省略する。

トランジスタ１００Ｂは、半導体層１０８に換えて、絶縁層１０３側から半導体層１０
８ａと、半導体層１０８ｂとが積層された構成を有する点で、上記構成例２で例示したト
ランジスタ１００Ａと主に相違している。

半導体層１０８ａと半導体層１０８ｂには、例えば、それぞれ組成の異なる金属酸化物
膜を用いることができる。例えば、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物を用いた場合に、Ｉｎ、Ｍ、
及びＺｎの原子数の比が、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：６、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２：３、
Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：１：１、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝２：２：１、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：３：
４、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：３：２、またはそれらの近傍であるスパッタリングターゲット
で形成する膜から選択して、それぞれに用いることが好ましい。

また、結晶性の異なる金属酸化物膜を積層してもよい。その場合、同じ酸化物ターゲッ
トを用い、成膜条件を異ならせることで、大気に触れることなく連続して形成されること
が好ましい。

このとき、半導体層１０８ａとして、ｎｃ構造を有する金属酸化物膜を用い、半導体層
１０８ｂとして、ＣＡＡＣ構造を有する金属酸化物膜を用いた積層構造とすることができ
る。または、半導体層１０８ａと半導体層１０８ｂの両方にｎｃ構造を有する金属酸化物
膜を用いてもよい。なお、半導体層１０８ａ及び半導体層１０８ｂに好適に用いることの
できる金属酸化物の機能、または材料の構成については、後述するＣＡＣ（Ｃｌｏｕｄ－
ＡｌｉｇｎｅｄＣｏｍｐｏｓｉｔｅ）を援用することができる。

例えば、先に形成する第１の金属酸化物膜の成膜時の酸素流量比を、後に形成する第２
の金属酸化物膜の成膜時の酸素流量比よりも小さくする。または、第１の金属酸化物膜の
成膜時に、酸素を流さない条件とする。これにより、第２の金属酸化物膜の成膜時に、酸
素を効果的に供給することができる。また、第１の金属酸化物膜は第２の金属酸化物膜よ
りも結晶性が低く、電気伝導性の高い膜とすることができる。一方、上部に設けられる第
２の金属酸化物膜を第１の金属酸化物膜よりも結晶性の高い膜とすることで、半導体層１
０８の加工時や、絶縁層１１０の成膜時のダメージを抑制することができる。

より具体的には、第１の金属酸化物膜の成膜時の酸素流量比を、０％以上５０％未満、
好ましくは０％以上３０％以下、より好ましくは０％以上２０％以下、代表的には１０％
とする。また第２の金属酸化物膜の成膜時の酸素流量比を、５０％以上１００％以下、好
ましくは６０％以上１００％以下、より好ましくは８０％以上１００％以下、さらに好ま
しくは９０％以上１００％以下、代表的には１００％とする。また、第１の金属酸化物膜
と第２の金属酸化物膜とで、成膜時の圧力、温度、電力等の条件を異ならせてもよいが、
酸素流量比以外の条件を同じとすることで、成膜工程にかかる時間を短縮することができ
るため好ましい。

［構成例４］
図５（Ａ）はトランジスタ１００Ｃのチャネル長方向の断面図であり、図５（Ｂ）はト
ランジスタ１００Ｃのチャネル幅方向の断面図である。なお、上面図は図３（Ａ）を援用
できるため省略する。

トランジスタ１００Ｃは、半導体層１０８ｂの形状が異なる点で、上記構成例３で例示
したトランジスタ１００Ｂと主に相違している。

半導体層１０８ｂは、導電層１１２、金属酸化物層１１４、及び絶縁層１１０と上面形
状が概略一致している。例えば半導体層１０８ｂは、導電層１１２等をエッチングするた
めのレジストマスクを用いて加工することにより形成できる。

半導体層１０８ｂは、半導体層１０８ａの上面及び側面、絶縁層１０３の領域１０３ａ
の側面、ならびに領域１０３ｂの上面の一部を覆って設けられている。

半導体層１０８ｂとして、半導体層１０８ａよりも結晶性の高い膜を用いた場合、膜厚
方向に対する酸素の拡散性を低減することができる。特に、ＣＡＡＣ構造を有する金属酸
化物膜は、当該金属酸化物膜に含まれる結晶部のｃ軸方向に対する酸素の拡散性が低いと
いった特徴を有する。さらに、ＣＡＡＣ構造を有する金属酸化物膜は、当該金属酸化物膜
に含まれる結晶部のｃ軸が被形成面に対して概略垂直方向に配向するように成膜すること
が可能となる。

図５（Ｃ）に、図５（Ｂ）中の破線で囲った領域Ｑにおける拡大図を示す。図５（Ｃ）
に示すように、結晶性を有する半導体層１０８ｂは、半導体層１０８ａの上面及び側面、
絶縁層１０３の領域１０３ａの側面、及び領域１０３ｂの上面を覆って設けられている。

また図５（Ｃ）では、半導体層１０８ｂの各部分における、半導体層１０８ｂに含まれ
る結晶のｃ軸の向きと、破線で示す層状の結晶部を構成する層１０８Ｌの配向を模式的に
示している。このように、結晶性を有する半導体層１０８ｂ中の結晶部は、ｃ軸（すなわ
ち層状の結晶部の層に対して垂直な向き）が被形成面に対して概略垂直方向に配向してい
る。

このように、図５（Ｃ）に示すように、半導体層１０８ｂを絶縁層１０３の領域１０３
ｂの側面、及び半導体層１０８ａの側面を覆う構成とすることで、絶縁層１０３から放出
されうる酸素が、領域１０３ｂから拡散することを抑制することができる。また、半導体
層１０８ａの側面から外部に酸素が拡散することを防ぐことができる。これにより、半導
体層１０８ａ中の酸素欠損を効果的に低減でき、信頼性の高いトランジスタを実現できる
。

以上が、構成例についての説明である。

［作製方法例］
以下では、本発明の一態様の半導体装置の作製方法について、図面を参照して説明する
。ここでは、上記構成例で例示したトランジスタ１００Ａを例に挙げて説明する。

なお、半導体装置を構成する薄膜（絶縁膜、半導体膜、導電膜等）は、スパッタリング
法、化学気相堆積（ＣＶＤ：ＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法
、真空蒸着法、パルスレーザー堆積（ＰＬＤ：ＰｕｌｓｅＬａｓｅｒＤｅｐｏｓｉｔ
ｉｏｎ）法、原子層堆積（ＡＬＤ：ＡｔｏｍｉｃＬａｙｅｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）
法等を用いて形成することができる。ＣＶＤ法としては、プラズマ化学気相堆積（ＰＥＣ
ＶＤ：ＰｌａｓｍａＥｎｈａｎｃｅｄＣＶＤ）法や、熱ＣＶＤ法などがある。また、
熱ＣＶＤ法のひとつに、有機金属化学気相堆積（ＭＯＣＶＤ：ＭｅｔａｌＯｒｇａｎｉ
ｃＣＶＤ）法がある。

また、半導体装置を構成する薄膜（絶縁膜、半導体膜、導電膜等）は、スピンコート、
ディップ、スプレー塗布、インクジェット、ディスペンス、スクリーン印刷、オフセット
印刷、ドクターナイフ、スリットコート、ロールコート、カーテンコート、ナイフコート
等の方法により形成することができる。

また、半導体装置を構成する薄膜を加工する際には、フォトリソグラフィ法等を用いて
加工することができる。それ以外に、ナノインプリント法、サンドブラスト法、リフトオ
フ法などにより薄膜を加工してもよい。また、メタルマスクなどの遮蔽マスクを用いた成
膜方法により、島状の薄膜を直接形成してもよい。

フォトリソグラフィ法としては、代表的には以下の２つの方法がある。一つは、加工し
たい薄膜上にレジストマスクを形成して、エッチング等により当該薄膜を加工し、レジス
トマスクを除去する方法である。もう一つは、感光性を有する薄膜を成膜した後に、露光
、現像を行って、当該薄膜を所望の形状に加工する方法である。

フォトリソグラフィ法において、露光に用いる光は、例えばｉ線（波長３６５ｎｍ）、
ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｈ線（波長４０５ｎｍ）、またはこれらを混合させた光を用い
ることができる。そのほか、紫外線やＫｒＦレーザ光、またはＡｒＦレーザ光等を用いる
こともできる。また、液浸露光技術により露光を行ってもよい。また、露光に用いる光と
して、極端紫外光（ＥＵＶ：ＥｘｔｒｅｍｅＵｌｔｒａ－ｖｉｏｌｅｔ）やＸ線を用い
てもよい。また、露光に用いる光に換えて、電子ビームを用いることもできる。極端紫外
光、Ｘ線または電子ビームを用いると、極めて微細な加工が可能となるため好ましい。な
お、電子ビームなどのビームを走査することにより露光を行う場合には、フォトマスクは
不要である。

薄膜のエッチングには、ドライエッチング法、ウェットエッチング法、サンドブラスト
法などを用いることができる。

図６（Ａ）乃至図１０（Ｂ）には、トランジスタ１００Ａの作製工程の各段階における
チャネル長方向及びチャネル幅方向の断面を並べて示している。

〔導電層１０６の形成〕
基板１０２上に導電膜を成膜し、これをエッチングにより加工して、第１のゲート電極
として機能する導電層１０６を形成する。

〔絶縁層１０３の形成〕
続いて、基板１０２及び導電層１０６を覆って絶縁層１０３を形成する（図６（Ａ））
。絶縁層１０３は、ＰＥＣＶＤ法、ＡＬＤ法、スパッタリング法等を用いて形成すること
ができる。

絶縁層１０３は、後に形成する領域１０３ａの厚さで成膜することができる。絶縁層１
０３の厚さは、後の薄膜化の工程で消失しない程度の厚さに設定することができる。

絶縁層１０３を形成した後に、絶縁層１０３に対して酸素を供給する処理を行なっても
よい。例えば、酸素雰囲気下でのプラズマ処理または加熱処理などを行うことができる。
または、プラズマイオンドーピング法やイオン注入法などにより、絶縁層１０３に酸素を
供給してもよい。

〔半導体層１０８の形成〕
続いて、絶縁層１０３上に、後に半導体層１０８となる金属酸化物膜１０８ｆを成膜す
る（図６（Ｂ））。

金属酸化物膜は、金属酸化物ターゲットを用いたスパッタリング法により形成すること
が好ましい。

また、金属酸化物膜を成膜する際に、酸素ガスの他に、不活性ガス（例えば、ヘリウム
ガス、アルゴンガス、キセノンガスなど）を混合させてもよい。なお、金属酸化物膜を成
膜する際の成膜ガス全体に占める酸素ガスの割合（以下、酸素流量比ともいう）が高いほ
ど、金属酸化物膜の結晶性を高めることができ、信頼性の高いトランジスタを実現できる
。一方、酸素流量比が低いほど、金属酸化物膜の結晶性が低くなり、オン電流が高められ
たトランジスタとすることができる。

半導体層１０８を積層構造とする場合、同じスパッタリングターゲットを用いて同じ成
膜室で連続して成膜することで、界面を良好なものとすることができるため好ましい。特
に、各金属酸化物膜の成膜条件として、成膜時の圧力、温度、電力等の条件を異ならせて
もよいが、酸素流量比以外の条件を同じとすることで、成膜工程にかかる時間を短縮する
ことができるため好ましい。また、異なる組成の金属酸化物膜を積層する場合には、大気
に暴露することなく、連続して成膜することが好ましい。

金属酸化物膜は、ＣＡＡＣ構造を有する金属酸化物膜、ｎｃ構造を有する金属酸化物膜
、またはＣＡＡＣ構造とｎｃ構造とが混在した金属酸化物膜となるように、成膜条件を設
定することが好ましい。なお、成膜される金属酸化物膜がＣＡＡＣ構造となる成膜条件、
及びｎｃ構造となる成膜条件は、それぞれ使用するスパッタリングターゲットの組成によ
って異なるため、その組成に応じて、基板温度や酸素流量比の他、圧力や電力などを適宜
設定すればよい。

また、金属酸化物膜の成膜条件としては、基板温度を室温以上４５０℃以下、好ましく
は基板温度を室温以上３００℃以下、より好ましくは室温以上２００℃以下、さらに好ま
しくは室温以上１４０℃以下とすればよい。例えば基板１０２に大型のガラス基板や、樹
脂基板を用いた場合には、成膜温度を室温以上１４０℃未満とすると、生産性が高くなり
好ましい。また、基板温度を室温とする、または意図的に加熱しない状態で、金属酸化物
膜を成膜することで、結晶性を低くすることができる。

また、金属酸化物膜を成膜する前に、絶縁層１０３の表面に吸着した水や水素、有機物
成分等を脱離させるための処理や、絶縁層１０３中に酸素を供給する処理を行うことが好
ましい。例えば、減圧雰囲気下にて７０℃以上２００℃以下の温度で加熱処理を行うこと
ができる。または、酸素を含む雰囲気下におけるプラズマ処理を行ってもよい。また、一
酸化窒素ガスを含むプラズマ処理を行うと、絶縁層１０３の表面の有機物を好適に除去す
ることができる。このような処理の後、絶縁層１０３の表面を大気に暴露することなく、
連続して金属酸化物膜を成膜することが好ましい。

続いて、金属酸化物膜１０８ｆ上にレジストマスク１１５を形成する。その後、レジス
トマスク１１５に覆われない金属酸化物膜１０８ｆの一部を、エッチングすることにより
、半導体層１０８を形成する（図７（Ａ））。

金属酸化物膜の加工には、ウェットエッチング法及びドライエッチング法のいずれか一
方または双方を用いることができる。

〔絶縁層１０３の薄膜化〕
続いて、レジストマスク１１５に覆われない絶縁層１０３の一部をエッチングにより薄
膜化して、半導体層１０８と重畳する部分を有する領域１０３ａと、半導体層１０８と重
畳せず、且つ領域１０３ａよりも厚さの薄い領域１０３ｂを形成する。

絶縁層１０３のエッチングは、ドライエッチング法を用いることが好ましい。例えば、
異方性のドライエッチング法を用いることができる。このとき、領域１０３ｂとなる部分
が消失してしまわないように、エッチング条件やエッチングの処理時間を設定する。また
、絶縁層１０３の領域１０３ａの側面が、連続的に勾配が変化するような曲面形状となる
ように、エッチング条件を最適化することが好ましい。

ここで、絶縁層１０３として、エッチング速度が異なる２つの絶縁膜の積層構造とし、
上側に位置する絶縁膜にエッチング速度の高い膜を適用することで、上側の絶縁膜のみを
エッチングして領域１０３ｂを形成してもよい。このとき、絶縁層１０３を構成する２つ
の絶縁膜は、異なる元素を含む絶縁膜であってもよい。また、２つの絶縁膜に同じ元素を
含む膜を用い、下側に位置する絶縁膜に、より密度の高い膜を適用してもよい。

なお、ここでは金属酸化物膜１０８ｆのエッチングと、絶縁層１０３の薄膜化のための
エッチングとを別々に行う方法について説明したが、これらを一度のエッチング処理によ
り一括で行ってもよい。また、金属酸化物膜１０８ｆと絶縁層１０３の両方に同じエッチ
ング法（好適にはドライエッチング法）を用い、同じエッチング装置で大気に曝すことな
く、エッチャントを異ならせて、連続して処理を行なってもよい。

絶縁層１０３の薄膜化の処理を行なった後、レジストマスク１１５を除去する。

ここで、金属酸化物膜の成膜後、半導体層１０８に加工した後、または絶縁層１０３の
薄膜化の処理後に、金属酸化物膜または半導体層１０８中の水素または水を除去するため
に加熱処理を行ってもよい。加熱処理の温度は、代表的には、１５０℃以上基板の歪み点
未満、または２５０℃以上４５０℃以下、または３００℃以上４５０℃以下とすることが
できる。

加熱処理は、希ガス、または窒素を含む雰囲気で行うことができる。または、当該雰囲
気で加熱した後、酸素を含む雰囲気で加熱してもよい。なお、上記加熱処理の雰囲気に水
素、水などが含まれないことが好ましい。該加熱処理は、電気炉、ＲＴＡ装置等を用いる
ことができる。ＲＴＡ装置を用いることで、加熱処理時間を短縮することができる。

〔絶縁膜１１０ｆ、金属酸化物膜１１４ｆの形成〕
続いて、絶縁層１０３及び半導体層１０８を覆って、絶縁膜１１０ｆと金属酸化物膜１
１４ｆを形成する。

絶縁膜１１０ｆは、後に絶縁層１１０となる膜である。絶縁膜１１０ｆとしては、例え
ば酸化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜などの酸化物膜を、プラズマ化学気相堆積装
置（ＰＥＣＶＤ装置、または単にプラズマＣＶＤ装置という）を用いて形成することが好
ましい。また、マイクロ波を用いたＰＥＣＶＤ法を用いて形成してもよい。

金属酸化物膜１１４ｆは、後に金属酸化物層１１４となる膜である。金属酸化物膜１１
４ｆは、例えば酸素を含む雰囲気下でスパッタリング法により形成することが好ましい。
これにより、金属酸化物膜１１４ｆの成膜時に絶縁膜１１０ｆに酸素を供給することがで
きる。

金属酸化物膜１１４ｆを、上記半導体層１０８の場合と同様の金属酸化物を含む酸化物
ターゲットを用いたスパッタリング法により形成する場合には、上記を援用することがで
きる。

金属酸化物膜１１４ｆは、成膜ガスに酸素を用い、金属ターゲットを用いた反応性スパ
ッタリング法により、形成してもよい。金属ターゲットにアルミニウムを用いた場合には
、酸化アルミニウム膜を成膜することができる。

金属酸化物膜１１４ｆの成膜時に、成膜装置の成膜室内に導入する成膜ガスの全流量に
対する酸素流量の割合（酸素流量比）、または成膜室内の酸素分圧が高いほど、絶縁層１
１０中に供給される酸素を増やすことができる。酸素流量比または酸素分圧は、例えば５
０％以上１００％以下、好ましくは６５％以上１００％以下、より好ましくは８０％以上
１００％以下、さらに好ましくは９０％以上１００％以下とする。特に、酸素流量比１０
０％とし、酸素分圧を１００％にできるだけ近づけることが好ましい。

このように、酸素を含む雰囲気下でスパッタリング法により金属酸化物膜１１４ｆを形
成することにより、金属酸化物膜１１４ｆの成膜時に、絶縁膜１１０ｆへ酸素を供給する
とともに、絶縁膜１１０ｆから酸素が脱離することを防ぐことができる。その結果、絶縁
膜１１０ｆに極めて多くの酸素を閉じ込めることができる。そして、後の加熱処理によっ
て、半導体層１０８のチャネル形成領域に多くの酸素が供給され、チャネル形成領域中の
酸素欠損を低減でき、信頼性の高いトランジスタを実現できる。

また、金属酸化物膜１１４ｆの形成後に、加熱処理を行うことで、絶縁膜１１０ｆから
半導体層１０８に酸素を供給してもよい。加熱処理は、窒素、酸素、希ガスのうち一以上
を含む雰囲気下にて、２００℃以上４００℃以下の温度で行うことができる。

続いて、金属酸化物膜１１４ｆ、絶縁膜１１０ｆ、及び絶縁層１０３の一部をエッチン
グすることで、導電層１０６に達する開口を形成する。これにより、後に形成する導電層
１１２と導電層１０６とを、当該開口を介して電気的に接続することができる。

〔導電膜１１２ｆの形成〕
続いて、金属酸化物膜１１４ｆ上に、導電層１１２となる導電膜１１２ｆを成膜する（
図８（Ａ））。導電膜１１２ｆは、金属または合金のスパッタリングターゲットを用いた
スパッタリング法により成膜することが好ましい。

〔絶縁層１１０、金属酸化物層１１４、導電層１１２の形成〕
続いて、導電膜１１２ｆ上にレジストマスクを形成する。その後、レジストマスクに覆
われていない領域において、異方性のエッチング法を用いて導電膜１１２ｆ、金属酸化物
膜１１４ｆ、及び絶縁膜１１０ｆをエッチングし、レジストマスクを除去する（図８（Ｂ
））。

導電膜１１２ｆ、金属酸化物膜１１４ｆ、及び絶縁膜１１０ｆのエッチングは、同じエ
ッチング条件により同時にエッチングしてもよいし、異なるエッチング条件または手法を
用いて、少なくとも２回に分けてエッチングしてもよい。例えば、導電膜１１２ｆと金属
酸化物膜１１４ｆを先にエッチングし、続いて異なるエッチング条件で絶縁膜１１０ｆを
エッチングすることで、半導体層１０８へのエッチングのダメージを低減することができ
る。

〔絶縁層１１６、領域１０８Ｎの形成〕
続いて、半導体層１０８の露出した領域に接して、絶縁層１１６を形成する（図９（Ａ
））。

絶縁層１１６として、アルミニウム、チタン、タンタル、タングステン、クロム、及び
ルテニウムなどの金属元素の少なくとも一を含む膜を成膜する。特に、アルミニウム、チ
タン、タンタル、及びタングステンの少なくとも一を含むことが好ましい。また特に、こ
れら金属元素を少なくとも一を含む窒化物、またはこれら金属元素の少なくとも一を含む
酸化物を好適に用いることができる。絶縁性を有する膜として、窒化アルミニウムチタン
膜、窒化チタン膜、窒化アルミニウム膜などの窒化物膜、酸化アルミニウムチタン膜など
の酸化物膜などを好適に用いることができる。

ここで、絶縁層１１６は、成膜ガスに窒素ガスまたは酸素ガスを用いたスパッタリング
法により形成することが好ましい。これにより、成膜ガスの流量を制御することにより、
膜質の制御が容易となる。

続いて、加熱処理を行う。加熱処理により、半導体層１０８の絶縁層１１６と接する領
域が低抵抗化し、半導体層１０８中に低抵抗な領域１０８Ｎが形成される（図９（Ｂ））
。

加熱処理は、窒素または希ガスなどの不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。加熱処
理の温度は高いほど好ましいが、基板１０２、導電層１０６、導電層１１２等の耐熱性を
考慮した温度とすることができる。例えば、１２０℃以上５００℃以下、好ましくは１５
０℃以上４５０℃以下、より好ましくは２００℃以上４００℃以下、さらに好ましくは２
５０℃以上４００℃以下の温度とすることができる。例えば加熱処理の温度を３５０℃程
度とすることで、大型のガラス基板を用いた生産設備で歩留り良く半導体装置を生産する
ことができる。

なおここでは絶縁層１１６を除去しないため、加熱処理は絶縁層１１６の形成後であれ
ばどの段階で行ってもよい。また他の加熱処理または熱の係る工程と兼ねてもよい。

加熱処理により、半導体層１０８中の酸素が絶縁層１１６に引き抜かれることにより酸
素欠損が生成される。当該酸素欠損と、半導体層１０８中の水素とが結合することにより
キャリア濃度が高まり、絶縁層１１６と接する領域１０８Ｎが低抵抗化される。

または、加熱処理により、絶縁層１１６に含まれる金属元素が半導体層１０８中に拡散
することにより、半導体層１０８の一部が合金化し、低抵抗化される場合もある。

または、絶縁層１１６に含まれる窒素や水素、若しくは加熱処理の雰囲気に含まれる窒
素などが、加熱処理により半導体層１０８中に拡散することで、これらが低抵抗化する場
合もある。

このような複合的な作用により低抵抗化された半導体層１０８の領域１０８Ｎは、極め
て安定な低抵抗な領域となる。このように形成された領域１０８Ｎは、例えば後の工程で
酸素が供給される処理が行われたとしても、再度高抵抗化しにくいといった特徴を有する
。

なお、ここでは、領域１０８Ｎを形成するための層として、絶縁性を有する絶縁層１１
６を用いる例について説明したが、領域１０８Ｎとなる領域に接して、導電性を有する膜
を形成することで、領域１０８Ｎを形成してもよい。このとき、領域１０８Ｎの形成後に
、当該導電性を有する膜を酸化または窒化させて絶縁化して、絶縁層１１６とすることが
好ましい。または、領域１０８Ｎの形成後に当該膜を除去し、絶縁層１１６を設けない構
成としてもよい。

または、半導体層１０８の露出した領域に、水素を供給する処理を行なうことにより、
領域１０８Ｎを形成してもよい。以下では、半導体層１０８の露出した領域に接して、水
素を含む絶縁層１１６を成膜することで水素を供給する。

絶縁層１１６は、水素を含む成膜ガスを用いたプラズマＣＶＤ法により形成することが
好ましい。例えば、シランガスとアンモニアガスとを含む成膜ガスを用いて、窒化シリコ
ン膜を成膜する。シランガスに加えてアンモニアガスを用いることで、膜中に多くの水素
を含有させることができる。また、成膜時においても、半導体層１０８の露出した部分に
水素を供給することが可能となる。

絶縁層１１６の成膜後に、加熱処理を行なうことで、絶縁層１１６から放出される水素
の一部を、半導体層１０８の一部に供給することが好ましい。加熱処理は、窒素、酸素、
希ガスのうち一以上を含む雰囲気下にて、１５０℃以上４５０℃以下、好ましくは２００
℃以上４００℃以下の温度で行うことが好ましい。

このように水素を供給することで、半導体層１０８中に極めて低抵抗な領域１０８Ｎを
形成することができる。領域１０８Ｎは、チャネル形成領域よりもキャリア濃度の高い領
域、酸素欠損量の多い領域、水素濃度の高い領域、または、不純物濃度の高い領域とも言
うことができる。

また、加熱処理により、絶縁層１１０及び絶縁層１０３から半導体層１０８のチャネル
形成領域に酸素を供給することができる。

［絶縁層１１８の形成］
続いて、絶縁層１１６上に絶縁層１１８を形成する（図１０（Ａ））。

絶縁層１１８をプラズマＣＶＤ法により形成する場合、成膜温度が高すぎると、領域１
０８Ｎに含まれる不純物によっては、当該不純物が半導体層１０８のチャネル形成領域を
含む周辺部に拡散する恐れがある。その結果、チャネル形成領域が低抵抗化することや、
領域１０８Ｎの電気抵抗が上昇してしまうなどの恐れがある。絶縁層１１６または絶縁層
１１８の成膜温度としては、例えば１５０℃以上４００℃以下、好ましくは１８０℃以上
３６０℃以下、より好ましくは２００℃以上２５０℃以下とすることが好ましい。絶縁層
１１８を低温で成膜することにより、チャネル長の短いトランジスタであっても、良好な
電気特性を付与することができる。

また、絶縁層１１８の形成後に加熱処理を行なってもよい。

〔開口部１４１ａ、開口部１４１ｂの形成〕
続いて、絶縁層１１８の所望の位置にリソグラフィによりマスクを形成した後、絶縁層
１１８及び絶縁層１１６の一部をエッチングすることで、領域１０８Ｎに達する開口部１
４１ａ及び開口部１４１ｂを形成する。

〔導電層１２０ａ、導電層１２０ｂの形成〕
続いて、開口部１４１ａ及び開口部１４１ｂを覆うように、絶縁層１１８上に導電膜を
成膜し、当該導電膜を所望の形状に加工することで、導電層１２０ａ及び導電層１２０ｂ
を形成する（図１０（Ｂ））。

以上の工程により、トランジスタ１００Ａを作製することができる。

以上が、作製方法例の変形例についての説明である。

［半導体装置の構成要素］
次に、本実施の形態の半導体装置に含まれる構成要素について、詳細に説明する。

〔基板〕
基板１０２の材質などに大きな制限はないが、少なくとも、後の熱処理に耐えうる程度
の耐熱性を有している必要がある。例えば、シリコンや炭化シリコンを材料とした単結晶
半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウム等の化合物半導体基板、ＳＯＩ基
板、ガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイア基板等を、基板１０２として用
いてもよい。また、これらの基板上に半導体素子が設けられたものを、基板１０２として
用いてもよい。

また、基板１０２として、可撓性基板を用い、可撓性基板上に直接、トランジスタ１０
０等を形成してもよい。または、基板１０２とトランジスタ１００等の間に剥離層を設け
てもよい。剥離層は、その上に半導体装置の一部あるいは全部を完成させた後、基板１０
２より分離し、他の基板に転載するために用いることができる。その際、トランジスタ１
００等は耐熱性の劣る基板や可撓性の基板にも転載できる。

〔絶縁層１０３〕
絶縁層１０３としては、スパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法、パルスレーザー堆積（
ＰＬＤ）法等を適宜用いて形成することができる。また、絶縁層１０３としては、例えば
、酸化物絶縁膜または窒化物絶縁膜を単層または積層して形成することができる。なお、
半導体層１０８との界面特性を向上させるため、絶縁層１０３において少なくとも半導体
層１０８と接する領域は酸化物絶縁膜で形成することが好ましい。また、絶縁層１０３に
は、加熱により酸素を放出する膜を用いることが好ましい。

絶縁層１０３として、例えば酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒
化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化ガリウムまたはＧａ－Ｚｎ酸化物
などを用いればよく、単層または積層で設けることができる。

また、絶縁層１０３の半導体層１０８に接する側に窒化シリコン膜などの酸化物膜以外
の膜を用いた場合、半導体層１０８と接する表面に対して酸素プラズマ処理などの前処理
を行い、当該表面、または表面近傍を酸化することが好ましい。

〔導電膜〕
ゲート電極として機能する導電層１１２及び導電層１０６、並びにソース電極またはド
レイン電極の一方として機能する導電層１２０ａ及び、他方として機能する導電層１２０
ｂとしては、クロム、銅、アルミニウム、金、銀、亜鉛、モリブデン、タンタル、チタン
、タングステン、マンガン、ニッケル、鉄、コバルトから選ばれた金属元素、または上述
した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いてそれ
ぞれ形成することができる。

また、導電層１１２、導電層１０６、導電層１２０ａ、及び導電層１２０ｂには、Ｉｎ
－Ｓｎ酸化物、Ｉｎ－Ｗ酸化物、Ｉｎ－Ｗ－Ｚｎ酸化物、Ｉｎ－Ｔｉ酸化物、Ｉｎ－Ｔｉ
－Ｓｎ酸化物、Ｉｎ－Ｚｎ酸化物、Ｉｎ－Ｓｎ－Ｓｉ酸化物、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸化物等
の酸化物導電体または金属酸化物膜を適用することもできる。

ここで、酸化物導電体（ＯＣ：ＯｘｉｄｅＣｏｎｄｕｃｔｏｒ）について説明を行う。
例えば、半導体特性を有する金属酸化物に酸素欠損を形成し、該酸素欠損に水素を添加す
ると、伝導帯近傍にドナー準位が形成される。この結果、金属酸化物は、導電性が高くな
り導電体化する。導電体化された金属酸化物を、酸化物導電体ということができる。

また、導電層１１２等として、上記酸化物導電体（金属酸化物）を含む導電膜と、金属
または合金を含む導電膜の積層構造としてもよい。金属または合金を含む導電膜を用いる
ことで、配線抵抗を小さくすることができる。このとき、ゲート絶縁膜として機能する絶
縁層と接する側には酸化物導電体を含む導電膜を適用することが好ましい。

また、導電層１１２、導電層１０６、導電層１２０ａ、導電層１２０ｂには、上述の金
属元素の中でも、特にチタン、タングステン、タンタル、及びモリブデンの中から選ばれ
るいずれか一つまたは複数を有すると好適である。特に、窒化タンタル膜を用いると好適
である。当該窒化タンタル膜は、導電性を有し、且つ、銅、酸素、または水素に対して、
高いバリア性を有し、且つ自身からの水素の放出が少ないため、半導体層１０８と接する
導電膜、または半導体層１０８の近傍の導電膜として、好適に用いることができる。

〔絶縁層１１０〕
トランジスタ１００等のゲート絶縁膜として機能する絶縁層１１０は、ＰＥＣＶＤ法、
スパッタリング法等により形成できる。絶縁層１１０としては、酸化シリコン膜、酸化窒
化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化ハフニ
ウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、
酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜および酸化ネオジム膜を一種以上
含む絶縁層を用いることができる。なお、絶縁層１１０を、２層の積層構造または３層以
上の積層構造としてもよい。

また、半導体層１０８と接する絶縁層１１０は、酸化物絶縁膜であることが好ましく、
化学量論的組成よりも過剰に酸素を含有する領域を有することがより好ましい。別言する
と、絶縁層１１０は、酸素を放出することが可能な絶縁膜である。例えば、酸素雰囲気下
にて絶縁層１１０を形成すること、成膜後の絶縁層１１０に対して酸素雰囲気下での熱処
理、プラズマ処理等を行うこと、または、絶縁層１１０上に酸素雰囲気下で酸化物膜を成
膜することなどにより、絶縁層１１０中に酸素を供給することもできる。

また、絶縁層１１０として、酸化シリコンや酸化窒化シリコンと比べて比誘電率の高い
酸化ハフニウム等の材料を用いることもできる。これにより絶縁層１１０の膜厚を厚くし
トンネル電流によるリーク電流を抑制できる。特に結晶性を有する酸化ハフニウムは、非
晶質の酸化ハフニウムと比べて高い比誘電率を備えるため好ましい。

〔半導体層〕
半導体層１０８がＩｎ－Ｍ－Ｚｎ酸化物の場合、Ｉｎ－Ｍ－Ｚｎ酸化物を成膜するため
に用いるスパッタリングターゲットは、Ｉｎの原子数比がＭの原子数比以上であることが
好ましい。このようなスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比として、Ｉｎ：Ｍ
：Ｚｎ＝１：１：１、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：１：１．２、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝２：１：３、
Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝３：１：２、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２：３、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２：
４．１、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：６、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：７、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝
５：１：８、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝６：１：６、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：２：５等が挙げられる
。

また、スパッタリングターゲットとしては、多結晶の酸化物を含むターゲットを用いる
と、結晶性を有する半導体層１０８を形成しやすくなるため好ましい。なお、成膜される
半導体層１０８の原子数比は、上記のスパッタリングターゲットに含まれる金属元素の原
子数比のプラスマイナス４０％の変動を含む。例えば、半導体層１０８に用いるスパッタ
リングターゲットの組成がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］の場合、成膜
される半導体層１０８の組成は、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］の近傍とな
る場合がある。

なお、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３またはその近傍と記載する場合、Ｉｎ
の原子数比を４としたとき、Ｇａの原子数比が１以上３以下であり、Ｚｎの原子数比が２
以上４以下である場合を含む。また、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝５：１：６またはそ
の近傍であると記載する場合、Ｉｎの原子数比を５としたときに、Ｇａの原子数比が０．
１より大きく２以下であり、Ｚｎの原子数比が５以上７以下である場合を含む。また、原
子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１またはその近傍であると記載する場合、Ｉｎの原
子数比を１としたときに、Ｇａの原子数比が０．１より大きく２以下であり、Ｚｎの原子
数比が０．１より大きく２以下である場合を含む。

また、半導体層１０８は、エネルギーギャップが２ｅＶ以上、好ましくは２．５ｅＶ以
上である。このように、シリコンよりもエネルギーギャップの広い金属酸化物を用いるこ
とで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。

また、半導体層１０８は、非単結晶構造であると好ましい。非単結晶構造は、例えば、
後述するＣＡＡＣ構造、多結晶構造、微結晶構造、または非晶質構造を含む。非単結晶構
造において、非晶質構造は最も欠陥準位密度が高く、ＣＡＡＣ構造は最も欠陥準位密度が
低い。

以下では、ＣＡＡＣ（ｃ－ａｘｉｓａｌｉｇｎｅｄｃｒｙｓｔａｌ）について説明
する。ＣＡＡＣは結晶構造の一例を表す。

ＣＡＡＣ構造とは、複数のナノ結晶（最大径が１０ｎｍ未満である結晶領域）を有する
薄膜などの結晶構造の一つであり、各ナノ結晶はｃ軸が特定の方向に配向し、かつａ軸及
びｂ軸は配向性を有さずに、ナノ結晶同士が粒界を形成することなく連続的に連結してい
るといった特徴を有する結晶構造である。特にＣＡＡＣ構造を有する薄膜は、各ナノ結晶
のｃ軸が、薄膜の厚さ方向、被形成面の法線方向、または薄膜の表面の法線方向に配向し
やすいといった特徴を有する。

ＣＡＡＣ－ＯＳ（ＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）は結晶性の高い酸化物半
導体である。一方、ＣＡＡＣ－ＯＳは、明確な結晶粒界を確認することはできないため、
結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、酸化物半導体の結
晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、ＣＡＡＣ－ＯＳ
は不純物や欠陥（酸素欠損など）の少ない酸化物半導体ともいえる。従って、ＣＡＡＣ－
ＯＳを有する酸化物半導体は、物理的性質が安定する。そのため、ＣＡＡＣ－ＯＳを有す
る酸化物半導体は熱に強く、信頼性が高い。

ここで、結晶学において、単位格子を構成するａ軸、ｂ軸、及びｃ軸の３つの軸（結晶
軸）について、特異的な軸をｃ軸とした単位格子を取ることが一般的である。特に層状構
造を有する結晶では、層の面方向に平行な２つの軸をａ軸及びｂ軸とし、層に交差する軸
をｃ軸とすることが一般的である。このような層状構造を有する結晶の代表的な例として
、六方晶系に分類されるグラファイトがあり、その単位格子のａ軸及びｂ軸は劈開面に平
行であり、ｃ軸は劈開面に直交する。例えば層状構造であるＹｂＦｅ_２Ｏ_４型の結晶構造
をとるＩｎＧａＺｎＯ_４の結晶は六方晶系に分類することができ、その単位格子のａ軸及
びｂ軸は層の面方向に平行となり、ｃ軸は層（すなわちａ軸及びｂ軸）に直交する。

微結晶構造を有する酸化物半導体膜（微結晶酸化物半導体膜）は、ＴＥＭによる観察像
では、明確に結晶部を確認することができない場合がある。微結晶酸化物半導体膜に含ま
れる結晶部は、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下、または１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の大きさであ
ることが多い。特に、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下、または１ｎｍ以上３ｎｍ以下の微結晶で
あるナノ結晶（ｎｃ：ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌ）を有する酸化物半導体膜を、ｎｃ－ＯＳ
（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）膜と呼
ぶ。また、ｎｃ－ＯＳ膜は、例えば、ＴＥＭによる観察像では、結晶粒界を明確に確認で
きない場合がある。

ｎｃ－ＯＳ膜は、微小な領域（例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の領域、特に１ｎｍ以
上３ｎｍ以下の領域）において原子配列に周期性を有する。また、ｎｃ－ＯＳ膜は、異な
る結晶部間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。
従って、ｎｃ－ＯＳ膜は、分析方法によっては、非晶質酸化物半導体膜と区別が付かない
場合がある。例えば、ｎｃ－ＯＳ膜に対し、結晶部よりも大きい径のＸ線を用いるＸＲＤ
装置を用いて構造解析を行うと、ｏｕｔ－ｏｆ－ｐｌａｎｅ法による解析では、結晶面を
示すピークが検出されない。また、ｎｃ－ＯＳ膜に対し、結晶部よりも大きいプローブ径
（例えば５０ｎｍ以上）の電子線を用いる電子線回折（制限視野電子線回折ともいう。）
を行うと、ハローパターンのような回折パターンが観測される。一方、ｎｃ－ＯＳ膜に対
し、結晶部の大きさと近いか結晶部より小さいプローブ径（例えば１ｎｍ以上３０ｎｍ以
下）の電子線を用いる電子線回折（ナノビーム電子線回折ともいう。）を行うと、円を描
くように（リング状に）輝度の高い領域が観測され、当該リング状の領域内に複数のスポ
ットが観測される場合がある。

ｎｃ－ＯＳ膜は、非晶質酸化物半導体膜よりも欠陥準位密度が低い。ただし、ｎｃ－Ｏ
Ｓ膜は、異なる結晶部間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、ｎｃ－ＯＳ膜は、
ＣＡＡＣ－ＯＳ膜と比べて欠陥準位密度が高くなる。従って、ｎｃ－ＯＳ膜はＣＡＡＣ－
ＯＳ膜と比べて、キャリア密度が高く、電子移動度が高くなる場合がある。従って、ｎｃ
－ＯＳ膜を用いたトランジスタは、高い電界効果移動度を示す場合がある。

ｎｃ－ＯＳ膜は、ＣＡＡＣ－ＯＳ膜と比較して、成膜時の酸素流量比を小さくすること
で形成することができる。また、ｎｃ－ＯＳ膜は、ＣＡＡＣ－ＯＳ膜と比較して、成膜時
の基板温度を低くすることでも形成することができる。例えば、ｎｃ－ＯＳ膜は、基板温
度を比較的低温（例えば１３０℃以下の温度）とした状態、または基板を加熱しない状態
でも成膜することができるため、大型のガラス基板や、樹脂基板などに適しており、生産
性を高めることができる。

金属酸化物の結晶構造の一例について説明する。なお、以下では、Ｉｎ－Ｇａ－Ｚｎ酸
化物ターゲット（Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］）を用いて、スパッタ
リング法にて成膜された金属酸化物を一例として説明する。上記ターゲットを用いて、基
板温度を１００℃以上１３０℃以下として、スパッタリング法により形成した金属酸化物
は、ｎｃ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌ）構造及びＣＡＡＣ構造のいずれか一方の結晶構造
、またはこれらが混在した構造をとりやすい。一方、基板温度を室温（Ｒ．Ｔ．）として
、スパッタリング法により形成した金属酸化物は、ｎｃの結晶構造をとりやすい。なお、
ここでいう室温（Ｒ．Ｔ．）とは、基板を意図的に加熱しない場合の温度を含む。

［金属酸化物の構成］
以下では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができるＣＡＣ（Ｃ
ｌｏｕｄ－ＡｌｉｇｎｅｄＣｏｍｐｏｓｉｔｅ）－ＯＳの構成について説明する。

なお、本明細書等において、ＣＡＡＣ（ｃ－ａｘｉｓａｌｉｇｎｅｄｃｒｙｓｔａ
ｌ）、及びＣＡＣ（Ｃｌｏｕｄ－ＡｌｉｇｎｅｄＣｏｍｐｏｓｉｔｅ）と記載する場合
がある。なお、ＣＡＡＣは結晶構造の一例を表し、ＣＡＣは機能、または材料の構成の一
例を表す。

ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌｏｘｉｄｅとは、材料の一部では導電性の機
能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有す
る。なお、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌｏｘｉｄｅを、トランジスタの活性
層に用いる場合、導電性の機能は、キャリアとなる電子（またはホール）を流す機能であ
り、絶縁性の機能は、キャリアとなる電子を流さない機能である。導電性の機能と、絶縁
性の機能とを、それぞれ相補的に作用させることで、スイッチングさせる機能（Ｏｎ／Ｏ
ｆｆさせる機能）をＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌｏｘｉｄｅに付与できる。
ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌｏｘｉｄｅにおいて、それぞれの機能を分離さ
せることで、双方の機能を最大限に高めることができる。

また、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌｏｘｉｄｅは、導電性領域、及び絶縁
性領域を有する。導電性領域は、上述の導電性の機能を有し、絶縁性領域は、上述の絶縁
性の機能を有する。また、材料中において、導電性領域と、絶縁性領域とは、ナノ粒子レ
ベルで分離している場合がある。また、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ材料中
に偏在する場合がある。また、導電性領域は、周辺がぼけてクラウド状に連結して観察さ
れる場合がある。

また、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌｏｘｉｄｅにおいて、導電性領域と、
絶縁性領域とは、それぞれ０．５ｎｍ以上１０ｎｍ以下、好ましくは０．５ｎｍ以上３ｎ
ｍ以下のサイズで材料中に分散している場合がある。

また、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌｏｘｉｄｅは、異なるバンドギャップ
を有する成分により構成される。例えば、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌｏｘ
ｉｄｅは、絶縁性領域に起因するワイドギャップを有する成分と、導電性領域に起因する
ナローギャップを有する成分と、により構成される。当該構成の場合、キャリアを流す際
に、ナローギャップを有する成分において、主にキャリアが流れる。また、ナローギャッ
プを有する成分が、ワイドギャップを有する成分に相補的に作用し、ナローギャップを有
する成分に連動してワイドギャップを有する成分にもキャリアが流れる。このため、上記
ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌｏｘｉｄｅをトランジスタのチャネル形成領域
に用いる場合、トランジスタのオン状態において高い電流駆動力、つまり大きなオン電流
、及び高い電界効果移動度を得ることができる。

すなわち、ＣＡＣ－ＯＳまたはＣＡＣ－ｍｅｔａｌｏｘｉｄｅは、マトリックス複合
材（ｍａｔｒｉｘｃｏｍｐｏｓｉｔｅ）、または金属マトリックス複合材（ｍｅｔａｌ
ｍａｔｒｉｘｃｏｍｐｏｓｉｔｅ）と呼称することもできる。

以上が、構成要素についての説明である。

本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組
み合わせて実施することができる。

（実施の形態２）
本実施の形態では、先の実施の形態で例示したトランジスタを有する表示装置の一例に
ついて説明する。

［構成例］
図１１（Ａ）に、表示装置７００の上面図を示す。表示装置７００は、シール材７１２
により貼り合された第１の基板７０１と第２の基板７０５を有する。また第１の基板７０
１、第２の基板７０５、及びシール材７１２で封止される領域において、第１の基板７０
１上に画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４、及びゲートドライバ回路部７０６が
設けられる。また画素部７０２には、複数の表示素子が設けられる。

また、第１の基板７０１の第２の基板７０５と重ならない部分に、ＦＰＣ７１６（ＦＰ
Ｃ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅｐｒｉｎｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔ）が接続されるＦＰＣ端子部７
０８が設けられている。ＦＰＣ７１６によって、ＦＰＣ端子部７０８及び信号線７１０を
介して、画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４、及びゲートドライバ回路部７０６
のそれぞれに各種信号等が供給される。

ゲートドライバ回路部７０６は、複数設けられていてもよい。また、ゲートドライバ回
路部７０６及びソースドライバ回路部７０４は、それぞれ半導体基板等に別途形成され、
パッケージされたＩＣチップの形態であってもよい。当該ＩＣチップは、第１の基板７０
１上、またはＦＰＣ７１６に実装することができる。

画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有する
トランジスタに、本発明の一態様の半導体装置であるトランジスタを適用することができ
る。

画素部７０２に設けられる表示素子としては、液晶素子、発光素子などが挙げられる。
液晶素子としては、透過型の液晶素子、反射型の液晶素子、半透過型の液晶素子などを用
いることができる。また、発光素子としては、ＬＥＤ（ＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇ
Ｄｉｏｄｅ）、ＯＬＥＤ（ＯｒｇａｎｉｃＬＥＤ）、ＱＬＥＤ（Ｑｕａｎｔｕｍ－ｄｏ
ｔＬＥＤ）、半導体レーザなどの、自発光性の発光素子が挙げられる。また、シャッタ
ー方式または光干渉方式のＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａ
ｌＳｙｓｔｅｍｓ）素子や、マイクロカプセル方式、電気泳動方式、エレクトロウェッ
ティング方式、または電子粉流体（登録商標）方式等を適用した表示素子などを用いるこ
ともできる。

図１１（Ｂ）に示す表示装置７００Ａは、第１の基板７０１に換えて、可撓性を有する
樹脂層７４３が適用され、フレキシブルディスプレイとして用いることのできる表示装置
の例である。

表示装置７００Ａは、画素部７０２が矩形形状でなく、角部が円弧状の形状を有してい
る。また、図１１（Ｂ）中の領域Ｐ１に示すように、画素部７０２、及び樹脂層７４３の
一部が切りかかれた切欠き部を有する。一対のゲートドライバ回路部７０６は、画素部７
０２を挟んで両側に設けられる。またゲートドライバ回路部７０６は、画素部７０２の角
部において、円弧状の輪郭に沿って設けられている。

樹脂層７４３は、ＦＰＣ端子部７０８が設けられる部分が突出した形状を有している。
また樹脂層７４３のＦＰＣ端子部７０８を含む一部は、図１１（Ｂ）中の領域Ｐ２で裏側
に折り返すことができる。樹脂層７４３の一部を折り返すことで、ＦＰＣ７１６を画素部
７０２の裏側に重ねて配置した状態で、表示装置７００Ａを電子機器に実装することがで
き、電子機器の省スペース化を図ることができる。

また表示装置７００Ａに接続されるＦＰＣ７１６には、ＩＣ７１７が実装されている。
ＩＣ７１７は、例えばソースドライバ回路としての機能を有する。このとき、表示装置７
００Ａにおけるソースドライバ回路部７０４は、保護回路、バッファ回路、デマルチプレ
クサ回路等の少なくとも一を含む構成とすることができる。

図１１（Ｃ）に示す表示装置７００Ｂは、大型の画面を有する電子機器に好適に用いる
ことのできる表示装置である。例えばテレビジョン装置、モニタ装置、パーソナルコンピ
ュータ（ノート型またはデスクトップ型を含む）、タブレット端末、デジタルサイネージ
などに好適に用いることができる。

表示装置７００Ｂは、複数のソースドライバＩＣ７２１と、一対のゲートドライバ回路
部７２２を有する。

複数のソースドライバＩＣ７２１は、それぞれＦＰＣ７２３に取り付けられている。ま
た、複数のＦＰＣ７２３は、一方の端子が基板７０１に、他方の端子がプリント基板７２
４にそれぞれ接続されている。ＦＰＣ７２３を折り曲げることで、プリント基板７２４を
画素部７０２の裏側に配置して、電子機器に実装することができ、電子機器の省スペース
化を図ることができる。

一方、ゲートドライバ回路部７２２は、基板７０１上に形成されている。これにより、
狭額縁の電子機器を実現できる。

このような構成とすることで、大型で且つ高解像度の表示装置を実現できる。例えば画
面サイズが対角３０インチ以上、４０インチ以上、５０インチ以上、または６０インチ以
上の表示装置にも適用することができる。また、解像度が４Ｋ２Ｋ、または８Ｋ４Ｋなど
といった極めて高解像度の表示装置を実現することができる。

［断面構成例］
以下では、表示素子として液晶素子を用いる構成、及びＥＬ素子を用いる構成について
、図１２乃至図１５を用いて説明する。なお、図１２乃至図１４は、それぞれ図１１（Ａ
）に示す一点鎖線Ｑ－Ｒにおける断面図である。また図１５は、図１１（Ｂ）に示した表
示装置７００Ａ中の一点鎖線Ｓ－Ｔにおける断面図である。図１２及び図１３は、表示素
子として液晶素子を用いた構成であり、図１４及び図１５は、ＥＬ素子を用いた構成であ
る。

〔表示装置の共通部分に関する説明〕
図１２乃至図１５に示す表示装置は、引き回し配線部７１１と、画素部７０２と、ソー
スドライバ回路部７０４と、ＦＰＣ端子部７０８と、を有する。引き回し配線部７１１は
、信号線７１０を有する。画素部７０２は、トランジスタ７５０及び容量素子７９０を有
する。ソースドライバ回路部７０４は、トランジスタ７５２を有する。図１３では、容量
素子７９０が無い場合を示している。

トランジスタ７５０及びトランジスタ７５２は、実施の形態１で例示したトランジスタ
を適用できる。

本実施の形態で用いるトランジスタは、高純度化し、酸素欠損の形成を抑制した酸化物
半導体膜を有する。該トランジスタは、オフ電流を低くできる。よって、画像信号等の電
気信号の保持時間を長くでき、画像信号等の書き込み間隔も長く設定できる。よって、リ
フレッシュ動作の頻度を少なくできるため、消費電力を低減する効果を奏する。

また、本実施の形態で用いるトランジスタは、比較的高い電界効果移動度が得られるた
め、高速駆動が可能である。例えば、このような高速駆動が可能なトランジスタを表示装
置に用いることで、画素部のスイッチングトランジスタと、駆動回路部に使用するドライ
バトランジスタを同一基板上に形成することができる。すなわち、シリコンウェハ等によ
り形成された駆動回路を適用しない構成も可能であり、表示装置の部品点数を削減するこ
とができる。また、画素部においても、高速駆動が可能なトランジスタを用いることで、
高画質な画像を提供することができる。

図１２、図１４、及び図１５に示す容量素子７９０は、トランジスタ７５０が有する第
１のゲート電極と同一の膜を加工して形成される下部電極と、半導体層と同一の金属酸化
物を加工して形成される上部電極と、を有する。上部電極は、トランジスタ７５０のソー
ス領域及びドレイン領域と同様に低抵抗化されている。また、下部電極と上部電極との間
には、トランジスタ７５０の第１のゲート絶縁層として機能する絶縁膜の一部が設けられ
る。すなわち、容量素子７９０は、一対の電極間に誘電体膜として機能する絶縁膜が挟持
された積層型の構造である。また、上部電極には、トランジスタのソース電極及びドレイ
ン電極と同一の膜を加工して得られる配線が接続されている。

また、トランジスタ７５０、トランジスタ７５２、及び容量素子７９０上には平坦化絶
縁膜７７０が設けられている。

画素部７０２が有するトランジスタ７５０と、ソースドライバ回路部７０４が有するト
ランジスタ７５２とは、異なる構造のトランジスタを用いてもよい。例えば、いずれか一
方にトップゲート型のトランジスタを適用し、他方にボトムゲート型のトランジスタを適
用した構成としてもよい。なお、上記ゲートドライバ回路部７０６についてもソースドラ
イバ回路部７０４と同様である。

信号線７１０は、トランジスタ７５０、７５２のソース電極及びドレイン電極等と同じ
導電膜で形成されている。このとき、銅元素を含む材料等の低抵抗な材料を用いると、配
線抵抗に起因する信号遅延等が少なく、大画面での表示が可能となるため好ましい。

ＦＰＣ端子部７０８は、一部が接続電極として機能する配線７６０、異方性導電膜７８
０、及びＦＰＣ７１６を有する。配線７６０は、異方性導電膜７８０を介してＦＰＣ７１
６が有する端子と電気的に接続される。ここでは、配線７６０は、トランジスタ７５０、
７５２のソース電極及びドレイン電極等と同じ導電膜で形成されている。

第１の基板７０１及び第２の基板７０５としては、例えばガラス基板、またはプラスチ
ック基板等の可撓性を有する基板を用いることができる。第１の基板７０１に可撓性を有
する基板を用いる場合には、第１の基板７０１とトランジスタ７５０等との間に、水や水
素に対するバリア性を有する絶縁層を設けることが好ましい。

また、第２の基板７０５側には、遮光膜７３８と、着色膜７３６と、これらに接する絶
縁膜７３４と、が設けられる。

〔液晶素子を用いる表示装置の構成例〕
図１２に示す表示装置７００は、液晶素子７７５を有する。液晶素子７７５は、導電層
７７２、導電層７７４、及びこれらの間に液晶層７７６を有する。導電層７７４は、第２
の基板７０５側に設けられ、共通電極としての機能を有する。また、導電層７７２は、ト
ランジスタ７５０が有するソース電極またはドレイン電極と電気的に接続される。導電層
７７２は、平坦化絶縁膜７７０上に形成され、画素電極として機能する。

導電層７７２には、可視光に対して透光性を有する材料（以下、透光性の材料ともいう
）、または反射性を有する材料（以下、反射性の材料ともいう）を用いることができる。
透光性の材料としては、例えば、インジウム、亜鉛、スズ等を含む酸化物材料を用いると
よい。反射性の材料としては、例えば、アルミニウム、銀等を含む材料を用いるとよい。

導電層７７２に反射性の材料を用いると、表示装置７００は反射型の液晶表示装置とな
る。一方、導電層７７２に透光性の材料を用いると、透過型の液晶表示装置となる。反射
型の液晶表示装置の場合、視認側に偏光板を設ける。一方、透過型の液晶表示装置の場合
、液晶素子を挟むように一対の偏光板を設ける。

図１３に示す表示装置７００は、横電界方式（例えば、ＦＦＳモード）の液晶素子７７
５を用いる例を示す。導電層７７２上に絶縁層７７３を介して、共通電極として機能する
導電層７７４が設けられる。導電層７７２と導電層７７４との間に生じる電界によって、
液晶層７７６の配向状態を制御することができる。

図１３において、導電層７７４、絶縁層７７３、導電層７７２の積層構造により保持容
量を構成することができる。そのため、別途容量素子を設ける必要がなく、開口率を高め
ることができる。

また、図１２及び図１３には図示しないが、液晶層７７６と接する配向膜を設ける構成
としてもよい。また、偏光部材、位相差部材、反射防止部材などの光学部材（光学基板）
、及びバックライト、サイドライトなどの光源を適宜設けることができる。

液晶層７７６には、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液
晶（ＰＤＬＣ：ＰｏｌｙｍｅｒＤｉｓｐｅｒｓｅｄＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌ）
、高分子ネットワーク型液晶（ＰＮＬＣ：ＰｏｌｙｍｅｒＮｅｔｗｏｒｋＬｉｑｕｉ
ｄＣｒｙｓｔａｌ）、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。また、
横電界方式を採用する場合、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。

また、液晶素子のモードとしては、ＴＮ（ＴｗｉｓｔｅｄＮｅｍａｔｉｃ）モード、
ＶＡ（ＶｅｒｔｉｃａｌＡｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＩＰＳ（Ｉｎ－Ｐｌａｎｅ－Ｓ
ｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＦＦＳ（ＦｒｉｎｇｅＦｉｅｌｄＳｗｉｔｃｈｉｎｇ）
モード、ＡＳＭ（ＡｘｉａｌｌｙＳｙｍｍｅｔｒｉｃａｌｉｇｎｅｄＭｉｃｒｏ－
ｃｅｌｌ）モード、ＯＣＢ（ＯｐｔｉｃａｌＣｏｍｐｅｎｓａｔｅｄＢｉｒｅｆｒｉ
ｎｇｅｎｃｅ）モード、ＥＣＢ（ＥｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙＣｏｎｔｒｏｌｌｅｄＢ
ｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード、ゲストホストモードなどを用いることができる。

また、液晶層７７６に高分子分散型液晶や、高分子ネットワーク型液晶などを用いた、
散乱型の液晶を用いることもできる。このとき、着色膜７３６を設けずに白黒表示を行う
構成としてもよいし、着色膜７３６を用いてカラー表示を行う構成としてもよい。

また、液晶素子の駆動方法として、継時加法混色法に基づいてカラー表示を行う、時間
分割表示方式（フィールドシーケンシャル駆動方式ともいう）を適用してもよい。その場
合、着色膜７３６を設けない構成とすることができる。時間分割表示方式を用いた場合、
例えばＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のそれぞれの色を呈する副画素を設ける必要
がないため、画素の開口率を向上させることや、精細度を高められるなどの利点がある。

〔発光素子を用いる表示装置〕
図１４に示す表示装置７００は、発光素子７８２を有する。発光素子７８２は、導電層
７７２、ＥＬ層７８６、及び導電膜７８８を有する。ＥＬ層７８６は、有機化合物、また
は量子ドットなどの無機化合物を有する。

有機化合物に用いることのできる材料としては、蛍光性材料または燐光性材料などが挙
げられる。また、量子ドットに用いることのできる材料としては、コロイド状量子ドット
材料、合金型量子ドット材料、コア・シェル型量子ドット材料、コア型量子ドット材料、
などが挙げられる。

図１４に示す表示装置７００には、平坦化絶縁膜７７０上に導電層７７２の一部を覆う
絶縁膜７３０が設けられる。ここで、発光素子７８２は透光性の導電膜７８８を有し、ト
ップエミッション型の発光素子である。なお、発光素子７８２は、導電層７７２側に光を
射出するボトムエミッション構造や、導電層７７２側及び導電膜７８８側の双方に光を射
出するデュアルエミッション構造としてもよい。

また、着色膜７３６は発光素子７８２と重なる位置に設けられ、遮光膜７３８は絶縁膜
７３０と重なる位置、引き回し配線部７１１、及びソースドライバ回路部７０４に設けら
れている。また、着色膜７３６及び遮光膜７３８は、絶縁膜７３４で覆われている。また
、発光素子７８２と絶縁膜７３４の間は封止膜７３２で充填されている。なお、ＥＬ層７
８６を画素毎に島状または画素列毎に縞状に形成する、すなわち塗り分けにより形成する
場合においては、着色膜７３６を設けない構成としてもよい。

図１５には、フレキシブルディスプレイに好適に適用できる表示装置の構成を示してい
る。図１５は、図１１（Ｂ）に示した表示装置７００Ａ中の一点鎖線Ｓ－Ｔにおける断面
図である。

図１５に示す表示装置７００Ａは、図１４で示した基板７０１に代えて、支持基板７４
５、接着層７４２、樹脂層７４３、及び絶縁層７４４が積層された構成を有する。トラン
ジスタ７５０や容量素子７９０等は、樹脂層７４３上に設けられた絶縁層７４４上に設け
られている。

支持基板７４５は、有機樹脂やガラス等を含み、可撓性を有する程度に薄い基板である
。樹脂層７４３は、ポリイミドやアクリルなどの有機樹脂を含む層である。絶縁層７４４
は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化シリコン等の無機絶縁膜を含む。樹脂層７４
３と支持基板７４５とは、接着層７４２によって貼りあわされている。樹脂層７４３は、
支持基板７４５よりも薄いことが好ましい。

また、図１５に示す表示装置７００Ａは、図１４で示した基板７０５に代えて保護層７
４０を有する。保護層７４０は、封止膜７３２と貼りあわされている。保護層７４０とし
ては、ガラス基板や樹脂フィルムなどを用いることができる。また、保護層７４０として
、偏光板、散乱板などの光学部材や、タッチセンサパネルなどの入力装置、またはこれら
を２つ以上積層した構成を適用してもよい。

また、発光素子７８２が有するＥＬ層７８６は、絶縁膜７３０及び導電層７７２上に島
状に設けられている。ＥＬ層７８６を、副画素毎に発光色が異なるように作り分けること
で、着色膜７３６を用いずにカラー表示を実現することができる。また、発光素子７８２
を覆って、保護層７４１が設けられている。保護層７４１は発光素子７８２に水などの不
純物が拡散することを防ぐ機能を有する。保護層７４１は、無機絶縁膜を用いることが好
ましい。また、無機絶縁膜と有機絶縁膜をそれぞれ一以上含む積層構造とすることがより
好ましい。

また、図１５では、折り曲げ可能な領域Ｐ２を示している。領域Ｐ２では、支持基板７
４５、接着層７４２のほか、絶縁層７４４等の無機絶縁膜が設けられていない部分を有す
る。また、領域Ｐ２において、配線７６０を覆って樹脂層７４６が設けられている。折り
曲げ可能な領域Ｐ２に無機絶縁膜をできるだけ設けず、且つ、金属または合金を含む導電
層と、有機材料を含む層のみを積層した構成とすることで、曲げた際にクラックが生じる
ことを防ぐことができる。また、領域Ｐ２に支持基板７４５を設けないことで、極めて小
さい曲率半径で、表示装置７００Ａの一部を曲げることができる。

〔表示装置に入力装置を設ける構成例〕
また、図１２乃至図１５に示す表示装置７００または表示装置７００Ａに入力装置を設
けてもよい。当該入力装置としては、例えば、タッチセンサ等が挙げられる。

例えばセンサの方式としては、静電容量方式、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方
式、光学方式、感圧方式など様々な方式を用いることができる。または、これら２つ以上
を組み合わせて用いてもよい。

なお、タッチパネルの構成は、入力装置を一対の基板の内側に形成する、所謂インセル
型のタッチパネル、入力装置を表示装置７００上に形成する、所謂オンセル型のタッチパ
ネル、または表示装置７００に貼り合わせて用いる、所謂アウトセル型のタッチパネルな
どがある。

本実施の形態で示した構成例、及びそれらに対応する図面等は、少なくともその一部を
他の構成例、または図面等と適宜組み合わせて実施することができる。

（実施の形態３）
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置を有する表示装置について、図１６（
Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を用いて説明を行う。

図１６（Ａ）に示す表示装置は、画素部５０２と、駆動回路部５０４と、保護回路５０
６と、端子部５０７と、を有する。なお、保護回路５０６は、設けない構成としてもよい
。

画素部５０２や駆動回路部５０４が有するトランジスタに、本発明の一態様のトランジ
スタを適用することができる。また保護回路５０６にも、本発明の一態様のトランジスタ
を適用してもよい。

画素部５０２は、Ｘ行Ｙ列（Ｘ、Ｙはそれぞれ独立に２以上の自然数）に配置された複
数の表示素子を駆動する複数の画素回路５０１を有する。

駆動回路部５０４は、ゲート線ＧＬ＿１乃至ＧＬ＿Ｘに走査信号を出力するゲートドラ
イバ５０４ａ、データ線ＤＬ＿１乃至ＤＬ＿Ｙにデータ信号を供給するソースドライバ５
０４ｂなどの駆動回路を有する。ゲートドライバ５０４ａは、少なくともシフトレジスタ
を有する構成とすればよい。またソースドライバ５０４ｂは、例えば複数のアナログスイ
ッチなどを用いて構成される。また、シフトレジスタなどを用いてソースドライバ５０４
ｂを構成してもよい。

端子部５０７は、外部の回路から表示装置に電源、制御信号、及び画像信号等を入力す
るための端子が設けられた部分をいう。

保護回路５０６は、自身が接続する配線に一定の範囲外の電位が与えられたときに、該
配線と別の配線とを導通状態にする回路である。図１６（Ａ）に示す保護回路５０６は、
例えば、ゲートドライバ５０４ａと画素回路５０１の間の配線である走査線ＧＬ、または
ソースドライバ５０４ｂと画素回路５０１の間の配線であるデータ線ＤＬ等の各種配線に
接続される。

また、ゲートドライバ５０４ａとソースドライバ５０４ｂは、それぞれ画素部５０２と
同じ基板上に設けられていてもよいし、ゲートドライバ５０４ａまたはソースドライバ５
０４ｂが別途形成された基板（例えば、単結晶半導体膜または多結晶半導体膜で形成され
た駆動回路基板）をＣＯＧやＴＡＢ（ＴａｐｅＡｕｔｏｍａｔｅｄＢｏｎｄｉｎｇ）
によって基板に実装する構成としてもよい。

また、図１６（Ａ）に示す複数の画素回路５０１は、例えば、図１６（Ｂ）、（Ｃ）に
示す構成とすることができる。

図１６（Ｂ）に示す画素回路５０１は、液晶素子５７０と、トランジスタ５５０と、容
量素子５６０と、を有する。また画素回路５０１には、データ線ＤＬ＿ｎ、走査線ＧＬ＿
ｍ、電位供給線ＶＬ等が接続されている。

液晶素子５７０の一対の電極の一方の電位は、画素回路５０１の仕様に応じて適宜設定
される。液晶素子５７０は、書き込まれるデータにより配向状態が設定される。なお、複
数の画素回路５０１のそれぞれが有する液晶素子５７０の一対の電極の一方に共通の電位
（コモン電位）を与えてもよい。また、各行の画素回路５０１の液晶素子５７０の一対の
電極の一方に異なる電位を与えてもよい。

また、図１６（Ｃ）に示す画素回路５０１は、トランジスタ５５２、５５４と、容量素
子５６２と、発光素子５７２と、を有する。また画素回路５０１には、データ線ＤＬ＿ｎ
、走査線ＧＬ＿ｍ、電位供給線ＶＬ＿ａ、電源供給線ＶＬ＿ｂ等が接続されている。

なお、電位供給線ＶＬ＿ａ及び電位供給線ＶＬ＿ｂの一方には、高電源電位ＶＤＤが与
えられ、他方には、低電源電位ＶＳＳが与えられる。トランジスタ５５４のゲートに与え
られる電位に応じて、発光素子５７２に流れる電流が制御されることにより、発光素子５
７２からの発光輝度が制御される。

（実施の形態４）
以下では、画素に表示される階調を補正するためのメモリを備える画素回路と、これを
有する表示装置について説明する。実施の形態１で例示したトランジスタは、以下で例示
する画素回路に用いられるトランジスタに適用することができる。

［回路構成］
図１７（Ａ）に、画素回路４００の回路図を示す。画素回路４００は、トランジスタＭ
１、トランジスタＭ２、容量Ｃ１、及び回路４０１を有する。また画素回路４００には、
配線Ｓ１、配線Ｓ２、配線Ｇ１、及び配線Ｇ２が接続される。

トランジスタＭ１は、ゲートが配線Ｇ１と、ソース及びドレインの一方が配線Ｓ１と、
他方が容量Ｃ１の一方の電極と、それぞれ接続する。トランジスタＭ２は、ゲートが配線
Ｇ２と、ソース及びドレインの一方が配線Ｓ２と、他方が容量Ｃ１の他方の電極、及び回
路４０１と、それぞれ接続する。

回路４０１は、少なくとも一の表示素子を含む回路である。表示素子としては様々な素
子を用いることができるが、代表的には有機ＥＬ素子やＬＥＤ素子などの発光素子、液晶
素子、またはＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔ
ｅｍｓ）素子等を適用することができる。

トランジスタＭ１と容量Ｃ１とを接続するノードをＮ１、トランジスタＭ２と回路４０
１とを接続するノードをＮ２とする。

画素回路４００は、トランジスタＭ１をオフ状態とすることで、ノードＮ１の電位を保
持することができる。また、トランジスタＭ２をオフ状態とすることで、ノードＮ２の電
位を保持することができる。また、トランジスタＭ２をオフ状態とした状態で、トランジ
スタＭ１を介してノードＮ１に所定の電位を書き込むことで、容量Ｃ１を介した容量結合
により、ノードＮ１の電位の変位に応じてノードＮ２の電位を変化させることができる。

ここで、トランジスタＭ１、トランジスタＭ２のうちの一方または両方に、実施の形態
１で例示した、酸化物半導体が適用されたトランジスタを適用することができる。そのた
め極めて低いオフ電流により、ノードＮ１及びノードＮ２の電位を長期間に亘って保持す
ることができる。なお、各ノードの電位を保持する期間が短い場合（具体的には、フレー
ム周波数が３０Ｈｚ以上である場合等）には、シリコン等の半導体を適用したトランジス
タを用いてもよい。

［駆動方法例］
続いて、図１７（Ｂ）を用いて、画素回路４００の動作方法の一例を説明する。図１７
（Ｂ）は、画素回路４００の動作に係るタイミングチャートである。なおここでは説明を
容易にするため、配線抵抗などの各種抵抗や、トランジスタや配線などの寄生容量、及び
トランジスタのしきい値電圧などの影響は考慮しない。

図１７（Ｂ）に示す動作では、１フレーム期間を期間Ｔ１と期間Ｔ２とに分ける。期間
Ｔ１はノードＮ２に電位を書き込む期間であり、期間Ｔ２はノードＮ１に電位を書き込む
期間である。

〔期間Ｔ１〕
期間Ｔ１では、配線Ｇ１と配線Ｇ２の両方に、トランジスタをオン状態にする電位を与
える。また、配線Ｓ１には固定電位である電位Ｖ_ｒｅｆを供給し、配線Ｓ２には第１デー
タ電位Ｖ_ｗを供給する。

ノードＮ１には、トランジスタＭ１を介して配線Ｓ１から電位Ｖ_ｒｅｆが与えられる。
また、ノードＮ２には、トランジスタＭ２を介して第１データ電位Ｖ_ｗが与えられる。し
たがって、容量Ｃ１には電位差Ｖ_ｗ－Ｖ_ｒｅｆが保持された状態となる。

〔期間Ｔ２〕
続いて期間Ｔ２では、配線Ｇ１にはトランジスタＭ１をオン状態とする電位を与え、配
線Ｇ２にはトランジスタＭ２をオフ状態とする電位を与える。また、配線Ｓ１には第２デ
ータ電位Ｖ_ｄａｔａを供給する。配線Ｓ２には所定の定電位を与える、またはフローティ
ングとしてもよい。

ノードＮ１には、トランジスタＭ１を介して第２データ電位Ｖ_ｄａｔａが与えられる。
このとき、容量Ｃ１による容量結合により、第２データ電位Ｖ_ｄａｔａに応じてノードＮ
２の電位が電位ｄＶだけ変化する。すなわち、回路４０１には、第１データ電位Ｖｗと電
位ｄＶを足した電位が入力されることとなる。なお、図１７（Ｂ）ではｄＶが正の値であ
るように示しているが、負の値であってもよい。すなわち、電位Ｖ_ｄａｔａが電位Ｖ_ｒｅ
_ｆより低くてもよい。

ここで、電位ｄＶは、容量Ｃ１の容量値と、回路４０１の容量値によって概ね決定され
る。容量Ｃ１の容量値が回路４０１の容量値よりも十分に大きい場合、電位ｄＶは第２デ
ータ電位Ｖ_ｄａｔａに近い電位となる。

このように、画素回路４００は、２種類のデータ信号を組み合わせて表示素子を含む回
路４０１に供給する電位を生成することができるため、画素回路４００内で階調の補正を
行うことが可能となる。

また画素回路４００は、配線Ｓ１及び配線Ｓ２に供給可能な最大電位を超える電位を生
成することも可能となる。例えば発光素子を用いた場合では、ハイダイナミックレンジ（
ＨＤＲ）表示等を行うことができる。また、液晶素子を用いた場合では、オーバードライ
ブ駆動等を実現できる。

［適用例］
〔液晶素子を用いた例〕
図１７（Ｃ）に示す画素回路４００ＬＣは、回路４０１ＬＣを有する。回路４０１ＬＣ
は、液晶素子ＬＣと、容量Ｃ２とを有する。

液晶素子ＬＣは、一方の電極がノードＮ２及び容量Ｃ２の一方の電極と、他方の電極が
電位Ｖ_ｃｏｍ２が与えられる配線と接続する。容量Ｃ２は、他方の電極が電位Ｖ_ｃｏｍ１
が与えられる配線と接続する。

容量Ｃ２は保持容量として機能する。なお、容量Ｃ２は不要であれば省略することがで
きる。

画素回路４００ＬＣは、液晶素子ＬＣに高い電圧を供給することができるため、例えば
オーバードライブ駆動により高速な表示を実現すること、駆動電圧の高い液晶材料を適用
することなどができる。また、配線Ｓ１または配線Ｓ２に補正信号を供給することで、使
用温度や液晶素子ＬＣの劣化状態等に応じて階調を補正することもできる。

〔発光素子を用いた例〕
図１７（Ｄ）に示す画素回路４００ＥＬは、回路４０１ＥＬを有する。回路４０１ＥＬ
は、発光素子ＥＬ、トランジスタＭ３、及び容量Ｃ２を有する。

トランジスタＭ３は、ゲートがノードＮ２及び容量Ｃ２の一方の電極と、ソース及びド
レインの一方が電位ＶＨが与えられる配線と、他方が発光素子ＥＬの一方の電極と、それ
ぞれ接続される。容量Ｃ２は、他方の電極が電位Ｖ_ｃｏｍが与えられる配線と接続する。
発光素子ＥＬは、他方の電極が電位Ｖ_Ｌが与えられる配線と接続する。

トランジスタＭ３は、発光素子ＥＬに供給する電流を制御する機能を有する。容量Ｃ２
は保持容量として機能する。容量Ｃ２は不要であれば省略することができる。

なお、ここでは発光素子ＥＬのアノード側がトランジスタＭ３と接続する構成を示して
いるが、カソード側にトランジスタＭ３を接続してもよい。そのとき、電位Ｖ_Ｈと電位Ｖ
_Ｌの値を適宜変更することができる。

画素回路４００ＥＬは、トランジスタＭ３のゲートに高い電位を与えることで、発光素
子ＥＬに大きな電流を流すことができるため、例えばＨＤＲ表示などを実現することがで
きる。また、また、配線Ｓ１または配線Ｓ２に補正信号を供給することで、トランジスタ
Ｍ３や発光素子ＥＬの電気特性のばらつきの補正を行うこともできる。

なお、図１７（Ｃ）、（Ｄ）で例示した回路に限られず、別途トランジスタや容量など
を追加した構成としてもよい。

（実施の形態５）
本実施の形態では、本発明の一態様を用いて作製することができる表示モジュールにつ
いて説明する。

図１８（Ａ）に示す表示モジュール６０００は、上部カバー６００１と下部カバー６０
０２との間に、ＦＰＣ６００５が接続された表示装置６００６、フレーム６００９、プリ
ント基板６０１０、及びバッテリー６０１１を有する。

例えば、本発明の一態様を用いて作製された表示装置を、表示装置６００６に用いるこ
とができる。表示装置６００６により、極めて消費電力の低い表示モジュールを実現する
ことができる。

上部カバー６００１及び下部カバー６００２は、表示装置６００６のサイズに合わせて
、形状や寸法を適宜変更することができる。

表示装置６００６はタッチパネルとしての機能を有していてもよい。

フレーム６００９は、表示装置６００６の保護機能、プリント基板６０１０の動作によ
り発生する電磁波を遮断する機能、放熱板としての機能等を有していてもよい。

プリント基板６０１０は、電源回路、ビデオ信号及びクロック信号を出力するための信
号処理回路、バッテリー制御回路等を有する。バッテリー６０１１による電源であっても
よい。

図１８（Ｂ）は、光学式のタッチセンサを備える表示モジュール６０００の断面概略図
である。

表示モジュール６０００は、プリント基板６０１０に設けられた発光部６０１５及び受
光部６０１６を有する。また、上部カバー６００１と下部カバー６００２により囲まれた
領域に一対の導光部（導光部６０１７ａ、導光部６０１７ｂ）を有する。

表示装置６００６は、フレーム６００９を間に介してプリント基板６０１０やバッテリ
ー６０１１と重ねて設けられている。表示装置６００６とフレーム６００９は、導光部６
０１７ａ、導光部６０１７ｂに固定されている。

発光部６０１５から発せられた光６０１８は、導光部６０１７ａにより表示装置６００
６の上部を経由し、導光部６０１７ｂを通って受光部６０１６に達する。例えば指やスタ
イラスなどの被検知体により、光６０１８が遮られることにより、タッチ操作を検出する
ことができる。

発光部６０１５は、例えば表示装置６００６の隣接する２辺に沿って複数設けられる。
受光部６０１６は、発光部６０１５と対向する位置に複数設けられる。これにより、タッ
チ操作がなされた位置の情報を取得することができる。

発光部６０１５は、例えばＬＥＤ素子などの光源を用いることができ、特に、赤外線を
発する光源を用いることが好ましい。受光部６０１６は、発光部６０１５が発する光を受
光し、電気信号に変換する光電素子を用いることができる。好適には、赤外線を受光可能
なフォトダイオードを用いることができる。

光６０１８を透過する導光部６０１７ａ、導光部６０１７ｂにより、発光部６０１５と
受光部６０１６とを表示装置６００６の下側に配置することができ、外光が受光部６０１
６に到達してタッチセンサが誤動作することを抑制できる。特に、可視光を吸収し、赤外
線を透過する樹脂を導光部６０１７ａ、導光部６０１７ｂに用いると、タッチセンサの誤
動作をより効果的に抑制できる。

（実施の形態６）
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置を適用可能な、電子機器の例について説
明する。

図１９（Ａ）に示す電子機器６５００は、スマートフォンとして用いることのできる携
帯情報端末機である。

電子機器６５００は、筐体６５０１に、表示部６５０２、電源ボタン６５０３、ボタン
６５０４、スピーカ６５０５、マイク６５０６、カメラ６５０７、及び光源６５０８等を
有する。表示部６５０２はタッチパネル機能を備える。

表示部６５０２に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。

図１９（Ｂ）は、筐体６５０１のマイク６５０６側の端部を含む断面概略図である。

筐体６５０１の表示面側には透光性を有する保護部材６５１０が設けられ、筐体６５０
１と保護部材６５１０に囲まれた空間内に、表示パネル６５１１、光学部材６５１２、タ
ッチセンサパネル６５１３、プリント基板６５１７、バッテリー６５１８等が配置されて
いる。

保護部材６５１０には、表示パネル６５１１、光学部材６５１２、及びタッチセンサパ
ネル６５１３が図示されていない接着層により固定されている。

また、表示部６５０２よりも外側の領域において、表示パネル６５１１の一部が折り返
されている。また、当該折り返された部分に、ＦＰＣ６５１５が接続されている。ＦＰＣ
６５１５には、ＩＣ６５１６が実装されている。またＦＰＣ６５１５は、プリント基板６
５１７に設けられた端子に接続されている。

表示パネル６５１１には本発明の一態様のフレキシブルディスプレイパネルを適用する
ことができる。そのため、極めて軽量な電子機器を実現できる。また、表示パネル６５１
１が極めて薄いため、電子機器の厚さを抑えつつ、大容量のバッテリー６５１８を搭載す
ることもできる。また、表示パネル６５１１の一部を折り返して、画素部の裏側にＦＰＣ
６５１５との接続部を配置することにより、狭額縁の電子機器を実現できる。

（実施の形態７）
本実施の形態では、本発明の一態様を用いて作製された表示装置を備える電子機器につ
いて説明する。

以下で例示する電子機器は、表示部に本発明の一態様の表示装置を備えるものである。
したがって、高い解像度が実現された電子機器である。また高い解像度と、大きな画面が
両立された電子機器とすることができる。

本発明の一態様の電子機器の表示部には、例えばフルハイビジョン、４Ｋ２Ｋ、８Ｋ４
Ｋ、１６Ｋ８Ｋ、またはそれ以上の解像度を有する映像を表示させることができる。

電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、ノート型のパーソナルコンピュータ、
モニタ装置、デジタルサイネージ、パチンコ機、ゲーム機などの比較的大きな画面を備え
る電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携
帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。

本発明の一態様が適用された電子機器は、家屋やビルの内壁または外壁、自動車等の内
装または外装等が有する平面または曲面に沿って組み込むことができる。

図２０（Ａ）は、ファインダー８１００を取り付けた状態のカメラ８０００の外観を示
す図である。

カメラ８０００は、筐体８００１、表示部８００２、操作ボタン８００３、シャッター
ボタン８００４等を有する。またカメラ８０００には、着脱可能なレンズ８００６が取り
付けられている。

なおカメラ８０００は、レンズ８００６と筐体とが一体となっていてもよい。

カメラ８０００は、シャッターボタン８００４を押す、またはタッチパネルとして機能
する表示部８００２をタッチすることにより撮像することができる。

筐体８００１は、電極を有するマウントを有し、ファインダー８１００のほか、ストロ
ボ装置等を接続することができる。

ファインダー８１００は、筐体８１０１、表示部８１０２、ボタン８１０３等を有する
。

筐体８１０１は、カメラ８０００のマウントと係合するマウントにより、カメラ８００
０に取り付けられている。ファインダー８１００はカメラ８０００から受信した映像等を
表示部８１０２に表示させることができる。

ボタン８１０３は、電源ボタン等としての機能を有する。

カメラ８０００の表示部８００２、及びファインダー８１００の表示部８１０２に、本
発明の一態様の表示装置を適用することができる。なお、ファインダーが内蔵されたカメ
ラ８０００であってもよい。

図２０（Ｂ）は、ヘッドマウントディスプレイ８２００の外観を示す図である。

ヘッドマウントディスプレイ８２００は、装着部８２０１、レンズ８２０２、本体８２
０３、表示部８２０４、ケーブル８２０５等を有している。また装着部８２０１には、バ
ッテリー８２０６が内蔵されている。

ケーブル８２０５は、バッテリー８２０６から本体８２０３に電力を供給する。本体８
２０３は無線受信機等を備え、受信した映像情報を表示部８２０４に表示させることがで
きる。また、本体８２０３はカメラを備え、使用者の眼球やまぶたの動きの情報を入力手
段として用いることができる。

また、装着部８２０１には、使用者に触れる位置に、使用者の眼球の動きに伴って流れ
る電流を検知可能な複数の電極が設けられ、視線を認識する機能を有していてもよい。ま
た、当該電極に流れる電流により、使用者の脈拍をモニタする機能を有していてもよい。
また、装着部８２０１には、温度センサ、圧力センサ、加速度センサ等の各種センサを有
していてもよく、使用者の生体情報を表示部８２０４に表示する機能や、使用者の頭部の
動きに合わせて表示部８２０４に表示する映像を変化させる機能を有していてもよい。

表示部８２０４に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。

図２０（Ｃ）（Ｄ）（Ｅ）は、ヘッドマウントディスプレイ８３００の外観を示す図で
ある。ヘッドマウントディスプレイ８３００は、筐体８３０１と、表示部８３０２と、バ
ンド状の固定具８３０４と、一対のレンズ８３０５と、を有する。

使用者は、レンズ８３０５を通して、表示部８３０２の表示を視認することができる。
なお、表示部８３０２を湾曲して配置させると、使用者が高い臨場感を感じることができ
るため好ましい。また、表示部８３０２の異なる領域に表示された別の画像を、レンズ８
３０５を通して視認することで、視差を用いた３次元表示等を行うこともできる。なお、
表示部８３０２を１つ設ける構成に限られず、表示部８３０２を２つ設け、使用者の片方
の目につき１つの表示部を配置してもよい。

なお、表示部８３０２に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。本発明
の一態様の半導体装置を有する表示装置は、極めて精細度が高いため、図２０（Ｅ）のよ
うにレンズ８３０５を用いて拡大したとしても、使用者に画素が視認されることなく、よ
り現実感の高い映像を表示することができる。

図２１（Ａ）乃至図２１（Ｇ）に示す電子機器は、筐体９０００、表示部９００１、ス
ピーカ９００３、操作キー９００５（電源スイッチ、又は操作スイッチを含む）、接続端
子９００６、センサ９００７（力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、
光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、
流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線を測定する機能を含むもの）、マイクロフォ
ン９００８、等を有する。

図２１（Ａ）乃至図２１（Ｇ）に示す電子機器は、様々な機能を有する。例えば、様々
な情報（静止画、動画、テキスト画像など）を表示部に表示する機能、タッチパネル機能
、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア（プログラム）
によって処理を制御する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまた
はデータを読み出して処理する機能、等を有することができる。なお、電子機器の機能は
これらに限られず、様々な機能を有することができる。電子機器は、複数の表示部を有し
ていてもよい。また、電子機器にカメラ等を設け、静止画や動画を撮影し、記録媒体（外
部またはカメラに内蔵）に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有
していてもよい。

図２１（Ａ）乃至図２１（Ｇ）に示す電子機器の詳細について、以下説明を行う。

図２１（Ａ）は、テレビジョン装置９１００を示す斜視図である。テレビジョン装置９
１００は、大画面、例えば、５０インチ以上、または１００インチ以上の表示部９００１
を組み込むことが可能である。

図２１（Ｂ）は、携帯情報端末９１０１を示す斜視図である。携帯情報端末９１０１は
、例えばスマートフォンとして用いることができる。なお、携帯情報端末９１０１は、ス
ピーカ９００３、接続端子９００６、センサ９００７等を設けてもよい。また、携帯情報
端末９１０１は、文字や画像情報をその複数の面に表示することができる。図２１（Ｂ）
では３つのアイコン９０５０を表示した例を示している。また、破線の矩形で示す情報９
０５１を表示部９００１の他の面に表示することもできる。情報９０５１の一例としては
、電子メール、ＳＮＳ、電話などの着信の通知、電子メールやＳＮＳなどの題名、送信者
名、日時、時刻、バッテリーの残量、アンテナ受信の強度などがある。または、情報９０
５１が表示されている位置にはアイコン９０５０などを表示してもよい。

図２１（Ｃ）は、携帯情報端末９１０２を示す斜視図である。携帯情報端末９１０２は
、表示部９００１の３面以上に情報を表示する機能を有する。ここでは、情報９０５２、
情報９０５３、情報９０５４がそれぞれ異なる面に表示されている例を示す。例えば使用
者は、洋服の胸ポケットに携帯情報端末９１０２を収納した状態で、携帯情報端末９１０
２の上方から観察できる位置に表示された情報９０５３を確認することもできる。使用者
は、携帯情報端末９１０２をポケットから取り出すことなく表示を確認し、例えば電話を
受けるか否かを判断できる。

図２１（Ｄ）は、腕時計型の携帯情報端末９２００を示す斜視図である。携帯情報端末
９２００は、例えばスマートウォッチとして用いることができる。また、表示部９００１
はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。ま
た、携帯情報端末９２００は、例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することに
よって、ハンズフリーで通話することもできる。また、携帯情報端末９２００は、接続端
子９００６により、他の情報端末と相互にデータ伝送を行うことや、充電を行うこともで
きる。なお、充電動作は無線給電により行ってもよい。

図２１（Ｅ）（Ｆ）（Ｇ）は、折り畳み可能な携帯情報端末９２０１を示す斜視図であ
る。また、図２１（Ｅ）は携帯情報端末９２０１を展開した状態、図２１（Ｇ）は折り畳
んだ状態、図２１（Ｆ）は図２１（Ｅ）と図２１（Ｇ）の一方から他方に変化する途中の
状態の斜視図である。携帯情報端末９２０１は、折り畳んだ状態では可搬性に優れ、展開
した状態では継ぎ目のない広い表示領域により表示の一覧性に優れる。携帯情報端末９２
０１が有する表示部９００１は、ヒンジ９０５５によって連結された３つの筐体９０００
に支持されている。例えば、表示部９００１は、曲率半径１ｍｍ以上１５０ｍｍ以下で曲
げることができる。

図２２（Ａ）にテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置７１００は、筐体７
１０１に表示部７５００が組み込まれている。ここでは、スタンド７１０３により筐体７
１０１を支持した構成を示している。

図２２（Ａ）に示すテレビジョン装置７１００の操作は、筐体７１０１が備える操作ス
イッチや、別体のリモコン操作機７１１１により行うことができる。または、表示部７５
００にタッチパネルを適用し、これに触れることでテレビジョン装置７１００を操作して
もよい。リモコン操作機７１１１は、操作ボタンの他に表示部を有していてもよい。

なお、テレビジョン装置７１００は、テレビ放送の受信機や、ネットワーク接続のため
の通信装置を有していてもよい。

図２２（Ｂ）に、ノート型パーソナルコンピュータ７２００を示す。ノート型パーソナ
ルコンピュータ７２００は、筐体７２１１、キーボード７２１２、ポインティングデバイ
ス７２１３、外部接続ポート７２１４等を有する。筐体７２１１に、表示部７５００が組
み込まれている。

図２２（Ｃ）、（Ｄ）に、デジタルサイネージ（ＤｉｇｉｔａｌＳｉｇｎａｇｅ：電
子看板）の一例を示す。

図２２（Ｃ）に示すデジタルサイネージ７３００は、筐体７３０１、表示部７５００、
及びスピーカ７３０３等を有する。さらに、ＬＥＤランプ、操作キー（電源スイッチ、ま
たは操作スイッチを含む）、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することがで
きる。

また、図２２（Ｄ）は円柱状の柱７４０１に取り付けられたデジタルサイネージ７４０
０である。デジタルサイネージ７４００は、柱７４０１の曲面に沿って設けられた表示部
７５００を有する。

表示部７５００が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができ、また人の目
につきやすいため、例えば広告の宣伝効果を高める効果を奏する。

表示部７５００にタッチパネルを適用し、使用者が操作できる構成とすると好ましい。
これにより、広告用途だけでなく、路線情報や交通情報、商用施設の案内情報など、使用
者が求める情報を提供するための用途にも用いることができる。

また、図２２（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、デジタルサイネージ７３００またはデジタ
ルサイネージ７４００は、ユーザが所持するスマートフォン等の情報端末機７３１１と無
線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部７５００に表示される広告
の情報を情報端末機７３１１の画面に表示させることや、情報端末機７３１１を操作する
ことで、表示部７５００の表示を切り替えることができる。

また、デジタルサイネージ７３００またはデジタルサイネージ７４００に、情報端末機
７３１１を操作手段（コントローラ）としたゲームを実行させることもできる。これによ
り、不特定多数のユーザが同時にゲームに参加し、楽しむことができる。

図２２（Ａ）乃至（Ｄ）における表示部７５００に、本発明の一態様の表示装置を適用
することができる。

本実施の形態の電子機器は表示部を有する構成としたが、表示部を有さない電子機器に
も本発明の一態様を適用することができる。

１００、１００Ａ～１００Ｃ：トランジスタ、１０２：基板、１０３：絶縁層、１０３ａ
、ｂ：領域、１０６：導電層、１０８、１０８ａ、ｂ：半導体層、１０８ｆ：金属酸化物
膜、１０８Ｌ：層、１０８Ｎ：領域、１１０：絶縁層、１１０ｆ：絶縁膜、１１２：導電
層、１１２ｆ：導電膜、１１４：金属酸化物層、１１４ｆ：金属酸化物膜、１１５：レジ
ストマスク、１１６、１１８：絶縁層、１２０ａ、１２０ｂ：導電層、１４１ａ、ｂ、１
４２：開口部

Claims

半導体層と、第１の絶縁層と、第２の絶縁層と、第３の絶縁層と、第１の導電層と、第２の導電層と、金属酸化物層と、を有し、
前記半導体層は、前記第１の絶縁層上に設けられ、
前記第１の絶縁層は、厚さ方向に突出した第１の領域を有し、
前記半導体層は、前記第１の領域と重なりを有し、
前記第２の絶縁層は、前記第１の絶縁層のうち前記第１の領域以外の第２の領域の上面と、前記第１の領域の側面と、前記半導体層の上面と、前記半導体層の側面とに接する領域を有し、
前記金属酸化物層は、前記第２の絶縁層上に設けられ、
前記第１の導電層は、前記金属酸化物層上に設けられ、
前記第１の導電層は、前記第２の領域上における前記第１の導電層の下面が、前記半導体層の下面よりも低い位置に配置された領域を有し、
前記半導体層は、前記第１の導電層、前記金属酸化物層及び前記第２の絶縁層と重なりを有さない第３の領域を有し、
前記第３の絶縁層は、前記第３の領域の上面と接する領域を有し、
前記半導体層及び前記金属酸化物層は、インジウム及びガリウムを含む金属酸化物を含み、
前記金属酸化物層は、前記半導体層よりもガリウムの組成が高く、
前記半導体層は、第１の金属酸化物膜と、前記第１の金属酸化物膜上の第２の金属酸化物膜と、を有し、
前記第２の金属酸化物膜は、前記第１の金属酸化物膜よりも結晶性が高く、
前記第３の絶縁層は、窒化物を含む、
半導体装置。