JP7518538B2 - 砥石揺動装置およびネジ軸の超仕上装置 - Google Patents

砥石揺動装置およびネジ軸の超仕上装置 Download PDF

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Description

本発明は、ボールネジのネジ軸の溝を超仕上する装置に関する。
ボールネジは、直線運動を回転運動または回転運動を直線運動に変換する機械要素であり、半導体製造装置および工作機械等の工業用装置、航空宇宙機器および自動車等の運搬機器、ならびに、医療機器およびロボット等を含め、その利用分野は極めて広い。
ボールネジはサーボモータと組み合わされて使用されることが多く、高い動作精度が求められる。また、ボールネジは動作音をより低くすることが求められ、そのためボールネジを構成するネジ軸、ナットおよびボールの摺動面は平滑であることが好ましい。
ボールネジの構成要素の一つであるネジ軸の平滑化について、ネジ軸のゴシックアーク溝との接触により事前に成形された砥石を、ゴシックアーク溝断面形状に対する特定の揺動軸回りに揺動させ、溝内の2つの曲面(フランク)を同時に超仕上する方法が提案されている(特許文献1)。
ネジ軸のゴシックアーク溝の超仕上において、砥石のまたぎ幅方向の各半分をそれぞれ異なるフランクに接触させ、溝内で揺動する砥石とゴシックアーク溝とが連続した接触加工線となるように揺動軸の傾斜角および揺動軸の位置を設定する方法も提案されている(特許文献2)。
特開2003-145410号公報 特開2003-159641号公報
しかし、特許文献1および特許文献2におけるゴシックアーク溝の超仕上方法は、主に砥石の揺動軸とゴシックアーク溝との好適な位置関係を提案するもので、この好適な砥石の揺動軸の位置決定に基づいてゴシックアーク溝の超仕上処理を実現する装置については、具体的に提示されていない。
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、ボールネジのネジ軸におけるゴシックアーク溝の超仕上処理を実現できる砥石揺動装置および超仕上装置を提供することを目的とする。
本発明に係る砥石揺動装置は、砥石保持部、砥石押圧部および揺動モータを有する。砥石保持部は、超仕上に用いる砥石を収容するための貫通する砥石孔、および砥石が砥石孔から脱落するのを防止する砥石脱落防止装置を備える。砥石押圧部は、砥石孔に収容された砥石を砥石孔が貫通する方向の一方に向けて押圧するシリンダ装置を備える。
揺動モータは、シリンダ装置が砥石を研磨対象物の被研磨面に押圧した状態で、砥石孔が貫通する方向に直交する方向を揺動軸として砥石保持部および砥石押圧部を一体として揺動させて被研磨面を超仕上可能に構成される。
砥石孔は、貫通方向に直交する断面形状が揺動軸方向を長手方向とする矩形である。
砥石脱落防止装置は、砥石孔におけるその長手方向の一方の内面近くに挿入された板状の砥石押部、前記長手方向の一方の内面と砥石保持部における前記長手方向の一方側の端面とを貫通する雌ネジ、および雌ネジに螺合する雄ネジを有する。
砥石脱落防止装置は、雄ネジを雌ネジに進入させて砥石押部を砥石孔内の砥石に押圧することにより砥石の砥石孔からの脱落を防止するように形成されている。
シリンダ装置は、砥石における砥石孔が貫通する方向の他方の端面を押圧する。
シリンダ装置としてエアシリンダを用いるのが好ましい。
好ましくは、揺動モータのシャフトの軸心の延長が砥石の揺動軸に一致するように形成される。
本発明に係る超仕上装置は、前述した砥石揺動装置、ボールネジのネジ軸の両端を支持してネジ軸を回転させるネジ軸回転装置、およびネジ軸回転装置が支持するネジ軸の軸心
方向に砥石揺動装置を往復移動させる移動装置を有する。超仕上装置は、ネジ軸回転装置がネジ軸を1回転させる間に、移動装置が砥石揺動装置をネジ軸の1ピッチ分の距離移動させるように構成される。
本発明によると、ボールネジのネジ軸におけるゴシックアーク溝の超仕上処理を実際に行うことができる砥石揺動装置および超仕上装置を提供することができる。
図1は超仕上装置の斜視図である。 図2は超仕上装置の平面図である。 図3は超仕上装置の正面図である。 図4は超仕上装置の右側面図である。 図5は砥石揺動装置の側面図である。 図6は砥石ヘッドの斜視図である。 図7は砥石ヘッドの正面図である。 図8は砥石ヘッドの平面図である。 図9は砥石ヘッドの左側面図である。 図10は図7におけるA-A矢視断面図である。 図11は超仕上げ装置によりネジ軸のゴシックアーク溝の超仕上を行う様子を示す図である。 図12は他の形態による砥石押圧部を示す図である。
図1は超仕上装置1の斜視図、図2は超仕上装置1の平面図、図3は超仕上装置1の正面図。図4は超仕上装置1の右側面図、図5は砥石揺動装置2の側面図、図6は砥石ヘッド3の斜視図、図7は砥石ヘッド3の正面図、図8は砥石ヘッド3の平面図、図9は砥石ヘッド3の左側面図、図10は図7におけるA-A矢視断面図である。
超仕上装置1は、ネジ軸回転装置4、砥石揺動装置2および砥石ヘッド移動装置5を有する。ネジ軸回転装置4および砥石ヘッド移動装置5は、基台6に支持される。基台6は、超仕上装置1の各構成要素を支持する基礎をなす部分である。
ネジ軸回転装置4は、主軸台12および心押台13からなる。
主軸台12および心押台13は、それぞれが超仕上対象のネジ軸Wの両端面を支えるためのセンタ14,15を有する。主軸台12は主軸16を備え、主軸16はサーボモータ17により正回転および逆回転する。サーボモータ17は、図示しない制御装置によりその回転が制御される。
主軸16にはケレが固定されている。ケレは、センタ14,15が支える超仕上対象のネジ軸Wを主軸16と一体に回転させる働きをする。
主軸台12および心押台13は、それぞれその下部に一体化されたアリガタがいずれも基台6に固定されたアリミゾ18に嵌め入れられている。主軸台12および心押台13は、センタ14,15の並び方向(主軸16の回転軸方向、アリミゾ18が伸びた方向)に別個に移動可能である。主軸台12および心押台13は、超仕上対象のネジ軸Wの長さおよびその溝の位置に応じてそれぞれの位置が決定され、その並び方向への移動がそれぞれの固定装置19a,19bにより個別に制限される。
砥石揺動装置2は、砥石ヘッド3および揺動モータ21を有する。
図6~図10を参照して、砥石ヘッド3は、接続部22、砥石保持部23および砥石押圧部24からなる。
接続部22は、所謂フランジに類似する形態を有する円形の厚い板である。
砥石保持部23は、支柱部25および支持部26を有する。支柱部25は断面が略半円の柱状であり、断面半円の弦に相当する面を上に向け断面円弧の曲率中心を円形の接続部22の中心に一致させて、接続部22に一体化されている。支持部26は、接続部22から突出する支柱部25の端部に一体化されて前記端部からさらに外方に突出する。支持部26は、支柱部25における半円断面の弦に直交する方向に貫通する砥石孔27を有する
。砥石孔27は貫通方向に直交する断面が矩形であり、その矩形断面の長手方向が支柱部25における突出方向に一致する。
砥石保持部23は、砥石孔27からの砥石Stの脱落を防止するための砥石脱落防止装置28を備える。
図10を参照して、砥石脱落防止装置28は、砥石押部29、六角穴付全ネジ30、緩み止めナット31および支持部26に設けられた雌ネジ32からなる。
砥石押部29は、砥石孔27における矩形断面の幅方向を短辺とする矩形の板の長手方向の一方の端が直角に折れ曲がって僅かに突出した、「L」字状の形状を有する。
支持部26の砥石孔27に収容される砥石Stは、砥石孔27の断面と略同じ矩形形状の断面を有するが、その長手方向寸法は砥石孔27の長手方向寸法と比較して砥石押部29の厚さ分より僅かに小さい。
雌ネジ32は、支持部26の突出する側の端面、つまり支柱部25から離れた側の端面に開口し、この端面と砥石孔27とを貫通する。
砥石保持部23が砥石孔27内に砥石Stを収容するとき、砥石押部29は、直角に折れ曲がった端側を上に且つ端の直角に折れ曲がって突出する部分を外方に位置させて、砥石孔27と砥石Stとにより生ずる隙間に嵌り込んでいる。
砥石脱落防止装置28は、上記状態で、六角穴付全ネジ30を螺合する雌ネジ32に進入させ砥石押部29を砥石Stの側面に押圧させることにより、砥石孔27からの砥石Stの脱落を防止する。
なお、六角穴付全ネジ30は、砥石孔27からの砥石Stの自然落下が防止でき且つ外力(例えば砥石押圧部24による力)が加えられたときに砥石孔27内を砥石Stが移動可能な程度の進入度合いで螺合される。
砥石押圧部24は、アーム35、エアシリンダ36および押圧棒37を有する。
アーム35は、支柱部25から離れた支柱部25の上方において接続部22から支柱部25の突出方向と同方向に延び、延びた先でエアシリンダ36(のシリンダ)を支持する。
エアシリンダ36は、そのロッド38の先端部が支柱部25側に位置するように、またそのロッド38の軸心が断面半円の支柱部25の軸心(断面半円の中心)に直交し且つ砥石孔27の開口の略中央の上方となるようにして、アーム35に一体化されている。
押圧棒37は、短冊状の長い板であり、その長手方向をロッド38の軸心方向に一致させてその長手方向の一方の端がエアシリンダ36のロッド38の先端部に(間接的に)連結されている。
揺動モータ21は、そのシャフトが砥石ヘッド3の接続部22に連結されて特定の角度内で正転と逆転を繰り返すことにより、砥石ヘッド3を往復揺動させる。その揺動中心(揺動軸)は揺動モータ21のシャフトの軸心の延長に一致し、図5、図7等において符合Csで示される。揺動モータ21は、後述する砥石ヘッド移動装置5の移動体41に固定され、移動体41とともに移動する。揺動モータ21にはサーボモータが使用される。
砥石ヘッド移動装置5は、移動体41、一対のリニアガイド42,42、ボールネジ43およびサーボモータ44を備える。一対のリニアガイ42,42は、そのレール45,45が互いに平行に且つ主軸台12と心押台13との並び方向に伸びて基台6に固定されている。ボールネジ43は、そのネジ軸46がレール45,45の中間にこれらと平行に配されている。ネジ軸46の両端の軸受けは基台6に固定されている。
移動体41は、その上面に砥石揺動装置2(の揺動モータ21)を非固定的に保持している。移動体41は、その下方にリニアガイド42,42のブロックおよびボールネジ43のボールナットが固定されている。
ネジ軸46の一端には、サーボモータ44が連結されている。サーボモータ44は、基台6に固定されている。サーボモータ44は、図示しない制御装置によりその回転が制御されて、移動体41をリニアガイド42,42が伸びた方向に往復移動させる。
砥石ヘッド移動装置5は、ネジ軸回転装置4の横(図2では上)に配される。
なお、砥石揺動装置2は、移動体41に対して移動体41の移動方向に直交する方向(図2の上下方向)に移動可能であり、且つこの直交する方向(図2の上下方向)に対して正逆のいずれにも傾斜可能である。さらに砥石揺動装置2は、砥石回転装置2からの超仕上後のネジ軸Wの取り出し、未加工のネジ軸Wの砥石揺動装置2への取り付けに砥石Stが干渉しないように、若干の上方への移動が可能である。
図11は超仕上げ装置1によりネジ軸Wのゴシックアーク溝の超仕上を行う様子を示す図である。ここで(a)は超仕上時の斜視図、(b)は超仕上時にネジ軸Wの軸心Caおよび砥石Stの揺動軸Csのいずれにも直交する上方から砥石St等を見た図である。なおネジ軸Wのゴシックアーク溝(以下「溝」と略すことがある)の超仕上において、(a),(b)のいずれも砥石Stが左から右に移動し、ネジ軸Wはその右端から見たときに時計回りに回転する。
砥石Stの研磨面(溝表面を研磨する面)の(断面)形状は、予めネジ軸Wの溝の(断面)形状に合わせて所定の形状に仕上げられている。
超仕上げ装置1によるネジ軸Wのゴシックアーク溝の超仕上は、砥石Stの揺動軸Csがネジ軸回転装置4に取り付けられたネジ軸Wの溝の延びる方向に一致するように、つまりネジ軸Wの軸心Caおよび砥石Stの揺動軸Csのいずれにも直交する上方から見たとき(図11(b))ネジ軸Wの溝が延びる方向と砥石Stの揺動軸Csとが一致するように、移動体41の移動方向に対する砥石揺動装置2の傾きが調整される。
ネジ軸Wの溝の超仕上は、例えば図11においては砥石揺動装置2(移動体41、砥石ヘッド3)を左から右に移動させて行われる。ネジ軸Wの溝の超仕上における砥石揺動装置2のネジ軸W軸心方向への移動は、片道のみ、一往復または数往復のいずれかを選択可能である。
超仕上げ装置1は、ネジ軸回転装置4がネジ軸Wを(右端から見たとき時計回りに)1回転させる間に、砥石ヘッド移動装置5が砥石揺動装置2をネジ軸Wの1ピッチ分右に移動させる。そして、砥石揺動装置2は、ネジ軸Wが回転し砥石ヘッド3が左から右に移動する間、砥石Stを砥石揺動装置2が揺動軸Cs回りに高速で揺動させる。また、この間、砥石ヘッド3におけるエアシリンダ36には加圧エアがそのシリンダ内に供給され、ロッド38が伸張して押圧棒37が砥石Stをネジ軸Wの溝に向けて押圧する。
超仕上げ装置1は、砥石Stを揺動させながらネジ軸Wの溝が設け設けられた部分を左端から右端まで移動させて溝の超仕上を行う。溝部分の右端に砥石Stが到達するとエアシリンダ36への加圧エアの供給が停止され、超仕上げ装置1は次のネジ軸Wの超仕上に備える。砥石ヘッド3における砥石Stは、ネジ軸Wの溝による支えを失った後も、砥石脱落防止装置28の砥石押部29により適度な力で砥石孔27の内面に押しつけられ、砥石孔27からの下方への落下が防止される。
図12は他の形態による砥石押圧部24Bを示す図である。
砥石押圧部24Bは、アーム35、エアシリンダ36、押圧棒37Bおよび付勢部材39Bを有する。
砥石押圧部24Bにおけるアーム35およびエアシリンダ36は、その形態および砥石ヘッド3における働き等が前述した砥石押圧部24と同一であり、その説明を省略する。
押圧棒37Bは、短冊状のやや厚い板であり、その長手方向をロッド38の軸心方向に一致させてその長手方向の一方の端がエアシリンダ36のロッド38の先端部に連結されている。押圧棒37Bは、ロッド38に連結された側とは反対側の端部に付勢部材39Bを揺動可能に支持する。
付勢部材39Bは、弾性部51Bおよび連結部52Bとからなる。弾性部51Bは、砥石孔27に嵌め入れられた砥石Stを上から見たときの矩形形状(上述した矩形断面と同意)と略同じ大きさの弾性を有する短冊状の薄板で形成されている。
弾性部51Bは、その矩形形状における長手方向の両端から内方がいずれも平らな当接部53B,53Bとなっている。弾性部51Bは、2つの当接部53B,53Bの間に、その厚さ方向の一方に凸状に湾曲または盛り上がる中間部54Bを有する。
連結部52Bは、中間部54Bの凸状に突出する表面に一体化され、弾性部51Bの幅
方向に間隔を有し向き合って外方に拡がった、一対の薄板である。
付勢部材39Bは、連結部52Bが揺動ピン55Bにより押圧棒37Bの端部に揺動可能に連結されている。付勢部材39Bは、その矩形形状における幅方向に軸心が延びた揺動ピン55Bを中心に揺動可能である。
砥石押圧部24Bは、その付勢部材39Bにおける当接部53B,53Bの砥石Stに対する押圧面積が砥石押圧部24における押圧棒37(の先端)の砥石Stに対する押圧面積に比べて大きく砥石Stへの押圧力が広い範囲に分散するので、砥石Stの局部的な破損の虞が減少する。
また、付勢部材39Bはその当接部53B,53Bが砥石Stの長手方向端近傍を押圧する。ところで、砥石Stのネジ軸Wの溝の円形断面における法線方向についての押圧力は砥石Stの長手方向の端ほど小さくなる。付勢部材39Bは、当接部53B,53Bが砥石Stの長手方向端近傍を押圧することによって、砥石Stの長手方向の端近傍におけるネジ軸Wの溝表面に対する押圧力の低下を減少させる効果が期待できる。
上述の実施形態において、砥石押圧部24,24Bにおけるエアシリンダ36に代えて油圧シリンダを用いることができる。
その他、超仕上げ装置1、および超仕上げ装置1の各構成または全体の構造、形状、寸法、個数、材質などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更することができる。
本発明は、ボールネジのネジ軸の溝を超仕上する装置に利用することができる。
1 超仕上げ装置
2 砥石揺動装置
4 ネジ軸回転装置
5 砥石ヘッド移動装置(移動装置)
21 揺動モータ
23 砥石保持部
24,24B 砥石押圧部
27 砥石孔
28 砥石脱落防止装置
29 砥石押部
30 六角穴付全ネジ(雄ネジ)
32 (支柱部25に設けられた)雌ネジ
36 エアシリンダ(シリンダ装置)
Cs 揺動軸
St 砥石
W ボールネジのネジ軸

Claims (4)

  1. 砥石保持部と、
    砥石押圧部と、
    揺動モータと、を有し、
    前記砥石保持部は、超仕上に用いる砥石を収容するための貫通する砥石孔、および前記砥石が前記砥石孔から脱落するのを防止する砥石脱落防止装置を備え、
    前記砥石押圧部は、前記砥石孔に収容された前記砥石を前記砥石孔が貫通する方向の一方に向けて押圧するシリンダ装置を備え、
    前記揺動モータは、前記シリンダ装置が前記砥石を研磨対象物の被研磨面に押圧した状態で、前記砥石孔が貫通する方向に直交する方向を揺動軸として前記砥石保持部および前記砥石押圧部を一体として揺動させて前記被研磨面を超仕上可能に構成され、
    前記砥石孔は、前記貫通する方向に直交する断面形状が前記揺動軸方向を長手方向とする矩形であり、
    前記砥石脱落防止装置は、
    前記砥石孔におけるその長手方向の一方の内面近くに挿入された板状の砥石押部と、 前記長手方向の一方の内面と前記砥石保持部における前記長手方向の一方の側の端面とを
    貫通する雌ネジと、
    前記雌ネジに螺合する雄ネジと、を有し、
    前記雄ネジを前記雌ネジに進入させて前記砥石押部を前記砥石孔内の前記砥石に押圧することにより前記砥石の前記砥石孔からの脱落を防止するように形成され
    前記砥石における前記砥石孔が貫通する方向の他方の端面を前記シリンダ装置が押圧する
    ことを特徴とする砥石揺動装置。
  2. 前記シリンダ装置がエアシリンダである
    請求項1に記載の砥石揺動装置。
  3. 前記揺動モータのシャフトの軸心の延長が前記揺動軸に一致する
    請求項1または請求項2に記載の砥石揺動装置。
  4. 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の砥石揺動装置と、
    ボールネジのネジ軸の両端を支持して前記ネジ軸を回転させるネジ軸回転装置と、
    前記ネジ軸回転装置が支持する前記ネジ軸の軸心方向に前記砥石揺動装置を往復移動させる移動装置と、を有し、
    前記ネジ軸回転装置が前記ネジ軸を1回転させる間に、前記移動装置が前記砥石揺動装置を前記ネジ軸の1ピッチ分の距離移動させるように構成された
    ことを特徴とするネジ軸の超仕上装置。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003200341A (ja) 2001-12-28 2003-07-15 Daisei Co Ltd 超仕上げ盤
JP2004001199A (ja) 2002-04-10 2004-01-08 Nsk Ltd ゴシックアーク溝の超仕上げ加工方法
JP2004050391A (ja) 2002-07-24 2004-02-19 Koyo Seiko Co Ltd 超仕上げ装置
JP2008087090A (ja) 2006-09-29 2008-04-17 Jtekt Corp ねじ溝切削方法および装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5570956U (ja) * 1978-11-02 1980-05-16
JPS58109266A (ja) * 1981-12-23 1983-06-29 Osaka Seiki Kk 環状被加工物の外周面加工用超仕上加工装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003200341A (ja) 2001-12-28 2003-07-15 Daisei Co Ltd 超仕上げ盤
JP2004001199A (ja) 2002-04-10 2004-01-08 Nsk Ltd ゴシックアーク溝の超仕上げ加工方法
JP2004050391A (ja) 2002-07-24 2004-02-19 Koyo Seiko Co Ltd 超仕上げ装置
JP2008087090A (ja) 2006-09-29 2008-04-17 Jtekt Corp ねじ溝切削方法および装置

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