JP7486093B2

JP7486093B2 - 位置決め装置

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Publication number: JP7486093B2
Application number: JP2021555910A
Authority: JP
Inventors: 智也筒井; 英二藤田
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2019-11-12
Filing date: 2020-09-01
Publication date: 2024-05-17
Anticipated expiration: 2040-09-01
Also published as: CN114641827A; WO2021095327A1; EP4060671A1; JPWO2021095327A1; US11879587B2; US20220397231A1; CN114641827B; EP4060671A4

Description

本開示は、位置決め装置に関する。

近年、様々な工業製品の生産ラインにおいて、産業用ロボットが用いられている。ロボットは、アームの先端にハンド等のエンドエフェクタが取付けられた構造を有し、エンドエフェクタによって部品やワークを把持することができる。一般にロボットの動作は、位置制御によりコントロールされる。このため、把持対象となる物体の位置が予めプログラムされた目標位置に対してずれた場合、ロボットが物体を適切に把持できない場合がある。したがって、物体の位置が目標位置となるように、物体の位置を微調整できることが望ましい。これに対し、例えば特許文献１には、ワークの水平位置を微調整することができるワーク位置決め装置が開示されている。

特開２０１５－１１１６４８号公報

上述した従来の位置決め装置は、ワークが載置されていない状態にあるテーブル部を渦巻ばねでセンタリングポジションに復帰させる構造を有していた。このため、従来の位置決め装置は、部品点数が多く構造が複雑であった。部品点数の多さは、位置決め装置の大型化につながり得る。また、位置決め装置の製造コストも増加する。また、位置決め装置の小型化を図ろうとすると各構成部品の小型化が必要となり、各構成部品の耐久性、ひいては位置決め装置自体の耐久性の低下につながり得る。

本開示のある態様は、位置決め装置である。この位置決め装置は、球体、球体を保持するリテーナ部、およびリテーナ部上に配置されて積載物が載置される上板部を有する上部ユニットと、上部ユニットが載置される下板部、および下板部における上部ユニットの移動領域を区画するガイド部を有する下部ユニットと、移動領域を水平面に対して傾斜させ、積載物が載置されていない上部ユニットを傾斜の下側に位置する基準位置に誘導する傾斜構造と、を備える。

以上の構成要素の任意の組合せ、本開示の表現を方法、装置、システムなどの間で変換したものもまた、本開示の態様として有効である。

本開示によれば、位置決め装置の構造を簡略化することができる。

図１は、実施の形態１に係る位置決め装置に載置される積載物の斜視図である。図２は、位置決め装置を備えるラック規制装置の斜視図である。図３は、積載物がラック規制装置に載せられた様子を示す斜視図である。図４は、積載物がラック規制装置に載せられた様子を示す斜視図である。図５は、位置決め装置が有する可動ユニットの斜視図である。図６は、位置決め装置の断面図である。図７は、実施の形態２に係る位置決め装置の断面図である。図８は、実施の形態３に係る位置決め装置の断面図である。図９は、実施の形態４に係る位置決め装置の断面図である。図１０Ａは、実施の形態５に係る位置決め装置の平面図である。図１０Ｂは、実施の形態５に係る位置決め装置の平面図である。

以下、本開示を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。実施の形態は、開示を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも開示の本質的なものであるとは限らない。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図に示す各部の縮尺や形状は、説明を容易にするために便宜的に設定されており、特に言及がない限り限定的に解釈されるものではない。また、本明細書または請求項中に「第１」、「第２」等の用語が用いられる場合には、特に言及がない限りこの用語はいかなる順序や重要度を表すものでもなく、ある構成と他の構成とを区別するためのものである。また、各図面において実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。

（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係る位置決め装置に載置される積載物の斜視図である。図２は、位置決め装置を備えるラック規制装置の斜視図である。図３および図４は、積載物がラック規制装置に載せられた様子を示す斜視図である。なお、図３および図４では、収容枠体１８の図示を省略している。本実施の形態に係る位置決め装置１６は、ラック規制装置１４に載せた積載物１の位置を微調整する際に用いられる。

積載物１は、一例として電極フープ２と、電極フープ２を支持する電極ラック４とを含む。電極フープ２は、ボビンに二次電池の電極板が捲き回されたものであり、中心に貫通孔６を有する。電極ラック４は、ラック本体８と、ラック本体８から略水平方向に突き出す支持軸１０と、ラック本体８から下方に突出するラック脚１２とを有する。本実施の形態の電極ラック４は、４本のラック脚１２を有する。電極フープ２は、貫通孔６に支持軸１０が挿通されて、電極ラック４に支持される。本実施の形態では、１つの電極ラック４に２つの電極フープ２が支持される。積載物１の質量は、例えば５００ｋｇ～１０００ｋｇである。なお、積載物１は、電極フープ２および電極ラック４に限定されない。

ラック規制装置１４は、位置決め装置１６と、収容枠体１８とを有する。位置決め装置１６は、ベースプレート２０と、可動ユニット２１とを有する。積載物１は、ベースプレート２０上に載置される。また、ベースプレート２０の上面には、収容枠体１８が固定される。収容枠体１８は、積載物１がベースプレート２０上に載置された状態で、積載物１の周囲を囲む。

収容枠体１８は、互いに対向する入口枠２２および出口枠２４を有する。積載物１は、入口枠２２からベースプレート２０上に挿入されて載置される。積載物１がベースプレート２０上に載置された状態で、支持軸１０の先端は出口枠２４側を向く。ロボットのアーム（図示せず）は、出口枠２４からベースプレート２０上に進入し、積載物１の電極フープ２を把持して、支持軸１０から抜き取る。収容枠体１８は、積載物１がベースプレート２０上に載置されたことを検知するセンサ２５を有する。

可動ユニット２１は、積載物１を支持するフローティングユニットであり、ベースプレート２０の上面に固定される。可動ユニット２１は、上部ユニット２６と、下部ユニット２８とを有する。本実施の形態の位置決め装置１６は、４本のラック脚１２に対応するように４つの可動ユニット２１を有する。各可動ユニット２１の下部ユニット２８は、ベースプレート２０によって支持される。上部ユニット２６は、下部ユニット２８上に載置される。各上部ユニット２６には、電極ラック４のラック脚１２が載置される。各上部ユニット２６が各下部ユニット２８に対し相対的に変位することで、積載物１の位置を微調整することができる。

位置決め装置１６は、引き込み機構３０と、一対の横位置調整機構３２とを有する。引き込み機構３０は、ベースプレート２０上の入口枠２２と対向する側、つまり出口枠２４側に配置される。引き込み機構３０は、一例としてエアシリンダ３４と、エアシリンダ３４が有するピストンの先端に取り付けられる引っ掛け爪３６とを有する。エアシリンダ３４は、積載物１の進入方向、つまり入口枠２２と出口枠２４とが並ぶ方向に伸縮することができる。引き込み機構３０は、上部ユニット２６に載置された積載物１のラック本体８に引っ掛け爪３６を引っ掛けてエアシリンダ３４を伸縮させることで、積載物１の進入方向における積載物１の位置を微調整することができる。

一対の横位置調整機構３２は、積載物１の進入方向に対し直交する方向（以下では適宜、横方向という）に並ぶ。各横位置調整機構３２は、一例として一対のエアシリンダ３８と、各エアシリンダ３８が有するピストンの先端に取り付けられる押出棒４０とを有する。エアシリンダ３８は、横方向に伸縮することができる。一対の横位置調整機構３２は、上部ユニット２６に載置された積載物１のラック本体８に各押出棒４０を押し付けて各エアシリンダ３８を伸縮させることで、横方向における積載物１の位置を微調整することができる。例えば、一方の横位置調整機構３２は、他方の横位置調整機構３２よりも押出力が弱く設定される。これにより、積載物１の横位置を安定的に調整することができる。

ベースプレート２０は、下面から突出する脚部４２を有する。ラック規制装置１４は、脚部４２によって床面に支持される。本実施の形態では、ベースプレート２０の入口枠２２側の縁部に２つの脚部４２が横方向に並ぶように設けられ、出口枠２４側の縁部に３つの脚部４２が横方向に並ぶように設けられる。各脚部４２は、例えばアジャスタボルト等で構成され、それぞれ独立に伸縮することができる。したがって、各脚部４２の長さを調整することで、電極ラック４のレベリング調整が可能である。

位置決め装置１６は、傾斜構造４４を有する。本実施の形態の傾斜構造４４は、脚部４２で構成される。傾斜構造４４は、可動ユニット２１を水平面に対して傾斜させるための機構である。以下、可動ユニット２１および傾斜構造４４について詳細に説明する。

図５は、位置決め装置１６が有する可動ユニット２１の斜視図である。図６は、位置決め装置１６の断面図である。上述のとおり、可動ユニット２１は、上部ユニット２６と、下部ユニット２８とを有する。上部ユニット２６は、球体４６と、リテーナ部４８と、上板部５０とを有する。

球体４６は、例えば鋼球で構成される高剛性の球である。本実施の形態の上部ユニット２６は、複数の球体４６を有する。複数の球体４６は、平面視で所定の間隔をあけて配置される。リテーナ部４８は、ベースプレート２０に対して平行に延びる板状体であり、対向する２つの主表面をつなぐ複数の貫通孔５２を有する。各貫通孔５２には、球体４６が収容される。これにより、複数の球体４６がリテーナ部４８によって保持される。

上板部５０は、リテーナ部４８上に配置される。例えば上板部５０は、リテーナ部４８の上面に固定される。上板部５０の上面には、積載物１が載置される。本実施の形態の上板部５０は、焼入プレート等で構成される高剛性板５４の上に、天板５６が積層された構造を有する。また、上板部５０は、平面視で円形である。各貫通孔５２の上側の開口は、高剛性板５４で塞がれる。したがって、球体４６は高剛性板５４に接する。なお、リテーナ部４８と上板部５０とは同一部材からなる一体ものであってもよい。

下部ユニット２８は、下板部５８と、ガイド部６０とを有する。下板部５８は、例えば焼入プレート等の高剛性板で構成され、ベースプレート２０の上面に固定される。下板部５８には、上部ユニット２６が載置される。この状態で、球体４６が下板部５８の上面に接する。球体４６が下板部５８の上面を転がることで、上部ユニット２６は下部ユニット２８の上面を移動することができる。

下板部５８の上面における中央領域は、上部ユニット２６の移動領域６２を構成する。上部ユニット２６は、移動領域６２内で移動することができる。ガイド部６０は、枠状であり、下板部５８の上面に固定されて移動領域６２を区画する。ガイド部６０は、下板部５８の上面の周縁部に延在し、移動領域６２の外周を囲う。本実施の形態の移動領域６２は、平面視で円形である。上部ユニット２６は、ガイド部６０に突き当たることで、移動領域６２の外側への移動が規制される。なお、下板部５８とガイド部６０とは同一部材からなる一体ものであってもよい。

傾斜構造４４は、移動領域６２を水平面ＨＰに対して傾斜させ、積載物１が載置されていない上部ユニット２６を傾斜の下側に位置する基準位置に誘導する。図６は、上部ユニット２６が基準位置にある状態を図示している。水平面ＨＰは、例えば位置決め装置１６あるいはラック規制装置１４の設置面あるいは床面である。移動領域６２に勾配をもたせることで、積載物１が積載されておらず外部から負荷がかかっていない上部ユニット２６を、自重により傾斜の下側に移動させることができる。上部ユニット２６は、移動領域６２の斜面を下ってガイド部６０に当たった位置で停止する。この位置が基準位置となる。水平面ＨＰに対する移動領域６２の傾斜角度は、例えば０．５°である。

上述のように、傾斜構造４４は脚部４２で構成される。傾斜構造４４は、一部の脚部４２を他の脚部４２よりも長くすることで、ベースプレート２０を水平面ＨＰに対して傾ける。下板部５８はベースプレート２０の上面に固定されているため、ベースプレート２０を傾斜させることで移動領域６２を含む下板部５８の全体を傾斜させることができる。本実施の形態の傾斜構造４４は、出口枠２４側に配置される脚部４２を入口枠２２側に配置される脚部４２よりも延ばすことで、ベースプレート２０を傾けている。このため図２に示すように、上部ユニット２６は、入口枠２２側に寄っている。したがって、本実施の形態の位置決め装置１６においては、基準位置は積載物１の進入方向における上流側に偏在する。

なお、出口枠２４側が高く、入口枠２２側が低くなるようにベースプレート２０を傾けることで、支持軸１０の先端部を基端部よりも高くすることができる。これにより、積載物１がラック規制装置１４に載せられた状態で、電極フープ２が支持軸１０から抜け落ちることを抑制することができる。

位置決め装置１６は、磁力により互いに引き合う第１吸着部材６４および第２吸着部材６６を備える。第１吸着部材６４および第２吸着部材６６は、少なくとも一方が磁石（永久磁石）または電磁石であり、他方は磁石、電磁石または強磁性体である。第１吸着部材６４および第２吸着部材６６を構成する材料の候補としては、ネオジウム鉄ボロン磁石、フェライト磁石、アルニコ磁石等の硬磁性体や、電磁鋼板、電磁ステンレス、センダスト、軟磁性複合材料（ＳＭＣ：soft magnetic composites）等の軟磁性体が例示される。

第１吸着部材６４は、下部ユニット２８における傾斜の下側の領域に設けられる。つまり、第１吸着部材６４は、基準位置の近傍に配置される。本実施の形態では、第１吸着部材６４は、ガイド部６０に固定される。第２吸着部材６６は、上部ユニット２６における傾斜の下側の領域に設けられる。本実施の形態では、天板５６が第２吸着部材６６で構成されることで、第２吸着部材６６が上部ユニット２６に設けられている。なお、天板５６の全体が第２吸着部材６６で構成されてもよいし、天板５６における傾斜の下側の領域のみが第２吸着部材６６で構成されてもよい。また、リテーナ部４８や高剛性板５４に第２吸着部材６６が設けられてもよい。

下部ユニット２８における傾斜の下側の領域とは、例えば平面視で円形の移動領域６２において最も入口枠２２に近い部分を含む領域である。また、上部ユニット２６における傾斜の下側の領域とは、例えば平面視で円形の第２吸着部材６６において最も入口枠２２に近い部分を含む領域である。第１吸着部材６４と第２吸着部材６６とは、上部ユニット２６が基準位置にある状態で互いに対向するように配置される。これにより、上部ユニット２６を基準位置に安定的に留めることができる。

以上説明したように、本実施の形態に係る位置決め装置１６は、上部ユニット２６と、下部ユニット２８と、傾斜構造４４とを備える。上部ユニット２６は、球体４６と、球体４６を保持するリテーナ部４８と、リテーナ部４８上に配置されて積載物１が載置される上板部５０とを有する。下部ユニット２８は、上部ユニット２６が載置される下板部５８と、下板部５８の上面における上部ユニット２６の移動領域６２を区画するガイド部６０とを有する。傾斜構造４４は、移動領域６２を水平面ＨＰに対して傾斜させ、積載物１が載置されていない上部ユニット２６を傾斜の下側に位置する基準位置に誘導する。

本実施の形態の位置決め装置１６によれば、積載物１が載せられていない上部ユニット２６を、上部ユニット２６にかかる重力を利用して自動的に基準位置に復帰させることができる。これにより、位置決め装置１６の構成部品の点数を減らして構造を簡略化することができる。また、位置決め装置１６の小型化や製造コストの削減を図ることができる。また、位置決め装置１６の耐久性を高めることができる。また、積載物１をラック規制装置１４に載せる際に上部ユニット２６は常に基準位置にあるため、位置決め装置１６によって調整できる積載物１の位置範囲にばらつきが生じることを回避することができる。

また、位置決め装置１６は、下部ユニット２８を支持するベースプレート２０を備える。ベースプレート２０は下面から突出する脚部４２を有し、傾斜構造４４は脚部４２で構成される。これにより、簡単な構造で移動領域６２に勾配をもたせることができる。

また、位置決め装置１６は、磁力により互いに引き合う第１吸着部材６４および第２吸着部材６６を備える。第１吸着部材６４は、下部ユニット２８における傾斜の下側の領域に設けられ、第２吸着部材６６は、上部ユニット２６における傾斜の下側の領域に設けられる。これにより、上部ユニット２６が基準位置にある状態を安定的に維持することができる。

（実施の形態２）
実施の形態２は、傾斜構造４４を除き、実施の形態１と共通の構成を有する。以下、本実施の形態について実施の形態１と異なる構成を中心に説明し、共通する構成については簡単に説明するか、あるいは説明を省略する。図７は、実施の形態２に係る位置決め装置１６の断面図である。

位置決め装置１６は、球体４６、リテーナ部４８および上板部５０を有する上部ユニット２６と、下板部５８およびガイド部６０を有する下部ユニット２８と、移動領域６２を水平面ＨＰに対して傾斜させて上部ユニット２６を基準位置に誘導する傾斜構造４４とを備える。また、位置決め装置１６は、下部ユニット２８を支持するベースプレート２０を備える。

本実施の形態のベースプレート２０は、鉛直方向で移動領域６２と重なる部分の厚み２０Ｔが移動領域６２の一方から他方にかけて徐々に薄くなる徐変部６８を有する。本実施の形態では、ベースプレート２０の全体において、厚み２０Ｔが出口枠２４側から入口枠２２側に向かって徐々に薄くなっている。したがって、ベースプレート２０の全体にわたって徐変部６８が設けられている。徐変部６８が設けられることで、ベースプレート２０の上面は水平面ＨＰに対して傾斜する。下板部５８はベースプレート２０の上面に固定されているため、徐変部６８によって移動領域６２も傾斜する。したがって、本実施の形態の傾斜構造４４は、徐変部６８で構成される。このような構成によっても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態３）
実施の形態３は、傾斜構造４４を除き、実施の形態１と共通の構成を有する。以下、本実施の形態について実施の形態１と異なる構成を中心に説明し、共通する構成については簡単に説明するか、あるいは説明を省略する。図８は、実施の形態３に係る位置決め装置１６の断面図である。

位置決め装置１６は、球体４６、リテーナ部４８および上板部５０を有する上部ユニット２６と、下板部５８およびガイド部６０を有する下部ユニット２８と、移動領域６２を水平面ＨＰに対して傾斜させて上部ユニット２６を基準位置に誘導する傾斜構造４４とを備える。

本実施の形態の下部ユニット２８は、下方に突出する脚部７０を有する。一例として、脚部７０は、下板部５８の下面から下方に突出する。また、脚部７０は、下板部５８の入口枠２２側の縁部と、出口枠２４側の縁部とのそれぞれに複数設けられる。各脚部７０は、脚部４２と同様に例えばアジャスタボルト等で構成され、それぞれ独立に伸縮することができる。本実施の形態の傾斜構造４４は、脚部７０で構成される。傾斜構造４４は、一部の脚部７０の長さを他の脚部７０の長さよりも伸ばすことで、移動領域６２を水平面ＨＰに対して傾ける。このような構成によっても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態４）
実施の形態４は、傾斜構造４４を除き、実施の形態１と共通の構成を有する。以下、本実施の形態について実施の形態１と異なる構成を中心に説明し、共通する構成については簡単に説明するか、あるいは説明を省略する。図９は、実施の形態４に係る位置決め装置１６の断面図である。

本実施の形態の下板部５８は、移動領域６２を含む部分の厚み５８Ｔが移動領域６２の一方から他方にかけて徐々に薄くなる徐変部７２を有する。本実施の形態では、下板部５８の全体において、厚み５８Ｔが出口枠２４側から入口枠２２側に向かって徐々に薄くなっている。したがって、下板部５８の全体にわたって徐変部７２が設けられている。徐変部７２が設けられることで、移動領域６２は水平面ＨＰに対して傾斜する。したがって、本実施の形態の傾斜構造４４は、徐変部７２で構成される。このような構成によっても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

（実施の形態５）
実施の形態５は、付勢部を備える点を除き、実施の形態１と共通の構成を有する。以下、本実施の形態について実施の形態１と異なる構成を中心に説明し、共通する構成については簡単に説明するか、あるいは説明を省略する。図１０Ａおよび図１０Ｂは、実施の形態５に係る位置決め装置１６の平面図である。図１０Ａは、上部ユニット２６に積載物１（図示せず）が載せられた状態を示し、図１０Ｂは、上部ユニット２６に積載物１が載せられていない状態を示している。

本実施の形態の位置決め装置１６は、上部ユニット２６を基準位置に向けて付勢する付勢部７４を備える。付勢部７４は、一例として一対のばねシリンダ７６と、一対のばねシリンダ７６の先端部に取り付けられる付勢板７８とを有する。各ばねシリンダ７６は、ガイド部６０における出口枠２４側（傾斜の上側）の領域に摺動可能に固定される。各ばねシリンダ７６は、先端部が移動領域６２に対して進退可能であり、内蔵するコイルばね（図示せず）によって先端部が移動領域６２に進出する方向に付勢されている。付勢板７８は、上部ユニット２６の側面に当接し、ばねシリンダ７６の付勢力によって上部ユニット２６を入口枠２２側（傾斜の下側）に付勢する。

位置決め装置１６に積載物１が載せられ、引き込み機構３０によって積載物１が出口枠２４側に引き込まれると、上部ユニット２６は、ばねシリンダ７６の付勢力に逆らって出口枠２４側に変位する（図１０Ａ）。位置決め装置１６から積載物１が取り除かれると、上部ユニット２６は付勢板７８によって基準位置に向けて押される（図１０Ｂ）。これにより、上部ユニット２６をより確実に基準位置に誘導することができる。

以上、本開示の実施の形態について詳細に説明した。前述した実施の形態は、本開示を実施するにあたっての具体例を示したものにすぎない。実施の形態の内容は、本開示の技術的範囲を限定するものではなく、請求の範囲に規定された開示の思想を逸脱しない範囲において、構成要素の変更、追加、削除等の多くの設計変更が可能である。設計変更が加えられた新たな実施の形態は、組み合わされる実施の形態および変形それぞれの効果をあわせもつ。前述の実施の形態では、このような設計変更が可能な内容に関して、「本実施の形態の」、「本実施の形態では」等の表記を付して強調しているが、そのような表記のない内容でも設計変更が許容される。以上の構成要素の任意の組み合わせも、本開示の態様として有効である。図面の断面に付したハッチングは、ハッチングを付した対象の材質を限定するものではない。

１積載物
１６位置決め装置
２０ベースプレート
２６上部ユニット
２８下部ユニット
４２脚部
４４傾斜構造
４６球体
４８リテーナ部
５０上板部
５８下板部
６０ガイド部
６２移動領域
６４第１吸着部材
６６第２吸着部材
６８徐変部
７０脚部
７２徐変部
７４付勢部。

Claims

球体、前記球体を保持するリテーナ部、および前記リテーナ部上に配置されて積載物が載置される上板部を有する上部ユニットと、
前記上部ユニットが載置される下板部、および前記下板部における前記上部ユニットの移動領域を区画するガイド部を有する下部ユニットと、
前記移動領域を水平面に対して傾斜させ、積載物が載置されていない前記上部ユニットを傾斜の下側に位置する基準位置に誘導する傾斜構造と、を備える、
位置決め装置。
前記位置決め装置は、前記下部ユニットを支持するベースプレートを備え、
前記ベースプレートは、下面から突出する脚部を有し、
前記傾斜構造は、前記ベースプレートの前記脚部で構成される、
請求項１に記載の位置決め装置。
前記位置決め装置は、前記下部ユニットを支持するベースプレートを備え、
前記ベースプレートは、鉛直方向で前記移動領域と重なる部分の厚みが前記移動領域の一方から他方にかけて徐々に薄くなる徐変部を有し、
前記傾斜構造は、前記ベースプレートの前記徐変部で構成される、
請求項１または２に記載の位置決め装置。
前記下部ユニットは、下方に突出する脚部を有し、
前記傾斜構造は、前記下部ユニットの前記脚部で構成される、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の位置決め装置。
前記下板部は、前記移動領域を含む部分の厚みが前記移動領域の一方から他方にかけて徐々に薄くなる徐変部を有し、
前記傾斜構造は、前記下板部の前記徐変部で構成される、
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の位置決め装置。
前記位置決め装置は、磁力により互いに引き合う第１吸着部材および第２吸着部材を備え、
前記第１吸着部材は、前記下部ユニットにおける前記傾斜の下側の領域に設けられ、
前記第２吸着部材は、前記上部ユニットにおける前記傾斜の下側の領域に設けられる、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の位置決め装置。
前記位置決め装置は、前記上部ユニットを前記基準位置に向けて付勢する付勢部を備える、
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の位置決め装置。