JP7480333B2 - 発熱体冷却構造および電力変換装置 - Google Patents

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Description

本発明は、発熱体冷却構造および電力変換装置に関する。
半導体素子のスイッチング動作により電力変換を行う電力変換装置は、変換効率が高いため、民生用、車載用等に幅広く利用されている。この半導体素子はスイッチング動作により発熱するために、電力変換装置には高い冷却性能が要求される。
特許文献1には、半導体素子とヒートスプレッダを接合した半導体モジュールと、半導体モジュールを冷却する冷却器を備え、冷却器は、半導体モジュールに金属接合される上面と、上面に接続され、冷却媒体を導入する流路を形成するフィンを有する半導体装置が開示されている。
日本国特開2016-15466号公報
特許文献1の技術では、電力変換装置の冷却性能を向上させることができなかった。
本発明による発熱体冷却構造は、発熱体と、内部に冷媒が流れる水路部材と、前記水路部材の外表面を覆う熱伝導層とを備え、前記熱伝導層は、前記水路部材の熱伝導率よりも高い材料で形成され、前記熱伝導層は、前記発熱体が配置される側の前記水路部材の前記外表面に形成される第1の領域と、前記発熱体が配置される側とは反対側の前記水路部材の前記外表面に形成される第2の領域と、を有し、前記熱伝導層の前記第1の領域と前記第2の領域とは連続して形成され、前記発熱体を通り前記水路部材の長手方向に垂直な断面において、前記熱伝導層の前記第2の領域の一部には、前記熱伝導層が形成されない開放領域が設けられている
本発明によれば、冷却性能を向上させることができる。
半導体モジュールの回路構成図である。 半導体モジュールの外観図である。 半導体モジュールの断面図である。 電力変換装置の外観斜視図である。 電力変換装置の分解斜視図である。 電力変換装置の横断面図である。 片面冷却型の電力変換装置の横断面図である。 電力変換装置の縦断面図である。 熱伝導層の形成過程を説明する図である。 第2の実施形態における電力変換装置の横断面図である。 第3の実施形態における電力変換装置の縦断面図である。
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の記載および図面は、本発明を説明するための例示において、説明の明確化のため、適宜、省略および簡略化がなされている。本発明は、他の種々の形態でも実施する事が可能である。特に限定しない限り、各構成要素は単数でも複数でも構わない。
図面において示す各構成要素の位置、大きさ、形状、範囲などは、発明の理解を容易にするため、実際の位置、大きさ、形状、範囲などを表していない場合がある。このため、本発明は、必ずしも、図面に開示された位置、大きさ、形状、範囲などに限定されない。
同一あるいは同様な機能を有する構成要素が複数ある場合には、同一の符号に異なる添字を付して説明する場合がある。ただし、これらの複数の構成要素を区別する必要がない場合には、添字を省略して説明する場合がある。
[第1の実施形態]
図1は半導体モジュール300の回路構成図である。
半導体モジュール300は、半導体素子321U、321L、322U、322Lを備える。半導体素子321U、321LはIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor:絶縁ゲート型バイポーラートランジスター)である。半導体素子322U、322Lはダイオードである。なお、半導体素子321U、321L、322U、322LはFET(Field Effect Transistor:電界効果トランジスタ)であってもよい。
半導体モジュール300は、上アーム300Uと下アーム300Lで構成され、上アーム300Uは、半導体素子321Uとダイオード322Uにより、下アーム300Lは、半導体素子321Lとダイオード322Lにより構成される。また、上アーム300Uは、直流正極端子311と信号端子314を有し、下アーム300Lは、直流負極端子312と信号端子315を有する。
直流正極端子311および直流負極端子312は、コンデンサなどと接続され、半導体モジュール300に外部から電力が供給される。信号端子314、315は、図示省略した制御基板に接続され、半導体素子321U、321Lのスイッチング動作を制御する。上アーム300Uと下アーム300Lの接続点は交流端子313であり、交流端子313から半導体モジュール300の外部に交流の電流を出力する。半導体素子321U、321Lのスイッチング動作時には、半導体モジュール300は発熱し、発熱体となる。
図2は半導体モジュール300の外観図である。
半導体モジュール300は、封止樹脂330で封止され、両面に熱伝導部材350を備える。直流正極端子311、直流負極端子312、交流端子313、信号端子314、315は封止樹脂330から露出している。
図3は半導体モジュール300の断面図である。この断面図は、図2のA-A線における断面図である。
半導体素子321U、321L、322U、322Lの主面(図示下面)は、第1接合材345を介して第1放熱板341に接合される。半導体素子321U、321L、322U、322Lの主面と反対側の副面は、第2接合材346を介して第2放熱板342に接合される。第1接合材345、第2接合材346は、はんだや焼結材である。第1放熱板341、第2放熱板342は、銅やアルミなどの金属もしくは、銅配線をもつ絶縁基板などである。
封止樹脂330は、半導体素子321U、321L、322U、322Lと、第1放熱板341と第2放熱板342と第1接合材345と第2接合材346を封止する。第1放熱板341は、第1放熱面343を持ち、第1放熱面343は、第1接合材345と接合している面と反対面に位置する。そして、第1放熱面343は、封止樹脂330から露出している。
第2放熱板342は、第2放熱面344を持ち、第2放熱面344は、第2接合材346と接合している面と反対面に位置する。そして、第2放熱面344は、封止樹脂330から露出している。
熱伝導部材350は、半導体モジュール300の両面に密着される。熱伝導部材350は、絶縁性能を有する樹脂またはセラミックであり、セラミックである場合には熱伝導部材350は後述の第1の水路101および第2の水路102とグリスやはんだなどを介して密着する。なお、熱伝導部材350は、半導体モジュール300の内部であって、半導体モジュール300の両面に絶縁基板もしくは樹脂絶縁部材を有する構成の場合は、グリスである。
半導体モジュール300は、発熱体であり、発熱体の熱は、両面に密着された熱伝導部材350を介して、半導体モジュール300の両面に設けられた後述の第1の水路101および第2の水路102に伝導されて冷却される。本実施形態による発熱体冷却構造は電力変換装置100を例に図4以下を参照して説明する。
図4は、電力変換装置100の外観斜視図である。
電力変換装置100は、3個の半導体モジュール300を含んで構成される。3個の半導体モジュール300は、例えば、3相インバータのU相、V相、W相に対応するものである。なお、電力変換装置100は、昇圧用の半導体モジュールを搭載してもよい。また、電力変換装置100は、3相インバータ用の半導体モジュール300を複数個搭載してもよい。
電力変換装置100は、発熱体である半導体モジュール300の両面に第1の水路101と第2の水路102を有する。すなわち、半導体モジュール300は、第1の水路101と、第2の水路102とにより挟み込まれ、第1の水路101および第2の水路102と熱的に接続される。第1の水路101および第2の水路102は、その内部に冷媒が流れることにより半導体モジュール300から伝導された熱を冷却する。
第1の水路101の一方の端部は第1のヘッダー103と接続され、第1のヘッダー103に接続される外部から冷媒が流入する。
第1の水路101の他方の端部は接続水路105に接続される。接続水路105には第2の水路102の他方の端部も接続される。第2の水路102の一方の端部は第2のヘッダー104と接続される。外部から第1のヘッダー103へ流入した冷媒は、第1の水路101、接続水路105、第2の水路102、第2のヘッダー104の順に流れる。なお、冷媒の流れる順路は、この逆であってもよい。
電力変換装置100はフランジ106によりケース等に固定され、外部から冷媒が第1のヘッダー103に供給される。
図5は、電力変換装置100の分解斜視図である。
半導体モジュール300は、その両面に、熱伝導部材350を介して第1の水路101と、熱伝導部材350を介して第2の水路102と密着する。熱伝導部材350がはんだの場合は、第1の水路101と第2の水路102とをはんだ接合するため接触熱抵抗が小さくなり放熱性が良い。
第1の水路101は、ヘッダーフランジ112のヘッダーフランジ開口207に接合される。ヘッダーフランジ112は、第1ヘッダーケース113の第1ヘッダーケース外表面209に接合される。
第1ヘッダーケース113は、第1ヘッダー開口203と第3ヘッダー開口210を有する。第1ヘッダー開口203は、第3ヘッダー開口210と対向する位置にあり、第3ヘッダー開口210は、第1ヘッダーカバー114で塞がれる。
第2ヘッダーケース115は、第2ヘッダー開口204と第4ヘッダー開口211を有する。第2ヘッダー開口204は、第4ヘッダー開口211と対向する位置にあり、第2ヘッダー開口204は、第2の水路102と接合される。第4ヘッダー開口211は、第2ヘッダーカバー116で塞がれる。
フランジ106は、第1フランジ開口205と第2フランジ開口206を有する。第1フランジ開口205は、第1ヘッダーケース113の第1ヘッダー開口203が設けられる面と垂直な面に接続される。第2フランジ開口206は、第2ヘッダーケース115の第2ヘッダー開口204が設けられる面と垂直な面に接続される。
第1フランジ開口205は、第1ヘッダー開口203を通して第1の水路101に冷媒を流す。第2フランジ開口206は、第2ヘッダー開口204を通して第2の水路102に冷媒を流す。
接続水路フランジ109は、接続水路フランジ開口213を有する。接続水路フランジ開口213は、第1の水路101と接続される。接続水路105は、接続水路ベース107と接続水路カバー108で構成される。接続水路ベース107は、第1接続水路開口201と第2接続水路開口202を有する。第1接続水路開口201は、接続水路フランジ開口213と接続される。第2接続水路開口202は、第2の水路102と接続される。
図6は、電力変換装置100の断面図である。この断面図は、図4のB-B線における横断面図である。
第1の水路101および第2の水路102は、それぞれ内部に冷媒が流れる水路部材120と水路部材120の外表面を覆う熱伝導層122とによって構成される。水路部材120の内部には、フィン121が設けられ、フィン121は、水路部材120の内部に流れる冷媒と熱交換を行う。水路部材120とフィン121とは、押し出し成形によって形成され、水路部材120とフィン121とは一体である。なお、フィン121は、水路部材120と別体に設けて水路部材120とろう付けで形成してもよい。フィン121は、冷媒の流れ方向と平行なストレートのフィンであるが、板を曲げて波状に成形して水路部材120の内部にろう付けしてもよい。
熱伝導層122は、水路部材120の熱伝導率よりも高い材料で形成されている。水路部材120は、フィン121の成形がしやすいため、アルミニウムまたは、アルミニウム合金が好ましい。熱伝導層122は、熱伝導率が高い銅もしくは、銅合金が好ましいが、銀や金などの高熱伝導率の金属や、カーボン、SiCのような炭素化合物でもよい。
熱伝導層122は、発熱体である半導体モジュール300が配置される側の水路部材120の外表面に形成される第1の領域123と、半導体モジュール300が配置される側とは反対側の水路部材120の外表面に形成される第2の領域124とを有する。熱伝導層122の第1の領域123と第2の領域124は、水路部材120を覆うように連続して形成される。すなわち、半導体モジュール300を通り水路部材120の長手方向に垂直な断面において、熱伝導層122は、水路部材120の外表面の全周を覆う。
半導体モジュール300で発生した熱は、第1の領域123から水路部材120を直接通る伝熱経路に加え、第1の領域123から第2の領域124を経て、第2の領域124から水路部材120を通る伝熱経路からも放熱が可能になる。このため、第1の領域123にのみ熱伝導層122を設けた場合に比較して冷却性能を向上させることができる。
熱伝導層122は、水路部材120よりも線膨張係数が小さい材質の組み合わせが好ましい。例えば熱伝導層122は、銅を主成分とする材料からなり、水路部材120は、アルミニウムを主成分とする材料からなる。第1の水路101および第2の水路102は、水路部材120が熱で膨張し変形するのに対して、熱伝導層122が水路部材120の変形を抑制する。このため、水路部材120の変形により熱伝導部材350に加わる応力や、ひずみを低減できるため、電力変換装置100の製品寿命が向上する。また、高温時には、熱伝導層122は水路部材120を圧縮方向に変形するため互いの接触熱抵抗が小さくなり、放熱性が向上する。
図6の例では、半導体モジュール300を挟んで、両面を冷却する両面冷却型の電力変換装置100の例を示しているが、第1の水路101または、第2の水路102のいずれか一方を用いて片面を冷却する構造においても同様の効果を得られる。図7は、半導体モジュール300を挟んで、片面を冷却する片面冷却型の電力変換装置100’の例を示す。この例では、第2の水路102を用いて冷却する構造である。図6と同一箇所には同一の符号を附してその説明を省略する。この場合も、熱伝導層122の第1の領域123と第2の領域124は、水路部材120を覆うように連続して形成される。
また、図6、図7に示した熱伝導層122は、図5に示した複数個の半導体モジュール300の放熱面と重なる領域を含み、水路部材120の長手方向に沿って延在する。
図8は電力変換装置100の断面図である。この断面図は、図4のC-C線における縦断面図である。
図8に示すように、水路部材120の長手方向端部には熱伝導層122が形成されていない水路露出部125を有する。水路露出部125は、水路部材120の冷媒入り口側と、出口側に形成され、第1のヘッダー103、接続水路105、第2のヘッダー104に接合される。第1のヘッダー103、接続水路105、第2のヘッダー104は、水路部材120と同じ主成分の金属である。例えば、水路部材120がアルミニウムまたはアルミニウム合金であれば、第1のヘッダー103、接続水路105、第2のヘッダー104もアルミニウムまたはアルミニウム合金であることが好ましい。水路露出部125を設けて、水路部材120と同じ主成分の金属とすることで、第1のヘッダー103、接続水路105、第2のヘッダー104をろう付けすることが可能となる。
図9は、熱伝導層122の形成過程を説明する図である。
熱伝導層122は、引き抜き加工で水路部材120外表面に形成される。まず、水路部材120は、熱伝導層122の中に挿入される。次に、図9に示すように、水路部材120を熱伝導層122とともに金型126に通して、矢印P方向に引き抜く。これにより、熱伝導層122を水路部材120外表面に密着させて一体に形成することができる。
引き抜き加工で成形することで、水路部材120を圧縮しながら熱伝導層122を形成することができ、水路部材120と熱伝導層122の接触熱抵抗を小さくして放熱性を向上させることができる。
[第2の実施形態]
図10は、第2の実施形態における電力変換装置100Aの横断面図である。横断面図以外は既に説明した第1の実施形態と同様であるのでその説明を省略する。
第1の実施形態では、半導体モジュール300を通り水路部材120の長手方向に垂直な断面において、熱伝導層122は、水路部材120の外表面の全周を覆う構成である。これに対して、第2の実施形態では、半導体モジュール300を通り水路部材120の長手方向に垂直な断面において、熱伝導層122Aの第2の領域124Aの一部には、熱伝導層122Aが形成されない開放領域127Aが設けられている。
図10に示すように、熱伝導層122Aは第1の領域123Aおよび第2の領域124Aを有する。第2の領域124Aは、水路部材120が一部露出する開放領域127Aを有する。この開放領域127Aは、半導体モジュール300を通り水路部材120の長手方向に帯状に形成されている。
本実施形態によれば、第2の領域124Aを一部開放することで、図9を参照して説明した成形、すなわち水路部材120Aに熱伝導層122Aを成形するときに、引き抜き加工による成形がよりやり易くなる。すなわち、第2の領域124Aを一部開放した場合には、水路部材120Aに熱伝導層122Aを挿入する工程で、小さい力で製造することができる。
[第3の実施形態]
図11は、第3の実施形態における電力変換装置100Bの縦断面図である。縦断面図以外は既に説明した第1の実施形態と同様であるのでその説明を省略する。
第1の実施形態では、熱伝導層122は、複数個の半導体モジュール300の放熱面と重なる領域を含み、水路部材120の長手方向に沿って延在する。これに対して、第3の実施形態では、熱伝導層122Bは、複数個の各半導体モジュール300の放熱面と重なる領域に形成され、複数個の各半導体モジュール300の間の開放領域128Bには形成されない。
図11に示すように、電力変換装置100Bは、半導体モジュール300を複数個搭載している。熱伝導層122Bは、複数個の半導体モジュール300に対応する放熱面と重なる領域に形成される。そして、熱伝導層122Bは、複数個の半導体モジュール300間の開放領域128Bにおいては、水路部材120が露出するように形成される。
本実施形態によれば、冷却性能を大きく損なうことなく、熱伝導層122Bの使用量を減らすことで製品を安価に提供することができる。
以上説明した実施形態によれば、次の作用効果が得られる。
(1)発熱体冷却構造(電力変換装置100、100A、100B)は、発熱体(半導体モジュール300)と、内部に冷媒が流れる水路部材120と、水路部材120の外表面を覆う熱伝導層122とを備え、熱伝導層122は、水路部材120の熱伝導率よりも高い材料で形成され、熱伝導層122は、発熱体が配置される側の水路部材120の外表面に形成される第1の領域123、123Aと、発熱体が配置される側とは反対側の水路部材120の外表面に形成される第2の領域124、124Aと、を有し、熱伝導層122の第1の領域123、123Aと第2の領域124、124Aとは連続して形成される。これにより、冷却性能を向上させることができる。
本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の特徴を損なわない限り、本発明の技術思想の範囲内で考えられるその他の形態についても、本発明の範囲内に含まれる。また、上述の各実施形態を組み合わせた構成としてもよい。
100、100’、100A、100B・・・電力変換装置、101・・・第1の水路、102・・・第2の水路、103・・・第1のヘッダー、104・・・第2のヘッダー、105・・・接続水路、106・・・フランジ、107・・・接続水路ベース、109・・・接続水路フランジ、112・・・ヘッダーフランジ、113・・・第1ヘッダーケース、114・・・第1ヘッダーカバー、115・・・第2ヘッダーケース、116・・・第2ヘッダーカバー、120・・・水路部材、121・・・フィン、122・・・熱伝導層、123、123A・・・第1の領域、124、124A・・・第2の領域、127A、128B・・・開放領域、201・・・第1接続水路開口、202・・・第2接続水路開口、203・・・第1ヘッダー開口、204・・・第2ヘッダー開口、205・・・第1フランジ開口、206・・・第2フランジ開口、207・・・ヘッダーフランジ開口、209・・・第1ヘッダーケース外表面、210・・・第3ヘッダー開口、211・・・第4ヘッダー開口、213・・・接続水路フランジ開口、300・・・半導体モジュール、300U・・・上アーム、300L・・・下アーム、311・・・直流正極端子、312・・・直流負極端子、314、315・・・信号端子、321U、321L、322U、322L・・・半導体素子、330・・・封止樹脂、341・・・第1放熱板、342・・・第2放熱板、343・・・第1放熱面、344・・・第2放熱面、345・・・第1接合材、346・・・第2接合材、350・・・熱伝導部材。

Claims (9)

  1. 発熱体と、
    内部に冷媒が流れる水路部材と、
    前記水路部材の外表面を覆う熱伝導層とを備え、
    前記熱伝導層は、前記水路部材の熱伝導率よりも高い材料で形成され、
    前記熱伝導層は、前記発熱体が配置される側の前記水路部材の前記外表面に形成される第1の領域と、前記発熱体が配置される側とは反対側の前記水路部材の前記外表面に形成される第2の領域と、を有し、
    前記熱伝導層の前記第1の領域と前記第2の領域とは連続して形成され
    前記発熱体を通り前記水路部材の長手方向に垂直な断面において、前記熱伝導層の前記第2の領域の一部には、前記熱伝導層が形成されない開放領域が設けられている発熱体冷却構造。
  2. 請求項1に記載の発熱体冷却構造において、
    前記熱伝導層の線膨張係数は、前記水路部材の線膨張係数よりも小さい発熱体冷却構造。
  3. 請求項2に記載の発熱体冷却構造において、
    前記熱伝導層は、銅を主成分とする材料からなり、
    前記水路部材は、アルミニウムを主成分とする材料からなる発熱体冷却構造。
  4. 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の発熱体冷却構造において、
    前記外表面を熱伝導層で覆われた前記水路部材は前記発熱体の両面に設けられる発熱体冷却構造。
  5. 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の発熱体冷却構造において、
    前記外表面を熱伝導層で覆われた前記水路部材は前記発熱体の片面に設けられる発熱体冷却構造。
  6. 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の発熱体冷却構造において、
    前記熱伝導層は、前記水路部材の長手方向端部には形成されない発熱体冷却構造。
  7. 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の発熱体冷却構造を備えた電力変換装置において、
    前記発熱体は、電力変換を行う半導体素子を備えた半導体モジュールであり、
    前記半導体モジュールの放熱面は、熱伝導部材を介して前記熱伝導層と熱的に接触する電力変換装置。
  8. 請求項に記載の電力変換装置において、
    前記半導体モジュールは、複数個設けられ、
    前記熱伝導層は、前記複数個の半導体モジュールの前記放熱面と重なる領域を含み、前記水路部材の長手方向に沿って延在する電力変換装置。
  9. 請求項に記載の電力変換装置において、
    前記半導体モジュールは、複数個設けられ、
    前記熱伝導層は、前記複数個の各半導体モジュールの前記放熱面と重なる領域に形成され、前記複数個の各半導体モジュールの間の領域には形成されない電力変換装置。
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