JP7478680B2 - 高電圧モジュール - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1に係る高電圧モジュールの構成を示す回路図である。図1において、HVMDは、高電圧モジュールを示している。高電圧モジュールHVMDは、高電圧モジュールが実装された基板(例えばプリント基板)SUBと基板SUBを収納する金属製筐体1とを備えている。基板SUBへの高電圧モジュールの実装は、例えば基板SUBに高電圧モジュールを構成する素子および素子間等を接続する配線等を基板SUBに実装することによって実現されている。
次に、高電圧モジュールHVMDの回路構成を説明する。高電圧モジュールHVMDは、誤差増幅器5、高電圧出力回路7および帰還回路(フィードバック回路)10を備えている。
従来の高電圧モジュールにおける帰還回路では、前記の信号減衰機能と位相補償機能は、抵抗素子と容量素子とを組み合わせることで実現されていた。従来の高電圧モジュールの構成を、比較例を用いて説明する。図9は、比較例に係る高電圧モジュールの構成を示す回路図である。図1との相違点は、図9では、帰還回路が変更され、符号が20となっていることである。
これに対して、実施の形態1に係る高電圧モジュールHVMDにおいては、図1に示すように、帰還回路10は、第1部分回路8と第2部分回路9に分離されている。第1部分回路8は、高電圧出力回路7に接続され、供給用高電圧Voutの高電圧信号が供給され、この高電圧信号に従った中間信号11を出力する。一方、第2部分回路9は、誤差増幅器5に接続され、中間信号11が供給され、帰還信号4を誤差増幅器5に出力する。第1部分回路8は減衰機能を有し、第2部分回路9はループゲインに関連する位相補償機能を有している。
実施の形態2においては、図1に示した高電圧モジュールHVMD内に、高電圧生成回路が設けられ、高電圧生成回路によって生成された高電圧が、高電圧出力回路7に供給される。高電圧出力回路7は、高電圧生成回路からの高電圧を電源として動作し、制御信号6に従った供給用高電圧Voutを出力する。実施の形態2に係る高電圧モジュールでは、高電圧生成回路が設けられるため、例えば、高電圧モジュールHVMDの外部から高電圧を供給しなくても、供給用高電圧Voutを出力することが可能である。しかしながら、高電圧モジュールHVMDに設けられた高電圧生成回路からノイズが電磁輻射されることが危惧される。実施の形態2においては、この輻射ノイズによる影響を低減することが可能な高電圧モジュールが提供される。
実施の形態3においては、帰還回路10が備える第1部分回路8と第2部分回路9との間で、インピーダンスが整合していない場合、あるいは互いのインピーダンス特性が干渉し合う場合に好適な高電圧モジュールが提供される。
実施の形態4においては、高電圧基板領域と低電圧基板領域とを電気的に絶縁することが可能な高電圧モジュールが提供される。
図6は、実施の形態4の変形例に係る高電圧モジュールの構成を示す回路図である。図6は、図5と類似しているので、相違点を説明する。相違点は、第1部分回路8が、図6では変更されていることである。第1部分回路8は、帰還抵抗素子R8aとフォトカプラ31によって構成されている。この場合、帰還抵抗素子R8aとフォトカプラ31の入力が、高電圧基板領域2に実装され、フォトカプラ31の出力が、低電圧基板領域3に実装される。このときの第1部分回路8の減衰率は、フォトカプラ31の電流伝達率(CTR)によって決定される。
次に、実施の形態1~4で示した高電圧モジュールHVMDを搭載した質量分析装置(以下、単に分析装置とも称する)の例を、実施の形態5として説明する。分析装置は、例えば、試料を構成する原子の種類または量などを調べるために用いられる装置である。
2 高電圧基板領域
3 低電圧基板領域
5 誤差増幅器
7 高電圧出力回路
8 第1部分回路
9 第2部分回路
10 帰還回路
13 高電圧生成回路
100 質量分析装置
C9a、C9b 容量素子
Cp 寄生容量
R8a、R8b 帰還抵抗素子
R9a、R9b 抵抗素子
DD 距離
HVMD、HVMD1~HVMD4 高電圧モジュール
SUB 基板
Vin、Vin1~Vin4 参照信号
Vout、Vout1~Vout4 供給用高電圧
Claims (9)
- 参照信号と帰還信号とに基づいて、制御信号を出力する誤差増幅器と、前記制御信号に基づいて、供給用高電圧を出力する高電圧出力回路と、前記供給用高電圧に基づいて、前記帰還信号を出力する帰還回路とを備えた高電圧モジュールであって、
前記帰還回路は、
前記供給用高電圧が入力され、中間信号を出力する、抵抗素子から構成された第1部分回路と、
前記中間信号が入力され、前記帰還信号を出力する、第2部分回路と、
を備え、
前記高電圧モジュールは、
前記高電圧出力回路と、前記第1部分回路の一部とが実装された高電圧基板領域と、
前記誤差増幅器と、前記第2部分回路とが実装された低電圧基板領域とを備える基板と、
所定の駆動周波数で駆動され、高電圧を生成する高電圧生成回路と、
を備え、
前記高電圧出力回路は、前記高電圧生成回路から出力される前記高電圧を電源とし、前記制御信号に基づいた前記供給用高電圧を出力し、
前記第2部分回路は、前記帰還回路のループゲインに関連する抵抗素子と容量素子とを備え、
前記高電圧基板領域には、前記高電圧生成回路の少なくとも一部が実装され、
前記第2部分回路の周波数フィルタ特性は、前記所定の駆動周波数を除去する特性を有する、、
高電圧モジュール。 - 請求項1に記載の高電圧モジュールにおいて、
前記高電圧モジュールは、電源回路として用いられる、高電圧モジュール。 - 参照信号と帰還信号とに基づいて、制御信号を出力する誤差増幅器と、前記制御信号に基づいて、供給用高電圧を出力する高電圧出力回路と、前記供給用高電圧に基づいて、前記帰還信号を出力する帰還回路とを備える、高電圧モジュールであって、
前記帰還回路は、
前記供給用高電圧が入力され、中間信号を出力する第1部分回路と、
前記中間信号が入力され、前記帰還信号を出力する第2部分回路と、
を備え、
前記第1部分回路は、前記供給用高電圧の高電圧信号を低電圧信号に減衰する信号減衰機能を有し、
前記第2部分回路は、前記高電圧モジュールのループゲインに関連する位相補償機能を有し、
前記高電圧モジュールは、
前記高電圧出力回路と前記第1部分回路の一部とが実装される高電圧基板領域と、
前記誤差増幅器と前記第2部分回路とが実装される低電圧基板領域と、
を備える基板と、
前記基板を収納する金属製筐体と、
を備え、
前記高電圧基板領域と前記低電圧基板領域は、前記基板において排他的に配置されている、
高電圧モジュール。 - 請求項3に記載の高電圧モジュールにおいて、
前記高電圧基板領域で用いられる最高電圧は、300(V)以上であり、前記低電圧基板領域で用いられる最高電圧は、300(V)未満である、高電圧モジュール。 - 請求項3に記載の高電圧モジュールにおいて、
前記金属製筐体は、所定の電圧に電気的に接続されている、高電圧モジュール。 - 参照信号と帰還信号とに基づいて、制御信号を出力する誤差増幅器と、前記制御信号に基づいて、供給用高電圧を出力する高電圧出力回路と、前記供給用高電圧に基づいて、前記帰還信号を出力する帰還回路とを備える、高電圧モジュールであって、
前記帰還回路は、
前記供給用高電圧が入力され、中間信号を出力する第1部分回路と、
前記中間信号が入力され、前記帰還信号を出力する第2部分回路と、
を備え、
前記第1部分回路は、前記供給用高電圧の高電圧信号を低電圧信号に減衰する信号減衰機能を有し、
前記第2部分回路は、前記高電圧モジュールのループゲインに関連する位相補償機能を有し、
前記高電圧モジュールは、
前記高電圧出力回路と前記第1部分回路の一部とが実装される高電圧基板領域と、
前記誤差増幅器と前記第2部分回路とが実装される低電圧基板領域と、
を備える基板と、
前記基板を収納する金属製筐体と、
を備え、
前記基板は、複数の個別基板を備え、
前記複数の個別基板のうちの第1個別基板に、前記高電圧基板領域が配置され、前記第1個別基板とは異なる第2個別基板に、前記低電圧基板領域が配置されている、高電圧モジュール。 - 参照信号と帰還信号とに基づいて、制御信号を出力する誤差増幅器と、前記制御信号に基づいて、供給用高電圧を出力する高電圧出力回路と、前記供給用高電圧に基づいて、前記帰還信号を出力する帰還回路とを備える、高電圧モジュールであって、
前記帰還回路は、
前記供給用高電圧が入力され、中間信号を出力する第1部分回路と、
前記中間信号が入力され、前記帰還信号を出力する第2部分回路と、
を備え、
前記第1部分回路は、前記供給用高電圧の高電圧信号を低電圧信号に減衰する信号減衰機能を有し、
前記第2部分回路は、前記高電圧モジュールのループゲインに関連する位相補償機能を有し、
前記高電圧モジュールは、
前記高電圧出力回路と前記第1部分回路の一部とが実装される高電圧基板領域と、
前記誤差増幅器と前記第2部分回路とが実装される低電圧基板領域と、
を備える基板と、
前記基板を収納する金属製筐体と、
を備え、
前記高電圧モジュールは、所定の駆動周波数で駆動され、少なくとも一部が、前記高電圧基板領域に実装され、前記高電圧出力回路に高電圧を出力する高電圧生成回路を、さらに備え、
前記第2部分回路の周波数フィルタ特性は、前記駆動周波数を除去する特性を有する、高電圧モジュール。 - 参照信号と帰還信号とに基づいて、制御信号を出力する誤差増幅器と、前記制御信号に基づいて、供給用高電圧を出力する高電圧出力回路と、前記供給用高電圧に基づいて、前記帰還信号を出力する帰還回路とを備える、高電圧モジュールであって、
前記帰還回路は、
前記供給用高電圧が入力され、中間信号を出力する第1部分回路と、
前記中間信号が入力され、前記帰還信号を出力する第2部分回路と、
を備え、
前記第1部分回路は、前記供給用高電圧の高電圧信号を低電圧信号に減衰する信号減衰機能を有し、
前記第2部分回路は、前記高電圧モジュールのループゲインに関連する位相補償機能を有し、
前記高電圧モジュールは、
前記高電圧出力回路と前記第1部分回路の一部とが実装される高電圧基板領域と、
前記誤差増幅器と前記第2部分回路とが実装される低電圧基板領域と、
を備える基板と、
前記基板を収納する金属製筐体と、
を備え、
前記高電圧モジュールは、前記第1部分回路と前記第2部分回路との間に接続されたインピーダンス整合回路を、さらに備える、高電圧モジュール。 - 参照信号と帰還信号とに基づいて、制御信号を出力する誤差増幅器と、前記制御信号に基づいて、供給用高電圧を出力する高電圧出力回路と、前記供給用高電圧に基づいて、前記帰還信号を出力する帰還回路とを備える、高電圧モジュールであって、
前記帰還回路は、
前記供給用高電圧が入力され、中間信号を出力する第1部分回路と、
前記中間信号が入力され、前記帰還信号を出力する第2部分回路と、
を備え、
前記第1部分回路は、前記供給用高電圧の高電圧信号を低電圧信号に減衰する信号減衰機能を有し、
前記第2部分回路は、前記高電圧モジュールのループゲインに関連する位相補償機能を有し、
前記高電圧モジュールは、
前記高電圧出力回路と前記第1部分回路の一部とが実装される高電圧基板領域と、
前記誤差増幅器と前記第2部分回路とが実装される低電圧基板領域と、
を備える基板と、
前記基板を収納する金属製筐体と、
を備え、
前記第1部分回路と前記第2部分回路とは、電気的に絶縁された絶縁信号伝達回路によって接続されている、高電圧モジュール。
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