JP7475905B2 - 形状算出プログラム、形状算出方法、及び形状算出装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態にかかる形状算出システム1の構成の一例を示すブロック図である。半導体基板等の基板上の周期構造は、加工条件および突発的な事象等によって種々に変化しうる。形状算出システム1は、例えば小角散乱X線法(SAXS:Small Angle X-ray Scattering)を用いて、基板上の周期構造が有する形状の解析を行うシステムである。
次に、図2を用いて、実施形態の形状算出装置10のハードウェア構成について説明する。図2は、実施形態にかかる形状算出装置10のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
次に、図3を用いて、実施形態の散乱強度計測装置20の構成例について説明する。図3は、実施形態にかかる散乱強度計測装置20の構成の一例を示す模式図である。
次に、図4を用いて、実施形態の散乱強度計測装置20による散乱強度の計測例について説明する。図4は、実施形態にかかる散乱強度計測装置20による散乱強度の計測手法の一例について説明する図である。
次に、図5~図10を用いて、実施形態の形状算出装置10の詳細の機能例について説明する。
次に、図11を用いて、実施形態の形状算出システム1による形状算出処理の例について説明する。図11は、実施形態にかかる形状算出システム1で実施される形状算出処理の手順の一例を示すフロー図である。
比較例の形状算出方法においては、例えば実測値に基づく散乱プロファイルと、1つまたは複数のシミュレーションに基づく散乱プロファイルとのフィッティングを行って、基板上の周期構造が有する形状を決定する。換言すれば、比較例の形状算出方法は、上述の行列データ内の全ての因子を等価に扱い、これら全ての因子についてフィッティング計算をすることに相当する。
次に、図12を用いて、実施形態の変形例1の形状算出システムについて説明する。変形例1の形状算出システムでは、注目因子の特定手法が上述の実施形態とは異なる。
次に、図13を用いて、実施形態の変形例2の形状算出システムについて説明する。変形例2の形状算出システムでは、注目因子を特定するタイミングが上述の実施形態とは異なる。
上述の実施形態および変形例1,2においては、各因子について相関係数または変動幅を求め、計測対象の形状パラメータに対して寄与率の高い注目因子を抽出してフィッティング等による形状解析を行うこととした。しかし、例えば各因子が有する相関係数の絶対値または変動幅を重みづけ係数とした重みづけを各因子に対して行って、それらを注目因子とするデータフレームを作成して形状解析を行ってもよい。
Claims (3)
- 基板上の第1の周期構造に電磁波を入射させて得られる前記電磁波の出射波に基づく第1の散乱プロファイルを生成するステップと、
仮想設定された第2の周期構造を用いて第2の散乱プロファイルを生成するステップと、
前記第2の周期構造を規定する形状パラメータのうち少なくとも1つを測定対象として選択し、前記第2の散乱プロファイルから、前記第2の散乱プロファイルに含まれ、散乱強度の情報をそれぞれ有する複数の因子のうち、前記形状パラメータについての注目因子を特定するステップと、
前記第1の散乱プロファイルから前記注目因子に対応する因子を抜粋した第1のデータフレームを作成するステップと、
前記第2の散乱プロファイルから前記注目因子を抜粋した第2のデータフレームを作成するステップと、
前記第1のデータフレームと前記第2のデータフレームとのフィッティングを行うステップと、
前記フィッティングの結果に基づいて、前記第1の周期構造の前記形状を特定するステップと、をコンピュータに実行させ、
前記第2の散乱プロファイルは、選択した前記形状パラメータの設定値を変化させた前記第2の周期構造を用いて生成され、
前記注目因子の特定は、前記設定値の変化に応じて前記第2の散乱プロファイルの各因子が示す散乱強度の変動度合いに基づいて行われ、
前記形状パラメータの前記設定値の変化に対する前記第2の散乱プロファイルの各因子の相関係数が所定値以上となった因子を前記注目因子として特定するステップをコンピュータに実行させる、
形状算出プログラム。 - 基板上の第1の周期構造に電磁波を入射させて得られる前記電磁波の出射波に基づく第1の散乱プロファイルを生成するステップと、
仮想設定された第2の周期構造を用いて第2の散乱プロファイルを生成するステップと、
前記第2の周期構造を規定する形状パラメータのうち少なくとも1つを測定対象として選択し、前記第2の散乱プロファイルから、前記第2の散乱プロファイルに含まれ、散乱強度の情報をそれぞれ有する複数の因子のうち、 前記形状パラメータについての注目因子を特定するステップと、
前記第1の散乱プロファイルから前記注目因子に対応する因子 を抜粋した第1のデータフレームを作成するステップと、
前記第2の散乱プロファイルから前記注目因子を抜粋した第2のデータフレームを作成するステップと、
前記第1のデータフレームと前記第2のデータフレームとのフィッティングを行うステップと、
前記フィッティングの結果に基づいて、前記第1の周期構造の前記形状を特定するステップと、をコンピュータに実行させ、
前記第2の散乱プロファイルは、選択した前記形状パラメータの設定値を変化させた前記第2の周期構造を用いて生成され、
前記注目因子の特定は、前記設定値の変化に応じて前記第2の散乱プロファイルの各因子が示す散乱強度の変動度合いに基づいて行われ、
前記形状パラメータの前記設定値の変化に対する前記第2の散乱プロファイルの各因子の変動幅が所定値以上となった因子を前記注目因子として特定するステップをコンピュータに実行させる、
形状算出プログラム。 - 基板上の第1の周期構造に電磁波を入射させて得られる前記電磁波の出射波に基づく第1の散乱プロファイルを生成する第1のプロファイル生成部と、
仮想設定された第2の周期構造を用いて第2の散乱プロファイルを生成する第2のプロファイル生成部と、
前記第2の周期構造を規定する形状パラメータのうち少なくとも1つを測定対象として選択し、前記第2の散乱プロファイルから、前記第2の散乱プロファイルに含まれ、散乱強度の情報をそれぞれ有する複数の因子のうち、前記形状パラメータについての注目因子を特定する注目因子特定部と、
前記第1の散乱プロファイルから前記注目因子に対応する因子を抜粋した第1のデータフレームを作成し、前記第2の散乱プロファイルから前記注目因子を抜粋した第2のデータフレームを作成するデータフレーム作成部と、
前記第1のデータフレームと前記第2のデータフレームとのフィッティングを行うフィッティング部と、
前記フィッティングの結果に基づいて、前記第1の周期構造の前記形状を特定する形状特定部と、を備え、
前記第2のプロファイル生成部は、選択した前記形状パラメータの設定値を変化させた前記第2の周期構造を用いて前記第2の散乱プロファイルを生成し、
前記注目因子特定部は、前記設定値の変化に応じて前記第2の散乱プロファイルの各因子が示す散乱強度の変動度合いに基づいて前記注目因子の特定を行い、
前記注目因子の特定は、前記形状パラメータの前記設定値の変化に対する前記第2の散乱プロファイルの各因子の相関係数が所定値以上となった因子を前記注目因子として特定する、
形状算出装置。
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