JP7472776B2 - 波長可変フィルター、波長可変フィルターの制御方法、およびコンピュータープログラム - Google Patents
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Description
A1.分光測定装置の構成:
図1は、第一実施形態の分光測定装置1の概略構成を示すブロック図である。分光測定装置1は、測定対象Xによって反射された測定対象光に含まれる所定波長の光の強度を分析し、分光スペクトルを測定する電子機器である。分光測定装置1は、光学モジュール10と、検出部11と、I-V変換器12と、アンプ13と、A/D変換器14と、制御部20と、を備える。
図2は、光学モジュール10の概略構成を示すブロック図である。図2において、電圧制御部15に相当する構成を破線で囲んで示す。波長可変干渉フィルター5を、電圧制御部15の左下に示す。
図4は、固定基板51を可動基板52側から見た平面図である。前述のように、固定基板51は、略直方体の光学部材である。固定基板51は、電極配置溝511と、電極引出溝511Bと、反射膜設置部512と、第一接合部513と、固定側端子取出し部514と、を備える(図4参照)。
図5は、可動基板52を固定基板51側から見た平面図である。前述のように、可動基板52は、略直方体の光学部材である。可動基板52は、可動部521と、保持部522と、第二接合部523と、可動側端子取出し部524と、基板外周部525と、を備えている(図3および図5参照)。
静電アクチュエーター部56は、第一静電アクチュエーター561と、第二静電アクチュエーター562と、第一引出電極563Aと、第二引出電極563Bと、第三引出電極564Aと、第四引出電極564Bと、第五引出電極565Aと、第六引出電極565Bと、を備える(図3参照)。
電圧制御部15は、バイアス駆動部151と、ギャップ検出器152と、フィードバック制御部153と、マイクロコントローラー154とを備える(図2参照)。なお、図面において、マイクロコントローラー154を「マイコン」と表記する。
制御部20は、プロセッサーと、揮発性メモリーと、不揮発性メモリーと、I/Oインターフェースとを有しているコンピューターである。これらの各部は、バスを介して接続されている。プロセッサーは、例えばマイクロプロセッサーまたはプロセッサー回路である。プロセッサーは、不揮発性メモリーにあらかじめ格納されている各種のプログラム命令を実行することにより、分光測定装置1の様々な機能を実現する。制御部20は、機能部として、波長設定部21と、光量取得部22と、分光測定部23と、フィルター制御部24と、を備えている(図1参照)。制御部20が備える揮発性メモリーと不揮発性メモリーとをまとめて「記憶部30」として図1に示す。
図6は、分光測定装置1の分光測定処理における波長可変干渉フィルターの駆動方法を示すフローチャートである。図6の処理により、測定対象Xからの測定対象光に含まれる特定の波長の光の強度が取得される(図1参照)。
kは、可動基板52の保持部522のバネ係数である。
εは、固定基板51と可動基板52との間の電極間ギャップG2の誘電率である。
Sbは、第一電極561Aおよび第二電極561Bにおいて、フィルター平面視で互いに重なり合う領域、すなわち、第一静電アクチュエーター561として機能する領域の面積である。
Scは、第三電極562Aおよび第四電極562Bにおいて、フィルター平面視で互いに重なり合う領域、すなわち、第二静電アクチュエーター562として機能する領域の面積である。
dmaxは電極間ギャップG2の初期ギャップ量、すなわち、電圧を印加していない状態でのギャップ量である。
dは、目的波長の光を透過させるための可動部521の変位量、すなわち、電極間ギャップG2のギャップ変位量である。
第2実施形態の分光測定装置においては、第1実施形態の分光測定装置とは、図10のステップS434の第1移行処理およびステップS440の第2移行処理の内容が異なる。第2実施形態の分光測定装置の他の点は、第1実施形態の分光測定装置と同じである。
第3実施形態の分光測定装置においては、第1実施形態の分光測定装置とは、図10のステップS434の第1移行処理およびステップS440の第2移行処理の内容が異なる。第3実施形態の分光測定装置の他の点は、第1実施形態の分光測定装置と同じである。
第4実施形態の分光測定装置においては、第1実施形態の分光測定装置とは、図10のステップS434の第1移行処理およびステップS440の第2移行処理の内容が異なる。第4実施形態の分光測定装置の他の点は、第1実施形態の分光測定装置と同じである。
第4実施形態の第1態様においては、図10のステップS434の第1移行処理において、フィードバック制御部153は、以下の制御を行う。すなわち、フィードバック制御部153は、フィードバック駆動部156が実行するフィードバック制御をPD(Proportional-Differential)制御に設定する(図9の中段左部参照)。
第4実施形態の第2態様においては、図10のステップS434の第1移行処理において、フィードバック制御部153は、以下の制御を行う。すなわち、フィードバック制御部153は、フィードバック駆動部156が実行するPID制御における積分ゲインを0に設定する(図9の中段左部参照)。
E1.他の実施形態1:
(1)上記実施形態においては、固定基板51と可動基板52とが、接合膜53によって接合されている波長可変干渉フィルター5について、説明した(図2の下段左部参照)。しかし、波長可変干渉フィルターは、他の態様とすることもできる。波長可変干渉フィルターは、たとえば、以下のように構成することもできる。
上記第1実施形態においては、ステップS436の処理の開始後、ステップS450の開始前に、第二静電アクチュエーター562は、ステップS436の処理の開始前にフィードバック制御部153から与えられていた駆動電圧Vuと同じ大きさの駆動電圧Vuを、フィードバック制御部153から与えられる。しかし、第二静電アクチュエーター562は、たとえば、ステップS436の処理の開始前にフィードバック制御部153から与えられていた駆動電圧Vuに一定の係数を掛けた電圧など、他の電圧を与えられてもよい。
上記第2実施形態においては、ステップS436の処理の開始後、ステップS450の処理の開始前に行われるステップS440の移行処理において、閾値時間Tsの間、フィードバック制御部153は、偏差Veとして0を入力される。しかし、ステップS440の移行処理においては、0以外の一定値を入力されてもよい。
上記第2実施形態においては、ステップS436の処理の開始後、ステップS450の処理の開始前に行われるステップS440の移行処理において、閾値時間Tsの間、フィードバック制御部153は、ステップS436の処理の開始直前の偏差Veの値Ve0から、0に単調減少する値を、偏差Veとして入力される。なお、本明細書において、「単調減少」には、所定の時間区間において一定値を有する変化も含まれる。
第4実施形態の第1態様においては、ステップS436の処理の開始後、ステップS450の処理の開始前に行われるステップS440の移行処理においては、閾値時間Tsの間、フィードバック制御部153は、フィードバック制御として、PD(Proportional-Differential)制御を行う。しかし、たとえば、第4実施形態の第2態様に示したように、他の制御が行われてもよい。また、ステップS440の処理は、ステップS436の処理の開始後、ステップS450の処理の開始前の時間区間内の少なくとも一部で実行されればよい。
第4実施形態の第2態様においては、ステップS436の処理の開始後、ステップS450の処理の開始前に行われるステップS440の移行処理においては、フィードバック制御部153は、積分要素のゲインが、0からステップS450のPID制御における積分要素のゲインの値まで、単調増加するPID制御を行う。なお、本明細書において、「単調増加」には、所定の時間区間において一定値を有する変化も含まれる。しかし、積分要素のゲインに限らず、積分要素のゲイン、位置要素ゲイン、および微分要素のゲインのうちの1以上について、変化させたフィードバック制御を行うことができる。
第1実施形態においては、図10のステップS430において、フィルター制御部24は、固定反射膜54と可動反射膜55との間の新たな目標距離G1tと、固定反射膜54と可動反射膜55との間のそれまでの目標距離と、の差が、あらかじめ定められた閾値距離より大きいか否かを判定する。しかし、判定条件は、波長可変干渉フィルター5の動作状態に関する他の条件であってもよい。また、このような判定を行わず、常にステップS440の処理を実行する態様とすることもできる。
第1実施形態においては、閾値時間Tsは、波長可変干渉フィルター5において、第一静電アクチュエーター561によって変位される可動部521を含む構成の固有振動の周期の1/4の時間である。しかし、ステップS440の処理を行う閾値時間Tsは、固有振動の周期の1/2の時間、固有振動の周期と同一の時間、固有振動の周期の[1/4+N(Nは正の整数)]倍の時間など、他の値とすることもできる。ただし、閾値時間は、波長可変フィルターにおいて、第一アクチュエーターによって変位される構成であって、二つの反射膜の少なくとも一方を含む構成の固有振動の周期の1/4の95%~105%の時間、またはその時間に固有振動の周期のN(Nは正の整数)倍の時間を加えた時間であることが好ましい。
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
このような態様とすれば、二つの反射膜の距離の検出値が新たな目標距離と大きく異なる工程(b)の開始直後から工程(c)を開始する態様に比べて、二つの反射膜が新たな目標距離だけ離れて対向する相対位置に移行して安定するまでの時間を、短くすることができる。
このような態様とすれば、前記工程(b)の開始後、前記工程(c)の開始前において、二つの反射膜の相対位置の制御を安定させることができる。
このような態様とすれば、前記工程(b)の開始後、前記工程(c)の開始前において、二つの反射膜の相対位置の制御を安定させることができる。
このような態様とすれば、工程(b)の開始後、工程(c)の開始前において、偏差が急激に大きく変化する事態を避けることができる。前記工程(b)の開始直後の二つの反射膜の相対位置の制御を安定させることができる。
このような態様とすれば、工程(b)の開始直後の二つの反射膜の間の目標距離と、二つの反射膜の距離の検出値と、の偏差が大きい状態が、積分要素によって、二つの反射膜の相対位置の制御に大きく影響を与える事態を、防止することができる。
このような態様とすれば、工程(b)の開始直後の二つの反射膜の間の目標距離と、二つの反射膜の距離の検出値と、の偏差が大きい状態が、積分要素によって、二つの反射膜の相対位置の制御に大きく影響を与える事態を、防止することができる。また、工程(c)の開始時に制御が不安定になる事態を防止することができる。
このような態様とすれば、閾値距離を適切に定めることにより、常に、工程(b)の開始後、閾値時間が経過した後に工程(c)を開始する態様に比べて、以下のような利点がある。すなわち、新たな目標距離とそれまでの目標距離との差が閾値より小さい場合に、二つの反射膜が新たな目標距離だけ離れて対向する相対位置に移行して安定するまでの時間を、短くすることができる。
工程(b)の開始後、上記構成の固有振動の周期の1/4の時間が経過したタイミングにおいては、第一アクチュエーターによって変えられる二つの反射膜の相対距離は、最も目標距離に近いと推定できる。このため、上記の態様とすれば、閾値時間が上記構成の固有振動の周期の1/4の90%未満または110%より大きい時間である態様に比べて、二つの反射膜が新たな目標距離だけ離れて対向する相対位置に移行して安定するまでの時間を、短くすることができる。
Claims (10)
- 対向する二つの反射膜と、前記二つの反射膜の相対位置を変えることができるアクチュエーター部と、を備えた波長可変フィルターの制御方法であって、
前記アクチュエーター部は、
前記二つの反射膜の間の目標距離に応じて駆動される第一アクチュエーターと、
前記目標距離と、前記二つの反射膜の距離の検出値と、に応じてフィードバック制御される第二アクチュエーターと、を備え、
前記制御方法は、
(a)前記二つの反射膜の間の新たな目標距離を受け取る工程と、
(b)前記新たな目標距離に応じて前記第一アクチュエーターを駆動して、前記二つの反射膜の相対位置を変える工程と、
(c)前記新たな目標距離と、前記二つの反射膜の距離の検出値と、に応じて前記第二アクチュエーターをフィードバック制御して、前記二つの反射膜の相対位置を変える工程と、を備え、
あらかじめ定められた条件が満たされる場合には、前記工程(b)の開始後、あらかじめ定められた閾値時間が経過した後に、前記工程(c)を開始する、制御方法。 - 請求項1記載の制御方法であって、
前記波長可変フィルターは、前記第二アクチュエーターの前記フィードバック制御を行うフィードバック制御部を備え、
前記工程(b)の開始後、前記工程(c)の開始前において、前記フィードバック制御部は前記フィードバック制御の演算を行わず、前記第二アクチュエーターは、前記工程(b)の開始前に前記フィードバック制御部から与えられていた駆動電圧と同じ大きさの駆動電圧を与えられる、制御方法。 - 請求項1記載の制御方法であって、
前記波長可変フィルターは、前記第二アクチュエーターの前記フィードバック制御を行うフィードバック制御部を備え、
前記フィードバック制御部は、前記二つの反射膜の間の目標距離と、前記二つの反射膜の距離の検出値と、の偏差を入力されて、前記第二アクチュエーターをフィードバック制御するフィードバック駆動部を備え、
前記工程(b)の開始後、前記工程(c)の開始前において、前記フィードバック駆動部は、前記偏差として0を入力されて前記フィードバック制御を行う、制御方法。 - 請求項1記載の制御方法であって、
前記波長可変フィルターは、前記第二アクチュエーターの前記フィードバック制御を行うフィードバック制御部を備え、
前記フィードバック制御部は、前記二つの反射膜の間の目標距離と、前記二つの反射膜の距離の検出値と、の偏差を入力されて、前記第二アクチュエーターをフィードバック制御するフィードバック駆動部を備え、
前記工程(b)の開始後、前記工程(c)の開始前において、前記フィードバック駆動部は、前記工程(b)の開始前の偏差の値から0に単調減少する値を、前記偏差として入力されて前記フィードバック制御を行う、制御方法。 - 請求項1、3および4のいずれか1項に記載の制御方法であって、さらに、
(d)前記工程(b)の開始後、前記閾値時間が経過する前に実行される工程であって、前記新たな目標距離と、前記二つの反射膜の距離の検出値と、に応じて前記第二アクチュエーターをフィードバック制御して、前記二つの反射膜の相対位置を変える工程を備え、
前記工程(c)は、前記フィードバック制御として、PID制御を行う工程であり、
前記工程(d)は、前記フィードバック制御として、PD制御を行う工程である、
制御方法。 - 請求項1、3および4のいずれか1項に記載の制御方法であって、さらに、
(d)前記工程(b)の開始後、前記閾値時間が経過する前に実行される工程であって、前記新たな目標距離と、前記二つの反射膜の距離の検出値と、に応じて前記第二アクチュエーターをフィードバック制御して、前記二つの反射膜の相対位置を変える工程を備え、
前記工程(c)は、前記フィードバック制御として、PID制御を行う工程であり、
前記工程(d)は、
前記フィードバック制御として、PID制御を行う工程であり、
積分要素のゲインが、0から前記工程(c)における積分要素のゲインの値まで、単調増加する制御を行う工程である、制御方法。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の制御方法であって、
前記あらかじめ定められた条件は、前記新たな目標距離と、前記二つの反射膜のそれまでの目標距離と、の差が、あらかじめ定められた閾値距離より大きいことである、制御方法。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の制御方法であって、
前記閾値時間は、前記波長可変フィルターにおいて、前記第一アクチュエーターによって変位される構成であって、前記二つの反射膜の少なくとも一方を含む構成の固有振動の周期の1/4の90%~110%の時間である、制御方法。 - 波長可変フィルターであって、
対向する二つの反射膜と、
前記二つの反射膜の相対位置を変えることができるアクチュエーター部と、
前記アクチュエーター部を制御する制御部と、を備え、
前記アクチュエーター部は、
前記二つの反射膜の間の目標距離に応じて駆動される第一アクチュエーターと、
前記目標距離と、前記二つの反射膜の距離の検出値と、に応じてフィードバック制御される第二アクチュエーターと、を備え、
前記制御部は、
前記二つの反射膜の間の新たな目標距離を受け取り、
前記新たな目標距離に応じて前記第一アクチュエーターを駆動して、前記二つの反射膜の相対位置を変え、
前記新たな目標距離と、前記二つの反射膜の距離の検出値と、に応じて前記第二アクチュエーターをフィードバック制御して、前記二つの反射膜の相対位置を変え、
あらかじめ定められた条件が満たされる場合には、前記第一アクチュエーターによって前記二つの反射膜の相対位置を変える処理の開始後、あらかじめ定められた閾値時間が経過した後に、
前記第二アクチュエーターによって前記二つの反射膜の相対位置を変える処理を開始する、波長可変フィルター。 - 対向する二つの反射膜と、前記二つの反射膜の相対位置を変えることができるアクチュエーター部と、を備えた波長可変フィルターを、コンピューターに制御させるコンピュータープログラムであって、
前記アクチュエーター部は、
前記二つの反射膜の間の目標距離に応じて駆動される第一アクチュエーターと、
前記目標距離と、前記二つの反射膜の距離の検出値と、に応じてフィードバック制御される第二アクチュエーターと、を備え、
前記コンピュータープログラムは、
(a)前記二つの反射膜の間の新たな目標距離を受け取る第1機能と、
(b)前記新たな目標距離に応じて前記第一アクチュエーターを駆動して、前記二つの反射膜の相対位置を変える第2機能と、
(c)前記新たな目標距離と、前記二つの反射膜の距離の検出値と、に応じて前記第二アクチュエーターをフィードバック制御して、前記二つの反射膜の相対位置を変える第3機能と、を前記コンピューターに実現させることができ、
あらかじめ定められた条件が満たされる場合には、前記コンピューターに、前記第2機能による処理の開始後、あらかじめ定められた閾値時間が経過した後に、前記第3機能による処理を開始させる、コンピュータープログラム。
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