JP2023021702A - 光学フィルター、分光カメラおよび光学フィルター制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電圧感度を抑制しつつ、低電圧駆動することが可能である光学フィルターを提供する。【解決手段】光学フィルター１０は、可動部２４、基部２５および連結部２３を含む可動基板２０と、可動基板２０に対向配置された固定基板３０と、可動部２４を移動させる静電アクチュエーター部５０と、固定基板３０から可動基板２０に向かって突出し、可動部２４の移動により可動基板２０に当接可能であるストッパー３６と、を備える。第１静電アクチュエーター５１は、固定基板３０に設けられ、厚み方向から見た際に基部２５とストッパー３６との間に配置された第１電極５１１と、可動基板２０に設けられた第１対向電極５１２とを有する。第２静電アクチュエーター５２は、固定基板３０に設けられ、厚み方向から見た際にストッパー３６と光学領域ＬＲとの間に配置された第２電極５２１と、可動基板２０に設けられた第２対向電極５２２とを有する。【選択図】図２

Description

本発明は、光学フィルター、分光カメラおよび光学フィルター制御方法に関する。

従来、一対の反射膜間のギャップを制御することで透過波長を可変にする光学フィルターが知られている（例えば特許文献１参照）。このような光学フィルターは、ギャップを介して対向する一対の反射膜と、一方の反射膜が設けられた固定基板と、他方の反射膜が設けられた可動基板とを備えている。可動基板を撓ませ、一対の反射膜間のギャップを変更することで、光学フィルターを透過する光の波長が変化する。

特許文献１に記載の光学フィルター（波長可変干渉フィルター）には、反射膜間のギャップを変更する駆動機構として、光軸からの距離が異なる２つの静電アクチュエーターが用いられている。外周側に配置される第１静電アクチュエーターは、固定基板に設けられる第１電極と、可動基板に設けられる第３電極とを有し、第１電極および第３電極は、第１ギャップを介して対向配置される。内周側に配置される第２静電アクチュエーターは、固定基板に設けられる第２電極と、可動基板に設けられる第４電極とを有し、第２電極および第４電極は、第２ギャップを介して対向配置される。
このような光学フィルターでは、第１静電アクチュエーターに駆動電圧を印加し、第１静電アクチュエーターの電極間に生じる静電引力によって可動基板を撓ませ、第１電極と第３電極とが当接するまで第１ギャップを変更する。第１静電アクチュエーターの電極同士が当接した後には、第２静電アクチュエーターに駆動電圧を印加し、第２静電アクチュエーターの電極間に生じる静電引力によって可動基板を撓ませ、第２電極と第４電極とが当接するまで第２ギャップを変更する。これにより、反射膜間のギャップを段階的に小さく変更することができる。最終的には、第２静電アクチュエーターの電極同士が当接することで、反射膜間のギャップが最も小さくなる。
このような光学フィルターでは、第１静電アクチュエーターおよび第２静電アクチュエーターが駆動量を分担することによる低電圧化が可能である。

特開２０１１－１９１６６１号公報

しかし、上述した特許文献１に記載の光学フィルターでは、各静電アクチュエーターの電極同士を当接させることによる問題が存在する。すなわち、静電アクチュエーターには、電極間のギャップが小さくなるにつれて静電引力が急増するという特性が存在する。このため、電極同士を当接させない制御を行う場合、ギャップ調整範囲によっては印加電圧の変化量に対するギャップ変化量が増大する範囲が生じてしまう。この範囲では、電圧感度が高いことから、反射膜間のギャップを精度よく調整することが困難であり、その結果、分光波長を安定させることが困難となる。

本開示の一態様にかかる分光フィルターは、ギャップを介して対向する一対の反射膜と、前記一対の反射膜の一方である第１反射膜が設けられた可動部と、基部と、前記可動部および前記基部を連結して前記可動部を移動可能に支持する連結部と、を有する可動基板と、前記第１反射膜が形成された前記可動基板の第１面または前記可動基板の前記第１面とは反対側の第２面に対向配置された固定基板と、前記可動部を厚み方向に移動させる静電アクチュエーター部と、前記固定基板から前記可動基板に向かって突出し、前記可動部の移動により前記連結部に当接可能である第１ストッパーと、を備え、前記静電アクチュエーター部は、互いに独立して駆動可能な第１静電アクチュエーターおよび第２静電アクチュエーターを備え、前記厚み方向から見た際に前記一対の反射膜が前記ギャップを挟んで重なり合う領域を光学領域として、前記第１静電アクチュエーターは、前記固定基板に設けられる電極であって、前記厚み方向から見た際に前記基部と重なる部分と前記第１ストッパーとの間に配置された第１電極と、前記可動基板において前記第１電極に対向配置された第１対向電極と、を有し、前記第２静電アクチュエーターは、前記固定基板に設けられる電極であって、前記厚み方向から見た際に前記第１ストッパーと前記光学領域との間に配置された第２電極と、前記可動基板において前記第２電極に対向配置された第２対向電極と、を有する。

本開示の一態様にかかる分光カメラは、上述の光学フィルターと、前記光学フィルターから出射された光を受光して受光量に応じた受光信号を出力する受光部と、を備える。

本開示の一態様にかかる光学フィルター制御方法は、上述の光学フィルターの制御方法であって、前記第１静電アクチュエーターに対して第１駆動電圧を印加することで、前記可動部を前記固定基板に向かって移動させ、前記第１ストッパーを前記可動基板の前記連結部に当接させることと、前記第１駆動電圧を印加しながら、前記第２静電アクチュエーターに対して第２駆動電圧を印加することと、を含む。

第１実施形態の分光カメラの概略構成を示すブロック図。 第１実施形態の光学フィルターを模式的に示す断面図。 第１実施形態の光学フィルターを模式的に示す平面図。 第１実施形態の駆動テーブルを示す図。 第１実施形態の光学フィルターを模式的に示す断面図。 第１実施形態の光学フィルターの制御方法を説明するフローチャート。 第１実施形態の光学フィルターの動作を説明する模式図。 第２実施形態の光学フィルターを模式的に示す断面図。 第３実施形態の光学フィルターを模式的に示す断面図。 第３実施形態の光学フィルターの動作を説明する模式図。 第４実施形態の光学フィルターを模式的に示す断面図。 変形例の光学フィルターを模式的に示す平面図。

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態の分光カメラ１の概略構成を示すブロック図である。
図１に示すように、分光カメラ１は、光学フィルター１０と、受光部６０と、制御部７０とを備える。分光カメラ１は、測定対象から入射される測定光を光学フィルター１０によって分光し、受光部６０で受光することで、所定の波長範囲における波長ごとのイメージングを行うカメラであり、測定対象の２次元分光スペクトルや色度などを取得可能である。このような分光カメラ１は、例えばプリンターやプロジェクター、またはドローンなどの各種機器に組み込まれて利用可能である。

（光学フィルターの構成）
図２は、光学フィルター１０を模式的に示す断面図である。
光学フィルター１０は、ファブリーペロー型の波長可変干渉フィルターであり、互いに対向配置された可動基板２０および固定基板３０と、可動基板２０に設けられた第１反射膜４１と、固定基板３０に設けられ、第１反射膜４１に対してギャップＧを介して対向する第２反射膜４２と、ギャップＧの寸法を変化させる静電アクチュエーター部５０と、を備える。

可動基板２０および固定基板３０は、それぞれ、各種ガラスや水晶等により形成され、受光部６０（図１参照）の光軸Ｏに対して直交配置される。また、可動基板２０および固定基板３０は、互いの間にキャビティーＣを形成する構造物として一体的に構成されている。
以下、可動基板２０および固定基板３０の各厚み方向、すなわち光学フィルター１０において光軸Ｏに平行となる方向をＺ方向とし、Ｚ方向に直交する方向をＸ方向およびＹ方向とする。Ｘ方向およびＹ方向は互いに直交する方向である。

可動基板２０は、反射膜４１が形成された第１面２１と、第１面２１とは反対側である第２面２２と、を有する。可動基板２０の第２面２２には、エッチング処理等によって複数の略環状の凹溝が形成されている。これにより、可動基板２０は、複数の凹溝を含む連結部２３と、連結部２３に囲われる領域である可動部２４と、連結部２３の外側の領域である基部２５とを有する。

図３は、光学フィルター１０を模式的に示す平面図である。
図３に示すように、可動基板２０の連結部２３は、後述のストッパー３６に対向するように配置された補強部２３１と、Ｚ方向から見た際に補強部２３１を挟むように配置された２つの可撓部２３２，２３３と、を備える。なお、図３では、補強部２３１の領域をハッチングによって強調表示している。
可撓部２３２，２３３は、それぞれ弾性変形可能なダイアフラム状に形成されている。可撓部２３２は、基部２５に接続され、補強部２３１を支持する。可撓部２３３は、補強部２３１に接続され、可動部２４を支持する。連結部２３は、Ｚ方向の厚みが薄く形成されることで、Ｚ方向に弾性変形可能なダイアフラムとして形成されている。可動部２４は、連結部２３によってＺ方向に移動可能に保持されている。
本実施形態の可動基板２０では、連結部２３の可撓部２３２，２３３が弾性変形することにより、可動部２４が固定基板３０側に移動可能である。可動基板２０の第１面２１における連結部２３に相当する領域には、第１反射膜４１が設けられている。

図２に示すように、固定基板３０は、可動基板２０の第１面２１に対向配置される。また、固定基板３０は、可動基板２０に対向する第１面３１と、第１面３１とは反対側である第２面３２とを有する。固定基板３０の第１面３１は、エッチング処理等によって加工されている。これにより、固定基板３０は、可動部２４に対向するミラー台３３と、ミラー台３３の外側に設けられる溝部３４と、溝部３４の外側の領域である基部３５と、溝部３４内に設けられた突起状のストッパー３６と、を有する。

ミラー台３３は、第２反射膜４２が設けられる台座となる。なお、ミラー台３３は、可動部２４に対向配置されるが、ＸＹ平面において、可動部２４よりも小さな範囲に設けられる。
溝部３４は、ミラー台３３よりも一段低い底面３４１を有する。この溝部３４により、一対の反射膜４１，４２などの各要素が配置される光学フィルター１０のキャビティーＣが形成される。
基部３５は、接合膜１１，１２を介して、可動基板２０の基部２５に接合される。基部３５の内壁３５１は、キャビティーＣに面する側壁となる。

ストッパー３６（本発明の第１ストッパーに相当）は、溝部３４の底面３４１から可動基板２０側に向かって突出するように設けられている。溝部３４の底面３４１を基準として、ストッパー３６のＺ方向の高さ寸法は、ミラー台３３のＺ方向の高さ寸法よりも大きい。すなわち、Ｚ方向において、ストッパー３６の先端は、ミラー台３３よりも、可動基板２０に近い位置に配置される。
また、ストッパー３６は、連結部２３の補強部２３１に対してＺ方向に対向する位置に配置される。後述するが、可動基板２０の可動部２４が固定基板３０に向かって移動したとき、ストッパー３６の先端は、連結部２３の補強部２３１に当接可能である。

ストッパー３６は、図３に示すようにＺ方向からの平面視において、光軸Ｏを中心とする略環状に形成されている。
なお、図示は省略するが、ストッパー３６には、ストッパー３６の環形状を分断するような１以上のスリットが形成されていてもよい。すなわち、ストッパー３６は、溝部３４の底面３４１において環状に並べられた複数の突起部によって構成されてもよい。例えば、後述の第１電極５１１（図２参照）から延びる引出配線がストッパー３６のスリットを通過するように形成されてもよい。

第１反射膜４１は、可動基板２０の可動部２４に設けられ、第２反射膜４２は、固定基板３０のミラー台３３に設けられている。第１反射膜４１および第２反射膜４２は、ギャップＧを介して互いに対向するように配置されている。このギャップＧの寸法は、光学フィルター１０を透過する光の波長に対応する。
なお、光学フィルター１０をＺ方向から見た際に第１反射膜４１および第２反射膜４２がギャップＧを挟んで重なり合う領域を光学領域ＬＲとする。この光学領域ＬＲは、光学フィルター１０の光学特性を規定する。
また、以下では、第１反射膜４１および第２反射膜４２を単に反射膜４１，４２と称する場合がある。

反射膜４１，４２としては、Ａｇ等の金属膜や、Ａｇ合金等の合金膜を用いることができる。また、反射膜４１，４２として、ＴｉＯ_２等の高屈折層とＳｉＯ_２等の低屈折層とを交互に積層することで構成された誘電体多層膜を用いてもよい。その他、反射膜４１，４２として、従来の波長可変干渉フィルターに用いられる任意の反射膜を利用できる。

また、本実施形態の光学フィルター１０は、反射膜４１，４２間のギャップＧの寸法を検出する容量検出部４３をさらに備える。
容量検出部４３は、第１反射膜４１に形成された検出電極４３１と、第２反射膜４２に形成された検出電極４３２とを有し、検出電極４３１，４３２は、互いに対向配置されている。検出電極４３１，４３２としては、例えばＩＧＯやＩＴＯなどの透明電極を用いることができる。容量検出部４３は、検出電極４３１と検出電極４３２との間にギャップＧの寸法に応じた電荷を保持する。

静電アクチュエーター部５０は、互いに独立して駆動可能な第１静電アクチュエーター５１および第２静電アクチュエーター５２を備える。
第１静電アクチュエーター５１は、固定基板３０に設けられた第１電極５１１と、可動基板２０に設けられた第１対向電極５１２と、を有する。
第１電極５１１は、例えば、光軸Ｏを中心とする略環状に形成され、固定基板３０の溝部３４内において、ストッパー３６と基部３５（すなわちＺ方向から見た際に可動基板２０の基部２５に重なる部分）との間に配置される。
第１対向電極５１２は、例えば、光軸Ｏを中心とする略環状に形成され、第１電極５１１に対向配置される。なお、可動基板２０において第１対向電極５１２が配置される領域は、連結部２３のうちの補強部２３１である。
本実施形態の第１静電アクチュエーター５１では、第１対向電極５１２が接地電極であり、第１電極５１１に第１駆動電圧が印加されることで、第１電極５１１と第１対向電極５１２との間に電位差が生じ、第１駆動電圧に応じた静電引力が生じる。

第２静電アクチュエーター５２は、固定基板３０に設けられた第２電極５２１と、可動基板２０に設けられた第２対向電極５２２と、を有する。
第２電極５２１は、例えば、光軸Ｏを中心とする略環状に形成され、固定基板３０の溝部３４内において光学領域ＬＲとストッパー３６との間に配置される。
第２対向電極５２２は、例えば、光軸Ｏを中心とする略環状に形成され、第２電極５２１に対向配置される。なお、可動基板２０において第２対向電極５２２が配置される領域は、可動部２４である。また、第２電極５２１と第２対向電極５２２との間のギャップは、初期状態において、第１電極５１１と第１対向電極５１２との間のギャップに等しく、かつ、一対の反射膜４１，４２間のギャップＧより大きい寸法である。
本実施形態の第２静電アクチュエーター５２では、第２対向電極５２２が接地電極であり、第２電極５２１に第２駆動電圧が印加されることで、第２電極５２１と第２対向電極５２２との間に電位差が生じ、第２駆動電圧に応じた静電引力が生じる。

なお、図示は省略するが、光学フィルター１０には、第１電極５１１、第１対向電極５１２、第２電極５２１および第２対向電極５２２のそれぞれに電気接続された複数の電極端子が設けられている。第１電極５１１および第１対向電極５１２は、対応する電極端子に対して、固定基板３０に形成される引出配線を介して接続されてもよいし、固定基板３０に設けられる貫通配線を介して接続されてもよい。同様に、第２電極５２１および第２対向電極５２２は、対応する電極端子に対して、可動基板２０に形成される引出配線を介して接続されてもよいし、可動基板２０に設けられる貫通配線を介して接続されてもよい。これらの電極端子は、リード線またはワイヤボンディング等の接続部を介して、後述のフィルター駆動回路７１（図１参照）に接続される。
また、第１対向電極５１２および第２対向電極５２２は、共通の接地端子に接続されてもよい。

また、本実施形態の光学フィルター１０において、静電アクチュエーター部５０は、第１静電アクチュエーター５１および第２静電アクチュエーター５２とは独立して駆動可能な補助静電アクチュエーター５５をさらに備える。
補助静電アクチュエーター５５は、固定基板３０に設けられた補助電極５５１と、可動基板２０に設けられた補助対向電極５５２と、を有する。補助電極５５１は、例えば、光軸Ｏを中心とする略環状に形成され、固定基板３０の溝部３４内においてストッパー３６と第２電極５２１との間に配置される。補助対向電極５５２は、光軸Ｏを中心とする略環状に形成され、補助電極５５１に対向配置される。なお、可動基板２０において補助対向電極５５２が配置される領域は、可動部２４である。

本実施形態の補助静電アクチュエーター５５では、補助対向電極５５２が接地電極であり、補助電極５５１にフィードバック電圧が印加されることで、補助電極５５１と補助対向電極５５２との間に電位差が生じ、フィードバック電圧に応じた静電引力が生じる。

なお、図示は省略するが、光学フィルター１０には、補助電極５５１および補助対向電極５５２のそれぞれに電気接続された電極端子が設けられており、これら電極端子は、フィルター駆動回路７１（図１参照）に接続されている。

（受光部６０の構成）
図１において、受光部６０は、光学フィルター１０を透過した光を受光するセンサーである。受光部６０としては、例えば、ＣＣＤやＣＭＯＳ等のイメージセンサーを用いることができる。受光部６０は、光学フィルター１０を透過した光を受光すると、受光量に応じた受光信号を制御部７０に出力する。

（制御部７０の構成）
図１において、制御部７０は、フィルター駆動回路７１、受光制御回路７２、および、分光測定部７３等を備える。
フィルター駆動回路７１は、光学フィルター１０の駆動を制御する回路である。このフィルター駆動回路７１は、第１駆動回路７１１、第２駆動回路７１２、駆動制御部７１３、容量検出回路７１４、補助駆動回路７１５および記憶部７１６を備える。
なお、フィルター駆動回路７１は、光学フィルター１０が設置される回路基板に設けられてもよいし、当該回路基板とは別体として設けられてもよい。

第１駆動回路７１１は、駆動制御部７１３の駆動指令に応じた第１駆動電圧を第１静電アクチュエーター５１に印加する。
第２駆動回路７１２は、駆動制御部７１３の駆動指令に応じた第２駆動電圧を第２静電アクチュエーター５２に印加する。

駆動制御部７１３は、分光測定部７３から指示される目標波長に応じて、第１駆動回路７１１、第２駆動回路７１２および補助駆動回路７１５のそれぞれに駆動指令を出力する。なお、詳細は後述するが、駆動制御部７１３は、第１駆動回路７１１を制御する第１駆動モードと、第１駆動回路７１１および第２駆動回路７１２をそれぞれ制御する第２駆動モードとのいずれかを選択的に実施する。

容量検出回路７１４は、容量検出部４３に保持される電荷を検出することで、ギャップＧの寸法を検出する。
補助駆動回路７１５は、容量検出回路７１４から入力されるギャップＧの検出信号が、駆動制御部７１３の駆動指令に応じた値になるように、補助静電アクチュエーター５５にフィードバック電圧を印加する。すなわち、補助駆動回路７１５は、ギャップＧの寸法が目標のギャップ寸法になるように、補助静電アクチュエーター５５をフィードバック制御する。

記憶部７１６は、光学フィルター１０を駆動するための駆動テーブルなどが記憶されている。駆動テーブルは、光学フィルターから透過させる光の目標波長と、各目標波長に対応するギャップＧの寸法、第１駆動電圧および第２駆動電圧の各値とが記録されている。

図４は、駆動テーブルの例を示す。この駆動テーブルには、第１駆動モードに対応するｍ個の目標波長と、第２駆動モードに対応するｎ個の目標波長とが設定されている。なお、ｎ，ｍは、１以上の自然数である。
第１駆動モードでは、第１駆動電圧として、各目標波長に対応する電圧値ＶＡ（１）～ＶＡ（ｍ）が設定されており、第２駆動電圧として０が設定されている。第２駆動モードでは、第１駆動電圧として電圧値ＶＡ（ｍ）が設定されており、第２駆動電圧として、各目標波長に対応する電圧値ＶＢ（１）～ＶＢ（ｎ）が設定されている。

ここで、電圧値ＶＡ（１）～ＶＡ（ｍ），電圧値ＶＢ（１）～ＶＢ（ｎ）は、例えば番号の昇順に段階的に大きくなる電圧値である。電圧値ＶＡ（ｍ）は、第１駆動電圧としての最大電圧値であり、電圧値ＶＡ（ｍ）を印加された第１静電アクチュエーター５１は、可動基板２０がストッパー３６に当接するまで可動基板２０を撓ませることが可能である（図５参照）。また、電圧値ＶＡ（ｍ）よりも小さい電圧値ＶＡ（ｍ－１）を印加された第１静電アクチュエーター５１は、可動基板２０がストッパー３６に当接する直前まで可動基板２０を撓ませることが可能である。

図１において、受光制御回路７２は、受光部６０から出力された受光信号をサンプリングするサンプリング回路、受光信号を増幅する増幅回路、受光信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路などを備えている。受光制御回路７２は、これらの各回路により受光信号を信号処理し、信号処理された受光信号を分光測定部７３に入力する。

分光測定部７３は、例えばユーザーの操作に基づいて、フィルター駆動回路７１および受光制御回路７２に分光測定の開始を指令する。そして、受光制御回路７２から入力された受光信号に基づいて、測定対象に対する分光測定を実施する。

なお、本実施形態では、分光測定部７３が制御部７０に含まれる構成を例示するが、例えば、分光カメラ１とは別体に、分光測定部７３が設けられていてもよい。この場合、例えば、分光カメラ１と通信可能に接続されるパーソナルコンピューターやタブレット端末等のコンピューターを分光測定部７３として機能させることができる。

（光学フィルター１０の制御方法）
次に、本実施形態の光学フィルター１０の制御方法について、図６のフローチャートを参照して説明する。なお、以下では、例として、任意の１波長を目標波長として分光測定を実施する場合を説明する。

分光測定部７３は、ユーザーの操作などに応じて、分光測定を指令する指令信号を駆動制御部７１３および受光制御回路７２のそれぞれに入力する。駆動制御部７１３は、分光測定部７３から目標波長を含む指令信号を受信し（ステップＳ１）、記憶部７１６の駆動テーブル（図４参照）から、目標波長に対応する第１駆動電圧および第２駆動電圧を読み出す（ステップＳ２）。

駆動制御部７１３は、読み出した第２駆動電圧が０である場合（ステップＳ３；Ｙｅｓの場合）、第１駆動モードを実施する（ステップＳ４）。この場合、駆動制御部７１３は、第１駆動回路７１１に対して、目標波長に対応する第１駆動電圧を指令する駆動指令を出力すると共に、補助駆動回路７１５に対して目標波長に対応するギャップ寸法を指令する駆動指令を出力する。
これにより、第１駆動回路７１１は、第１静電アクチュエーター５１に対して目標波長に対応する第１駆動電圧を印加し、第１静電アクチュエーター５１は、静電引力により可動基板２０を固定基板３０側に引き寄せる。また、補助駆動回路７１５は、容量検出回路７１４から入力されるギャップＧの検出信号と目標のギャップ寸法とに基づいて、補助静電アクチュエーター５５に対してフィードバック電圧を印加する。
その結果、光学フィルター１０は、例えば、図７における上段に示す状態から中段に示す状態へと変化し、反射膜４１，４２間のギャップＧが目標の寸法に調整され、目標波長の光を透過させる。

なお、この第１駆動モードでは、図７の中段に示すように、可動部２４を初期位置からストッパー３６の先端位置までの第１範囲Ｒ１に移動させることができる。また、この第１駆動モードでは、可動基板２０の連結部２３のうち、主に可撓部２３２が変形する。

一方、駆動制御部７１３は、読みだした第２駆動電圧が０より大きい場合（ステップＳ３；Ｎｏの場合）、第２駆動モードを実施する（ステップＳ５）。この場合、駆動制御部７１３は、まず、第１駆動回路７１１に対して、読みだした第１駆動電圧である電圧値ＶＡ（ｍ）を指令する駆動指令を出力する（第１駆動ステップ）。
これにより、第１駆動回路７１１は、第１静電アクチュエーター５１に対して最大の電圧値ＶＡ（ｍ）を印加する。第１静電アクチュエーター５１は、静電引力により可動基板２０を固定基板３０側に引き寄せ、可動基板２０をストッパー３６に当接させる（図５参照）。

そして、駆動制御部７１３は、第２駆動回路７１２に対して、目標波長に対応する第２駆動電圧を指令する駆動指令を出力すると共に、補助駆動回路７１５に対して目標波長に対応するギャップ寸法を指令する駆動指令を出力する（第２駆動ステップ）。
これにより、第２駆動回路７１２は、第２静電アクチュエーター５２に対して第２駆動電圧を印加する。第２静電アクチュエーター５２は、図５に示す状態から可動基板２０を固定基板３０側にさらに引き寄せる。また、補助駆動回路７１５は、容量検出回路７１４から入力されるギャップＧの検出信号と目標のギャップ寸法とに基づいて、補助静電アクチュエーター５５に対してフィードバック電圧を印加する。
その結果、光学フィルター１０は、例えば、図７における下段に示す状態へと変化し、反射膜４１，４２間のギャップが目標の寸法に調整され、目標波長の光を透過させる。

なお、上述のステップＳ５は、第１駆動ステップの実施中に第２駆動ステップを実施すればよい。このステップＳ５によれば、第１静電アクチュエーター５１に対して第１駆動電圧が印加され、かつ、第２静電アクチュエーター５２に対して第２駆動電圧が印加される。また、本実施形態では、補助的に、補助静電アクチュエーター５５に対してフィードバック電圧が印加される。
このステップＳ５による第２駆動モードでは、図７の下段に示すように、ストッパー３６の先端位置から第２反射膜４２に最近接する調整位置までの第２範囲Ｒ２に、可動部２４を移動させることができる。また、この第２駆動モードでは、可動基板２０の連結部２３のうち、可撓部２３２，２３３がそれぞれ変形するが、ストッパー３６により可撓部２３２の変形量は最大に達し、主に可撓部２３３が変形することで、ギャップ寸法が制御される。

図７の下段に示す状態では、第１静電アクチュエーター５１には、第１駆動電圧としての最大の電圧値ＶＡ（ｍ）が印加され、第２静電アクチュエーター５２には、目標波長に対応した第２駆動電圧が印加されている。ここで、第１静電アクチュエーター５１は、基部２５を支点とする連結部２３の第１変形に対応する駆動量を担い、第２静電アクチュエーター５２は、ストッパー３６を支点とする連結部２３の第２変形に対応する駆動量を担っている。

図６のフローチャートに戻って説明すると、ステップＳ４またはステップＳ５の後、分光測定部７３は、受光制御回路７２から出力される受光信号を受信する（ステップＳ６）。分光測定部７３は、取得した受光信号に基づいて、測定対象の目標波長に対する光特性値を算出する。例えば、分光測定部７３は、測定対象の目標波長に対する光量や反射率等を演算し、測定対象の２次元分光スペクトルなどを取得できる。
なお、測定波長域内の所定間隔となる各波長に対する分光スペクトルを算出する場合には、上述のフローチャートを繰り返し実施すればよい。

（第１実施形態の作用効果）
上述したように、本実施形態の光学フィルター１０には、可動基板２０の連結部２３に当接可能なストッパー３６が設けられている。このため、可動基板２０の可動部２４を固定基板３０側に移動させる際、可動基板２０に対して、基部２５を支点とする連結部２３の第１変形と、ストッパー３６を支点とする連結部２３の第２変形とを生じさせることができる。
ここで、本実施形態の光学フィルター１０には、Ｚ方向から見た際に、ストッパー３６を挟むように配置された第１静電アクチュエーターおよび第２静電アクチュエーターが設けられている。第１静電アクチュエーター５１は、基部２５を支点とする連結部２３の第１変形に対応する駆動量を担うことが可能であり、第２静電アクチュエーター５２は、ストッパー３６を支点とする連結部２３の第２変形に対応する駆動量を担うことが可能である。
仮に、ギャップの寸法を変更させるための駆動量を１つのアクチュエーターで担う場合は、当該駆動量に対応する最大駆動電圧が大きくなり、電気消費量が増加する。これに対して、本実施形態では、ギャップの寸法を変更させるための駆動量を第１静電アクチュエーター５１および第２静電アクチュエーター５２に分担させることができる。その結果、第１静電アクチュエーターおよび第２静電アクチュエーターのそれぞれを低電圧で駆動することができ、高圧電源が不要となる。
また、第１静電アクチュエーター５１および第２静電アクチュエーター５２のそれぞれは、ストッパー３６の存在により、電極同士（具体的には、第１電極５１１と第１対向電極５１２、第２電極５２１と第２対向電極５２２）の距離が一定以上に保たれるため、第１静電アクチュエーター５１および第２静電アクチュエーター５２のそれぞれにおける静電引力の急激な増加を抑制できる。
よって、本実施形態の光学フィルター１０は、電圧感度を抑制しつつ、低電圧駆動することが可能である。

本実施形態において、可動基板２０の連結部２３は、ストッパー３６に対向するように配置された補強部２３１と、Ｚ方向からみた際に補強部２３１を挟むように配置された可撓部２３２，２３３とを備え、補強部２３１は、可撓部２３２，２３３よりも高い剛性を有する。
このような構成では、可動部２４を固定基板３０側に移動させる際、可動部２４の変形や可動部２４の姿勢の傾きが抑制され、光学領域ＬＲでの分光特性のバラツキが抑制される。また、第１対向電極５１２の膜応力や温度変化による可動基板２０の変形を抑制することができる。

本実施形態では、第１対向電極５１２が補強部２３１に設けられている。
このような構成では、可動部２４を固定基板３０側に移動させる際、第１対向電極５１２の姿勢が第１電極５１１に対して平行に保たれ、第１電極５１１と第１対向電極５１２との間の静電ギャップが均一になる。これにより、第１静電アクチュエーター５１の制御が容易になる。

本実施形態の光学フィルター１０には、第１静電アクチュエーター５１および第２静電アクチュエーター５２とは独立して駆動可能な補助静電アクチュエーター５５が設けられており、この補助静電アクチュエーター５５は、固定基板３０において第２電極５２１とストッパー３６との間に配置された補助電極５５１と、可動基板２０において補助電極５５１に対向配置された補助対向電極５５２と、を有する。
このような構成では、補助静電アクチュエーター５５をフィードバック制御させることにより、第１反射膜４１と第２反射膜４２との間のギャップＧの寸法をより正確に調整することができる。

［第２実施形態］
次に、第２実施形態について、図８を参照して説明する。第２実施形態の光学フィルター１０Ａは、主に、複数のストッパー３６が存在する点が第１実施形態とは異なる。なお、以降の説明にあたり、第１実施形態と同様の機能を有する構成については、同符号を付し、その説明を省略または簡略する。

図８は、第２実施形態の光学フィルター１０Ａの概略構成を模式的に示す断面図である。光学フィルター１０Ａにおいて、固定基板３０は、複数のストッパー３６として、第１ストッパー３６１および第２ストッパー３６２を備える。
第１ストッパー３６１および第２ストッパー３６２は、それぞれ、溝部３４の底面３４１から可動基板２０側に向かって突出するように設けられている。ここで、第１ストッパー３６１は、第２ストッパー３６２よりも外周側に配置され、第２ストッパー３６２は、第１ストッパー３６１と光学領域ＬＲとの間に配置される。

また、溝部３４の底面３４１を基準として、第１ストッパー３６１および第２ストッパー３６２の各高さ寸法は、ミラー台３３の高さ寸法よりも大きいが、第２ストッパー３６２の高さ寸法は、第１ストッパー３６１の高さ寸法よりも低い。すなわち、第１ストッパー３６１および第２ストッパー３６２の各先端部は、外周側に位置されるほど、可動基板２０に近い位置に配置される。

また、第２実施形態の光学フィルター１０Ａにおいて、可動基板２０の連結部２３Ａは、第１ストッパー３６１に対向するように配置された補強部２３４と、第２ストッパー３６２に対向するように配置された補強部２３５と、補強部２３４，２３５に対して交互に配置された３つの可撓部２３６～２３８と、を備える。
補強部２３４，２３５および可撓部２３６～２３８の基本的構成は、第１実施形態の補強部２３１および可撓部２３２，２３３と同様である。

また、第２実施形態の光学フィルター１０Ａにおいて、静電アクチュエーター部５０Ａは、第１静電アクチュエーター５１および第２静電アクチュエーター５２とは独立して駆動可能な第３静電アクチュエーター５３を備える。
なお、第１静電アクチュエーター５１のうち、第１電極５１１は、固定基板３０の溝部３４内において第１ストッパー３６１と基部３５との間に配置され、第１対向電極５１２は、可動基板２０のうちの補強部２３４において第１電極５１１に対向するように配置される。
また、第２静電アクチュエーター５２のうち、第２電極５２１は、固定基板３０の溝部３４内において第１ストッパー３６１と第２ストッパー３６２との間に配置され、第２対向電極５２２は、可動基板２０のうちの補強部２３５において第２電極５２１に対向するように配置される。

第３静電アクチュエーター５３は、固定基板３０に設けられた第３電極５３１と、可動基板２０に設けられた第３対向電極５３２と、を有する。
第３電極５３１は、例えば、光軸Ｏを中心とする略環状に形成され、固定基板３０の溝部３４内において光学領域ＬＲと第２ストッパー３６２との間に配置される。第３対向電極５３２は、例えば、光軸Ｏを中心とする略環状に形成され、可動基板２０のうちの可動部２４において第３電極５３１に対向するように配置される。

なお、第２実施形態の光学フィルター１０Ａにおいて、補助静電アクチュエーター５５は、複数のストッパー３６のうち、最も光軸Ｏ側に配置されるストッパー３６（ここでは第２ストッパー３６２）と光学領域ＬＲとの間に配置されることが好ましい。
また、ここでは、図示を省略するが、フィルター駆動回路７１（図１参照）は、第３静電アクチュエーター５３を駆動するための第３駆動回路を備えるものとする。

第２実施可能の光学フィルター１０Ａの制御方法については、第１実施形態の光学フィルター１０Ａの制御方法の説明を応用して適用可能である。
具体的には、第２実施形態の光学フィルター１０Ａは、第１静電アクチュエーター５１を駆動させる第１駆動モードと、第１静電アクチュエーター５１および第２静電アクチュエーター５２をそれぞれ駆動させる第２駆動モードと、第１静電アクチュエーター５１～第３静電アクチュエーター５３をそれぞれ駆動させる第３駆動モードとを実施できる。

第３駆動モードにおいて、フィルター駆動回路７１は、第１静電アクチュエーター５１および第２静電アクチュエーター５２のそれぞれに対して最大電圧値を印加した状態で、第３静電アクチュエーター５３に対して目標波長に対応する第３駆動電圧を印加する。

このような第２実施形態では、可動基板２０の可動部２４を固定基板３０側に移動させる際、可動基板２０に対して、基部２５を支点とする連結部２３Ａの第１変形と、第１ストッパー３６１を支点とする連結部２３Ａの第２変形と、第２ストッパー３６２を支点とする連結部２３Ａの第３変形とを生じさせることができる。
また、第１静電アクチュエーター５１は、基部２５を支点とする連結部２３Ａの第１変形に対応する駆動量を担い、第２静電アクチュエーター５２は、第１ストッパー３６１を支点とする連結部２３Ａの第２変形に対応する駆動量を担い、第３静電アクチュエーター５３は、第２ストッパー３６２を支点とする連結部２３Ａの第３変形に対応する駆動量を担うことができる。
なお、第１静電アクチュエーター５１～第３静電アクチュエーター５３のそれぞれは、第１ストッパー３６１，第２ストッパー３６２の存在により、電極同士の距離が一定以上に保たれる。

以上により、第２実施形態では、反射膜４１，４２間のギャップＧの寸法を変更させるための駆動量を第１静電アクチュエーター５１～第３静電アクチュエーター５３に分担させることができる。また、第１静電アクチュエーター５１～第３静電アクチュエーター５３のそれぞれにおける静電引力の急激な増加を第１ストッパー３６１，第２ストッパー３６２によって抑制できる。よって、第２実施形態の光学フィルター１０Ａは、第１実施形態と同様に電圧感度を抑制しつつ、第１実施形態よりも低電圧駆動することが可能である。

また、第２実施形態では、補助静電アクチュエーター５５をフィードバック制御することにより、第１実施形態と同様、一対の反射膜間のギャップ寸法を正確に調整することができる。

また、第２実施形態の連結部２３Ａには、第１ストッパー３６１および第２ストッパー３６２のそれぞれに対応する補強部２３４，２３５が存在するため、第１実施形態と同様、光学領域ＬＲでの分光特性のバラツキ抑制や、静電ギャップの均一化が可能になる。

［第３実施形態］
次に、第３実施形態について、図９を参照して説明する。第３実施形態の光学フィルター１０Ｂは、主に、連結部２３Ｂおよび静電アクチュエーター部５０Ｂの構成が第１実施形態とは異なる。なお、以降の説明にあたり、第１実施形態と同様の機能を有する構成については、同符号を付し、その説明を省略または簡略する。

第３実施形態の光学フィルター１０Ｂにおいて、可動基板２０の連結部２３Ｂは、第１実施形態の補強部２３１を有さない。すなわち、連結部２３Ｂは、可動基板２０の第２面２２に形成される環状の凹溝の底部として形成され、全体としてダイアフラム状に形成される。
また、第３実施形態の光学フィルター１０Ｂにおいて、静電アクチュエーター部５０Ｂは、第１静電アクチュエーター５１および第２静電アクチュエーター５２を有するが、補助静電アクチュエーター５５を有さない。

このような第３実施形態では、第１実施形態と同様、可動基板２０の可動部２４を固定基板３０側に移動させる際、可動基板２０に対して、基部２５を支点とする連結部２３Ｂの第１変形（図１０の中段参照）と、ストッパー３６を支点とする連結部２３Ｂの第２変形（図１０の下段参照）とを生じさせることができる。
また、第１静電アクチュエーター５１は、基部２５を支点とする連結部２３Ｂの第１変形に対応する駆動量を担い、第２静電アクチュエーター５２は、ストッパー３６を支点とする連結部２３Ｂの第２変形に対応する駆動量を担うことができる。
よって、第３実施形態の光学フィルター１０Ｂにおいても、第１実施形態と同様、電圧感度を抑制しつつ、低電圧駆動することが可能である。

［第４実施形態］
次に、第４実施形態について、図１１を参照して説明する。第４実施形態の光学フィルター１０Ｃは、主に、固定基板３０Ｃの配置が第１実施形態とは異なる。なお、以降の説明にあたり、第１実施形態と同様の機能を有する構成については、同符号を付し、その説明を省略または簡略する。

図１１に示す光学フィルター１０Ｃは、第１反射膜４１が第１面２１に形成された可動基板２０と、可動基板２０の第１面２１とは反対側の第２面２２に対向配置された固定基板３０Ｃと、可動基板２０の第１面２１に対向配置された第２固定基板８０とを備える。この第２固定基板８０には、第１反射膜４１にギャップＧを介して対向する第２反射膜４２が設けられる。

また、光学フィルター１０Ｃでは、シリコン層２７が可動基板２０の一部を構成しており、このシリコン層２７は、第１実施形態の第１対向電極５１２および第２対向電極５２２のそれぞれに相当する共通電極５４として機能する。
また、光学フィルター１０Ｃでは、第１電極５１１および第２電極５２１は、固定基板３０Ｃに設けられた貫通配線５６を介して、外部のフィルター駆動回路７１に電気的に接続される。共通電極５４は、可動基板２０と固定基板３０Ｃとの間に設けられた導電性支柱５７と、固定基板３０Ｃに設けられた貫通配線５６とを介して、外部のフィルター駆動回路７１に電気的に接続される。

この光学フィルター１０Ｃにおいて、第１静電アクチュエーター５１および第２静電アクチュエーター５２は、それぞれ、静電引力により可動基板２０を固定基板３０Ｃ側に引き寄せることで、反射膜４１，４２間のギャップＧの寸法を調整する。ここで、ストッパー３６は、第１実施形態と同様、固定基板３０Ｃに設けられており、可動基板２０の可動部２４が固定基板３０Ｃに向かって移動する際、可動基板２０の連結部２３に当接可能である。

このような第４実施形態では、第１実施形態と同様、可動基板２０の可動部２４を固定基板３０Ｃ側に移動させる際、可動基板２０に対して、基部２５を支点とする連結部２３の第１変形と、ストッパー３６を支点とする連結部２３の第２変形とを生じさせることができる。
また、第１静電アクチュエーター５１は、基部２５を支点とする連結部２３の第１変形に対応する駆動量を担い、第２静電アクチュエーター５２は、ストッパー３６を支点とする連結部２３の第２変形に対応する駆動量を担うことができる。

よって、第４実施形態の光学フィルター１０Ｃにおいても、第１実施形態と同様、電圧感度を抑制しつつ、低電圧駆動することが可能である。

［変形例］
本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。

（変形例１）
前記各実施形態の光学フィルター１０，１０Ａ～１０Ｃは、例示的なものであり、様々な設計的変更が可能である。例えば、前記各実施形態において、可動基板２０および固定基板３０は接合膜１１，１２を介して接合されているが、接合膜１１，１２を介さずに直接接合されていてもよい。また、前記各実施形態の光学フィルター１０，１０Ａ～１０Ｃは、筐体やキャップなどで真空封止されたパッケージとして構成されてもよい。

（変形例２）
前記各実施形態の光学フィルター１０，１０Ａ～１０Ｃでは、可動基板２０に設けられた対向電極（例えば第１対向電極５１２、第２対向電極５２２、第３対向電極５３２、補助対向電極５５２）が別々に形成されているが、これらは一体的に形成されていてもよい。また、可動基板２０の一部がシリコンなどにより形成されることで、当該シリコン部分が対向電極として機能してもよい。

（変形例３）
前記各実施形態の光学フィルター１０，１０Ａ～１０Ｃでは、固定基板３０に設けられた電極（例えば第１電極５１１、第２電極５２１、第３電極５３１、補助電極５５１）に対して駆動電圧が印加されているが、可動基板２０に設けられた対向電極（例えば第１対向電極５１２、第２対向電極５２２、第３対向電極５３２、補助対向電極５５２）に対して駆動電圧が印加されてもよい。この場合、固定基板３０に設けられた電極（例えば第１電極５１１、第２電極５２１、第３電極５３１、補助電極５５１）は、接地電極として形成されてもよい。

（変形例４）
前記第２実施形態では、複数のストッパー３６として、第１ストッパー３６１および第２ストッパー３６２という２つのストッパー３６が例示されるが、３つ以上のストッパー３６が設けられてもよい。この場合、静電アクチュエーター部５０Ａは、ストッパー３６と交互に設けられる４つ以上の静電アクチュエーターを含むことが好ましい。なお、補助静電アクチュエーター５５は、最も光学領域ＬＲに近い２つの静電アクチュエーターの間に配置されることが好ましい。

（変形例５）
前記各実施形態の光学フィルター１０，１０Ａ～１０Ｃにおいて、可動基板２０の連結部２３は、環状のダイアフラムとして構成されるが、これに限られない。
例えば、変形例にかかる光学フィルター１０Ｄを図１２に示す。なお、図１２は、光学フィルター１０Ｄの平面図であり、この図１２において、第１実施形態と同様の機能を有する構成については、同符号を付している。
図１２に示す光学フィルター１０Ｄにおいて、可動基板２０の連結部２３Ｄは、環状の梁構造として構成される。具体的には、連結部２３は、ストッパー３６に対向するように配置された補強部２３１Ｄと、平面視において補強部２３１Ｄを挟むように配置された複数組（図１２では４組）の可撓部２３２Ｄ，２３３Ｄと、を備える。
補強部２３１Ｄは、可撓部２３２Ｄ，２３３ＤよりもＺ方向の厚みが大きく、可撓部２３２Ｄ，２３３Ｄも、構造的な強度が大きくなるように形成されている。また、補強部２３１Ｄは、平面視において矩形形状を有する。
各組の可撓部２３２Ｄ，２３３Ｄは、補強部２３１Ｄの矩形形状の一辺ごとに対応して形成される。可撓部２３２Ｄは、基部２５に接続され、補強部２３１Ｄを片持ち梁状に支持する。可撓部２３３Ｄは、補強部２３１Ｄに接続され、可動部２４を片持ち梁状に支持する。
このような変形例の光学フィルター１０Ｄの連結部２３Ｄにおいても、第１実施形態の連結部２３と同様の効果を奏する。

（変形例６）
前記各実施形態では、光学フィルター１０，１０Ａ～１０Ｃとして、所望の波長の光を透過させる透過型分光フィルターを例示しているが、所望の波長の光を反射させる反射型分光フィルターであってもよい。

［本発明のまとめ］
本開示の一態様にかかる光学フィルターは、ギャップを介して対向する一対の反射膜と、前記一対の反射膜の一方である第１反射膜が設けられた可動部と、基部と、前記可動部および前記基部を連結して前記可動部を移動可能に支持する連結部と、を有する可動基板と、前記第１反射膜が形成された前記可動基板の第１面または前記可動基板の前記第１面とは反対側の第２面に対向配置された固定基板と、前記可動部を厚み方向に移動させる静電アクチュエーター部と、前記固定基板から前記可動基板に向かって突出し、前記可動部の移動により前記連結部に当接可能である第１ストッパーと、を備え、前記静電アクチュエーター部は、互いに独立して駆動可能な第１静電アクチュエーターおよび第２静電アクチュエーターを備え、前記厚み方向から見た際に前記一対の反射膜が前記ギャップを挟んで重なり合う領域を光学領域として、前記第１静電アクチュエーターは、前記固定基板に設けられる電極であって、前記厚み方向から見た際に前記基部と重なる部分と前記第１ストッパーとの間に配置された第１電極と、前記可動基板において前記第１電極に対向配置された第１対向電極と、を有し、前記第２静電アクチュエーターは、前記固定基板に設けられる電極であって、前記厚み方向から見た際に前記第１ストッパーと前記光学領域との間に配置された第２電極と、前記可動基板において前記第２電極に対向配置された第２対向電極と、を有する。
このような構成によれば、ギャップの寸法を変更させるための駆動量を第１静電アクチュエーターおよび第２静電アクチュエーターに分担させることができ、かつ、第１静電アクチュエーターおよび第２静電アクチュエーターのそれぞれにおける静電引力の急激な増加を抑制できる。よって、電圧感度を抑制しつつ、低電圧駆動することが可能な光学フィルターを提供できる。

本開示の一態様にかかる光学フィルターにおいて、前記可動基板の前記連結部は、前記第１ストッパーに対向する補強部と、前記厚み方向から見た際に前記補強部を挟むように配置され、前記厚み方向に弾性変形可能である複数の可撓部と、を備え、前記第１ストッパーは、前記連結部のうちの前記補強部に当接可能である。
このような構成では、可動部を移動させる際、可動部の変形や可動部の姿勢の傾きが抑制され、光学領域での分光特性のバラツキが抑制される。また、第１対向電極の膜応力や温度変化による可動基板の変形を抑制することができる。

本開示の一態様にかかる光学フィルターにおいて、前記第１静電アクチュエーターの前記第１対向電極は、前記可動基板における前記補強部に設けられる。
このような構成では、可動部を移動させる際、第１対向電極の姿勢が第１電極に対して平行に保たれ、第１電極と第１対向電極との間の静電ギャップが均一になる。これにより、第１静電アクチュエーターの制御が容易になる。

本開示の一態様にかかる光学フィルターにおいて、前記静電アクチュエーター部は、前記第１静電アクチュエーターおよび前記第２静電アクチュエーターとは独立して駆動可能な補助静電アクチュエーターをさらに備え、前記補助静電アクチュエーターは、前記固定基板において前記第２電極と前記第１ストッパーとの間に配置された補助電極と、前記可動基板において前記補助電極に対向配置された補助対向電極と、を有する。
このような構成では、補助静電アクチュエーターをフィードバック制御させることで、一対の反射膜間のギャップの寸法をより正確に調整することができる。

本開示の一態様にかかる光学フィルターは、前記固定基板から前記可動基板に向かって突出し、前記可動部の移動により前記連結部に当接可能である第２ストッパーをさらに備え、前記静電アクチュエーター部は、前記第１静電アクチュエーターおよび前記第２静電アクチュエーターとは独立して駆動可能な第３静電アクチュエーターをさらに備え、前記第２ストッパーは、前記第１ストッパーと前記光学領域との間に配置され、前記第３静電アクチュエーターは、前記固定基板において前記第２ストッパーと前記光学領域との間に配置された第３電極と、前記可動基板において前記第３電極に対向配置された第３対向電極と、を有する。
このような構成では、光学フィルターをより低電圧駆動することが可能である。

本開示の一態様にかかる分光カメラは、上述の光学フィルターと、前記光学フィルターから出射された光を受光して受光量に応じた受光信号を出力する受光部と、を備える。
このような構成では、上述の光学フィルターの効果と同様の効果を得られる。

本開示の一態様にかかる光学フィルター制御方法は、前記第１静電アクチュエーターに対して第１駆動電圧を印加することで、前記可動部を前記固定基板に向かって移動させ、前記第１ストッパーを前記可動基板の前記連結部に当接させることと、前記第１駆動電圧を印加しながら、前記第２静電アクチュエーターに対して第２駆動電圧を印加することと、を含む。
このような方法では、上述の光学フィルターの効果と同様の効果を得られる。

１…分光カメラ、１０，１０Ａ～１０Ｄ…光学フィルター、１１，１２…接合膜、２０…可動基板、２１…第１面、２２…第２面、２３，２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｄ…連結部、２３１，２３１Ｄ…補強部、２３２，２３２Ｄ，２３３，２３３Ｄ，２３６～２３８…可撓部、２３４，２３５…補強部、２４…可動部、２５…基部、２７…シリコン層、３０，３０Ｃ…固定基板、３１…第１面、３２…第２面、３３…ミラー台、３４…溝部、３４１…底面、３５…基部、３５１…内壁、３６…ストッパー、３６１…第１ストッパー、３６２…第２ストッパー、４１…第１反射膜、４２…第２反射膜、４３…容量検出部、４３１，４３２…検出電極、５０，５０Ａ，５０Ｂ…静電アクチュエーター部、５１…第１静電アクチュエーター、５１１…第１電極、５１２…第１対向電極、５２…第２静電アクチュエーター、５２１…第２電極、５２２…第２対向電極、５３…第３静電アクチュエーター、５３１…第３電極、５３２…第３対向電極、５４…共通電極、５５…補助静電アクチュエーター、５５１…補助電極、５５２…補助対向電極、５６…貫通配線、５７…導電性支柱、６０…受光部、７０…制御部、７１…フィルター駆動回路、７１１…第１駆動回路、７１２…第２駆動回路、７１３…駆動制御部、７１４…容量検出回路、７１５…補助駆動回路、７１６…記憶部、７２…受光制御回路、７３…分光測定部、８０…第２固定基板、Ｃ…キャビティー、Ｇ…ギャップ、ＬＲ…光学領域、Ｏ…光軸。

Claims (7)

1. ギャップを介して対向する一対の反射膜と、
   前記一対の反射膜の一方である第１反射膜が設けられた可動部と、基部と、前記可動部および前記基部を連結して前記可動部を移動可能に支持する連結部と、を有する可動基板と、
   前記第１反射膜が形成された前記可動基板の第１面または前記可動基板の前記第１面とは反対側の第２面に対向配置された固定基板と、
   前記可動部を厚み方向に移動させる静電アクチュエーター部と、
   前記固定基板から前記可動基板に向かって突出し、前記可動部の移動により前記連結部に当接可能である第１ストッパーと、を備え、
   前記静電アクチュエーター部は、互いに独立して駆動可能な第１静電アクチュエーターおよび第２静電アクチュエーターを備え、
   前記厚み方向から見た際に前記一対の反射膜が前記ギャップを挟んで重なり合う領域を光学領域として、
   前記第１静電アクチュエーターは、
   前記固定基板に設けられる電極であって、前記厚み方向から見た際に前記基部と重なる部分と前記第１ストッパーとの間に配置された第１電極と、
   前記可動基板において前記第１電極に対向配置された第１対向電極と、を有し、
   前記第２静電アクチュエーターは、
   前記固定基板に設けられる電極であって、前記厚み方向から見た際に前記第１ストッパーと前記光学領域との間に配置された第２電極と、
   前記可動基板において前記第２電極に対向配置された第２対向電極と、を有する、光学フィルター。
2. 前記可動基板の前記連結部は、
   前記第１ストッパーに対向する補強部と、
   前記厚み方向から見た際に前記補強部を挟むように配置され、前記厚み方向に弾性変形可能である複数の可撓部と、を備え、
   前記第１ストッパーは、前記連結部のうちの前記補強部に当接可能である、請求項１に記載の光学フィルター。
3. 前記第１静電アクチュエーターの前記第１対向電極は、前記可動基板における前記補強部に設けられる、請求項２に記載の光学フィルター。
4. 前記静電アクチュエーター部は、前記第１静電アクチュエーターおよび前記第２静電アクチュエーターとは独立して駆動可能な補助静電アクチュエーターをさらに備え、
   前記補助静電アクチュエーターは、
   前記固定基板において前記第２電極と前記第１ストッパーとの間に配置された補助電極と、
   前記可動基板において前記補助電極に対向配置された補助対向電極と、を有する、請求項１～請求項３のいずれか一項に記載の光学フィルター。
5. 前記固定基板から前記可動基板に向かって突出し、前記可動部の移動により前記連結部に当接可能である第２ストッパーをさらに備え、
   前記静電アクチュエーター部は、前記第１静電アクチュエーターおよび前記第２静電アクチュエーターとは独立して駆動可能な第３静電アクチュエーターをさらに備え、
   前記第２ストッパーは、前記第１ストッパーと前記光学領域との間に配置され、
   前記第３静電アクチュエーターは、
   前記固定基板において前記第２ストッパーと前記光学領域との間に配置された第３電極と、
   前記可動基板において前記第３電極に対向配置された第３対向電極と、を有する、請求項１～請求項４のいずれか一項に記載の光学フィルター。
6. 請求項１～請求項５のいずれか一項に記載の光学フィルターと、
   前記光学フィルターから出射された光を受光して受光量に応じた受光信号を出力する受光部と、を備える、分光カメラ。
7. 請求項１～請求項５のいずれか一項に記載の光学フィルターの制御方法であって、
   前記第１静電アクチュエーターに対して第１駆動電圧を印加することで、前記可動部を前記固定基板に向かって移動させ、前記第１ストッパーを前記可動基板の前記連結部に当接させることと、
   前記第１駆動電圧を印加しながら、前記第２静電アクチュエーターに対して第２駆動電圧を印加することと、を含む、光学フィルター制御方法。

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