JP7467919B2 - 光変調器とそれを用いた光送信装置 - Google Patents
光変調器とそれを用いた光送信装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7467919B2 JP7467919B2 JP2020002530A JP2020002530A JP7467919B2 JP 7467919 B2 JP7467919 B2 JP 7467919B2 JP 2020002530 A JP2020002530 A JP 2020002530A JP 2020002530 A JP2020002530 A JP 2020002530A JP 7467919 B2 JP7467919 B2 JP 7467919B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- electrode
- substrate
- protrusion
- modulation element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 133
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 51
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 9
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- -1 etc. Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
(1) 基板に光導波路と該光導波路を伝搬する光波を制御する制御電極とを備えた光変調素子を有し、該光変調素子を筐体内に接着剤で固定した光変調器において、該基板の厚みが10μm以下であり、該制御電極は信号電極と接地電極を備え、該接地電極の上面には該上面から突出するように設けられた突出部が形成され、該突出部は、平面視した1つの面積が10000μm 2 以上であり、接地電極の側辺から少なくとも50μm以上離して配置され、さらに、該信号電極と該突出部との間隔は100μm以上に設定され、該突出部の上面は、該信号電極の上面よりも高い場所に位置し、該光変調素子を該筐体内に固定する際に押圧部材が該突出部に接触可能に構成することを特徴とする。
本発明の光変調器は、図1及び図2に示すように、基板に光導波路と該光導波路を伝搬する光波を制御する制御電極とを備えた光変調素子を有し、該光変調素子を筐体内に固定した光変調器において、該基板の厚みが10μm以下であり、該制御電極は信号電極と接地電極を備え、該接地電極の上面には該上面から突出するように設けられた突出部が形成され、該突出部の上面は、該信号電極の上面よりも高い場所に位置することを特徴とする。なお、図2は、図1の一点鎖線X-X’における断面図である。
図2に示すように、補強板を備えた光変調素子(チップ)は、さらに、筐体内の底面に塗布された接着剤により接着・固定され、筐体内に接合されている。
なお、突出部は押圧力を広く接地電極に分散する観点から硬度が接地電極よりも高くなるよう設定することがより好ましい。
Claims (7)
- 基板に光導波路と該光導波路を伝搬する光波を制御する制御電極とを備えた光変調素子を有し、該光変調素子を筐体内に接着剤で固定した光変調器において、
該基板の厚みが10μm以下であり、
該制御電極は信号電極と接地電極を備え、
該接地電極の上面には該上面から突出するように設けられた突出部が形成され、
該突出部は、平面視した1つの面積が10000μm 2 以上であり、接地電極の側辺から少なくとも50μm以上離して配置され、さらに、該信号電極と該突出部との間隔は100μm以上に設定され、
該突出部の上面は、該信号電極の上面よりも高い場所に位置し、該光変調素子を該筐体内に固定する際に押圧部材が該突出部に接触可能に構成することを特徴とする光変調器。 - 請求項1に記載の光変調器において、該基板は平面視した形状が長方形であり、該突出部の一部は、該基板の長辺に沿って少なくとも2か所以上に設けられていることを特徴とする光変調器。
- 請求項1又は2に記載の光変調器において、該突出部が複数配置され、各突出部の上面の位置は、同じ高さになるように設定されていることを特徴とする光変調器。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の光変調器において、該光導波路は、折り返し型の光導波路部分を備え、該突出部の一部は、該光導波路部分で折り返される前後の光導波路の間に設けられることを特徴とする光変調器。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の光変調器において、該信号電極の端部に電極パッドを備え、該電極パッドと該突出部との間隔は100μm以上に設定されていることを特徴とする光変調器。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の光変調器において、該光変調素子の該光導波路に光学的に結合する光ファイバとを備えたことを特徴する光変調器。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の光変調器と、該光変調素子の該制御電極に電気信号を入力する電子回路とを備えることを特徴とする光送信装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020002530A JP7467919B2 (ja) | 2020-01-10 | 2020-01-10 | 光変調器とそれを用いた光送信装置 |
PCT/JP2020/041320 WO2021140734A1 (ja) | 2020-01-10 | 2020-11-05 | 光変調器とそれを用いた光送信装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020002530A JP7467919B2 (ja) | 2020-01-10 | 2020-01-10 | 光変調器とそれを用いた光送信装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021110829A JP2021110829A (ja) | 2021-08-02 |
JP7467919B2 true JP7467919B2 (ja) | 2024-04-16 |
Family
ID=76787843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020002530A Active JP7467919B2 (ja) | 2020-01-10 | 2020-01-10 | 光変調器とそれを用いた光送信装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7467919B2 (ja) |
WO (1) | WO2021140734A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003062914A1 (en) | 2002-01-19 | 2003-07-31 | Bookham Technology Plc | Optical modulators operated in parallel push-pull mode |
JP2007304424A (ja) | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Anritsu Corp | 光変調器 |
JP2010008887A (ja) | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Fujitsu Ltd | 光デバイスの製造方法および光デバイス |
JP2018097159A (ja) | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 住友大阪セメント株式会社 | 薄板ln光制御デバイス |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2728150B2 (ja) * | 1991-03-18 | 1998-03-18 | 日本電信電話株式会社 | 光変調素子 |
JPH11316311A (ja) * | 1998-05-01 | 1999-11-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | 導波路型光素子及び導波路型光素子の製造方法 |
-
2020
- 2020-01-10 JP JP2020002530A patent/JP7467919B2/ja active Active
- 2020-11-05 WO PCT/JP2020/041320 patent/WO2021140734A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003062914A1 (en) | 2002-01-19 | 2003-07-31 | Bookham Technology Plc | Optical modulators operated in parallel push-pull mode |
JP2007304424A (ja) | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Anritsu Corp | 光変調器 |
JP2010008887A (ja) | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Fujitsu Ltd | 光デバイスの製造方法および光デバイス |
JP2018097159A (ja) | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 住友大阪セメント株式会社 | 薄板ln光制御デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2021140734A1 (ja) | 2021-07-15 |
JP2021110829A (ja) | 2021-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3963313B2 (ja) | 光導波路デバイス、光変調器および光変調器の実装構造 | |
JP5063001B2 (ja) | 進行波形光変調器 | |
JP4375597B2 (ja) | 光導波路デバイスおよび進行波形光変調器 | |
JP3792358B2 (ja) | 光接続部品及びその製造方法 | |
US8923658B2 (en) | Optical waveguide device | |
JP2008089936A (ja) | 光制御素子 | |
WO2008099950A1 (ja) | 光変調器用部品および光変調器 | |
JP2006284838A (ja) | 光変調器 | |
JP7467919B2 (ja) | 光変調器とそれを用いた光送信装置 | |
JP2004170931A (ja) | 光変調器 | |
WO2022163724A1 (ja) | 光変調器とそれを用いた光送信装置 | |
JP2016194544A (ja) | 広帯域導波路型光素子 | |
WO2021199523A1 (ja) | 光導波路素子とそれを用いた光変調デバイス及び光送信装置 | |
WO2021199522A1 (ja) | 光導波路素子とそれを用いた光変調デバイス及び光送信装置 | |
JP6728888B2 (ja) | 光変調器 | |
JP5447321B2 (ja) | 光制御素子 | |
JP2004341147A (ja) | 光導波路デバイスおよび進行波形光変調器 | |
JP7151593B2 (ja) | 光導波路素子、及び光導波路デバイス | |
US6650456B2 (en) | Ultra-high frequency interconnection using micromachined substrates | |
JP6221294B2 (ja) | 光制御素子 | |
JP2009086336A (ja) | 光導波路型デバイス | |
WO2023188199A1 (ja) | 光導波路素子及びそれを用いた光変調デバイス並びに光送信装置 | |
US20230314851A1 (en) | Optical modulator and optical transmission device using same | |
JP3824265B2 (ja) | 高周波線路の接続構造 | |
WO2023188194A1 (ja) | 光導波路素子及びそれを用いた光変調デバイス並びに光送信装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220916 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230620 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230821 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20231003 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240213 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20240214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240318 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7467919 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |