JP7466084B2 - 発光素子 - Google Patents
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Description
本発明は、出力を向上させることができる発光素子を提供することを目的とする。
また、断面図として、切断面のみを示す端面図を示す場合がある。
図1に示すように、第1実施形態の発光素子1は、基板100と、半導体構造体10と、p側電極11と、n側電極12とを備える。
図2に示すように、第1超格子層30は、複数の第3層31と、複数の第4層32とを有する。第1超格子層30は、例えば、第3層31と第4層32の組を15個以上25個以下有することができる。第1超格子層30は、例えば、20層の第3層31と、20層の第4層32とを有することができる。第1超格子層30において、最下層に第4層32が位置し、最上層に第3層31が位置する。最下層の第4層32から最上層の第3層31に向かって、第4層32と第3層31とが交互に配置されている。
図3に示すように、第1活性層40は、複数の第1井戸層41と、少なくとも1つの第1障壁層42とを有する。第1活性層40は、例えば、7層の第1井戸層41と、6層の第1障壁層42とを有することができる。それぞれの第1障壁層42は、複数の第1井戸層41のうち隣り合う第1井戸層41間に位置する。さらに、第1活性層40は、第1活性層40において、最下層に位置する第3障壁層43と、最上層に位置する第4障壁層44とを有することができる。複数の第1障壁層42のうちの最下層に位置する第1障壁層42と、第3障壁層43との間に、第1井戸層41が配置されている。複数の第1障壁層42のうちの最上層に位置する第1障壁層42と、第4障壁層44との間に第1井戸層41が配置されている。第3障壁層43と第4障壁層44との間において、第1井戸層41と第1障壁層42とが交互に配置されている。
図4に示すように、第2超格子層80は、複数の第1層81と、複数の第2層82とを有する。第2超格子層80は、例えば、第1層81と第2層82の組を15個以上25個以下有することができる。第2超格子層80は、例えば、20層の第1層81と、20層の第2層82とを有することができる。第2超格子層80において、最下層に第2層82が位置し、最上層に第1層81が位置する。最下層の第2層82から最上層の第1層81に向かって、第2層82と第1層81とが交互に配置されている。
図5に示すように、第2活性層90は、第2井戸層91と、第1中間層93と、第2障壁層92と、第5障壁層95と、第6障壁層96とを有する。
第1中間層93を含まない第2活性層90における第2井戸層91の数を、1層、2層、3層と変更したサンプルを作製し、第1活性層40が発する第1波長光の出力をそれぞれ測定した。この測定結果を黒丸で表す。
また、第2活性層90が、1層の第2井戸層91と、1層の第1中間層93とを含むサンプルを作製し、第1活性層40が発する第1波長光の出力を測定した。この測定結果を白丸で表す。
図6Aにおける縦軸の第1波長光の出力は、第1中間層93を含まず、3層の第2井戸層91を含むサンプルの第1波長光の出力を100%とした場合の相対値を表す。
第1中間層93を含まない第2活性層90における第2井戸層91の数を、1層、2層、3層と変更したサンプルを作製し、第2活性層90が発する第2波長光の出力をそれぞれ測定した。この測定結果を黒丸で表す。
また、第2活性層90が、1層の第2井戸層91と、1層の第1中間層93とを含むサンプルを作製し、第2活性層90が発する第2波長光の出力を測定した。この測定結果を白丸で表す。
図6Bにおける縦軸の第2波長光の出力は、第1中間層93を含まず、3層の第2井戸層91を含むサンプルの第2波長光の出力を100%とした場合の相対値を表す。
第1n側半導体層20は、n型不純物としてシリコンを含む。第1n側半導体層20のシリコン濃度は、約1×1019/cm3である。第1n側半導体層20のシリコン濃度とは、第1n側半導体層20におけるシリコン濃度のうち、最も高いシリコン濃度である。第1n側半導体層20の厚さは、約10μmである。
第1超格子層30は、20層の第3層31と、20層の第4層32とを有する。第3層31は、アンドープの窒化インジウムガリウム層である。第3層31のインジウム組成比は、約7%である。第3層31の厚さは、約1nmである。第4層32は、アンドープの窒化ガリウム層である。第4層32の厚さは、約2nmである。
第1活性層40は、7層の第1井戸層41を有する。第1井戸層41は、アンドープの窒化インジウムガリウム層である。第1井戸層41のインジウム組成比は、約15%である。第1井戸層41の厚さは約3.4nmである。
第1p側半導体層50は、p型不純物としてマグネシウムを含む。第1p側半導体層50のマグネシウム濃度は、約3×1020/cm3である。第1p側半導体層50のマグネシウム濃度とは、第1p側半導体層50におけるマグネシウム濃度のうち、最も高いマグネシウム濃度である。第1p側半導体層50の厚さは、約140nmである。
第1トンネル接合層70は、シリコンがドープされたn型窒化ガリウム層を含む。第1トンネル接合層70のシリコン濃度は、約8×1020/cm3である。第1トンネル接合層70のシリコン濃度とは、第1トンネル接合層70におけるシリコン濃度のうち、最も高いシリコン濃度である。第1トンネル接合層70の厚さは、約2nmである。
第2超格子層80は、20層の第1層81と、20層の第2層82とを有する。第1層81は、シリコンがドープされた窒化インジウムガリウム層である。第1層81のインジウム組成比は、約7%である。第1層81の厚さは、約1nmである。第2層82は、シリコンがドープされた窒化ガリウム層である。第2層82の厚さは、約2nmである。第1層81及び第2層82のシリコン濃度は、約2×1019/cm3である。第1層81及び第2層82のシリコン濃度とは、第1層81及び第2層82におけるシリコン濃度のうち、最も高いシリコン濃度である。
第2活性層90の第2井戸層91は、アンドープの窒化インジウムガリウム層である。第2井戸層91のインジウム組成比は、約23%である。第2井戸層91の厚さは約2.8nmである。第2活性層90が第1中間層93を含むサンプルにおいて、第1中間層93は、アンドープの窒化インジウムガリウム層である。第1中間層93のインジウム組成比は、約10%である。第1中間層93の厚さは約1.5nmである。
第2p側半導体層110は、p型不純物としてマグネシウムを含む。第2p側半導体層110のマグネシウム濃度は、約3×1020/cm3である。第2p側半導体層110のマグネシウム濃度とは、第2p側半導体層110におけるマグネシウム濃度のうち、最も高いマグネシウム濃度である。第2p側半導体層110の厚さは、約115nmである。
図7に示すように、第2実施形態の発光素子2は、基板100と、半導体構造体10と、p側電極11と、n側電極12とを備える。第2実施形態の発光素子2は、半導体構造体10が、第3n側半導体層120と、第3活性層150と、第3p側半導体層160と、をさらに備えること以外は、実質的に第1実施形態の発光素子1と同じ構造を有する。第3n側半導体層120、第3活性層150、及び第3p側半導体層160は、それぞれが窒化物半導体からなる。
を順に備え、
前記第2活性層は、前記第2井戸層よりも前記第1活性層側に位置し、インジウムを含む第1中間層を有し、
前記第1井戸層のインジウム組成比は、前記第2井戸層のインジウム組成比よりも低く、
前記第1中間層のインジウム組成比は、前記第1井戸層のインジウム組成比よりも低く、
前記第1中間層の厚さは、前記第2井戸層の厚さよりも薄い発光素子。
[項2]前記第2井戸層の数は、前記第1井戸層の数よりも少ない上記項1に記載の発光素子。
[項3]前記第2n側半導体層は、超格子層をさらに有し、
前記超格子層は、インジウムを含む複数の第1層と、前記複数の第1層のうち隣り合う第1層間に位置する第2層と、を有し、
前記第1層のインジウム組成比は、前記第1中間層のインジウム組成比よりも低い上記項1または2に記載の発光素子。
[項4]前記第2井戸層の数は、1つである上記項1~3のいずれか1つに記載の発光素子。
[項5]前記第1中間層のインジウム組成比は、8%以上12%以下である上記項1~4のいずれか1つに記載の発光素子。
[項6]前記第1井戸層のインジウム組成比は、12%以上18%以下であり、
前記第2井戸層のインジウム組成比は、20%以上25%以下である上記項1~5のいずれか1つに記載の発光素子。
[項7]前記第2井戸層の厚さは、前記第1井戸層の厚さよりも薄い上記項1~6のいずれか1つに記載の発光素子。
[項8]前記第1中間層の厚さは、1nm以上2nm以下である上記項1~7のいずれか1つに記載の発光素子。
[項9]前記第1井戸層、前記第2井戸層、及び前記第1中間層は、窒化インジウムガリウムからなる上記項1~8のいずれか1つに記載の発光素子。
[項10]さらに、それぞれが窒化物半導体からなる、前記第2p側半導体層と接する第3n側半導体層と、インジウムを含む第3井戸層を有する第3活性層と、第3p側半導体層と、を順に備え、
第3活性層は、前記第3井戸層よりも前記第2活性層側に位置し、インジウムを含む第2中間層を有し、
前記第2井戸層のインジウム組成比は、前記第3井戸層のインジウム組成比よりも低く、
前記第2中間層のインジウム組成比は、前記第2井戸層のインジウム組成比よりも低く、
前記第2中間層の厚さは、前記第3井戸層の厚さよりも薄い上記項1~9のいずれか1つに記載の発光素子。
[項11]前記第3井戸層の数は、前記第1井戸層の数よりも少ない上記項10に記載の発光素子。
[項12]前記第3井戸層のインジウム組成比は、25%以上40%以下である上記項10または11に記載の発光素子。
[項13]前記第2中間層の厚さは、1nm以上2nm以下である上記項10~12のいずれか1つに記載の発光素子。
Claims (13)
- それぞれが窒化物半導体からなる、第1n側半導体層と、インジウムを含む第1井戸層を有する第1活性層と、第1p側半導体層と、前記第1p側半導体層と接する第2n側半導体層と、インジウムを含む第2井戸層を有する第2活性層と、第2p側半導体層と、
を順に備え、
前記第2活性層は、前記第2井戸層よりも前記第1活性層側に位置し、インジウムを含む第1中間層を有し、
前記第1井戸層のインジウム組成比は、前記第2井戸層のインジウム組成比よりも低く、
前記第1中間層のインジウム組成比は、前記第1井戸層のインジウム組成比よりも低く、
前記第1中間層の厚さは、前記第2井戸層の厚さよりも薄く、
前記第2n側半導体層は、超格子層をさらに有し、
前記超格子層は、インジウムを含む複数の第1層と、前記複数の第1層のうち隣り合う第1層間に位置する第2層と、を有し、
前記第1層のインジウム組成比は、前記第1中間層のインジウム組成比よりも低い発光素子。 - 前記第2井戸層の数は、前記第1井戸層の数よりも少ない請求項1に記載の発光素子。
- 前記第2井戸層の数は、1つである請求項1に記載の発光素子。
- 前記第1中間層のインジウム組成比は、8%以上12%以下である請求項1~3のいずれか1つに記載の発光素子。
- 前記第1井戸層のインジウム組成比は、12%以上18%以下であり、
前記第2井戸層のインジウム組成比は、20%以上25%以下である請求項1~3のいずれか1つに記載の発光素子。 - 前記第2井戸層の厚さは、前記第1井戸層の厚さよりも薄い請求項1~3のいずれか1つに記載の発光素子。
- 前記第1中間層の厚さは、1nm以上2nm以下である請求項1~3のいずれか1つに記載の発光素子。
- 前記第1井戸層、前記第2井戸層、及び前記第1中間層は、窒化インジウムガリウムからなる請求項1~3のいずれか1つに記載の発光素子。
- さらに、それぞれが窒化物半導体からなる、前記第2p側半導体層と接する第3n側半導体層と、インジウムを含む第3井戸層を有する第3活性層と、第3p側半導体層と、を順に備え、
第3活性層は、前記第3井戸層よりも前記第2活性層側に位置し、インジウムを含む第2中間層を有し、
前記第2井戸層のインジウム組成比は、前記第3井戸層のインジウム組成比よりも低く、
前記第2中間層のインジウム組成比は、前記第2井戸層のインジウム組成比よりも低く、
前記第2中間層の厚さは、前記第3井戸層の厚さよりも薄い請求項1~3のいずれか1つに記載の発光素子。 - 前記第3井戸層の数は、前記第1井戸層の数よりも少ない請求項9に記載の発光素子。
- 前記第3井戸層のインジウム組成比は、25%以上40%以下である請求項9に記載の発光素子。
- 前記第2中間層の厚さは、1nm以上2nm以下である請求項9に記載の発光素子。
- それぞれが窒化物半導体からなる、第1n側半導体層と、インジウムを含む第1井戸層を有する第1活性層と、第1p側半導体層と、前記第1p側半導体層と接する第2n側半導体層と、インジウムを含む第2井戸層を有する第2活性層と、第2p側半導体層と、
を順に備え、
前記第2活性層は、前記第2井戸層よりも前記第1活性層側に位置し、インジウムを含む第1中間層と、前記第1中間層と前記第2井戸層との間に位置する第2障壁層と、を有し、
前記第1井戸層のインジウム組成比は、前記第2井戸層のインジウム組成比よりも低く、
前記第1中間層のインジウム組成比は、前記第1井戸層のインジウム組成比よりも低く、
前記第1中間層の厚さは、前記第2井戸層の厚さよりも薄く、
前記第1中間層のバンドギャップは、前記第2障壁層のバンドギャップよりも狭い発光素子。
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