JP7464629B2 - 研磨量推定装置 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 201
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 42
- 238000004088 simulation Methods 0.000 claims description 41
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 17
- 230000003190 augmentative effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000010801 machine learning Methods 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 4
- 238000012549 training Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 24
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 210000002569 neuron Anatomy 0.000 description 2
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000013135 deep learning Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000000611 regression analysis Methods 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/02—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent
- B24B49/04—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent involving measurement of the workpiece at the place of grinding during grinding operation
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
- B25J9/1628—Programme controls characterised by the control loop
- B25J9/1633—Programme controls characterised by the control loop compliant, force, torque control, e.g. combined with position control
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/0038—Other grinding machines or devices with the grinding tool mounted at the end of a set of bars
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/10—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving electrical means
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/12—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B51/00—Arrangements for automatic control of a series of individual steps in grinding a workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J13/00—Controls for manipulators
- B25J13/08—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
- B25J9/1656—Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
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- G05B2219/40318—Simulation of reaction force and moment, force simulation
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
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- G05B2219/45—Nc applications
- G05B2219/45096—Polishing manipulator
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
Δx=Kf(F-Fd)
ここで、Kf:力制御ゲイン
Fd:目標力(力+モーメント、力:Fx,Fy,Fz、モーメント:Mx,My,Mz)
F:検出された力
Δx:制御周期毎の目標移動量(速度)
(研磨量推定手法1):研磨量と相関するパラメータとしてロボットの動作軌道、動作速度、押付力が考えられる。研磨量推定手法では、これらパラメータの一つを用いて研磨量との相関性を線形近似或いは曲線近似により導出する。なお、本明細書において、単に「動作軌道」と言うときには、いわゆるティーチングによる軌道である教示軌道と、数値シミュレーション等により得られるマニピュレータ10(ツール先端)の動作軌道を含む。研磨量推定のために用いる押付力としては、後述する手法により生成される仮想力(仮想押付力)を用いる。
(研磨量推定手法2):ロボットの動作軌道、動作速度、押付力と研磨量とを対応付けるトレーニングデータを収集し、機械学習により、これらのパラメータと研磨量とを対応付ける学習モデルを構築する。
F=Kd・δ ・・・(1a)
によって求めても良い。なお、この場合、対象ワークは作業空間内で位置が固定されているとする。或いは、ツール先端の位置が対象ワークと接触した場合にワークから受ける力Fを、ツール先端位置とワークとの接触位置を超えたときの速度をVcとして、
F=Kd・δ+Kc・Vc ・・・(1b)
によりワークから受ける力Fを算出する手法もあり得る。これらの係数KdやKcは、対象ワークの剛性や形状等に応じて設定することができる。
F=(ツールの仮想ばね係数)×δ ・・・(2a)
なお、ツールが押付方向に伸縮する機構(ばね機構)を有する、いわゆるフローティングツールである場合には、ツール先端位置と対象ワークの位置に基づきツール先端の伸縮長さを求め、下記数式により仮想力Fを得ることができる。
F=(ツールのばね係数)×伸縮長さ ・・・(2b)
F=k×(Tx-d) ・・・(3)
ここで、kは係数である。係数kは、実験値、経験値等として求めた値を設定しても良い。
V/d=(1/2)・Lsin(a)・Lcos(a)
V/dは一定と仮定して、上記式を以下のように変形する。
2V/d=L2sin(a)・cos(a)
2V/d=(L2sin(2a))/2
上記より、切削面の長さLが以下のように求められる。
L=(4V/(d/sin(2a)))1/2
研磨面積は、長さLにツールの移動量dを乗じて得ることができる。
10 ロボットマニピュレータ
11 ツール部
50 制御装置
51 記憶部
52 力制御シミュレーション実行部
53 ロボット動作制御部
54 仮想力生成器
55 仮想力学習部
56 研磨量推定部
57 研磨量学習部
58 推奨値生成部
59 ツール選択部
70 表示装置
71 撮像装置
72 AR/VR画像処理部
73 ディスプレイ
74 音声出力部
90 外部コンピュータ
91 物理シミュレーション部
100 ロボットシステム
Claims (13)
- ロボットマニピュレータに搭載した研磨ツールを力制御により対象ワークに接触させて行う研磨作業における研磨量を推定する研磨量推定装置であって、
動作プログラムと前記力制御に関するパラメータである力制御パラメータとを記憶する記憶部と、
前記動作プログラムに基づいて得られる、前記研磨ツールの動作軌道、前記研磨ツールの動作速度、前記対象ワークに対する前記研磨ツールの押付力の少なくとも一つに基づいて前記研磨量を推定する研磨量推定部と、
前記動作プログラム及び前記力制御パラメータに基づいて前記力制御のシミュレーションを実行する力制御シミュレーション実行部と、を備え、
前記力制御シミュレーション実行部は、前記力制御のシミュレーション結果から得られる前記研磨ツールの位置情報に基づいて前記動作軌道、前記動作速度、及び前記押付力を求める、研磨量推定装置。 - 前記力制御シミュレーション実行部は、前記力制御のシミュレーション結果から得られる前記研磨ツールの位置情報に基づいて、前記研磨ツールが前記対象ワークと接触した状態において前記研磨ツールから前記対象ワークに作用する押付力を仮想的に生成する仮想力生成部を備える、請求項1に記載の研磨量推定装置。
- 前記ロボットマニピュレータを表す運動方程式を用い、前記力制御パラメータに基づいて前記ロボットマニピュレータの動作の物理シミュレーションを実行する物理シミュレーション部を更に備え、
前記仮想力生成部は、前記研磨ツールが前記対象ワークと接触した状態における、前記物理シミュレーションにより得られる前記研磨ツールの前記位置情報に基づいて前記押付力を求める、請求項2に記載の研磨量推定装置。 - 前記仮想力生成部は、前記対象ワークの剛性に関する係数、前記研磨ツールの剛性に関する係数、及び前記研磨ツールのばね係数のいずれかと、前記研磨ツールが前記対象ワークと接触した状態における前記研磨ツールの前記対象ワークに対する距離とに基づいて前記押付力を求める、請求項3に記載の研磨量推定装置。
- 前記研磨量推定部は、前記研磨ツールの動作軌道と研磨量との相関性を実測データに基づいて線形近似又は曲線近似したモデル、前記研磨ツールの動作速度と研磨量との相関性を実測データに基づき線形近似又は曲線近似した計算モデル、前記研磨ツールの押付力と研磨量との相関性を実測データに基づき線形近似又は曲線近似した計算モデルのいずれかに基づいて前記研磨量を推定する、請求項1から4のいずれか一項に記載の研磨量推定装置。
- 前記研磨ツールの動作軌道、前記研磨ツールの動作速度、前記対象ワークに対する前記研磨ツールの押付力とを含む入力データと、該入力データに対応する実測の研磨量である回答データとからなるトレーニングデータに基づいて機械学習を実行する研磨量学習部を更に備え、
前記研磨量推定部は、前記研磨量学習部による機械学習により構築された学習モデルを用いて前記研磨量を推定する、請求項1から4のいずれか一項に記載の研磨量推定装置。 - 前記ロボットマニピュレータ及び前記対象ワークを含む現実の作業空間の映像を取得する撮像装置と、
推定された前記研磨量を表す画像を前記作業空間の映像に拡張現実画像として重畳する表示装置と、を更に備える請求項1から6のいずれか一項に記載の研磨量推定装置。 - 前記記憶部は、前記ロボットマニピュレータ、前記研磨ツール及び前記対象ワークの形状を表すモデルデータ及び配置位置の情報を更に記憶し、
前記研磨量推定装置は、前記モデルデータ及び前記配置位置の情報を用い、推定された前記研磨量を表す画像を、前記研磨ツール及び前記対象ワークを含む仮想の作業空間内に配置した仮想現実画像に重畳して表示する表示装置を更に備える、請求項1から6のいずれか一項に記載の研磨量推定装置。 - 推定された前記研磨量と所定の研磨量基準値との比較結果に基づいて教示軌道又は前記力制御パラメータに関する推奨調整値を生成する推奨値生成部を更に備え、
前記表示装置は、前記推奨調整値を表す画像を前記現実の作業空間の映像に更に重畳して表示する、請求項7に記載の研磨量推定装置。 - 推定された前記研磨量と所定の研磨量基準値との比較結果に基づいて教示軌道又は前記力制御パラメータに関する推奨調整値を生成する推奨値生成部を更に備え、
前記表示装置は、前記推奨調整値を表す画像を前記仮想現実画像に更に重畳して表示する、請求項8に記載の研磨量推定装置。 - 要求される研磨量又は研磨面積を表す情報に基づいて、複数種類の研磨ツールの中から使用すべき研磨ツールを選択するツール選択部を更に備え、
前記力制御シミュレーション実行部は、選択された前記研磨ツールを仮想的に前記ロボットマニピュレータに装着して前記力制御のシミュレーションを実行する、請求項1から4のいずれか一項に記載の研磨量推定装置。 - ロボットマニピュレータに搭載した研磨ツールを力制御により対象ワークに接触させて行う研磨作業における研磨量を推定する研磨量推定装置であって、
動作プログラムを記憶する記憶部と、
前記動作プログラムに基づいて得られる、前記研磨ツールの動作軌道、前記研磨ツールの動作速度、前記対象ワークに対する前記研磨ツールの押付力の少なくとも一つに基づいて前記研磨量を推定する研磨量推定部と、
前記ロボットマニピュレータ及び前記対象ワークを含む現実の作業空間の映像を取得する撮像装置と、
推定された前記研磨量を表す画像を前記作業空間の映像に拡張現実画像として重畳する表示装置と、を備える研磨量推定装置。 - ロボットマニピュレータに搭載した研磨ツールを力制御により対象ワークに接触させて行う研磨作業における研磨量を推定する研磨量推定装置であって、
動作プログラムと、前記ロボットマニピュレータ、前記研磨ツール及び前記対象ワークの形状を表すモデルデータ及び配置位置の情報とを記憶する記憶部と、
前記動作プログラムに基づいて得られる、前記研磨ツールの動作軌道、前記研磨ツールの動作速度、前記対象ワークに対する前記研磨ツールの押付力の少なくとも一つに基づいて前記研磨量を推定する研磨量推定部と、
前記モデルデータ及び前記配置位置の情報を用い、推定された前記研磨量を表す画像を、前記研磨ツール及び前記対象ワークを含む仮想の作業空間内に配置した仮想現実画像に重畳して表示する表示装置と、を備える研磨量推定装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020006843 | 2020-01-20 | ||
JP2020006843 | 2020-01-20 | ||
PCT/JP2021/000896 WO2021149564A1 (ja) | 2020-01-20 | 2021-01-13 | 研磨量推定装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021149564A1 JPWO2021149564A1 (ja) | 2021-07-29 |
JPWO2021149564A5 JPWO2021149564A5 (ja) | 2022-09-09 |
JP7464629B2 true JP7464629B2 (ja) | 2024-04-09 |
Family
ID=76992229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021573094A Active JP7464629B2 (ja) | 2020-01-20 | 2021-01-13 | 研磨量推定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230034765A1 (ja) |
JP (1) | JP7464629B2 (ja) |
CN (1) | CN115023316A (ja) |
DE (1) | DE112021000635T5 (ja) |
WO (1) | WO2021149564A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11820016B2 (en) * | 2020-07-31 | 2023-11-21 | GrayMatter Robotics Inc. | System and method for autonomously scanning and processing a compliant workpiece |
US11806834B2 (en) * | 2021-10-22 | 2023-11-07 | Protolabs, Inc. | Apparatus and method for automated mold polishing |
CN116372781B (zh) * | 2023-04-20 | 2023-11-07 | 山东欣立得光电科技有限公司 | 一种led屏幕衬底自动化清洗抛光系统 |
CN116861738B (zh) * | 2023-07-04 | 2024-03-01 | 上海集成电路材料研究院有限公司 | 一种硅片抛光运动轨迹的计算方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002003155A1 (fr) | 2000-06-30 | 2002-01-10 | Mori Seiki Co.,Ltd. | Dispositif et procede de simulation d'operations d'usinage pour machines a commande numerique |
JP2002301659A (ja) | 2001-04-03 | 2002-10-15 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 自動仕上げ方法および装置 |
JP2006035409A (ja) | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Koatec Kk | ロボットに搭載する新規な機能を有するグラインダー |
JP2009098982A (ja) | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Sodick Co Ltd | 加工シミュレーション装置およびそのプログラム |
JP2017148908A (ja) | 2016-02-25 | 2017-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 制御装置、ロボット、及びロボットシステム |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63144950A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-17 | Toshiba Corp | 研削ロボツト制御方法 |
US5126645A (en) * | 1989-09-30 | 1992-06-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Grinder robot |
JPH11151654A (ja) * | 1997-11-18 | 1999-06-08 | Toshiba Electronic Engineering Corp | 研磨装置およびx線イメージ管の製造装置 |
CN103128645B (zh) * | 2013-03-21 | 2015-06-17 | 上海交通大学 | 压力可控、速度可变的主动柔顺机器人研磨系统及方法 |
JP6088583B2 (ja) | 2015-06-08 | 2017-03-01 | ファナック株式会社 | ロボットと力の表示機能を備えたロボット制御装置 |
CN105643399B (zh) * | 2015-12-29 | 2018-06-26 | 沈阳理工大学 | 基于柔顺控制的机器人复杂曲面自动研抛系统及加工方法 |
JP7023455B2 (ja) * | 2017-01-23 | 2022-02-22 | 不二越機械工業株式会社 | ワーク研磨方法およびワーク研磨装置 |
CN107833503B (zh) * | 2017-11-10 | 2019-10-29 | 广东电网有限责任公司教育培训评价中心 | 配网核心作业增强现实仿真培训系统 |
JP6756698B2 (ja) * | 2017-12-27 | 2020-09-16 | ファナック株式会社 | 研磨装置 |
JP2019162712A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | ファナック株式会社 | 制御装置、機械学習装置及びシステム |
CN109202688B (zh) * | 2018-08-02 | 2023-09-26 | 华南理工大学 | 一种恒力研磨装置及其研磨控制方法 |
CN110394711A (zh) * | 2019-07-17 | 2019-11-01 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种研磨装置、倒角加工装置及加工方法 |
-
2021
- 2021-01-13 CN CN202180009942.4A patent/CN115023316A/zh active Pending
- 2021-01-13 WO PCT/JP2021/000896 patent/WO2021149564A1/ja active Application Filing
- 2021-01-13 DE DE112021000635.5T patent/DE112021000635T5/de active Pending
- 2021-01-13 JP JP2021573094A patent/JP7464629B2/ja active Active
- 2021-01-13 US US17/791,311 patent/US20230034765A1/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002003155A1 (fr) | 2000-06-30 | 2002-01-10 | Mori Seiki Co.,Ltd. | Dispositif et procede de simulation d'operations d'usinage pour machines a commande numerique |
JP2002301659A (ja) | 2001-04-03 | 2002-10-15 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 自動仕上げ方法および装置 |
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JP2009098982A (ja) | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Sodick Co Ltd | 加工シミュレーション装置およびそのプログラム |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2021149564A1 (ja) | 2021-07-29 |
CN115023316A (zh) | 2022-09-06 |
DE112021000635T5 (de) | 2022-12-08 |
US20230034765A1 (en) | 2023-02-02 |
JPWO2021149564A1 (ja) | 2021-07-29 |
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