CN116372781B - 一种led屏幕衬底自动化清洗抛光系统 - Google Patents
一种led屏幕衬底自动化清洗抛光系统 Download PDFInfo
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Abstract
本发明涉及机械手控制领域，尤其涉及一种LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统，本发明通过设置机械臂、图像采集模块以及控制模块，通过图像采集模块采集抛光清洗过程中抛光区域的图像，并解析获取纹理状态，在第一纹理状态下，根据抛光区域图像中的划痕平均宽度以及划痕平均数量确定抛光区域的抛光等级并选用对应的粗糙度的抛光盘进行抛光，并且在第二纹理状态下根据抛光区域图像的亮度对抛光盘的按压力度和旋转速度进行调整，并且，在纹理状态切换时调整冲洗单元的喷射压力，本发明通过上述步骤，实现对抛光过程的监测，并对应的自动调整机械臂的运行参量，实现机械臂自动化抛光，提高抛光效率的前提下保证了抛光效果。
Description
技术领域
本发明涉及机械手控制领域，尤其涉及一种LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统。
背景技术
LED屏幕的金属衬底表面的抛光质量会直接影响到LED屏幕的性能，抛光不良的金属衬底表面可能会出现划痕、凹陷、氧化等问题，衬底表面的光学反射率和透射率受到粗糙度的影响，从而影响到LED屏幕的显示效果、亮度和稳定性，因此，LED屏幕衬底的抛光生产至关重要，随着自动化水平的提高，各类自动化衬底生产系统应用而生。
中国专利公开号CN114888692A：公开了一种抛光打磨机械臂控制系统及方法，该申请涉及机器人控制技术的技术领域，尤其是涉及一种抛光打磨机械臂控制系统及方法,包括机械臂，机械臂上设有图像采集模块、模板制作模块、识别模块和执行模块；图像采集模块用于采集目标物的图像信息，提取图像的特征信息；模板制作模块用于以参照物为对象制作全角度模板，提取模板的特征信息；识别模块用于特征信息的匹配识别，以确定待打磨工件和匹配模板；识别模块包括修正模块，用于获取匹配模板和待打磨工件的特征点，计算特征点之间的偏差并修正；执行模块用于对工件进行打磨；执行模块包括力控算法子模块，用于对打磨力进行恒力柔顺控制；本发明具有增加实际打磨的柔顺性，提高加工质量的效果。
但是，现有技术中还存在以下问题，
现有技术中，未对衬底片抛光清洗过程中的抛光清洗效果进行解析，并基于解析结果对机械臂的运行参量进行调整，以提高机械臂的抛光效果。
发明内容
为解决现有技术中未对抛光清洗过程中的抛光清洗效果进行解析，并基于解析结果对机械臂的运行参量进行调整，以提高机械臂的抛光效果的问题，本发明提供一种LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统，其包括：
机械臂组，其包括均设置在用以夹持衬底片的夹具一侧的第一机械臂以及第二机械臂，所述第一机械臂上设置有抛光单元，用以对所述衬底片进行抛光，所述抛光单元设置有若干抛光盘，各所述抛光盘的粗糙度不同，所述第二机械臂上设置有冲洗单元，用以对所述衬底片进行清洗；
图像采集模块，其包括设置在所述第一机械臂上的用以获取抛光区域图像的第一图像采集单元以及设置在所述第二机械臂上用以获取冲洗区域图像的第二图像采集单元；
控制模块，其包括相互连接的图像解析单元、第一控制单元、第二控制单元以及第三控制单元，所述图像解析单元与所述图像采集模块连接，用以基于所述抛光区域图像的纹理参数解析获取纹理状态以及基于所述冲洗区域图像的泡沫面积解析获取泡沫生成状态；
所述第一控制单元与所述机械臂组连接，用以在所述抛光区域图像为第一纹理状态时，根据抛光区域图像中划痕平均宽度以及划痕平均数量判定当前抛光区域的抛光等级，并基于所述抛光等级控制对应粗糙度的抛光盘对所述抛光区域进行抛光；
所述第二控制单元与所述机械臂组连接，用以在所述抛光区域图像为第二纹理状态时，根据所述抛光区域图像的亮度值对抛光盘的按压力度以及旋转速度进行调整后控制所述抛光盘对抛光区域进行抛光；
所述第三控制单元与所述机械臂组连接，用以在所述抛光区域图像的纹理状态发生变化或所述抛光区域的抛光等级发生变化时，基于所述图像解析单元所解析获取的泡沫生成状态调整所述冲洗单元的喷射压力。
进一步地，所述图像解析单元确定所述抛光区域图像中的纹理参数，所述纹理参数包括划痕平均间距L、划痕平均宽度D以及划痕交叉点的数量Ne，并按照公式(1)计算第一抛光表征参量E1，
公式(1)中，Ne表示预设标准平均间距对比参量，D10表示第一标准平均宽度对比参数，Ne0表示预设标准划痕交叉点数量对比参数。
进一步地，所述图像解析单元将所述第一抛光表征参量E1与预设标准抛光对比参量E0进行对比，根据对比结果解析获取纹理状态，其中，
在第一对比结果下，所述图像解析单元解析获取所述抛光区域图像的纹理状态为第一纹理状态；
在第二对比结果下，所述图像解析单元解析获取所述抛光区域图像的纹理状态为第二纹理状态；
所述第一对比结果为E1＞E0，所述第二对比结果为E1≤E0。
进一步地，所述第一控制单元确定所述抛光区域图像中的划痕平均宽度D以及划痕平均数量Ns，并按照公式(2)计算第二抛光表征参量E2，
公式(2)中D20表示第二标准平均宽度对比参数，D10＜D20，Ns0表示预设标准划痕平均数量。
进一步地，所述第一控制单元将所述第二抛光表征参数E2与预设的第一抛光对比参数E21以及第二抛光对比参数E22进行对比，并根据对比结果判定当前抛光区域的抛光等级，并基于抛光等级控制对应粗糙度的抛光盘对所述抛光区域进行抛光，其中，E22＞E21
在第一参数对比结果下，所述第一控制单元判定所述抛光区域为第一抛光等级，并控制第一粗糙度b1的抛光盘进行抛光；
在第二参数对比结果下，所述第一控制单元判定所述抛光区域为第二抛光等级，并控制第二粗糙度b2的抛光盘进行抛光；
在第三参数对比结果下，所述第一控制单元判定所述抛光区域为第二抛光等级，并控制第三粗糙度b3的抛光盘进行抛光；
其中，所述第一参数对比结果为E2≥E22，所述第二参数对比结果为E21≤E2＜E22，所述第三参数对比结果为E2＜E21，b1＞b2＞b3。
进一步地，所述第二控制单元确定所述抛光区域图像的亮度值J，并计算所述亮度值J与预设标准亮度对比参量J0的亮度差值ΔJ，设定ΔJ＝J-J0，所述第二控制单元将所述亮度差值ΔJ与预设亮度差值对比参量ΔJ0进行对比，根据对比结果确定对所述抛光盘的按压力度以及旋转速度调整时的调整方式，其中，
第一调整方式为所述第一控制单元根据预设第一抛光力度调整参量f1将所述抛光盘的按压力度调整至第一力度值F1，根据预设第一转速调整参量p1将所述抛光盘的转动速度调整至第一转速值P1；
第二调整方式为所述第一控制单元根据预设第二抛光力度调整参量f2将所述抛光盘的按压力度调整至第二力度值F2，根据预设第二转速调整参量p2将所述抛光盘的转动速度调整至第二转速值P2；
第三调整方式为所述第一控制单元根据预设第一抛光力度调整参量f1将所述抛光盘的按压力度调整至第三力度值F3，根据预设第一转速调整参量p1将所述抛光盘的转动速度调整至第三转速值P3；
第四调整方式为所述第一控制单元根据预设第二抛光力度调整参量f2将所述抛光盘的按压力度调整至第四力度值F4，根据预设第二转速调整参量p2将所述抛光盘的转动速度调整至第四转速值P4；
所述第一调整方式需满足ΔJ＜0且|ΔJ|＜ΔJ0，所述第二调整方式需满足ΔJ＜0且|ΔJ|≥ΔJ0，所述第三调整方式需满足ΔJ＞0且ΔJ＜ΔJ0，所述第四调整方式需满足ΔJ＞0且ΔJ≥ΔJ0，f1＜f2，p1＜p2，F4＜F3＜F2＜F1，P4＜P3＜P2＜P1。
进一步地，所述图像采集模块还包括设置在所述夹具一侧的第三图像采集单元，所述第三图像采集单元用以获取所述衬底片的深度图像，所述第一控制单元还与所述第三图像采集单元连接，用以基于所述深度图像生成所述第一机械臂的运行轨迹路径，以控制所述第一机械臂沿所述运行轨迹路径对各抛光区域进行抛光。
进一步地，所述第一控制单元每隔预设时间控制所述第一机械臂远离所述衬底片，同时，所述第二控制单元控制所述冲洗单元对当前抛光区域进行冲洗，以使所述第一图像采集单元获取抛光区域图像。
进一步地，所述图像解析单元获取所述冲洗区域图像中的泡沫面积S，并计算所述泡沫面积S与预设泡沫面积参量S0的面积差值ΔS，设定ΔS＝S-S0，以根据面积差值ΔS确定冲洗区域的泡沫生成状态，其中，
在第一面积参量对比条件下，所述图像解析单元判定所述冲洗区域为第一泡沫生成状态；
在第二面积参量对比条件下，所述图像解析单元判定所述冲洗区域为第二泡沫生成状态；
所述第一面积参量对比条件为ΔS＞ΔS0，所述第二面积参量对比条件为ΔS≤ΔS0。
进一步地，所述第二控制单元基于所述图像解析单元所解析获取的泡沫生成状态调整所述冲洗单元的喷射压力，其中，
在第一泡沫生成状态下，所述第二控制单元将所述面积差值ΔS与预设面积差值对比参量ΔS0进行对比，
若ΔS＜ΔS0，则所述第二控制单元将所述冲洗单元的喷射压力调整至第一喷射压力值C1
若ΔS≥ΔS0，则所述第二控制单元将所述冲洗单元的喷射压力调整至第二喷射压力值C2，C1＜C2；
在第二泡沫生成状态下，所述第二控制单元不调整所述冲洗单元的喷射压力。
与现有技术相比，本发明通过设置机械臂、图像采集模块以及控制模块，通过图像采集模块采集抛光清洗过程中抛光区域的图像，并解析获取纹理状态，在第一纹理状态下，根据抛光区域图像中的划痕平均宽度以及划痕平均数量确定抛光区域的抛光等级并选用对应的粗糙度的抛光盘进行抛光，并且在第二纹理状态下根据抛光区域图像的亮度对抛光盘的按压力度和旋转速度进行调整，并且，在纹理状态切换时调整冲洗单元的喷射压力，本发明通过上述步骤，实现对抛光过程的监测，并对应的自动调整机械臂的运行参量，实现机械臂自动化抛光，提高抛光效率的前提下保证了抛光效果。
尤其，本发明的图像解析单元确定所述抛光区域图像中的纹理参数，并计算第一抛光表征参量，第一抛光表征参量计算时考虑到了纹理参数，包括划痕平均间距L、划痕平均宽度D以及划痕交叉点的数量，对当前衬底片的抛光面的粗糙度有较好的表征性，并且，上述数据通过图像采集设备能够监测，为后续的数据处理提供了可靠的依据。
尤其，本发明解析获取纹理状态，在实际情况中，在衬底片的抛光面较为粗糙时，影响抛光效果的主要因素为抛光盘的粗糙度，随着抛光的进展，后续需要调整抛光盘的按压力度和旋转速度以获取较为细腻的抛光效果，本发明基于上述原因将纹理状态划分为第一纹理状态以及第二纹理状态，以在第一纹理状态时选用较佳粗糙度的抛光盘，并实现机械臂上抛光盘的自动切换，在第二纹理状态时主要调整机械臂上的抛光盘的按压力度以及旋转速度，进而实现机械臂自动化抛光，提高抛光效率的前提下保证了抛光效果。
尤其，本发明的第一控制单元在抛光区域图像处于第一纹理状态时根据抛光区域图像中划痕平均宽度以及划痕平均数量判定当前抛光区域的抛光等级，由于在第一纹理状态下，衬底片的抛光面的粗糙度较大，此时影响抛光的主要因素为划痕平均宽度以及划痕平均数量，基于上述参量解析获取抛光区域的抛光等级，并基于抛光等级选取对应粗糙度的抛光盘，进而实现控制机械臂自动切换抛光盘，整个过程均有控制模块运算控制完成，无需人为操作，实现对抛光过程的监测，并对应的自动调整机械臂的运行参量，实现机械臂自动化抛光，提高抛光效率的前提下保证了抛光效果。
尤其，本发明的第二控制单元在抛光区域图像处于第二纹理状态时根据抛光区域图像的亮度对所述抛光盘的按压力度以及旋转速度进行调整，由于在第二纹理状态下，衬底片的抛光面的粗糙度较小，此时细微的划痕不易通过图像采集单元进行监测，而此时抛光面的亮度则能够较佳的反映出抛光效果，因此，通过亮度对抛光盘的按压力度以及旋转速度进行调整能够在第二纹理状态下获取较佳的较为细腻的抛光效果。
尤其，本发明的第三控制单元基于抛光区域图像中泡沫面积控制冲洗单元的喷射压力，由于冲洗过程中会产生部分泡沫，泡沫过多会影响冲洗效果，因此本发明调整机械臂上冲洗单元的喷射压力，减少上述问题的出现概率，进而实现机械臂自动化抛光，提高抛光效率的前提下保证了抛光效果。
附图说明
图1为发明实施例的LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统结构示意图；
图2为发明实施例的控制模块结构示意图；
图3为发明实施例的图像处理模块结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的和优点更加清楚明白，下面结合实施例对本发明作进一步描述；应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，并不用于限定本发明。
下面参照附图来描述本发明的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本发明的技术原理，并非在限制本发明的保护范围。
需要说明的是，在本发明的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，还需要说明的是，在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1、图2以及图3所示，其为本发明实施例的LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统结构示意图、控制模块结构示意图以及图像处理模块结构示意图，本发明的LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统包括：
机械臂组，其包括均设置在用以夹持衬底片的夹具一侧的第一机械臂以及第二机械臂，所述第一机械臂上设置有抛光单元，用以对所述衬底片进行抛光，所述抛光单元设置有若干抛光盘，各所述抛光盘的粗糙度不同，所述第二机械臂上设置有冲洗单元，用以对所述衬底片进行清洗；
图像采集模块，其包括设置在所述第一机械臂上的用以获取抛光区域图像的第一图像采集单元以及设置在所述第二机械臂上用以获取冲洗区域图像的第二图像采集单元；
控制模块，其包括相互连接的图像解析单元、第一控制单元、第二控制单元以及第三控制单元，所述图像解析单元与所述图像采集模块连接，用以基于所述抛光区域图像的纹理参数解析获取纹理状态以及基于所述冲洗区域图像的泡沫面积解析获取泡沫生成状态；
所述第一控制单元与所述机械臂组连接，用以在所述抛光区域图像为第一纹理状态时，根据抛光区域图像中划痕平均宽度以及划痕平均数量判定当前抛光区域的抛光等级，并基于所述抛光等级控制对应粗糙度的抛光盘对所述抛光区域进行抛光；
所述第二控制单元与所述机械臂组连接，用以在所述抛光区域图像为第二纹理状态时，根据所述抛光区域图像的亮度值对抛光盘的按压力度以及旋转速度进行调整后控制所述抛光盘对抛光区域进行抛光；
所述第三控制单元与所述机械臂组连接，用以在所述抛光区域图像的纹理状态发生变化或所述抛光区域的抛光等级发生变化时，基于所述图像解析单元所解析获取的泡沫生成状态调整所述冲洗单元的喷射压力。
具体而言，本发明对机械臂组中第一机械臂以及第二机械臂的具体结构不做限定，各机械臂只需能调整位姿角度进而能够带动设置在机械臂上的抛光单元以及冲洗单元对衬底片进行抛光和冲洗即可，此处不再赘述。
具体而言，本发明对所述抛光单元的具体结构不做限定，在现有技术中，抛光单元主要由抛光盘以及驱动所述抛光盘的电机组成，在本发明中，抛光单元可以包括多个抛光盘，各抛光盘只需能独立动作对衬底片进行抛光即可，对于其具体结构，均为现有技术，此处不再赘述。
并且，本发明中对于抛光盘按压力度的调整可以由机械臂进行动作进而实现按压，也可以是抛光盘自带相关按压机构，均为现有技术，此处不再赘述。
具体而言，本发明对所述冲洗单元的具体结构不做限定，其可以是一个喷射喷头用以喷射清洗液或抛光液。
具体而言，本发明对各图像采集单元具体结构不做限定，对于第一图像采集单元以及第二图像采集单元的其可以是工业CCD相机，对于第三图像采集单元可以是深度相机。
具体而言，本发明对控制模块的具体结构不做限定，其可以是一个外接计算机，对于控制模块中的各单元，可以是外接计算机中的各功能程序，只需能够实现对于的功能效果即可。
具体而言，本发明对图像解析单元获取抛光区域图像中纹理参数的方式不做限定，其可以预先训练能够识别对于纹理参数的数据模型，并将数据模型导入图像解析单元中即可，上述过程为现有技术，此处不再赘述。
具体而言，所述图像解析单元确定所述抛光区域图像中的纹理参数，所述纹理参数包括划痕平均间距L、划痕平均宽度D以及划痕交叉点的数量Ne，并按照公式(1)计算第一抛光表征参量E1，
公式(1)中，Ne表示预设标准平均间距对比参量，D10表示第一标准平均宽度对比参数，Ne0表示预设标准划痕交叉点数量对比参数，0＜Ne＜1mm，0＜D10＜0.5mm，0＜Ne0＜500。
具体而言，本发明的图像解析单元确定所述抛光区域图像中的纹理参数，并计算第一抛光表征参量，第一抛光表征参量计算时考虑到了纹理参数，包括划痕平均间距L、划痕平均宽度D以及划痕交叉点的数量，对当前衬底片的抛光面的粗糙度有较好的表征性，并且，上述数据通过图像采集设备能够监测，为后续的数据处理提供了可靠的依据。
具体而言，所述图像解析单元将所述第一抛光表征参量E1与预设标准抛光对比参量E0进行对比，根据对比结果解析获取纹理状态，其中，
在第一对比结果下，所述图像解析单元解析获取所述抛光区域图像的纹理状态为第一纹理状态；
在第二对比结果下，所述图像解析单元解析获取所述抛光区域图像的纹理状态为第二纹理状态；
所述第一对比结果为E1＞E0，所述第二对比结果为E1≤E0，E0＞E0。
本发明解析获取纹理状态，在实际情况中，在衬底片的抛光面较为粗糙时，影响抛光效果的主要因素为抛光盘的粗糙度，随着抛光的进展，后续需要调整抛光盘的按压力度和旋转速度以获取较为细腻的抛光效果，本发明基于上述原因将纹理状态划分为第一纹理状态以及第二纹理状态，以在第一纹理状态时选用较佳粗糙度的抛光盘，并实现机械臂上抛光盘的自动切换，在第二纹理状态时主要调整机械臂上的抛光盘的按压力度以及旋转速度，进而实现机械臂自动化抛光，提高抛光效率的前提下保证了抛光效果。
具体而言，所述第一控制单元确定所述抛光区域图像中的划痕平均宽度D以及划痕平均数量Ns，并按照公式(2)计算第二抛光表征参量E2，
公式(2)中D20表示第二标准平均宽度对比参数，0＜D10＜D20＜1mm，Ns0表示预设标准划痕平均数量，1＜Ns0＜100000。
具体而言，所述第一控制单元将所述第二抛光表征参数E2与预设的第一抛光对比参数E21以及第二抛光对比参数E22进行对比，并根据对比结果判定当前抛光区域的抛光等级，并基于抛光等级控制对应粗糙度的抛光盘对所述抛光区域进行抛光，其中，E22＞E21＞1
在第一参数对比结果下，所述第一控制单元判定所述抛光区域为第一抛光等级，并控制第一粗糙度b1的抛光盘进行抛光；
在第二参数对比结果下，所述第一控制单元判定所述抛光区域为第二抛光等级，并控制第二粗糙度b2的抛光盘进行抛光；
在第三参数对比结果下，所述第一控制单元判定所述抛光区域为第二抛光等级，并控制第三粗糙度b3的抛光盘进行抛光；
其中，所述第一参数对比结果为E2≥E22，所述第二参数对比结果为E21≤E2＜E22，所述第三参数对比结果为E2＜E21，b1＞b2＞b3＞0。
本发明的第一控制单元在抛光区域图像处于第一纹理状态时根据抛光区域图像中划痕平均宽度以及划痕平均数量判定当前抛光区域的抛光等级，由于在第一纹理状态下，衬底片的抛光面的粗糙度较大，此时影响抛光的主要因素为划痕平均宽度以及划痕平均数量，基于上述参量解析获取抛光区域的抛光等级，并基于抛光等级选取对应粗糙度的抛光盘，进而实现控制机械臂自动切换抛光盘，整个过程均有控制模块运算控制完成，无需人为操作，实现对抛光过程的监测，并对应的自动调整机械臂的运行参量，实现机械臂自动化抛光，提高抛光效率的前提下保证了抛光效果。
具体而言，所述第二控制单元确定所述抛光区域图像的亮度值J，并计算所述亮度值J与预设标准亮度对比参量J0的亮度差值ΔJ，设定ΔJ＝J-J0，所述第二控制单元将所述亮度差值ΔJ与预设亮度差值对比参量ΔJ0进行对比，根据对比结果确定对所述抛光盘的按压力度以及旋转速度调整时的调整方式，其中，
第一调整方式为所述第一控制单元根据预设第一抛光力度调整参量f1将所述抛光盘的按压力度调整至第一力度值F1，设定F1＝F0+f1，根据预设第一转速调整参量p1将所述抛光盘的转动速度调整至第一转速值P1，设定P1＝P0+p1；
第二调整方式为所述第一控制单元根据预设第二抛光力度调整参量f2将所述抛光盘的按压力度调整至第二力度值F2，设定F2＝F0+f2，根据预设第二转速调整参量p2将所述抛光盘的转动速度调整至第二转速值P2，设定P2＝P0+p2；
第三调整方式为所述第一控制单元根据预设第一抛光力度调整参量f1将所述抛光盘的按压力度调整至第三力度值F3，设定F3＝F0-f1，根据预设第一转速调整参量p1将所述抛光盘的转动速度调整至第三转速值P3，设定P3＝P0-p1；
第四调整方式为所述第一控制单元根据预设第二抛光力度调整参量f2将所述抛光盘的按压力度调整至第四力度值F4，设定F4＝F0-f2，根据预设第二转速调整参量p2将所述抛光盘的转动速度调整至第四转速值P4，设定P4＝P0-p2；
其中，所述第一调整方式需满足ΔJ＜0且|ΔJ|＜ΔJ0，所述第二调整方式需满足ΔJ＜0且|ΔJ|≥ΔJ0，所述第三调整方式需满足ΔJ＞0且ΔJ＜ΔJ0，所述第四调整方式需满足ΔJ＞0且ΔJ≥ΔJ0，F0表示当前按压力度，0＜F0＜100N，P0表示当前旋转速度，0＜P0＜2000r/min，0＜f1＜f2＜30N，0＜p1＜p2＜500r/min，F4＜F3＜F2＜F1，P4＜P3＜P2＜P1。
本发明的第二控制单元在抛光区域图像处于第二纹理状态时根据抛光区域图像的亮度对所述抛光盘的按压力度以及旋转速度进行调整，由于在第二纹理状态下，衬底片的抛光面的粗糙度较小，此时细微的划痕不易通过图像采集单元进行监测，而此时抛光面的亮度则能够较佳的反映出抛光效果，因此，通过亮度对抛光盘的按压力度以及旋转速度进行调整能够在第二纹理状态下获取较佳的较为细腻的抛光效果。
具体而言，所述图像采集模块还包括设置在所述夹具一侧的第三图像采集单元，所述第三图像采集单元用以获取所述衬底片的深度图像，所述第一控制单元还与所述第三图像采集单元连接，用以基于所述深度图像生成所述第一机械臂的运行轨迹路径，以控制所述第一机械臂沿所述运行轨迹路径对各抛光区域进行抛光，
对于机械臂的运行轨迹路径生成方式可以是多样的，例如可以将所述深度图像划分为若干图像区域，以确定各所述图像区域中点的空间坐标，将空间坐标进行转换后作为所述运行轨迹路径的途径点，并将各图像区域对应的衬底片区域作为抛光区域，当然，本领域技术人员也可以使用其他对于机械臂的运行轨迹的确定方式，此处不再赘述，值得注意的是，此处的运行轨迹路径可以是机械臂上节点的运行轨迹路径，例如设置抛光单元的节点的运行轨迹路径以及设置冲洗单元的节点的运行轨迹路径。
具体而言，所述第一控制单元每隔预设时间控制所述第一机械臂远离所述衬底片，同时，所述第二控制单元控制所述冲洗单元对当前抛光区域进行冲洗，以使所述第一图像采集单元获取抛光区域图像。
具体而言，所述图像解析单元获取所述冲洗区域图像中的泡沫面积S，并计算所述泡沫面积S与预设泡沫面积参量S0的面积差值ΔS，设定ΔS＝S-S0，以根据面积差值ΔS确定冲洗区域的泡沫生成状态，其中，0＜S0＜100cm2，
在第一面积参量对比条件下，所述图像解析单元判定所述冲洗区域为第一泡沫生成状态；
在第二面积参量对比条件下，所述图像解析单元判定所述冲洗区域为第二泡沫生成状态；
所述第一面积参量对比条件为ΔS＞ΔS0，所述第二面积参量对比条件为ΔS≤ΔS0。
具体而言，所述第二控制单元基于所述图像解析单元所解析获取的泡沫生成状态调整所述冲洗单元的喷射压力，其中，
在第一泡沫生成状态下，所述第二控制单元将所述面积差值ΔS与预设面积差值对比参量ΔS0进行对比，
若ΔS＜ΔS0，则所述第二控制单元将所述冲洗单元的喷射压力调整至第一喷射压力值C1；
若ΔS≥ΔS0，则所述第二控制单元将所述冲洗单元的喷射压力调整至第二喷射压力值C2，0＜C1＜C2＜0.35Mpa；
在第二泡沫生成状态下，所述第二控制单元不调整所述冲洗单元的喷射压力。
本发明的第三控制单元基于抛光区域图像中泡沫面积控制冲洗单元的喷射压力，由于冲洗过程中会产生部分泡沫，泡沫过多会影响冲洗效果，因此本发明调整机械臂上冲洗单元的喷射压力，减少上述问题的出现概率，进而实现机械臂自动化抛光，提高抛光效率的前提下保证了抛光效果。
至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本发明的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本发明的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本发明的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征做出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统，其特征在于，包括：
机械臂组，其包括均设置在用以夹持衬底片的夹具一侧的第一机械臂以及第二机械臂，所述第一机械臂上设置有抛光单元，用以对所述衬底片进行抛光，所述抛光单元设置有若干抛光盘，各所述抛光盘的粗糙度不同，所述第二机械臂上设置有冲洗单元，用以对所述衬底片进行清洗；
图像采集模块，其包括设置在所述第一机械臂上的用以获取抛光区域图像的第一图像采集单元以及设置在所述第二机械臂上用以获取冲洗区域图像的第二图像采集单元；
控制模块，其包括相互连接的图像解析单元、第一控制单元、第二控制单元以及第三控制单元，所述图像解析单元与所述图像采集模块连接，用以基于所述抛光区域图像的纹理参数解析获取纹理状态以及基于所述冲洗区域图像的泡沫面积解析获取泡沫生成状态；
所述第一控制单元与所述机械臂组连接，用以在所述抛光区域图像为第一纹理状态时，根据抛光区域图像中划痕平均宽度以及划痕平均数量判定当前抛光区域的抛光等级，并基于所述抛光等级控制对应粗糙度的抛光盘对所述抛光区域进行抛光；
所述第二控制单元与所述机械臂组连接，用以在所述抛光区域图像为第二纹理状态时，根据所述抛光区域图像的亮度值对抛光盘的按压力度以及旋转速度进行调整后控制所述抛光盘对抛光区域进行抛光；
所述第三控制单元与所述机械臂组连接，用以在所述抛光区域图像的纹理状态发生变化或所述抛光区域的抛光等级发生变化时，基于所述图像解析单元所解析获取的泡沫生成状态调整所述冲洗单元的喷射压力；
所述图像解析单元确定所述抛光区域图像中的纹理参数，所述纹理参数包括划痕平均间距L、划痕平均宽度D以及划痕交叉点的数量Ne，并按照公式(1)计算第一抛光表征参量E1，
(1)
公式(1)中，Ne表示预设标准平均间距对比参量，D10表示第一标准平均宽度对比参数，Ne0表示预设标准划痕交叉点数量对比参数；
所述图像解析单元将所述第一抛光表征参量E1与预设标准抛光对比参量E0进行对比，根据对比结果解析获取纹理状态，其中，
在第一对比结果下，所述图像解析单元解析获取所述抛光区域图像的纹理状态为第一纹理状态；
在第二对比结果下，所述图像解析单元解析获取所述抛光区域图像的纹理状态为第二纹理状态；
所述第一对比结果为E1＞E0，所述第二对比结果为E1≤E0；
所述图像解析单元获取所述冲洗区域图像中的泡沫面积S，并计算所述泡沫面积S与预设泡沫面积参量S0的面积差值ΔS，设定ΔS=S-S0，以根据面积差值ΔS确定冲洗区域的泡沫生成状态，其中，
在第一面积参量对比条件下，所述图像解析单元判定所述冲洗区域为第一泡沫生成状态；
在第二面积参量对比条件下，所述图像解析单元判定所述冲洗区域为第二泡沫生成状态；
所述第一面积参量对比条件为ΔS＞ΔS0，所述第二面积参量对比条件为ΔS≤ΔS0；
所述第二控制单元基于所述图像解析单元所解析获取的泡沫生成状态调整所述冲洗单元的喷射压力，其中，
在第一泡沫生成状态下，所述第二控制单元将所述面积差值ΔS与预设面积差值对比参量ΔS0进行对比，
若ΔS＜ΔS0，则所述第二控制单元将所述冲洗单元的喷射压力调整至第一喷射压力值C1
若ΔS≥ΔS0，则所述第二控制单元将所述冲洗单元的喷射压力调整至第二喷射压力值C2，C1＜C2；
在第二泡沫生成状态下，所述第二控制单元不调整所述冲洗单元的喷射压力。
2.根据权利要求1所述的LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统，其特征在于，所述第一控制单元确定所述抛光区域图像中的划痕平均宽度D以及划痕平均数量Ns，并按照公式(2)计算第二抛光表征参量E2，
(2)
公式(2)中D20表示第二标准平均宽度对比参数，D10＜D20，Ns0表示预设标准划痕平均数量。
3.根据权利要求2所述的LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统，其特征在于，所述第一控制单元将所述第二抛光表征参量E2与预设的第一抛光对比参数E21以及第二抛光对比参数E22进行对比，并根据对比结果判定当前抛光区域的抛光等级，并基于抛光等级控制对应粗糙度的抛光盘对所述抛光区域进行抛光，其中，E22＞E21
在第一参数对比结果下，所述第一控制单元判定所述抛光区域为第一抛光等级，并控制第一粗糙度b1的抛光盘进行抛光；
在第二参数对比结果下，所述第一控制单元判定所述抛光区域为第二抛光等级，并控制第二粗糙度b2的抛光盘进行抛光；
在第三参数对比结果下，所述第一控制单元判定所述抛光区域为第二抛光等级，并控制第三粗糙度b3的抛光盘进行抛光；
其中，所述第一参数对比结果为E2≥E22，所述第二参数对比结果为E21≤E2＜E22，所述第三参数对比结果为E2＜E21，b1＞b2＞b3。
4.根据权利要求1所述的LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统，其特征在于，所述第二控制单元确定所述抛光区域图像的亮度值J，并计算所述亮度值J与预设标准亮度对比参量J0的亮度差值ΔJ，设定ΔJ=J-J0，所述第二控制单元将所述亮度差值ΔJ与预设亮度差值对比参量ΔJ0进行对比，根据对比结果确定对所述抛光盘的按压力度以及旋转速度调整时的调整方式，其中，
第一调整方式为所述第一控制单元根据预设第一抛光力度调整参量f1将所述抛光盘的按压力度调整至第一力度值F1，根据预设第一转速调整参量p1将所述抛光盘的转动速度调整至第一转速值P1；
第二调整方式为所述第一控制单元根据预设第二抛光力度调整参量f2将所述抛光盘的按压力度调整至第二力度值F2，根据预设第二转速调整参量p2将所述抛光盘的转动速度调整至第二转速值P2；
第三调整方式为所述第一控制单元根据预设第一抛光力度调整参量f1将所述抛光盘的按压力度调整至第三力度值F3，根据预设第一转速调整参量p1将所述抛光盘的转动速度调整至第三转速值P3；
第四调整方式为所述第一控制单元根据预设第二抛光力度调整参量f2将所述抛光盘的按压力度调整至第四力度值F4，根据预设第二转速调整参量p2将所述抛光盘的转动速度调整至第四转速值P4；
所述第一调整方式需满足ΔJ＜0且|ΔJ|＜ΔJ0，所述第二调整方式需满足ΔJ＜0且|ΔJ|≥ΔJ0，所述第三调整方式需满足ΔJ＞0且ΔJ＜ΔJ0，所述第四调整方式需满足ΔJ＞0且ΔJ≥ΔJ0，f1＜f2，p1＜p2，F4＜F3＜F2＜F1，P4＜P3＜P2＜P1。
5.根据权利要求1所述的LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统，其特征在于，所述图像采集模块还包括设置在所述夹具一侧的第三图像采集单元，所述第三图像采集单元用以获取所述衬底片的深度图像，所述第一控制单元还与所述第三图像采集单元连接，用以基于所述深度图像生成所述第一机械臂的运行轨迹路径，以控制所述第一机械臂沿所述运行轨迹路径对各抛光区域进行抛光。
6.根据权利要求5所述的LED屏幕衬底自动化清洗抛光系统，其特征在于，所述第一控制单元每隔预设时间控制所述第一机械臂远离所述衬底片，同时，所述第二控制单元控制所述冲洗单元对当前抛光区域进行冲洗，以使所述第一图像采集单元获取抛光区域图像。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116825496B (zh) * | 2023-08-09 | 2024-01-30 | 大庆石油管理局有限公司 | 一种自动化油箱呼吸器 |
| CN117300629B (zh) * | 2023-11-24 | 2024-04-26 | 温州市德瑞眼镜有限公司 | 一种基于轻质合金的眼镜框架制备方法及系统 |
| CN117443899B (zh) * | 2023-12-25 | 2024-04-09 | 山东得峰生化科技有限公司 | 一种沼气发酵废料预处理用切割系统及方法 |
| CN117564927B (zh) * | 2024-01-15 | 2024-04-02 | 连云港富驰智造科技有限公司 | 一种拨叉自动化抛光装置 |
Citations (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102240967A (zh) * | 2011-06-24 | 2011-11-16 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 可用于光电器件衬底的氧化锌单晶抛光技术 |
| CN102729141A (zh) * | 2011-03-31 | 2012-10-17 | Hoya株式会社 | 磁盘用玻璃基板的制造方法 |
| CN107336126A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-11-10 | 清华大学 | 抛光设备的抛光压力控制方法、装置和抛光设备 |
| CN108581794A (zh) * | 2018-04-02 | 2018-09-28 | 浙江工业大学 | 常压等离子喷射辅助气压砂轮随形抛光装置及方法 |
| CN108818217A (zh) * | 2018-09-29 | 2018-11-16 | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 | 一种抛光结构及抛光设备 |
| CN108857600A (zh) * | 2018-07-25 | 2018-11-23 | 浙江工业大学 | 一种基于光催化的钴基合金加工方法及加工平台 |
| CN111203805A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-29 | 苏州德龙激光股份有限公司 | 全自动修复玻璃划痕的方法 |
| CN112908834A (zh) * | 2021-02-07 | 2021-06-04 | 广西立之亿新材料有限公司 | 一种硅晶圆衬底快速绿色环保双面抛光方法 |
| CN113118938A (zh) * | 2019-12-31 | 2021-07-16 | 浙江芯晖装备技术有限公司 | 一种抛光设备 |
| CN113211337A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-08-06 | 南通大学 | 超硬衬底片抛光用抛光盘的制备方法及精密抛光方法 |
| CN113442045A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-09-28 | 苏州恒嘉晶体材料有限公司 | 一种具有清洗装置的抛光机及其使用方法 |
| CN113524017A (zh) * | 2021-07-16 | 2021-10-22 | 昆明物理研究所 | 一种大面积碲锌镉(211)b材料表面抛光方法 |
| CN113941902A (zh) * | 2021-09-26 | 2022-01-18 | 江苏集萃华科智能装备科技有限公司 | 金属镜面磨抛产线的磨抛质量检测方法、装置及控制系统 |
| CN115049861A (zh) * | 2022-06-14 | 2022-09-13 | 广东天太机器人有限公司 | 一种工业机器人的自动修正打磨方法及系统 |
| CN218017779U (zh) * | 2022-07-24 | 2022-12-13 | 南通富电半导体材料科技有限公司 | 一种硅片生产用抛光装置 |
| CN115870815A (zh) * | 2022-12-28 | 2023-03-31 | 中山超精科技有限公司 | 镜片抛光检测方法及装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6010511B2 (ja) * | 2013-08-22 | 2016-10-19 | 株式会社荏原製作所 | 研磨パッドの表面粗さ測定方法 |
| DE112021000635T5 (de) * | 2020-01-20 | 2022-12-08 | Fanuc Corporation | Poliermengenschätzungsvorrichtung |
| TWI810069B (zh) * | 2020-06-08 | 2023-07-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 用於在拋光相鄰導電層的堆疊期間的輪廓控制的系統、方法及電腦程式產品 |
-
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Patent Citations (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102729141A (zh) * | 2011-03-31 | 2012-10-17 | Hoya株式会社 | 磁盘用玻璃基板的制造方法 |
| CN102240967A (zh) * | 2011-06-24 | 2011-11-16 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 可用于光电器件衬底的氧化锌单晶抛光技术 |
| CN107336126A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-11-10 | 清华大学 | 抛光设备的抛光压力控制方法、装置和抛光设备 |
| CN108581794A (zh) * | 2018-04-02 | 2018-09-28 | 浙江工业大学 | 常压等离子喷射辅助气压砂轮随形抛光装置及方法 |
| CN108857600A (zh) * | 2018-07-25 | 2018-11-23 | 浙江工业大学 | 一种基于光催化的钴基合金加工方法及加工平台 |
| CN108818217A (zh) * | 2018-09-29 | 2018-11-16 | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 | 一种抛光结构及抛光设备 |
| CN113118938A (zh) * | 2019-12-31 | 2021-07-16 | 浙江芯晖装备技术有限公司 | 一种抛光设备 |
| CN111203805A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-29 | 苏州德龙激光股份有限公司 | 全自动修复玻璃划痕的方法 |
| CN112908834A (zh) * | 2021-02-07 | 2021-06-04 | 广西立之亿新材料有限公司 | 一种硅晶圆衬底快速绿色环保双面抛光方法 |
| CN113211337A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-08-06 | 南通大学 | 超硬衬底片抛光用抛光盘的制备方法及精密抛光方法 |
| CN113524017A (zh) * | 2021-07-16 | 2021-10-22 | 昆明物理研究所 | 一种大面积碲锌镉(211)b材料表面抛光方法 |
| CN113442045A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-09-28 | 苏州恒嘉晶体材料有限公司 | 一种具有清洗装置的抛光机及其使用方法 |
| CN113941902A (zh) * | 2021-09-26 | 2022-01-18 | 江苏集萃华科智能装备科技有限公司 | 金属镜面磨抛产线的磨抛质量检测方法、装置及控制系统 |
| CN115049861A (zh) * | 2022-06-14 | 2022-09-13 | 广东天太机器人有限公司 | 一种工业机器人的自动修正打磨方法及系统 |
| CN218017779U (zh) * | 2022-07-24 | 2022-12-13 | 南通富电半导体材料科技有限公司 | 一种硅片生产用抛光装置 |
| CN115870815A (zh) * | 2022-12-28 | 2023-03-31 | 中山超精科技有限公司 | 镜片抛光检测方法及装置 |
Also Published As
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