JP7463211B2 - 角度調整装置および回転伝達機構 - Google Patents
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Description
第2局面において、前記柱状部および前記支持部は、前記柱状部における上端面および前記支持部における裏面側のうち、いずれか一方が他方に向けて凸となる球冠状に形成され、いずれか他方が一方の端面よりも曲率半径の大きい面状に形成されている。
第3局面において、前記棒状部は、前記柱状部および前記支持部のいずれか一方を上下方向に貫通するネジとして形成され、上下方向に延びる軸を回転中心として回転させることにより、前記柱状部および前記支持部のいずれか他方に向けた突出量が変化するように構成されている。
第4局面において、前記柱状部および前記支持部のいずれか他方は、前記棒状部それぞれが到達する位置に形成されたネジ穴を有しており、前記棒状部は、それぞれ前記柱状部および前記支持部のいずれか一方を上下方向に貫通して、いずれか他方に形成された前記ネジ穴にまで到達している。
(1)全体構成
貫通して他方側に到達する。そして、棒状部30は、柱状部10および支持部20のいずれか他方に向けた突出量を変化させることにより、支持部20を介して回転対象物100の水平面に対する傾斜角を調整することができる。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態をとり得ることはいうまでもない。
る傾斜角が調整される。
上述した角度調整装置1では、棒状部30それぞれの支持部20に向けた突出量を変化させることにより、柱状部10および支持部20のいずれか一方がなす球冠状の端面に他方のなす面を沿わせた状態で支持部20を傾けることができ、これにより、回転対象物100における回転中心の回転軸200に対する角度、換言すれば回転対象物100が水平面に対する傾斜角を調整することができる。
半導体ウェハほど水平面に対して傾いた状態で回転することになり、この傾きが表面処理の品質に影響を与え、意図しない品質のばらつきを発生させる懸念がある。
Claims (5)
- 回転対象物と、回転対象物を下方から支持して鉛直方向の回転軸で回転させる回転装置と、の間に介在する角度調整装置であって、
前記回転装置において、前記回転軸と交差する面のうち、少なくとも前記回転軸を含む所定範囲に拡がる領域から上方へと円柱形状に延びるように取り付けられる柱状部と、
裏面側が前記柱状部の上端に取り付けられる板状の部材であり、該部材の表面側で前記回転対象物を支持する支持部と、
前記回転軸と交差する平面視で、該回転軸を中心とする均等な角度間隔で前記柱状部および前記支持部のいずれか一方を上下方向に貫通して他方側に到達する3以上の棒状部と、を備え、
前記柱状部および前記支持部は、前記柱状部における上端面および前記支持部における裏面のうち、いずれか一方が他方に向けて凸となる球冠状に形成され、いずれか他方が一方の端面に沿って拡がる面状に形成されており、
前記棒状部それぞれにおいて、前記柱状部および前記支持部のいずれか一方から他方へと向かう突出量を変化させることにより、前記支持部を介して前記回転対象物の水平面に対する傾斜角を調整する、
角度調整装置。 - 前記柱状部および前記支持部は、前記柱状部における上端面および前記支持部における裏面側のうち、いずれか一方が他方に向けて凸となる球冠状に形成され、いずれか他方が一方の端面よりも曲率半径の大きい面状に形成されている、
請求項1に記載の角度調整装置。 - 前記棒状部は、前記柱状部および前記支持部のいずれか一方を上下方向に貫通するネジとして形成され、上下方向に延びる軸を回転中心として回転させることにより、前記柱状部および前記支持部のいずれか他方に向けた突出量が変化するように構成されている、
請求項1または請求項2に記載の角度調整装置。 - 前記柱状部および前記支持部のいずれか他方は、前記棒状部それぞれが到達する位置に形成されたネジ穴を有しており、
前記棒状部は、それぞれ前記柱状部および前記支持部のいずれか一方を上下方向に貫通して、いずれか他方に形成された前記ネジ穴にまで到達している、
請求項3に記載の角度調整装置。 - 回転対象物と、回転対象物を下方から支持して鉛直方向の回転軸で回転させる回転装置と、の間に介在し、回転装置における回転体の回転を前記回転対象物へと伝達する回転伝達機構であって、
請求項1から4のいずれか一項に記載の角度調整装置が前記回転体と前記回転対象物との間に配置されている、回転伝達機構。
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JP2020110882A JP7463211B2 (ja) | 2020-06-26 | 2020-06-26 | 角度調整装置および回転伝達機構 |
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ID=80110465
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Patent Citations (2)
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