JP7463142B2 - 研磨パッドの厚み測定装置 - Google Patents
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Description
11 :研磨装置
12 :回転チャックテーブル
12a :チャック面
12b :テーブル軸
13 :研磨ヘッド
14 :研磨パッド厚み測定用センサ
15 :制御部
16 :テーブルモータ
17 :研磨ヘッド軸
18 :アクチュエータ
19 :ヘッドアーム
20 :支持台
21 :軸受
22 :ブリッジ
23 :ボールねじ機構
23a :ねじ軸
23b :ナット
24 :サーボモータ
25 :ボールスプライン軸受
26 :プーリ
27 :研磨ヘッド回転モータ
28 :プーリ
29 :ベルト
30 :旋回軸
31 :研磨パッド保持プレート
32 :研磨パッド
33 :センサ保持台
34 :センサ昇降シリンダ
34a :ロッド
35a :上方位置検出センサ
35b :下方位置検出センサ
36 :測定手段
37 :判定手段
Sa :ステップ
Sb :ステップ
Sc :ステップ
Sd :ステップ
T :信号
W :ウエハ
Claims (3)
- 被研磨物の研磨に用いる研磨パッドの厚みを測定する研磨パッドの厚み測定装置であって、
前記研磨パッドが取り付けられて一体に回転するとともに、上下方向に移動可能な研磨パッド保持プレートと、
前記上下方向に移動可能な研磨パッド厚み測定用センサと、
前記研磨パッド厚み測定用センサからの電気信号に基づいて、前記研磨パッドの厚みを測定する測定手段を有する制御部と、
を備え、
前記研磨パッド厚み測定用センサは、前記研磨パッド保持プレートに前記研磨パッドを介して押し込まれて所定位置まで移動した状態で、前記研磨パッド保持プレートまでの距離に応じた前記電気信号を出力する、ことを特徴とする研磨パッドの厚み測定装置。 - 前記研磨パッドは、非導体材料で形成され、
前記研磨パッド保持プレートは、導体材料で形成され、
前記研磨パッド厚み測定用センサは、渦電流式変位センサである、
ことを特徴とする請求項1に記載の研磨パッドの厚み測定装置。 - 前記制御部は、測定された前記研磨パッドの厚みから、前記研磨パッドの寿命判定を行う判定手段を備える、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨パッドの厚み測定装置。
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