JP7461965B2 - プラズマ系反応器のための冷却 - Google Patents
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Description
本出願は、2019年4月8日出願の米国特許出願第62/830,896号、発明の名称「COOLING FOR AN INDUCTIVE PLASMA-BASED REACTOR」の優先権の利益を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
実施例
[形態1]
ヒートパイプ冷却システムであって、
切り取られた上部を有する円錐構造であって、前記円錐構造は、誘電体窓の上方に配置されるように構成され、前記円錐構造が、前記誘電体窓と前記円錐構造との間の容積内部に形成された第1の熱伝導流体からの蒸気を凝縮するように構成される、円錐構造と、
前記円錐構造の外側部分に近接して形成された少なくとも1つの冷却コイルと
を備える、ヒートパイプ冷却システム。
[形態2]
形態1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記少なくとも1つの冷却コイルが、内部の第2の熱伝導流体を輸送するように構成される、ヒートパイプ冷却システム。
[形態3]
形態1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記誘電体窓が加熱される動作中、前記第1の熱伝導流体が、前記誘電体窓から充分な熱を受けて、前記第1の熱伝導流体を液相から気相に変化させ、前記気相が、前記円錐構造と接触した後、前記凝縮された蒸気から凝縮液を形成するように構成される、ヒートパイプ冷却システム。
[形態4]
形態1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記円錐構造の前記外側部分に近接して形成された前記少なくとも1つの冷却コイルが、前記円錐構造の前記外側部分と直接熱接触する、ヒートパイプ冷却システム。
[形態5]
形態1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記第1の熱伝導流体が、選択可能な沸点を有する誘電性流体であり、液相レジームおよび気相レジームを含む二相レジームの作用により、前記誘電体窓の蒸発冷却を提供することが可能である、ヒートパイプ冷却システム。
[形態6]
形態5に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記選択可能な沸点が、前記誘電体窓と前記円錐構造との間の前記容積内部の圧力において、約55℃~約270℃の範囲内で選択可能である、ヒートパイプ冷却システム。
[形態7]
形態1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記円錐構造および前記誘電体窓の両方のそれぞれの外周に機械的に結合された上側窓支持構造をさらに備える、ヒートパイプ冷却システム。
[形態8]
形態7に記載のヒートパイプ冷却システムであって、毛管状溝が、前記上側窓支持構造の内部の外周上に形成され、前記誘電体窓の最上面全体に前記第1の熱伝導流体を流すように構成される、ヒートパイプ冷却システム。
[形態9]
形態1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記誘電体窓の最上面が、前記第1の熱伝導流体が流れる複数の毛管状溝を含む、ヒートパイプ冷却システム。
[形態10]
形態1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記誘電体窓の最上面が、メッシュ材、少なくとも部分的に多孔質の焼結粉末、焼結セラミック、および焼結ポリマーを含む材料から選択された1つ以上の材料を含む1つ以上のタイプの液体ウィッキング材を備えるウィック構造を含む、ヒートパイプ冷却システム。
[形態11]
形態1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、加熱されるように構成された水溜めをさらに備え、前記水溜めが、前記第1の熱伝導流体の二相熱力学的サイクルを開始させるように、前記誘電体窓に近接して形成される、ヒートパイプ冷却システム。
[形態12]
形態11に記載のヒートパイプ冷却システムであって、液体が前記誘電体窓の上方の所定深さを超えた場合、前記第1の熱伝導流体からの前記液体を前記水溜めに流入させることを可能にするための堰構造をさらに備える、ヒートパイプ冷却システム。
[形態13]
形態1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記第1の熱伝導流体が、前記第1の熱伝導流体内部の気泡形成を低減させるのに充分に薄い層内で、前記誘電体窓上に分配される、ヒートパイプ冷却システム。
[形態14]
プラズマ系反応器内の少なくともいくつかの構成要素からの熱を除去するための熱管理システムであって、
誘電体窓の上方に配置されるように構成された円錐構造であって、前記誘電体窓と前記円錐構造との間の容積内部に入れられた第1の熱伝導流体からの蒸気を凝縮するように構成され、前記円錐構造の内面が、前記円錐構造の中心部から前記円錐構造の外周に向かって下向きの傾斜を有する、円錐構造と、
前記円錐構造に近接して形成された少なくとも1つの冷却コイルであって、前記少なくとも1つの冷却コイルが、内部の第2の熱伝導流体を輸送するように構成される、冷却コイルと
を備える、熱管理システム。
[形態15]
形態14に記載の熱管理システムであって、前記円錐構造が、切り取られた上部を含み、それによって、一種の円錐台状構造を形成し、前記上部が、前記円錐構造の前記中心部付近に位置する、熱管理システム。
[形態16]
形態14に記載の熱管理システムであって、前記プラズマ系反応器の動作中、前記第1の熱伝導流体が、前記誘電体窓から充分な熱を受けて、前記第1の熱伝導流体を液相から気相に変化させ、前記気相が、前記円錐構造と接触した後、前記凝縮された蒸気から凝縮液を形成するように構成される、熱管理システム。
[形態17]
形態14に記載の熱管理システムであって、前記少なくとも1つの冷却コイルが、前記円錐構造の外側部分上に形成され、前記円錐構造の前記外側部分と直接熱接触する、熱管理システム。
[形態18]
形態14に記載の熱管理システムであって、前記第2の熱伝導流体が、外部ポンプによって、前記少なくとも1つの冷却コイル内部を循環する、熱管理システム。
[形態19]
形態14に記載の熱管理システムであって、前記円錐構造が、銅、銅合金、亜鉛合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス鋼、および高性能合金を含む材料から選択された、少なくとも1つの材料を含む1つ以上の熱伝導性材料から形成される、熱管理システム。
[形態20]
形態14に記載の熱管理システムであって、前記円錐構造が、炭素含浸誘電材料および炭素含浸ポリマー材料を含む材料から選択された、少なくとも1つの材料を含む1つ以上の熱伝導性材料から形成される、熱管理システム。
[形態21]
形態14に記載の熱管理システムであって、前記誘電体窓の最上面が、前記第1の熱伝導流体が流れる複数の毛管状溝を含む、熱管理システム。
[形態22]
形態14に記載の熱管理システムであって、前記誘電体窓に近接して、加熱されるように構成された水溜めをさらに備え、前記水溜めが、前記第1の熱伝導流体の二相熱力学的サイクルを開始させる、熱管理システム。
[形態23]
形態22に記載の熱管理システムであって、液体が前記誘電体窓の上方の所定深さを超えた場合、前記第1の熱伝導流体からの前記液体を前記水溜めに流入させることを可能にするための堰構造をさらに備える、熱管理システム。
[形態24]
プラズマ系反応器内の誘電体窓からの熱を除去するための熱サイフォンであって、
前記誘電体窓の上方に配置されるように構成された円錐構造であって、前記誘電体窓と前記円錐構造との間の容積内部に入れた第1の熱伝導流体からの蒸気を凝縮するように構成され、前記円錐構造の内面が、前記円錐構造の中心部から前記円錐構造の外周に向かって下向きの傾斜を有する、円錐構造と、
前記円錐構造上に形成された少なくとも1つの冷却コイルであって、内部の第2の熱伝導流体を輸送するように構成される、冷却コイルと、
加熱されるように構成された水溜めであって、前記誘電体窓に近接し、かつその下方に形成されて、前記第1の熱伝導流体の二相熱力学的サイクルを開始させる、水溜めと
を備える、熱サイフォン。
[形態25]
形態24に記載の熱サイフォンであって、液体が前記誘電体窓の上方の所定深さを超えた場合、前記第1の熱伝導流体からの前記液体を前記水溜めに流入させることを可能にするための堰構造をさらに備える、熱サイフォン。
[形態26]
形態24に記載の熱サイフォンであって、前記誘電体窓の最上面が、前記第1の熱伝導流体が流れる複数の毛管状溝を含む、熱サイフォン。
Claims (20)
- ヒートパイプ冷却システムであって、
切り取られた上部を有する円錐構造であって、前記円錐構造は、誘電体窓の上方に配置されるように構成され、前記円錐構造が、前記誘電体窓と前記円錐構造との間の容積内部に形成された第1の熱伝導流体からの蒸気を凝縮するように構成される、円錐構造と、
前記円錐構造の外側部分に近接して形成された少なくとも1つの冷却コイルと
を備え、
前記第1の熱伝導流体が、前記誘電体窓から充分な熱を受けて、前記第1の熱伝導流体を液相から気相に変化させ、
加熱されるように構成された水溜めをさらに備え、前記水溜めが、前記第1の熱伝導流体の二相熱力学的サイクルを開始させるように、前記誘電体窓に近接して形成され、
液体が前記誘電体窓の上方の所定深さを超えた場合、前記第1の熱伝導流体からの前記液体を前記水溜めに流入させることを可能にするための堰構造をさらに備える、ヒートパイプ冷却システム。 - 請求項1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記少なくとも1つの冷却コイルが、内部の第2の熱伝導流体を輸送するように構成される、ヒートパイプ冷却システム。
- 請求項1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記誘電体窓が加熱される動作中、前記第1の熱伝導流体が、前記誘電体窓から充分な熱を受けて、前記第1の熱伝導流体を前記液相から前記気相に変化させ、
前記気相の前記第1の熱伝導流体が、前記円錐構造と接触した後、前記凝縮された蒸気から凝縮液を形成するように構成される、ヒートパイプ冷却システム。 - 請求項1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記円錐構造の前記外側部分に近接して形成された前記少なくとも1つの冷却コイルが、前記円錐構造の前記外側部分と直接熱接触する、ヒートパイプ冷却システム。
- 請求項1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記第1の熱伝導流体が、選択可能な沸点を有する誘電性流体であり、液相レジームおよび気相レジームを含む二相レジームの作用により、前記誘電体窓の蒸発冷却を提供することが可能である、ヒートパイプ冷却システム。
- 請求項5に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記選択可能な沸点が、前記誘電体窓と前記円錐構造との間の前記容積内部の圧力において、55℃~270℃の範囲内で選択可能である、ヒートパイプ冷却システム。
- 請求項1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記円錐構造および前記誘電体窓の両方のそれぞれの外周に機械的に結合された上側窓支持構造をさらに備える、ヒートパイプ冷却システム。
- 請求項7に記載のヒートパイプ冷却システムであって、毛管状溝が、前記上側窓支持構造の内部の外周上に形成され、前記誘電体窓の最上面全体に前記第1の熱伝導流体を流すように構成される、ヒートパイプ冷却システム。
- 請求項1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記誘電体窓の最上面が、前記第1の熱伝導流体が流れる複数の毛管状溝を含む、ヒートパイプ冷却システム。
- 請求項1に記載のヒートパイプ冷却システムであって、前記誘電体窓の最上面が、メッシュ材、少なくとも部分的に多孔質の焼結粉末、焼結セラミック、および焼結ポリマーを含む材料から選択された1つ以上の材料を含む1つ以上のタイプの液体ウィッキング材を備えるウィック構造を含む、ヒートパイプ冷却システム。
- プラズマ系反応器内の少なくともいくつかの構成要素からの熱を除去するための熱管理システムであって、
誘電体窓の上方に配置されるように構成された円錐構造であって、前記誘電体窓と前記円錐構造との間の容積内部に入れられた第1の熱伝導流体からの蒸気を凝縮するように構成され、前記円錐構造の内面が、前記円錐構造の中心部から前記円錐構造の外周に向かって下向きの傾斜を有する、円錐構造と、
前記円錐構造に近接して形成された少なくとも1つの冷却コイルであって、前記少なくとも1つの冷却コイルが、内部の第2の熱伝導流体を輸送するように構成され、
前記誘電体窓に近接して、加熱されるように構成された水溜めをさらに備え、前記水溜めが、前記第1の熱伝導流体の二相熱力学的サイクルを開始させ、
液体が前記誘電体窓の上方の所定深さを超えた場合、前記第1の熱伝導流体からの前記液体を前記水溜めに流入させることを可能にするための堰構造をさらに備える、冷却コイルと
を備え、
前記第1の熱伝導流体が、前記誘電体窓から充分な熱を受けて、前記第1の熱伝導流体を液相から気相に変化させる、熱管理システム。 - 請求項11に記載の熱管理システムであって、前記円錐構造が、切り取られた上部を含み、それによって、一種の円錐台状構造を形成し、前記上部が、前記円錐構造の前記中心部付近に位置する、熱管理システム。
- 請求項11に記載の熱管理システムであって、前記誘電体窓が加熱される動作中、前記第1の熱伝導流体が、前記誘電体窓から充分な熱を受けて、前記第1の熱伝導流体を前記液相から前記気相に変化させ、
前記気相の前記第1の熱伝導流体が、前記円錐構造と接触した後、前記凝縮された蒸気から凝縮液を形成するように構成される、熱管理システム。 - 請求項11に記載の熱管理システムであって、前記少なくとも1つの冷却コイルが、前記円錐構造の外側部分上に形成され、前記円錐構造の前記外側部分と直接熱接触する、熱管理システム。
- 請求項11に記載の熱管理システムであって、前記第2の熱伝導流体が、外部ポンプによって、前記少なくとも1つの冷却コイル内部を循環する、熱管理システム。
- 請求項11に記載の熱管理システムであって、前記円錐構造が、銅、銅合金、亜鉛合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス鋼、および高性能合金を含む材料から選択された、少なくとも1つの材料を含む1つ以上の熱伝導性材料から形成される、熱管理システム。
- 請求項11に記載の熱管理システムであって、前記円錐構造が、炭素含浸誘電材料および炭素含浸ポリマー材料を含む材料から選択された、少なくとも1つの材料を含む1つ以上の熱伝導性材料から形成される、熱管理システム。
- 請求項11に記載の熱管理システムであって、前記誘電体窓の最上面が、前記第1の熱伝導流体が流れる複数の毛管状溝を含む、熱管理システム。
- プラズマ系反応器内の誘電体窓からの熱を除去するための熱サイフォンであって、
前記誘電体窓の上方に配置されるように構成された円錐構造であって、前記誘電体窓と前記円錐構造との間の容積内部に入れた第1の熱伝導流体からの蒸気を凝縮するように構成され、前記円錐構造の内面が、前記円錐構造の中心部から前記円錐構造の外周に向かって下向きの傾斜を有する、円錐構造と、
前記円錐構造上に形成された少なくとも1つの冷却コイルであって、内部の第2の熱伝導流体を輸送するように構成される、冷却コイルと、
加熱されるように構成された水溜めであって、前記誘電体窓に近接し、かつその下方に形成されて、前記第1の熱伝導流体の二相熱力学的サイクルを開始させる、水溜めと
を備え、
液体が前記誘電体窓の上方の所定深さを超えた場合、前記第1の熱伝導流体からの前記液体を前記水溜めに流入させることを可能にするための堰構造をさらに備える、熱サイフォン。 - 請求項19に記載の熱サイフォンであって、前記誘電体窓の最上面が、前記第1の熱伝導流体が流れる複数の毛管状溝を含む、熱サイフォン。
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