JP7458582B2 - 発光装置の製造方法 - Google Patents
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Description
第1準備工程においては、図1に示すように、複数の第1発光素子10を準備する。第1発光素子10は、第1面11と、第1面11の反対側に位置する第2面12とを有する。第1発光素子10は、第1発光素子10の第2面12に配置された第1接合部13を有する。
第2準備工程においては、図1に示すように、支持部材40を準備する。支持部材40は、基板41と、基板41上に配置された複数の配線部42とを有する。
実施形態の発光装置の製造方法は、第1接合工程をさらに備える。
実施形態の発光装置の製造方法は、第1接合工程の後、第1評価工程をさらに備える。
実施形態の発光装置の製造方法は、第1接合工程の後、第2評価工程をさらに備える。
実施形態の発光装置の製造方法は、第1評価工程において支持部材40から少なくとも1つの第1発光素子10が除去された場合に、第2評価工程において不良と判断された第1発光素子10Aを支持部材40から除去する工程をさらに備える。
実施形態の発光装置の製造方法は、第2接合工程をさらに備える。
実施形態の発光装置の製造方法は、第3接合工程をさらに備える。
第1評価工程の他の例において、図10Aに示す粘着性部材64を用いる。粘着性部材64は、例えば、樹脂部材である。粘着性部材64は、第1発光素子10の第1面11に対向する下面64bと、下面64bの反対側に位置する上面64aとを有する。上面64a及び下面64bは共に粘着性を有する。上面64a及び下面64bのそれぞれの面積は、複数の第1発光素子10が配置された基板41の素子領域100の面積よりも大きい。
基板と、前記基板上に配置され、金を含む複数の配線部とを有する支持部材を準備する第2準備工程と、
前記第1接合部と前記配線部とを接触させて第1接合条件で接合する第1接合工程と、
少なくとも1つの前記第1発光素子に粘着性部材を接触させ、前記粘着性部材を前記支持部材から前記第1発光素子に向かう方向に移動させることにより、前記支持部材から少なくとも1つの前記第1発光素子が除去可能かどうかを評価する第1評価工程と、
前記第1接合工程の後、前記複数の第1発光素子の電気的特性を評価する第2評価工程と、
前記第1評価工程において前記支持部材から前記少なくとも1つの前記第1発光素子が除去された場合に、前記第2評価工程において不良と判断された前記第1発光素子を、前記支持部材から除去する工程と、
を備える発光装置の製造方法。
2.前記第2評価工程において不良と判断された前記第1発光素子を除去した位置、及び前記第1評価工程において前記少なくとも1つの前記第1発光素子を除去した位置に、金を含む第2接合部を有する第2発光素子を配置し、前記第2接合部と前記配線部とを接触させて接合する第2接合工程をさらに備える上記1に記載の発光素子の製造方法。
3.前記第2接合工程の後、前記第1接合部及び前記配線部と、前記第2接合部及び前記配線部とを、第2接合条件で接合する第3接合工程をさらに備え、
前記第2接合条件の温度は前記第1接合条件の温度よりも高い、前記第2接合条件の荷重は前記第1接合条件の荷重よりも高い、又は、前記第2接合条件の温度は前記第1接合条件の温度よりも高く、且つ前記第2接合条件の荷重は前記第1接合条件の荷重よりも高い上記2に記載の発光装置の製造方法。
4.前記第1接合工程の後、前記基板に前記複数の第1発光素子が配置された素子領域が形成され、
前記素子領域は、外周部と、平面視において前記外周部に囲まれ、前記外周部の内側に位置する内側部とを有し、
前記第1評価工程において、前記粘着性部材を前記内側部に位置する前記第1発光素子に接触させる、上記1~3のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
5.前記素子領域に配置された前記複数の発光素子間の間隔は、30μm以下である上記4に記載の発光装置の製造方法。
6.平面視における前記第1発光素子の形状は、矩形状であり、
前記第1発光素子の一辺の長さは、30μm以上100μm以下である上記1~5のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
Claims (6)
- 金を含む第1接合部を有する複数の第1発光素子を準備する第1準備工程と、
基板と、前記基板上に配置され、金を含む複数の配線部とを有する支持部材を準備する第2準備工程と、
前記第1接合部と前記配線部とを接触させて第1接合条件で接合する第1接合工程と、
少なくとも1つの前記第1発光素子に粘着性部材を接触させ、前記粘着性部材を前記支持部材から前記第1発光素子に向かう方向に移動させることにより、前記支持部材から少なくとも1つの前記第1発光素子が除去可能かどうかを評価し、前記支持部材から前記少なくとも1つの前記第1発光素子が除去された場合に評価OKとする第1評価工程と、
前記第1接合工程の後、前記複数の第1発光素子の電気的特性を評価する第2評価工程と、
前記第1評価工程において前記支持部材から前記少なくとも1つの前記第1発光素子が除去された場合に、前記第2評価工程において不良と判断された前記第1発光素子を、前記支持部材から除去する工程と、
を備える発光装置の製造方法。 - 前記第2評価工程において不良と判断された前記第1発光素子を除去した位置、及び前記第1評価工程において前記少なくとも1つの前記第1発光素子を除去した位置に、金を含む第2接合部を有する第2発光素子を配置し、前記第2接合部と前記配線部とを接触させて接合する第2接合工程をさらに備える請求項1に記載の発光素子の製造方法。
- 前記第2接合工程の後、前記第1接合部及び前記配線部と、前記第2接合部及び前記配線部とを、第2接合条件で接合する第3接合工程をさらに備え、
前記第2接合条件の温度は前記第1接合条件の温度よりも高い、前記第2接合条件の荷重は前記第1接合条件の荷重よりも高い、又は、前記第2接合条件の温度は前記第1接合条件の温度よりも高く、且つ前記第2接合条件の荷重は前記第1接合条件の荷重よりも高い請求項2に記載の発光装置の製造方法。 - 前記第1接合工程の後、前記基板に前記複数の第1発光素子が配置された素子領域が形成され、
前記素子領域は、外周部と、平面視において前記外周部に囲まれ、前記外周部の内側に位置する内側部とを有し、
前記第1評価工程において、前記粘着性部材を前記内側部に位置する前記第1発光素子に接触させる、請求項1~3のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。 - 前記素子領域に配置された前記複数の発光素子間の間隔は、30μm以下である請求項4に記載の発光装置の製造方法。
- 平面視における前記第1発光素子の形状は、矩形状であり、
前記第1発光素子の一辺の長さは、30μm以上100μm以下である請求項1~3のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
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