JP7457765B2 - 基板テスト装置およびそれを用いるデチャック力の測定方法 - Google Patents
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- H01J2237/0048—Charging arrangements
Description
220 静電チャック
230 静電チャック電極
300 静電チャック電源印加部
400 基板電源印加部
500 クランプ
610 垂直力測定部
HV 駆動電圧
GND1 第1接地電圧
GND2 第2接地電圧
Claims (15)
- 基板を支持する静電チャックと、
前記静電チャック上に配置される垂直力測定部と、
前記静電チャックに駆動電圧および第1接地電圧を印加する静電チャック電源印加部と、
前記基板に第2接地電圧を印加する基板電源印加部を含み、
前記静電チャックに前記駆動電圧を印加し、前記基板に前記第2接地電圧を印加し、前記基板をチャージング(charging)し、
その後、前記静電チャックに前記第1接地電圧を印加し、前記基板に前記第2接地電圧を印加し、前記基板をディスチャージング(discharging)し、
次に、前記垂直力測定部が前記基板のデチャック力(dechucking force)を測定することを含み、
前記基板をチャージングした後、前記基板をディスチャージングする前に、
前記静電チャックに前記駆動電圧を印加せず、前記基板に前記第2接地電圧を印加せず、前記基板を帯電された状態に維持させることをさらに含み、
前記基板をチャージングすることは、第1稼動時間の間行われ、
前記基板をディスチャージングすることは前記第1稼動時間より短い第2稼動時間の間行われ、
前記基板を帯電された状態に維持させることは前記第2稼動時間より短い第3稼動時間の間行われる、基板テスト装置。 - 基板を支持する静電チャックと、
前記静電チャック上に配置される垂直力測定部と、
前記静電チャックに駆動電圧および第1接地電圧を印加する静電チャック電源印加部と、
前記基板に第2接地電圧を印加する基板電源印加部と、
前記基板を処理するための内部空間を含むテストチャンバと、
前記テストチャンバの下に配置され、前記テストチャンバを移送させる移送部と、
前記テストチャンバの上面上に前記垂直力測定部に前記基板を押し引きすることができる動力を提供するモータと、
を含み、
前記静電チャックに前記駆動電圧を印加し、前記基板に前記第2接地電圧を印加し、前記基板をチャージング(charging)し、
その後、前記静電チャックに前記第1接地電圧を印加し、前記基板に前記第2接地電圧を印加し、前記基板をディスチャージング(discharging)し、
次に、前記垂直力測定部が前記基板のデチャック力(dechucking force)を測定することを含み、
前記モータはボールスクリュ方式により前記垂直力測定部に前記基板に垂直方向に動力を提供し、
前記モータと前記垂直力測定部の間に配置され、前記モータが前記垂直力測定部に前記動力を提供することにより発生する振動を減少させるダンパをさらに含む、基板テスト装置。 - 前記基板をチャージングする前に、
前記基板に前記第2接地電圧を印加して前記基板の初期電荷を設定することをさらに含む、請求項1、または請求項2に記載の基板テスト装置。 - 前記基板の初期電荷を設定するとき、前記静電チャック電源印加部は前記静電チャックに前記駆動電圧および前記第1接地電圧を印加しない、請求項3に記載の基板テスト装置。
- 前記基板をチャージングすることは第1稼動時間の間行われ、
前記基板をディスチャージングすることは前記第1稼動時間と異なる第2稼動時間の間行われる、請求項1に記載の基板テスト装置。 - 前記静電チャックの下に配置され、前記静電チャックを固定させるクランプをさらに含む、請求項1に記載の基板テスト装置。
- 前記垂直力測定部が前記基板のデチャック力を測定することは、
前記基板に前記第2接地電圧を印加せず、前記静電チャックに前記駆動電圧と前記第1接地電圧を印加しない状態で行われる、請求項1に記載の基板テスト装置。 - 前記基板をディスチャージングした後、前記基板内部に残留電荷が残留し、
前記残留電荷によって、前記基板と前記静電チャックの間に静電引力が発生し、
前記デチャック力は前記静電引力により決定される、請求項1に記載の基板テスト装置。 - 前記垂直力測定部が前記基板を垂直方向に一定の速度で引いて前記基板のデチャック力を測定する際に、
前記モータが前記垂直力測定部に前記動力を提供することによって、前記垂直力測定部は前記基板を第1速度または第2速度で一定に引くことができ、
前記第1速度は前記第2速度と異なる、請求項2に記載の基板テスト装置。 - 静電チャック上に基板を位置させ、
前記静電チャックに駆動電圧を印加し、前記基板に第2接地電圧を印加し、前記基板をチャージングし、
その後、前記静電チャックに第1接地電圧を印加し、前記基板に前記第2接地電圧を印加し、前記基板をディスチャージングし、
次に、前記基板上に配置された垂直力測定部が前記基板を垂直方向に引いて、前記基板のデチャック力(dechucking force)を測定することを含み、
前記基板をチャージングした後、前記基板をディスチャージングする前に、
前記静電チャックに前記駆動電圧を印加せず、前記基板に前記第2接地電圧を印加せず、前記基板を帯電された状態に維持させることをさらに含み、
前記基板をチャージングすることは、第1稼動時間の間行われ、
前記基板をディスチャージングすることは前記第1稼動時間より短い第2稼動時間の間行われ、
前記基板を帯電された状態に維持させることは前記第2稼動時間より短い第3稼動時間の間行われる、デチャック力の測定方法。 - 前記基板をチャージングする前に、
前記基板に前記第2接地電圧を印加して前記基板の初期電荷を設定することをさらに含む、請求項10に記載のデチャック力の測定方法。 - 前記基板の初期電荷を設定するとき、前記静電チャックに前記駆動電圧および前記第1接地電圧を印加しない、請求項11に記載のデチャック力の測定方法。
- 前記垂直力測定部が前記基板を垂直方向に引いて前記基板のデチャック力を測定することは、
前記基板に前記第2接地電圧を印加せず、前記静電チャックに前記駆動電圧と前記第1接地電圧を印加しない状態で行われる、請求項10に記載のデチャック力の測定方法。 - 前記基板をディスチャージングした後、前記基板内部に残留電荷が残留し、
前記残留電荷によって、前記基板と前記静電チャックの間に静電引力が発生し、
前記デチャック力は前記静電引力により決定される、請求項10に記載のデチャック力の測定方法。 - 基板を支持する静電チャックと、
前記静電チャック上に配置される垂直力測定部と、
前記静電チャックに駆動電圧および第1接地電圧を印加する静電チャック電源印加部と、
前記基板に第2接地電圧を印加する基板電源印加部を含み、
前記静電チャックに前記駆動電圧を印加し、前記基板に前記第2接地電圧を印加し、前記基板をチャージング(charging)し、
その後、前記静電チャックに前記第1接地電圧を印加し、前記基板に前記第2接地電圧を印加し、前記基板をディスチャージング(discharging)し、
次に、前記垂直力測定部が前記基板のデチャック力(dechucking force)を測定することを含み、
前記基板をチャージングした後、前記基板をディスチャージングする前に、
前記静電チャックに前記駆動電圧を印加せず、前記基板に前記第2接地電圧を印加せず、前記基板を帯電された状態に維持させることをさらに含み、
前記基板をチャージングすることは第1稼動時間の間行われ、
前記基板をディスチャージングすることは前記第1稼動時間より短い第2稼動時間の間行われ、
前記基板を帯電された状態に維持させることは前記第2稼動時間より短い第3稼動時間の間行われ、
前記垂直力測定部が前記基板のデチャック力を測定することは、
前記基板に前記第2接地電圧を印加せず、前記静電チャックに前記駆動電圧と前記第1接地電圧を印加しない状態で行われる、基板テスト装置。
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