JP7454830B2 - グラインダ用のディスクパッド - Google Patents
グラインダ用のディスクパッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP7454830B2 JP7454830B2 JP2019173799A JP2019173799A JP7454830B2 JP 7454830 B2 JP7454830 B2 JP 7454830B2 JP 2019173799 A JP2019173799 A JP 2019173799A JP 2019173799 A JP2019173799 A JP 2019173799A JP 7454830 B2 JP7454830 B2 JP 7454830B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recess
- pad body
- pad
- polishing
- outer periphery
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 98
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
この特許文献1のディスクパッドは、当該ディスクパッドの直径よりも大きな直径で、ある程度柔軟性を保った研磨ディスクを取り付けて使用するもので、使用時にはディスクパッドの外縁が研磨ディスク外縁よりも内側に位置するようにしている。
このようなディスクパッドを、被研磨面に対して斜めにし、研磨ディスクにおいてディスクパッドからはみ出した部分をディスクパッドの外縁で押さえながら、上記テーパー面で研磨ディスク1を被研磨面に押し付けるようにして研磨していた。
また、図中符号8は補強用の金属板で、パッド本体2の凹部4とは反対側に固定されるとともに、上記軸孔4aと中心を一致させた軸孔8aを形成している。
一方、上記パッド本体2に取り付ける研磨ディスク5は、布製の基材に鉱石などの研磨材粒子を樹脂で固着させたもので、もともと平板状を保つ高い剛性を備えている。
そのため、上記平坦面3aに対する上記隆起部5bの最高高さは、研磨ディスク5の外周部分やその他の部分よりも高くなる。
上記のように隆起部5bの最高高さが研磨ディスク5の他の部分よりも高くなるので、研磨するときには最も高い部分である隆起部5bの部分が研磨面E2となる(図6参照)。したがって、被研磨面は、上記隆起部5bが形成する円の直径D2の円形の移動軌跡に応じて研磨される。
このようにパッド本体2を用いた場合には、研磨ディスク5の直径D1よりも小さな直径D2でしか研磨できず、大きな面積を効率的に研磨することはできなかった。
また、直径D1の研磨ディスク5の外周に沿った部分は研磨に寄与せず、無駄になっていた。
なお、研磨ディスクにおける上記隆起部の高さの方向は、研磨作業時に被研磨面に対向させる面を上面にしたときの上方となる方向である。また、上記凸部の高さの方向は、被研磨面に対向させるパッド本体の平坦面を上面としたときの上方となる方向である。
上記隆起部が形成される位置は、凹部と平坦面との境界部分に対応する個所であるが、研磨ディスクの剛性や折り曲げ力の大きさや方向などによって凹部と平坦面との境界部と厳密に一致するとは限らず、上記境界部から多少ずれることもある。
したがって、研磨ディスクの直径を最大限利用して広い面積を効率的に研磨することができる。
したがって、研磨ディスクの外周縁に沿った部分において被研磨面に接触する部分の幅を大きくすることができる。
また、研磨ディスクが過熱して研磨能力が落ちることもない。
この実施形態のディスクパッドは、図5に示した従来のパッド本体2と同様に、図1,2に示す硬質樹脂製の円盤状のパッド本体9からなる。このパッド本体9は、鍔部10とその中心部分に形成された平面円形状の凹部11とからなる。
また、上記パッド本体9の鍔部10は、研磨ディスク5を取り付ける側を平坦面10aとし、上記凹部11は中心に向かってその深さを徐々に深くする漏斗形状にしている。そして、この凹部11と上記平坦面10aとの境界部分には角部12が形成されている。ただし、この角部12は厳密な角ではなく面取りされていてもよい。
したがって、この研磨ディスク5は、上記従来例で説明した原理とまったく同じ原理で、従来と同じような箇所に隆起部5cが形成される。そして、この実施形態では、研磨ディスク5の外周縁から隆起部5cの最高高さをhとしている。
なお、上記隆起部5cの高さの方向は、研磨作業時に被研磨面に対向させる面を上面にしたときの上方となる方向である。また、隆起部5cの最高高さhは上記角部12の近傍で研磨ディスク5が曲がりきれずにパッド本体から浮き上がった部分において、最も高い部分の平坦面10aからの高さである。
さらに、パッド本体9において凹部11と反対側の面には中心に軸孔13aが形成された補強用の金属板13が固定されている。この金属板13の軸孔13aの中心と上記凹部11の軸孔11aの中心とを一致させて、グラインダGの駆動軸Sに形成された雄ねじの先端を臨ませる、この発明の軸孔を構成している。
そして、この凸部14の外周縁に沿った部分の高さHが凸部14における最高高さとなり、この高さHが研磨ディスク5の上記隆起部5cの最高高さhより高い寸法に設定されている。また、凹部11に向かって徐々に低くなる上記凸部14は、凹部11側の端部で平坦面10aと一致するようにしている。
このように、凸部14の長さ方向を、上記直線rに対して傾斜させて上記ピッチ角θを保つようにしたのは、パッド本体9を図1の矢印α方向に回転させたときにパッド本体9の外周から凸部14,14間にエアを流入させやすくするためである。
すなわち、外周に雄ねじが形成された駆動軸Sを、パッド本体9の軸孔11a,13aと研磨ディスク5の貫通孔5aに差し込んで、駆動軸Sの先端にこの発明の締め付け部材であるナット7を締め付ける。
このナット7を締め付ければ、フランジ7aのテーパー面7bと凹部11とが研磨ディスク5を挟み込んで、パッド本体9と研磨ディスク5とが一体的に駆動軸Sに固定される。
上記のようにナット7を十分に締め付ければ、ナット7の頭部であるフランジ7aは凹部11a内に沈み込む。
なお、この隆起部5cは、研磨ディスク5において上記角部12の近傍で平坦面10aから浮き上がった部分のことであるが、その位置は研磨ディスク5の剛性や折り曲げ力の大きさや方向などによって決まり、必ずしも角部12と一致するとは限らない。
また、上記したように上記凸部14,15の最高高さHを、上記隆起部5cの最高高さhよりも高くしている。そのため、この高さHの凸部14,15に圧接した研磨ディスク5の外周縁は、上記角部12の近くに形成された隆起部5cの最高高さhより高くなる。
特に、上記凸部14の長さ方向を、パッド本体9の半径に沿った直線rに交差させてピッチ角θを設けているので、エアをより効率的に流入及び流出させることができ、研磨による摩擦熱を放出させることができる。
ただし、空冷機能を必要としない場合には、上記のようなピッチ角θやエアの通路を形成する必要はない。
例えば、長さを有する凸部14のみをパッド本体9の外周縁に沿って断続的に配置してもよいし、凸部15のような短い凸部のみを断続的に配置してもよい。
あるいは、パッド本体9の外周に沿って連続する環状の凸部を設けてもよい。
要するに、パッド本体9の外周に沿って凸部が形成され、この凸部に圧接した研磨ディスク5の外周縁を上記隆起部5cの最高高さhよりも高くするような凸部であればよい。
なお、上記他方の凸部15のように凹部11に向かう方向の長さが小さい凸部の場合には凹部11側の端部の影響は小さいので、その上面を傾斜させなくてもよい。
S 駆動軸
5 研磨ディスク
5a 貫通孔
5c 隆起部
7 (締め付け部材)ナット
9 パッド本体
10a 平坦面
11 (漏斗形状の)凹部
11a 軸孔
12 (境界部分)角部
13a 軸孔
14 (長さを有する)凸部
14a (凸部の)傾斜面
15 凸部
15a (凸部の)傾斜面
16 流通孔
h (隆起部の)最高高さ
H (凸部の)高さ
θ ピッチ角
Claims (2)
- 研磨ディスクとともにグラインダの駆動軸に固定され、上記駆動軸と一体回転するパッド本体を備え、
このパッド本体の中央部分には平面円形で、その外周縁から中心に向かって徐々に深さを深くする漏斗状の凹部を形成するとともに、
上記凹部の外周縁から連続する外方を平坦面とし、
上記凹部の中心には、上記駆動軸に形成した雄ねじの先端又は雌ねじの開口を臨ませる軸孔を形成してなり、
上記平坦面には、
上記平坦面からの高さを有する凸部が上記パッド本体の外周に沿って断続的に複数形成され、
上記凸部は、
上記凹部に向かって長さを有するとともに、上記パッド本体の外周から凹部に向かってその高さを徐々に低くする傾斜面を有する一方、上記外周に沿った部分の高さを最高高さにするとともに、上記凹部の外周縁から間隔を保ち、
上記平坦面において、上記凹部の外周縁の全域に沿った平坦部が維持された
グラインダ用のディスクパッド。 - 上記長さを有する複数のすべての凸部は、その長さ方向が上記パッド本体の半径に対して同じ方向に傾斜してエアの流れを作るピッチ角を保ち、これら凸部間には上記パッド本体の厚み方向に貫通するエアの流通孔を形成し、上記凸部間と上記流通孔との間にエアが流れる構成にした請求項1に記載のグラインダ用のディスクパッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019173799A JP7454830B2 (ja) | 2019-09-25 | 2019-09-25 | グラインダ用のディスクパッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019173799A JP7454830B2 (ja) | 2019-09-25 | 2019-09-25 | グラインダ用のディスクパッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021049599A JP2021049599A (ja) | 2021-04-01 |
JP7454830B2 true JP7454830B2 (ja) | 2024-03-25 |
Family
ID=75158310
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019173799A Active JP7454830B2 (ja) | 2019-09-25 | 2019-09-25 | グラインダ用のディスクパッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7454830B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015071217A (ja) | 2013-10-04 | 2015-04-16 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 研磨ディスクを支持するためのパッド |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55115750U (ja) * | 1979-02-09 | 1980-08-15 |
-
2019
- 2019-09-25 JP JP2019173799A patent/JP7454830B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015071217A (ja) | 2013-10-04 | 2015-04-16 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 研磨ディスクを支持するためのパッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021049599A (ja) | 2021-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI717353B (zh) | 內表面具有特徵結構的保持環 | |
US5895317A (en) | Wheel hub for longer wheel life | |
JP6657201B2 (ja) | 凹所およびキャップを有する、中心部が可撓性の片面研磨ヘッド | |
US20030137203A1 (en) | Magnetic material fixing structure of motor rotor | |
JP2009012086A (ja) | ワークキャリア | |
JP2012086579A (ja) | 樹脂巻き部品 | |
JP2016215264A (ja) | 摩擦撹拌接合工具、および摩擦撹拌接合装置 | |
JP2007158201A (ja) | Cmp装置のリテーナリング | |
JP2003001568A5 (ja) | ||
JPWO2010150350A1 (ja) | 超音波接合用ツール、超音波接合用ツールの製造方法、超音波接合方法及び超音波接合装置 | |
TW201350267A (zh) | 用於同雙側化學機械平坦化墊修整器一起使用之工具 | |
JP2010179375A (ja) | 被研磨物キャリア及び研磨製品の製造方法 | |
KR20060133052A (ko) | Cmp 컨디셔너 | |
JP7454830B2 (ja) | グラインダ用のディスクパッド | |
JP2009283885A (ja) | リテーナーリング | |
TW201804529A (zh) | 工件遊星輪及工件遊星輪之製造方法 | |
JP2008023603A (ja) | 2層構造のリテーナリング | |
CN107781280A (zh) | 带垫圈的螺钉 | |
WO2020137513A1 (ja) | スラストフォイル軸受、スラストフォイル軸受のベースプレートの製造方法 | |
KR20230074235A (ko) | Cmp 성능을 개선하기 위한 플래튼 표면 변형 및 고성능 패드 컨디셔닝 | |
KR20200001365A (ko) | 화학적 기계적 연마 장치의 리테이너 링 | |
JPH078135Y2 (ja) | 回転研摩砥石 | |
JP6840639B2 (ja) | 両面研磨装置用キャリア | |
KR102031741B1 (ko) | 연삭 휠 | |
KR20160120922A (ko) | 열 방출 효율 및 안정성이 우수한 다이아몬드 커팅 휠 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20201023 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230627 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230821 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231122 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7454830 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |