JP7451350B2 - End mills and friction stir welding tools - Google Patents

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JP7451350B2 JP2020140663A JP2020140663A JP7451350B2 JP 7451350 B2 JP7451350 B2 JP 7451350B2 JP 2020140663 A JP2020140663 A JP 2020140663A JP 2020140663 A JP2020140663 A JP 2020140663A JP 7451350 B2 JP7451350 B2 JP 7451350B2
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Description

本開示は、エンドミル及び摩擦攪拌接合用工具に関する。 The present disclosure relates to an end mill and a friction stir welding tool.

窒化珪素又はサイアロンからなる窒化珪素質焼結体は、他のセラミックス焼結体よりも優れる耐熱衝撃性と、金属材料よりも優れる耐熱・耐反応性を具備しており、摩擦撹拌接合用工具や切削工具として使用されている(特許文献1及び特許文献2参照)。 Silicon nitride sintered bodies made of silicon nitride or sialon have better thermal shock resistance than other ceramic sintered bodies, and better heat and reaction resistance than metal materials, and are used in friction stir welding tools and other materials. It is used as a cutting tool (see Patent Document 1 and Patent Document 2).

特開2019-198895号公報Japanese Patent Application Publication No. 2019-198895 特開2002-307208号公報Japanese Patent Application Publication No. 2002-307208

ところで、近年は上記の工具を用いた加工の高能率化が求められており、工具の更なる耐久性の向上が望まれている。
エンドミルでは、高能率化の為に切削加工の高送り化が求められる。しかし、切削加工の高送り化は、送り方向について工具負荷を高める要因となり、工具に欠損が発生しやすくなる。
摩擦撹拌接合用工具では、高能率化の為に接合の高速化が求められる。しかし、接合の高速化は、入熱不足によって工具負荷を高める要因となり、工具に欠損が発生しやすくなる。
本開示は、上記実情に鑑みてなされたものであり、耐欠損性を改善したエンドミル及び摩擦撹拌接合用工具を提供することを目的とする。本開示は、以下の形態として実現することが可能である。
Incidentally, in recent years, there has been a demand for higher efficiency in machining using the above-mentioned tools, and further improvement in the durability of the tools is desired.
End mills require high feed rates for cutting to increase efficiency. However, increasing the feed rate during cutting increases the load on the tool in the feed direction, making the tool more likely to break.
Friction stir welding tools require high-speed welding to achieve high efficiency. However, increasing the joining speed increases the tool load due to insufficient heat input, making the tool more likely to break.
The present disclosure has been made in view of the above circumstances, and aims to provide an end mill and a friction stir welding tool with improved fracture resistance. The present disclosure can be realized as the following forms.

〔1〕窒化珪素又はサイアロンを主成分とする窒化珪素質焼結体から構成されたエンドミルであって、
前記窒化珪素質焼結体は、端面と、前記端面に連なる外周面とを有し、
前記窒化珪素質焼結体は、β窒化珪素及びβサイアロンの少なくとも一方を含有しており、
前記窒化珪素質焼結体のXRDピークのうちで、前記β窒化珪素及び/又は前記βサイアロンの結晶面(200)面に帰属されるピーク強度I(200)と、前記β窒化珪素及び/又は前記βサイアロンの結晶面(002)面に帰属されるピーク強度I(002)とが、前記外周面から観察した際に下記の関係式[1]を満たし、前記端面から観察した際に下記の関係式[2]を満たす、エンドミル。

関係式[1]:0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
関係式[2]:0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70
[1] An end mill made of a silicon nitride sintered body containing silicon nitride or sialon as a main component,
The silicon nitride sintered body has an end face and an outer circumferential face continuous with the end face,
The silicon nitride sintered body contains at least one of β silicon nitride and β sialon,
Among the XRD peaks of the silicon nitride sintered body, the peak intensity I (200) attributed to the crystal plane (200) of the β silicon nitride and/or the β sialon, and the peak intensity I (200) of the β silicon nitride and/or The peak intensity I(002) attributed to the crystal plane (002) of the β-sialon satisfies the following relational expression [1] when observed from the outer circumferential surface, and the following when observed from the end face: An end mill that satisfies relational expression [2].

Relational expression [1]: 0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
Relational expression [2]: 0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70

〔2〕前記窒化珪素質焼結体は、1000℃における曲げ強度が25℃における曲げ強度に対して90%以上である、〔1〕に記載のエンドミル。 [2] The end mill according to [1], wherein the silicon nitride sintered body has a bending strength at 1000°C that is 90% or more of the bending strength at 25°C.

〔3〕表面に被覆層が形成されている、〔1〕また〔2〕に記載のエンドミル。 [3] The end mill according to [1] or [2], wherein a coating layer is formed on the surface.

〔4〕窒化珪素又はサイアロンを主成分とする窒化珪素質焼結体から構成される摩擦攪拌接合用工具であって、
前記窒化珪素質焼結体は、端面と、前記端面に連なる外周面とを有し、
前記窒化珪素質焼結体は、β窒化珪素及びβサイアロンの少なくとも一方を含有しており、
前記窒化珪素質焼結体のXRDピークのうちで、前記β窒化珪素及び/又は前記βサイアロンの結晶面(200)面に帰属されるピーク強度I(200)と、前記β窒化珪素及び/又は前記βサイアロンの結晶面(002)面に帰属されるピーク強度I(002)とが、前記外周面から観察した際に下記の関係式[1]を満たし、前記端面から観察した際に下記の関係式[2]を満たす、摩擦攪拌接合用工具。

関係式[1]:0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
関係式[2]:0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70
[4] A friction stir welding tool composed of a silicon nitride sintered body containing silicon nitride or Sialon as a main component,
The silicon nitride sintered body has an end face and an outer circumferential face continuous with the end face,
The silicon nitride sintered body contains at least one of β silicon nitride and β sialon,
Among the XRD peaks of the silicon nitride sintered body, the peak intensity I (200) attributed to the crystal plane (200) of the β silicon nitride and/or the β sialon, and the peak intensity I (200) of the β silicon nitride and/or The peak intensity I(002) attributed to the crystal plane (002) of the β-sialon satisfies the following relational expression [1] when observed from the outer peripheral surface, and the following when observed from the end face: A friction stir welding tool that satisfies relational expression [2].

Relational expression [1]: 0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
Relational expression [2]: 0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70

〔5〕前記窒化珪素質焼結体は、1000℃における曲げ強度が25℃における曲げ強度に対して90%以上である、〔4〕に記載の摩擦攪拌接合用工具。 [5] The friction stir welding tool according to [4], wherein the silicon nitride sintered body has a bending strength at 1000°C that is 90% or more of the bending strength at 25°C.

〔6〕表面に被覆層が形成されている、〔4〕または〔5〕に記載の摩擦攪拌接合用工具。 [6] The friction stir welding tool according to [4] or [5], wherein a coating layer is formed on the surface.

上記関係式[1]及び関係式[2]を満たすことによって、エンドミルの耐欠損性が向上する。
窒化珪素質焼結体の1000℃における曲げ強度が25℃における曲げ強度に対して90%以上である場合には、エンドミルの耐熱衝撃性が向上する。
表面に被覆層が形成されている場合には、エンドミルの耐摩耗性が向上する。
上記関係式[1]及び関係式[2]を満たすことによって、摩擦撹拌接合用工具の耐欠損性が向上する。
窒化珪素質焼結体の1000℃における曲げ強度が25℃における曲げ強度に対して90%以上であるの場合には、摩擦撹拌接合用工具の耐熱衝撃性が向上する。
表面に被覆層が形成されている場合には、摩擦撹拌接合用工具の耐摩耗性が向上する。
By satisfying the above relational expressions [1] and [2], the fracture resistance of the end mill is improved.
When the bending strength at 1000°C of the silicon nitride sintered body is 90% or more of the bending strength at 25°C, the thermal shock resistance of the end mill is improved.
When a coating layer is formed on the surface, the wear resistance of the end mill is improved.
By satisfying the above relational expressions [1] and relational expressions [2], the fracture resistance of the friction stir welding tool is improved.
When the bending strength at 1000°C of the silicon nitride sintered body is 90% or more of the bending strength at 25°C, the thermal shock resistance of the friction stir welding tool is improved.
When a coating layer is formed on the surface, the wear resistance of the friction stir welding tool is improved.

エンドミルの側面図である。It is a side view of an end mill. 外周面におけるβ窒化珪素及び/又はβサイアロンの配向を模式的に示す図である。FIG. 3 is a diagram schematically showing the orientation of β silicon nitride and/or β sialon on the outer peripheral surface. エンドミルの前面図である。It is a front view of an end mill. 端面におけるβ窒化珪素及び/又はβサイアロンの配向を模式的に示す図である。FIG. 3 is a diagram schematically showing the orientation of β silicon nitride and/or β sialon on an end face. 実施例の外周面におけるX線回析パターンを示す図である。It is a figure which shows the X-ray diffraction pattern in the outer peripheral surface of an Example. 摩擦攪拌接合用工具の側面図である。FIG. 2 is a side view of a friction stir welding tool. 摩擦攪拌接合用工具の前面図である。It is a front view of a tool for friction stir welding. 摩擦攪拌接合用工具の使用状態を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the usage state of the tool for friction stir welding. 実施例1~10の焼成工程における温度及びプレス圧力の変化を示すグラフである。2 is a graph showing changes in temperature and press pressure in the firing process of Examples 1 to 10. 比較例1,2の焼成工程における温度及びプレス圧力の変化を示すグラフである。3 is a graph showing changes in temperature and press pressure in the firing process of Comparative Examples 1 and 2.

以下、本開示を詳しく説明する。なお、本明細書において、数値範囲について「~」を用いた記載では、特に断りがない限り、下限値及び上限値を含むものとする。例えば、「10~20」という記載では、下限値である「10」、上限値である「20」のいずれも含むものとする。すなわち、「10~20」は、「10以上20以下」と同じ意味である。 The present disclosure will be described in detail below. In this specification, descriptions using "~" for numerical ranges include the lower limit and upper limit unless otherwise specified. For example, the description "10 to 20" includes both the lower limit value of "10" and the upper limit value of "20". That is, "10 to 20" has the same meaning as "10 or more and 20 or less".

1.エンドミル
エンドミル10は、窒化珪素又はサイアロンを主成分とする窒化珪素質焼結体11から構成されている。窒化珪素質焼結体11は、端面20と、端面20に連なる外周面30とを有している。窒化珪素質焼結体11は、β窒化珪素及びβサイアロンの少なくとも一方を含有している。
エンドミル10は、窒化珪素質焼結体11のXRD(X-ray diffraction)ピークのうちで、β窒化珪素及び/又はβサイアロンの結晶面(200)面に帰属されるピーク強度I(200)と、β窒化珪素及び/又はβサイアロンの結晶面(002)面に帰属されるピーク強度I(002)とが、外周面30から観察した際に下記の関係式[1]を満たし、端面20から観察した際に下記の関係式[2]を満たす。

関係式[1]:0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
関係式[2]:0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70
1. End Mill The end mill 10 is composed of a silicon nitride sintered body 11 containing silicon nitride or sialon as a main component. The silicon nitride sintered body 11 has an end surface 20 and an outer circumferential surface 30 continuous to the end surface 20. The silicon nitride sintered body 11 contains at least one of β silicon nitride and β sialon.
Among the XRD (X-ray diffraction) peaks of the silicon nitride sintered body 11, the end mill 10 has a peak intensity I (200) assigned to the crystal plane (200) of β silicon nitride and/or β sialon. , the peak intensity I(002) attributed to the crystal plane (002) of β silicon nitride and/or β SiAlON satisfies the following relational expression [1] when observed from the outer circumferential surface 30, and when viewed from the end surface 20. When observed, the following relational expression [2] is satisfied.

Relational expression [1]: 0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
Relational expression [2]: 0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70

(1)エンドミルの構成
エンドミル10は、図1及び図3に示すように、窒化珪素質焼結体11から構成された略円柱形状の切削工具である。窒化珪素質焼結体11の中心軸を軸線X1と称する。
窒化珪素質焼結体11は、端面20と、端面20に連なる外周面30とを有している。端面20は、窒化珪素質焼結体11の前端側に位置している。窒化珪素質焼結体11を、コーナ22を通り軸線X1を含む平面で切断した場合に、切断面において端面20と外周面30は互いに略直交する。
(1) Configuration of end mill As shown in FIGS. 1 and 3, the end mill 10 is a substantially cylindrical cutting tool made of a silicon nitride sintered body 11. The central axis of the silicon nitride sintered body 11 is referred to as an axis X1.
The silicon nitride sintered body 11 has an end surface 20 and an outer circumferential surface 30 continuous to the end surface 20. The end surface 20 is located on the front end side of the silicon nitride sintered body 11. When the silicon nitride sintered body 11 is cut along a plane that passes through the corner 22 and includes the axis X1, the end surface 20 and the outer circumferential surface 30 are substantially perpendicular to each other in the cut surface.

端面20には、底刃21が設けられている。底刃21は、軸線X1の近傍から径方向外側に向かうように形成されている。外周面30には、外周刃31と切屑排出溝32が設けられている。外周刃31は、コーナ22を介して底刃21に連なっている。外周刃31は、窒化珪素質焼結体11の前端側(図1の下方)から後端側に向けて、軸線X1の回転方向の後方側に捩れるように複数条(例えば4条)形成されている。複数条の外周刃31は、周方向に等間隔に形成されている。切屑排出溝32は、隣り合う外周刃31の間において、前端側から後端側に向けて、軸線X1の回転方向の後方側に捩れるように形成されている。 A bottom blade 21 is provided on the end surface 20. The bottom blade 21 is formed radially outward from the vicinity of the axis X1. The outer peripheral surface 30 is provided with an outer peripheral blade 31 and a chip discharge groove 32. The outer peripheral cutter 31 is connected to the bottom cutter 21 via the corner 22. The peripheral blade 31 is formed in a plurality of strips (for example, four strips) from the front end side (lower side in FIG. 1) to the rear end side of the silicon nitride sintered body 11 so as to be twisted rearward in the rotational direction of the axis X1. has been done. The plurality of outer peripheral blades 31 are formed at equal intervals in the circumferential direction. The chip discharge groove 32 is formed between the adjacent peripheral blades 31 so as to be twisted rearward in the rotational direction of the axis X1 from the front end side to the rear end side.

エンドミル10は、図示しない切削装置に取り付けられて使用される。エンドミル10は、切削装置からの加圧を受けて、回転しながら被切削部材(図示せず)に対して軸線X1の方向に押し込まれ、軸線X1の方向と垂直な方向に送り出される。すると、底刃21及び外周刃31によって、被切削部材が切削される。つまり、エンドミル10の端面20は被切削部材への押し込み方向に位置している。エンドミル10の外周面30はエンドミル10の送り出し方向(移動方向)に位置している。 The end mill 10 is used by being attached to a cutting device (not shown). The end mill 10 receives pressure from a cutting device, is pushed into a cut member (not shown) in the direction of an axis X1 while rotating, and is sent out in a direction perpendicular to the direction of the axis X1. Then, the member to be cut is cut by the bottom blade 21 and the outer peripheral blade 31. That is, the end surface 20 of the end mill 10 is located in the direction of pushing into the workpiece. The outer circumferential surface 30 of the end mill 10 is located in the feeding direction (movement direction) of the end mill 10.

(2)窒化珪素質焼結体に含まれる成分
窒化珪素質焼結体11は、窒化珪素又はサイアロンを主成分とする。ここで、主成分とは、含有率(質量%)が50質量%以上の成分をいう。窒化珪素質焼結体11の主成分は、窒化珪素(Si)であってもよく、SiのSiあるいはNの一部がAlあるいは酸素で置換されたサイアロンであってもよい。窒化珪素質焼結体11は、窒化珪素又はサイアロンからなる主結晶相が、結合相にて結合した形態である。
(2) Components contained in the silicon nitride sintered body The silicon nitride sintered body 11 has silicon nitride or sialon as a main component. Here, the main component refers to a component whose content (mass%) is 50% by mass or more. The main component of the silicon nitride sintered body 11 may be silicon nitride (Si 3 N 4 ), or may be sialon in which part of the Si or N of Si 3 N 4 is replaced with Al or oxygen. good. The silicon nitride sintered body 11 has a main crystal phase composed of silicon nitride or sialon bonded together by a bonding phase.

窒化珪素質焼結体11は、β窒化珪素及びβサイアロンの少なくとも一方を含有している。βサイアロンは、例えば、組成式Si6-ZAl8-Z(0<Z≦4.2)で表される。β窒化珪素又はβサイアロンは、針状の粒子形状を有するため、高靭性である。なお、窒化珪素質焼結体11において、窒化珪素又はサイアロン全体に対するβ窒化珪素又はβサイアロンの割合は特に限定されない。
窒化珪素質焼結体11は、窒化珪素としてβ窒化珪素以外にα窒化珪素を含有していてもよい。窒化珪素質焼結体11は、サイアロンとしてβサイアロン以外にαサイアロンを含有していてもよい。α窒化珪素又はαサイアロンは等軸状の粒子形状を有するため、β窒化珪素又はβサイアロンと比較して低靭性ではあるが、硬度が高い。
The silicon nitride sintered body 11 contains at least one of β silicon nitride and β sialon. βsialon is represented by, for example, the composition formula Si 6-Z Al Z O Z N 8-Z (0<Z≦4.2). β silicon nitride or β sialon has a needle-like particle shape and therefore has high toughness. In the silicon nitride sintered body 11, the ratio of β silicon nitride or β sialon to the total silicon nitride or sialon is not particularly limited.
The silicon nitride sintered body 11 may contain α silicon nitride in addition to β silicon nitride as silicon nitride. The silicon nitride sintered body 11 may contain α-sialon in addition to β-sialon. Since alpha silicon nitride or alpha sialon has an equiaxed particle shape, it has lower toughness than beta silicon nitride or beta sialon, but has higher hardness.

窒化珪素質焼結体11は、焼結助剤として用いられる希土類元素、例えば、スカンジウム(Sc)、イットリウム(Y)、ジスプロシウム(Dy)、イッテルビウム(Yb)、エルビウム(Er)、セリウム(Ce)及びルテチウム(Lu)から成る群より選択される元素の少なくとも一種を含有していてもよい。これらの元素の含有量は特に限定されない。これらの元素の含有量は、窒化珪素質焼結体11に対して、酸化物換算で1質量%以上7質量%以下であってもよい。なお、酸化物換算とは酸素と結合した酸化物に換算することをいう。
窒化珪素質焼結体11は、これらの中でも、高温特性に優れるという観点から、イットリウム(Y)を含有することが好ましい。
The silicon nitride sintered body 11 contains rare earth elements used as sintering aids, such as scandium (Sc), yttrium (Y), dysprosium (Dy), ytterbium (Yb), erbium (Er), and cerium (Ce). and lutetium (Lu). The content of these elements is not particularly limited. The content of these elements may be 1% by mass or more and 7% by mass or less in terms of oxide, based on the silicon nitride sintered body 11 . Note that oxide conversion means conversion to an oxide combined with oxygen.
Among these, the silicon nitride sintered body 11 preferably contains yttrium (Y) from the viewpoint of having excellent high-temperature properties.

窒化珪素質焼結体11は、窒化珪素又はサイアロン以外に、例えば炭化珪素(SiC)、窒化チタン(TiN)、炭窒化チタン(TiCN)、炭化チタン(TiC)、炭化タングステン(WC)等の硬質炭窒化物を含有していてもよい。硬質炭窒化物の含有量は特に限定されない。硬質炭窒化物の含有量は、例えば、窒化珪素質焼結体11に対して1質量%以上7質量%以下であってもよい。
窒化珪素質焼結体11は、これらの中でも、高温特性に優れるという観点から、炭化珪素(SiC)を含有することが好ましい。
The silicon nitride sintered body 11 is made of a hard material such as silicon carbide (SiC), titanium nitride (TiN), titanium carbonitride (TiCN), titanium carbide (TiC), or tungsten carbide (WC), in addition to silicon nitride or Sialon. It may contain carbonitride. The content of hard carbonitrides is not particularly limited. The content of hard carbonitride may be, for example, 1% by mass or more and 7% by mass or less based on the silicon nitride sintered body 11.
Among these, silicon nitride sintered body 11 preferably contains silicon carbide (SiC) from the viewpoint of excellent high-temperature properties.

(3)I(200)、I(002)の関係式
ここで、I(200)、I(002)の関係式について説明する。図5は、一実施例の外周面におけるX線回析パターンを示している。
窒化珪素質焼結体11が、β窒化珪素を含有している場合には、ピーク強度I(200)は、β窒化珪素のXRDピークのうちで、結晶面(200)に帰属されるピークの強度である。例えば、2θ=27.0°付近におけるピーク高さが好適に用いられる。ピーク強度I(002)は、β窒化珪素のXRDピークのうちで、結晶面(002)に帰属されるピークの強度である。例えば、2θ=63.9°付近におけるピーク高さが好適に用いられる。
窒化珪素質焼結体11が、βサイアロンを含有している場合には、ピーク強度I(200)は、βサイアロンのXRDピークのうちで、結晶面(200)に帰属されるピークの強度である。例えば、2θ=27.3°付近におけるピーク高さが好適に用いられる。ピーク強度I(002)は、βサイアロンのXRDピークのうちで、結晶面(002)に帰属されるピークの強度である。例えば、2θ=64.1°付近におけるピーク高さが好適に用いられる。
窒化珪素質焼結体11が、β窒化珪素及びβサイアロンの双方を含有している場合には、β窒化珪素とβサイアロンの結晶面(200)に帰属されるピークと結晶面(002)に帰属されるピークは位置が近く重なる。この場合には、β窒化珪素及びβサイアロンのXRDピークのうちで、結晶面(200)に帰属されるピークの強度、例えば、2θ=27.0°付近におけるピーク高さをピーク強度I(200)として採用することができる。β窒化珪素及びβサイアロンのXRDピークのうちで、結晶面(002)に帰属されるピークの強度、例えば、2θ=64.0°付近におけるピーク高さをピーク強度I(002)として採用することができる。
なお、窒化珪素質焼結体11が、β窒化珪素及びβサイアロンの一方のみを含有しているか双方を含有しているか判断が容易ではない場合は、双方を含有しているとみなしてよい。
(3) Relational expression between I(200) and I(002) Here, the relational expression between I(200) and I(002) will be explained. FIG. 5 shows an X-ray diffraction pattern on the outer peripheral surface of one example.
When the silicon nitride sintered body 11 contains β-silicon nitride, the peak intensity I (200) is equal to the peak attributable to the crystal plane (200) among the XRD peaks of β-silicon nitride. It is strength. For example, a peak height near 2θ=27.0° is preferably used. The peak intensity I (002) is the intensity of the peak attributed to the crystal plane (002) among the XRD peaks of β silicon nitride. For example, a peak height near 2θ=63.9° is preferably used.
When the silicon nitride sintered body 11 contains β-sialon, the peak intensity I (200) is the intensity of the peak attributed to the crystal plane (200) among the XRD peaks of β-sialon. be. For example, a peak height near 2θ=27.3° is preferably used. The peak intensity I (002) is the intensity of the peak attributed to the crystal plane (002) among the XRD peaks of β-sialon. For example, a peak height near 2θ=64.1° is preferably used.
When the silicon nitride sintered body 11 contains both β-silicon nitride and β-sialon, the peak attributed to the crystal plane (200) of β-silicon nitride and β-sialon and the crystal plane (002) The assigned peaks overlap in position closely. In this case, among the XRD peaks of β-silicon nitride and β-sialon, the intensity of the peak attributed to the crystal plane (200), for example, the peak height near 2θ=27.0°, is calculated as the peak intensity I(200 ) can be adopted as Among the XRD peaks of β-silicon nitride and β-sialon, the intensity of the peak attributed to the crystal plane (002), for example, the peak height near 2θ = 64.0°, is adopted as the peak intensity I (002). I can do it.
Note that if it is not easy to determine whether the silicon nitride sintered body 11 contains only one or both of β-silicon nitride and β-sialon, it may be assumed that it contains both.

ピーク強度I(200)とI(002)は、上記関係式[1][2]を満たしているが、下記関係式[1’][2’]を満たしていることが好ましい。

関係式[1’]:
0.86≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
関係式[2’]:
0.55≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.65
The peak intensities I (200) and I (002) satisfy the above relational expressions [1] and [2], but preferably satisfy the following relational expressions [1'] and [2'].

Relational expression [1']:
0.86≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
Relational expression [2']:
0.55≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.65

ピーク強度比I(200)/(I(200)+I(002))が1.00の場合は、すべてのβ窒化珪素又はβサイアロンの結晶粒子の長軸(以下c軸ともいう)が測定面に対して平行であることを意味する。I(200)/(I(200)+I(002))が0.00の場合は、すべてのβ窒化珪素又はβサイアロンの結晶粒子の長軸が測定面に対して垂直であることを意味する。 When the peak intensity ratio I(200)/(I(200)+I(002)) is 1.00, the long axis of all β-silicon nitride or β-sialon crystal grains (hereinafter also referred to as c-axis) is on the measurement plane. means parallel to. When I(200)/(I(200)+I(002)) is 0.00, it means that the long axis of all β silicon nitride or β sialon crystal grains is perpendicular to the measurement plane. .

外周面30から観察した際のI(200)/(I(200)+I(002))の値をXとし、端面20から観察した際のI(200)/(I(200)+I(002))の値をYとした場合に、X-Y≧0.12を満たしていることが好ましい。 Let X be the value of I(200)/(I(200)+I(002)) when observed from the outer peripheral surface 30, and I(200)/(I(200)+I(002) when observed from the end surface 20) ), it is preferable that X−Y≧0.12 be satisfied.

図2は、外周面30におけるβ窒化珪素及び/又はβサイアロンの配向を模式的に示している。図2におけるZ軸方向は、図1におけるZ軸方向(エンドミル10の軸線X1方向)と一致している。図4は、端面20におけるβ窒化珪素及び/又はβサイアロンの配向を模式的に示している。図4におけるX軸方向及びY軸方向は、図1及び図2のZ軸方向と直交している。
上記関係式[1][2]を満たす構成では、図2及び図4に示されるように、β窒化珪素及び/又はβサイアロンの結晶粒子がZ軸方向に優先して配向している。
FIG. 2 schematically shows the orientation of β silicon nitride and/or β sialon on the outer peripheral surface 30. The Z-axis direction in FIG. 2 coincides with the Z-axis direction in FIG. 1 (axis X1 direction of the end mill 10). FIG. 4 schematically shows the orientation of β silicon nitride and/or β sialon on the end face 20. The X-axis direction and the Y-axis direction in FIG. 4 are perpendicular to the Z-axis direction in FIGS. 1 and 2.
In a configuration that satisfies the above relational expressions [1] and [2], as shown in FIGS. 2 and 4, crystal grains of β silicon nitride and/or β sialon are preferentially oriented in the Z-axis direction.

上記関係式[1][2]を満たすようにβ窒化珪素又はβサイアロンの結晶粒子の配向を制御するためには、後述の「2.β窒化珪素又はβサイアロンの配向制御」に記載した方法が好適に採用される。この方法によれば、β窒化珪素又はβサイアロンの結晶粒子が、c軸方向に粒成長するに際して、成長方向が制御されて、窒化珪素質焼結体11内でのβ窒化珪素又はβサイアロンの結晶粒子の配向がコントロールされる。 In order to control the orientation of crystal grains of β-silicon nitride or β-sialon so as to satisfy the above relational expressions [1] and [2], the method described in “2. Orientation control of β-silicon nitride or β-sialon” described below is necessary. is preferably adopted. According to this method, when the crystal grains of β-silicon nitride or β-sialon grow in the c-axis direction, the growth direction is controlled, and the crystal grains of β-silicon nitride or β-sialon are grown in the silicon nitride sintered body 11. The orientation of crystal grains is controlled.

(4)窒化珪素質焼結体の曲げ強度
窒化珪素質焼結体11は、耐熱衝撃性を向上する観点から、1000℃における曲げ強度が25℃における曲げ強度に対して90%以上であることが好ましく、92%以上であることがより好ましく、94%以上であることがさらに好ましい。25℃における曲げ強度に対する1000℃における曲げ強度は、通常100%以下である。
なお、窒化珪素質焼結体11の曲げ強度は、全長40mm、幅4mm、厚さ3mmの試験片を用いて測定できる。25℃における曲げ強度は、JIS R 1601に準じたファインセラミックスの室温曲げ強さ試験方法(3点曲げ方式、スパン30mm)によって測定できる。1000℃における曲げ強度は、JIS R 1604に準じたファインセラミックスの高温曲げ強さ試験方法(3点曲げ方式、スパン30mm)によって測定できる。
(4) Bending strength of silicon nitride sintered body From the viewpoint of improving thermal shock resistance, the silicon nitride sintered body 11 should have a bending strength at 1000°C of 90% or more of the bending strength at 25°C. is preferable, more preferably 92% or more, and still more preferably 94% or more. The bending strength at 1000°C relative to the bending strength at 25°C is usually 100% or less.
The bending strength of the silicon nitride sintered body 11 can be measured using a test piece with a total length of 40 mm, width of 4 mm, and thickness of 3 mm. The bending strength at 25° C. can be measured by a room temperature bending strength test method for fine ceramics (3-point bending method, span 30 mm) according to JIS R 1601. The bending strength at 1000° C. can be measured by a high temperature bending strength test method for fine ceramics (3-point bending method, span 30 mm) according to JIS R 1604.

窒化珪素質焼結体11の1000℃における曲げ強度は、耐熱衝撃性を向上するという観点から、980MPa以上であることが好ましく、1000MPa以上であることがより好ましく、1030MPa以上であることがさらに好ましい。窒化珪素質焼結体11の1000℃における曲げ強度の上限は、例えば、1200MPaである。
なお、窒化珪素質焼結体11の1000℃における曲げ強度は、例えば、高温特性に優れた硬質炭窒化物を配合することによって向上できる。
The bending strength at 1000° C. of the silicon nitride sintered body 11 is preferably 980 MPa or more, more preferably 1000 MPa or more, and even more preferably 1030 MPa or more, from the viewpoint of improving thermal shock resistance. . The upper limit of the bending strength of the silicon nitride sintered body 11 at 1000° C. is, for example, 1200 MPa.
The bending strength of the silicon nitride sintered body 11 at 1000° C. can be improved, for example, by adding a hard carbonitride having excellent high-temperature properties.

(5)被覆層
エンドミル10は、表面に被覆層が形成されていることが好ましい。被覆層は、チタン、クロム、及びアルミニウムからなる群より選択される少なくとも1種の炭化物、窒化物、酸化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物、及び炭窒酸化物からなる少なくとも1種の表面被覆層であってもよい。
被覆層が形成されると、エンドミル10の表面硬度が増加すると共に、被加工物との反応・溶着による摩耗進行が抑制される。その結果、エンドミル10の耐摩耗性が向上する。
チタン、クロム、及びアルミニウムの炭化物、窒化物、酸化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物、及び炭窒酸化物より選択される少なくとも1種の化合物としては、特に限定されないが、TiN、TiAlN、TiAlCrN、AlCrNが好適な例として挙げられる。
被覆層の厚みは、特に限定されない。被覆層の厚みは、耐摩耗性の観点から、0.02μm~30μmが好ましく、0.05μm~20μmがより好ましく、0.1μm~10μmが更に好ましい。
(5) Coating layer It is preferable that the end mill 10 has a coating layer formed on its surface. The coating layer is made of at least one carbide, nitride, oxide, carbonitride, carbonate, nitride, and carbonitoxide selected from the group consisting of titanium, chromium, and aluminum. It may be a surface coating layer.
When the coating layer is formed, the surface hardness of the end mill 10 increases, and the progression of wear due to reaction and welding with the workpiece is suppressed. As a result, the wear resistance of the end mill 10 is improved.
The at least one compound selected from carbides, nitrides, oxides, carbonitrides, carbonates, nitrides, and carbonitoxides of titanium, chromium, and aluminum includes, but is not particularly limited to, TiN, Suitable examples include TiAlN, TiAlCrN, and AlCrN.
The thickness of the coating layer is not particularly limited. From the viewpoint of wear resistance, the thickness of the coating layer is preferably 0.02 μm to 30 μm, more preferably 0.05 μm to 20 μm, and even more preferably 0.1 μm to 10 μm.

2.β窒化珪素又はβサイアロンの結晶粒子の配向制御
エンドミル10は、β窒化珪素又はβサイアロンの結晶粒子の配向が制御されて、上記関係式[1][2]が満たされている。
β窒化珪素又はβサイアロンの結晶粒子の配向は、例えば、次のようにして制御できる。すなわち、ホットプレスや、放電プラズマ焼結(SPS:Spark Plasma Sintering)等の加圧焼成における加圧条件及び加熱条件をコントロールすることで、β窒化珪素又はβサイアロンの結晶粒子の配向が制御される。
例えば、次のようにして結晶粒子の配向が制御される。従来、エンドミル10を製造するに際して、所定のプレス圧力にて所定温度で焼成する焼成過程(本焼成過程)を採用していた。これに対して、結晶粒子の配向を制御するためには、この焼成過程(本焼成過程)に先だって、所定のプレス圧力よりも低いプレス圧力にて、所定温度よりも低い温度で焼成する予備焼成過程を備えることで、結晶粒子の配向を制御できる。また、従来の焼成では、焼成過程から降温するに際してプレス圧力を掛けていないが、降温の際にプレス圧力を掛けてもよい。降温の際のプレス圧力により、結晶粒子の配向がより促進される。
なお、予備焼成過程での加圧は、エンドミル10のサイズ、形状等に応じて適宜変更される。予備焼成過程は、例えば、1300℃~1500℃の温度域、エンドミル10の外周面30をプレス面とした5MPa~15MPaの加圧、1時間~4時間の加圧時間が好ましく採用される。
2. Orientation control of crystal grains of β silicon nitride or β sialon In the end mill 10, the orientation of crystal grains of β silicon nitride or β sialon is controlled, and the above relational expressions [1] and [2] are satisfied.
The orientation of crystal grains of β silicon nitride or β sialon can be controlled, for example, as follows. That is, by controlling the pressure conditions and heating conditions in pressure firing such as hot pressing and spark plasma sintering (SPS), the orientation of the crystal grains of β silicon nitride or β sialon can be controlled. .
For example, the orientation of crystal grains is controlled as follows. Conventionally, when manufacturing the end mill 10, a firing process (main firing process) in which firing is performed at a predetermined temperature under a predetermined press pressure has been employed. On the other hand, in order to control the orientation of the crystal grains, prior to this firing process (main firing process), preliminary firing is performed in which firing is performed at a pressure lower than the predetermined press pressure and at a temperature lower than the predetermined temperature. By providing this process, the orientation of crystal grains can be controlled. Further, in conventional firing, press pressure is not applied when the temperature is lowered from the firing process, but press pressure may be applied when the temperature is lowered. Orientation of crystal grains is further promoted by press pressure during cooling.
Note that the pressure applied during the preliminary firing process is changed as appropriate depending on the size, shape, etc. of the end mill 10. In the pre-firing process, for example, a temperature range of 1300° C. to 1500° C., a pressure of 5 MPa to 15 MPa using the outer circumferential surface 30 of the end mill 10 as the pressing surface, and a pressing time of 1 hour to 4 hours are preferably employed.

3.エンドミルの耐欠損性が優れる推測理由
ここで、本開示のエンドミル10が、耐欠損性に優れることについて、推測される理由を説明する。なお、以下の説明では、「I(200)/(I(200)+I(002))」を「ピーク強度比」ともいう。
関係式[1]及び関係式[2]を満たすことで、外周面30にかかる負荷に対する耐久性が上がる。これは、外周面30の面方向(図1及び図2のZ軸方向)に窒化珪素またはサイアロンが針状に配向成長し、外周面30にブリッジング効果(くさび効果)が働くためと考えられる。
仮にこのような配向成長が無い場合、外周面30から観察した際のピーク強度比が0.8未満となり、端面20から観察した際のピーク強度比が0.7よりも大きくなり、ブリッジング効果が不足するから、外周面30が負荷に耐え切れず、エンドミル10の欠損が誘発されると考えられる。
他方、配向が進行しすぎると、端面20から観察した際のピーク強度比が0.5未満になり、端面20の耐欠損性が低くなると推測される。すなわち、この場合には、端面20のブリッジング効果がほとんど無くなってしまい、端面20が強度不足なり、エンドミル10が欠損すると考えられる。
3. Estimated reason why the end mill has excellent fracture resistance Here, the presumed reason why the end mill 10 of the present disclosure has excellent fracture resistance will be explained. In addition, in the following description, "I(200)/(I(200)+I(002))" is also referred to as "peak intensity ratio."
By satisfying relational expression [1] and relational expression [2], the durability against the load applied to the outer peripheral surface 30 increases. This is thought to be because silicon nitride or sialon grows in a needle-like orientation in the plane direction of the outer circumferential surface 30 (Z-axis direction in FIGS. 1 and 2), and a bridging effect (wedge effect) acts on the outer circumferential surface 30. .
If there is no such oriented growth, the peak intensity ratio when observed from the outer peripheral surface 30 would be less than 0.8, and the peak intensity ratio when observed from the end surface 20 would be greater than 0.7, resulting in a bridging effect. It is thought that due to the insufficient amount, the outer circumferential surface 30 cannot withstand the load, leading to breakage of the end mill 10.
On the other hand, if the orientation progresses too much, the peak intensity ratio when observed from the end face 20 becomes less than 0.5, and it is presumed that the fracture resistance of the end face 20 decreases. That is, in this case, the bridging effect of the end face 20 is almost eliminated, the strength of the end face 20 is insufficient, and the end mill 10 is considered to be damaged.

4.摩擦攪拌接合用工具
摩擦攪拌接合用工具110は、窒化珪素又はサイアロンを主成分とする窒化珪素質焼結体111から構成されている。窒化珪素質焼結体111は、端面120と、端面120に連なる外周面130とを有している。窒化珪素質焼結体111は、β窒化珪素又はβサイアロンの少なくとも一方を含有している。
摩擦攪拌接合用工具110は、窒化珪素質焼結体111のXRDピークのうちで、β窒化珪素及び/又はβサイアロンの結晶面(200)面に帰属されるピーク強度I(200)と、β窒化珪素及び/又はβサイアロンの結晶面(002)面に帰属されるピーク強度I(002)とが、外周面130から観察した際に下記の関係式[1]を満たし、端面120から観察した際に下記の関係式[2]を満たす。

関係式[1]:0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
関係式[2]:0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70
4. Friction Stir Welding Tool The friction stir welding tool 110 is composed of a silicon nitride sintered body 111 containing silicon nitride or sialon as a main component. The silicon nitride sintered body 111 has an end surface 120 and an outer circumferential surface 130 continuous with the end surface 120. The silicon nitride sintered body 111 contains at least one of β silicon nitride and β sialon.
The friction stir welding tool 110 has a peak intensity I (200) attributed to the crystal plane (200) of β silicon nitride and/or β sialon among the XRD peaks of the silicon nitride sintered body 111, and β The peak intensity I (002) attributed to the crystal plane (002) of silicon nitride and/or β-sialon satisfies the following relational expression [1] when observed from the outer peripheral surface 130 and when observed from the end surface 120. In this case, the following relational expression [2] is satisfied.

Relational expression [1]: 0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
Relational expression [2]: 0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70

(1)摩擦攪拌接合用工具の構成
摩擦攪拌接合用工具110は、図6及び図7に示すように、窒化珪素質焼結体111から構成された略円柱形状の接合用工具である。窒化珪素質焼結体111の中心軸を軸線X2と称する。窒化珪素質焼結体111は、端面120と、端面120に連なる外周面130とを有している。端面120は、窒化珪素質焼結体111の前端側に位置している。窒化珪素質焼結体111を、軸線X1を含む平面で切断した場合に、切断面において端面120と外周面130は互いに略直交する。
(1) Configuration of Friction Stir Welding Tool The friction stir welding tool 110 is a substantially cylindrical welding tool made of a silicon nitride sintered body 111, as shown in FIGS. 6 and 7. The central axis of the silicon nitride sintered body 111 is referred to as an axis X2. The silicon nitride sintered body 111 has an end surface 120 and an outer circumferential surface 130 continuous with the end surface 120. The end surface 120 is located on the front end side of the silicon nitride sintered body 111. When the silicon nitride sintered body 111 is cut along a plane including the axis X1, the end face 120 and the outer circumferential face 130 are substantially orthogonal to each other in the cut plane.

窒化珪素質焼結体111は、軸部112と突起部113とを備える。軸部112は、軸線X2方向に延びる略円柱状に形成されている。突起部113は、略円柱状に形成されており、軸部112の前端部における軸線X2に略垂直な面(ショルダー部とも称する)から、前方に突出して設けられている。突起部113は、ショルダー部における中心部に形成されており、突起部113の軸線は、軸部112の軸線X2と一致する。窒化珪素質焼結体111の端面120として、突起部113の端面が例示される。窒化珪素質焼結体111の外周面130として、突起部113の外周面が例示される。 The silicon nitride sintered body 111 includes a shaft portion 112 and a projection portion 113. The shaft portion 112 is formed into a substantially cylindrical shape extending in the direction of the axis X2. The protrusion 113 is formed in a substantially cylindrical shape and is provided so as to protrude forward from a surface (also referred to as a shoulder portion) that is substantially perpendicular to the axis X2 at the front end portion of the shaft portion 112. The protruding portion 113 is formed at the center of the shoulder portion, and the axis of the protruding portion 113 coincides with the axis X2 of the shaft portion 112. An example of the end surface 120 of the silicon nitride sintered body 111 is the end surface of the protrusion 113. An example of the outer circumferential surface 130 of the silicon nitride sintered body 111 is the outer circumferential surface of the protrusion 113.

図8は、摩擦攪拌接合用工具110の使用状態を例示した図である。摩擦攪拌接合用工具110は、図示しない接合装置に取り付けられて使用される。摩擦攪拌接合用工具110の突起部113は、接合装置からの加圧を受けて、被接合部材114,115の境界である接合線WLへ回転しながら押し込まれる。そして、突起部113が被接合部材114,115に押し込まれた状態のまま、被接合部材114,115は、図において白抜きの矢印で示す方向に摩擦攪拌接合用工具110に対して相対的に移動する。これにより、摩擦攪拌接合用工具110は、接合線WLに沿って相対的に移動する。本実施形態において、被接合部材114,115は、鋼の板材であるが、鋼に代えて他の任意の金属であってもよい。被接合部材114,115の接合線WL付近は、突起部113との間の摩擦熱によって塑性流動する。被接合部材114,115の塑性流動した部分を突起部113が攪拌することにより、接合領域WAが形成される。この接合領域WAによって、被接合部材114,115が互いに結合される。つまり、摩擦攪拌接合用工具110の端面120は被接合部材114,115への押し込み方向に位置している。摩擦攪拌接合用工具110の外周面130は摩擦攪拌接合用工具110の被接合部材114,115に対する移動方向に位置している。 FIG. 8 is a diagram illustrating a usage state of the friction stir welding tool 110. The friction stir welding tool 110 is used by being attached to a welding device (not shown). The protrusion 113 of the friction stir welding tool 110 receives pressure from the welding device and is pushed into the welding line WL, which is the boundary between the members 114 and 115 to be welded, while rotating. Then, with the protrusion 113 being pushed into the welded members 114, 115, the welded members 114, 115 are moved relative to the friction stir welding tool 110 in the direction shown by the white arrow in the figure. Moving. Thereby, the friction stir welding tool 110 moves relatively along the welding line WL. In this embodiment, the members 114 and 115 to be joined are steel plates, but they may be made of any other metal instead of steel. The vicinity of the joining line WL of the members 114 and 115 to be joined plastically flows due to the frictional heat between them and the protrusion 113. The protruding portion 113 stirs the plastically fluidized portions of the members 114 and 115 to be joined, thereby forming the joining area WA. The members to be joined 114 and 115 are joined to each other by this joining area WA. That is, the end surface 120 of the friction stir welding tool 110 is located in the direction of pushing into the members 114 and 115 to be welded. The outer peripheral surface 130 of the friction stir welding tool 110 is located in the direction of movement of the friction stir welding tool 110 with respect to the members 114 and 115 to be welded.

なお、摩擦攪拌接合用工具110において、窒化珪素質焼結体111に含まれる成分、I(200)、I(002)の関係式、被覆層、β窒化珪素又はβサイアロンの結晶粒子の配向制御については、上述したエンドミル10における「(2)窒化珪素質焼結体に含まれる成分」、「(3)I(200)、I(002)の関係式」、「(4)被覆層」、「2.β窒化珪素又はβサイアロンの結晶粒子の配向制御」と同様であり説明を省略する。 In addition, in the friction stir welding tool 110, the components contained in the silicon nitride sintered body 111, the relational expressions of I(200) and I(002), the coating layer, and the orientation control of the crystal grains of β silicon nitride or β Sialon. Regarding the end mill 10 described above, "(2) Components contained in the silicon nitride sintered body", "(3) relational expression of I(200) and I(002)", "(4) coating layer", This is the same as "2. Orientation control of crystal grains of β silicon nitride or β sialon", and the explanation will be omitted.

5.摩擦攪拌接合用工具の耐欠損性が優れる推測理由
ここで、本開示の摩擦攪拌接合用工具110が、耐欠損性に優れることについて、推測される理由を説明する。なお、以下の説明では、「I(200)/(I(200)+I(002))」を「ピーク強度比」ともいう。
関係式[1]及び関係式[2]を満たすことで、外周面130にかかる負荷に対する耐久性が上がる。これは、外周面130の面方向(図6のZ軸方向)に窒化珪素またはサイアロンが針状に配向成長し、外周面130にブリッジング効果(くさび効果)が働くためと考えられる。
仮にこのような配向成長が無い場合、外周面130から観察した際のピーク強度比が0.8未満となり、端面120から観察した際のピーク強度比が0.7よりも大きくなり、ブリッジング効果が不足するから、例えば入熱不足に起因して被接合部材114,115の軟化の程度が低い場合に外周面130が負荷に耐え切れず、摩擦攪拌接合用工具110の欠損が誘発されると考えられる。
他方、配向が進行しすぎると、端面120から観察した際のピーク強度比が0.5未満になり、端面120の耐欠損性が低くなると推測される。すなわち、この場合には、端面120のブリッジング効果がほとんど無くなってしまい、端面120が強度不足なり、摩擦攪拌接合用工具110が欠損すると考えられる。
5. Estimated reason why the friction stir welding tool has excellent fracture resistance Here, the presumed reason why the friction stir welding tool 110 of the present disclosure has excellent fracture resistance will be explained. In addition, in the following description, "I(200)/(I(200)+I(002))" is also referred to as "peak intensity ratio."
By satisfying relational expression [1] and relational expression [2], the durability against the load applied to the outer peripheral surface 130 increases. This is considered to be because silicon nitride or sialon grows in a needle-like orientation in the plane direction of the outer circumferential surface 130 (Z-axis direction in FIG. 6), and a bridging effect (wedge effect) acts on the outer circumferential surface 130.
If there is no such oriented growth, the peak intensity ratio when observed from the outer circumferential surface 130 would be less than 0.8, and the peak intensity ratio when observed from the end surface 120 would be greater than 0.7, resulting in a bridging effect. For example, if the degree of softening of the welded members 114, 115 is low due to insufficient heat input, the outer circumferential surface 130 cannot withstand the load, and the friction stir welding tool 110 may break. Conceivable.
On the other hand, if the orientation progresses too much, the peak intensity ratio when observed from the end face 120 becomes less than 0.5, and it is presumed that the fracture resistance of the end face 120 decreases. That is, in this case, the bridging effect of the end face 120 is almost eliminated, the strength of the end face 120 is insufficient, and the friction stir welding tool 110 is considered to be damaged.

以下の実験では、実施例1~10、比較例1~4の各窒化珪素質焼結体を作製し、これらの各窒化珪素質焼結体を加工して、実施例1~10、比較例1~4のエンドミル及び摩擦攪拌接合用工具とした。 In the following experiments, each of the silicon nitride sintered bodies of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 4 was produced, and each of these silicon nitride sintered bodies was processed to produce the results of Examples 1 to 10 and Comparative Examples. End mills 1 to 4 and tools for friction stir welding were used.

1.窒化珪素質焼結体の作製
(1)配合
各実施例及び比較例の窒化珪素質焼結体に用いた原料粉末の配合(質量%)を表1に示す。酸化アルミニウム(Al)及び窒化アルミニウム(AlN)は、α窒化珪素(α-Si)のサイアロン化のために用いられている。酸化イットリウム(Y)は窒化珪素質焼結体11の焼結性を向上させるための助剤である。
なお、原料粉末は、以下に示すものである。
α-Si粉末:平均粒径0.1μm
Al粉末:平均粒径0.5μm
AlN粉末:平均粒径1.0μm
粉末:平均粒径0.8μm
β-SiC粉末:平均粒径0.8μm
1. Preparation of silicon nitride sintered body (1) Blend Table 1 shows the formulation (% by mass) of the raw material powder used for the silicon nitride sintered body of each example and comparative example. Aluminum oxide (Al 2 O 3 ) and aluminum nitride (AlN) have been used for sialonization of α-silicon nitride (α-Si 3 N 4 ). Yttrium oxide (Y 2 O 3 ) is an auxiliary agent for improving the sinterability of the silicon nitride sintered body 11 .
In addition, the raw material powder is shown below.
α-Si 3 N 4 powder: average particle size 0.1 μm
Al2O3 powder : average particle size 0.5μm
AlN powder: average particle size 1.0 μm
Y2O3 powder : average particle size 0.8μm
β-SiC powder: average particle size 0.8 μm

Figure 0007451350000001
Figure 0007451350000001

(2)混合及び乾燥
樹脂ポットに原料粉末とエタノールを投入し、24時間混合粉砕した。混合粉砕の後、スラリーを湯煎乾燥してエタノールの抜気を行い、乾燥混合粉末を得た。
なお、ここまでの工程は、全ての実施例及び比較例の窒化珪素質焼結体で共通している。
(2) Mixing and Drying Raw material powder and ethanol were placed in a resin pot, and mixed and pulverized for 24 hours. After mixing and pulverizing, the slurry was dried in a hot water bath to remove the ethanol and obtain a dry mixed powder.
Note that the steps up to this point are common to the silicon nitride sintered bodies of all Examples and Comparative Examples.

(3)焼成
(3-1)実施例1~10の窒化珪素質焼結体
実施例1~10の窒化珪素質焼結体では、次の方法でホットプレス焼成して窒化珪素質焼結体を得た。
混合粉末は、3atmの窒素雰囲気下において、次の条件で焼成された。ホットプレス焼成における温度とプレス圧力の様子が図9に示されている。混合粉末は、焼成温度(1600℃~1830℃)に到達する前の昇温時に1430℃にて2時間保持された。1430℃に保持されている間、外周面をプレス面として10MPaの加圧が行われた(第1プレス処理)。その後に、昇温して焼成温度にて1.5時間保持された。第1プレス処理後の昇温時と、焼成温度に保持されている間、外周面をプレス面として35MPaの加圧が行われた。焼成温度での保持が終了して、焼成温度から1430℃まで降温する間、約4時間に亘って、外周面をプレス面として35MPaの加圧が続けられた。
以上のようにして、実施例1~10の窒化珪素質焼結体が得られた。
なお、表1における「焼成方法」の「HP」とはホットプレス焼成を行ったことを意味する。表1における「第1プレス処理の有無」の「有」とは「昇降温時に、焼成温度より低い温度域で温度をおよそ一定に保持しながら加圧することを行った」を意味する。また、「無」とは「昇降温時に、焼成温度より低い温度域で温度をおよそ一定に保持しながら加圧することを行わなかった」を意味する。
(3) Firing (3-1) Silicon nitride sintered bodies of Examples 1 to 10 The silicon nitride sintered bodies of Examples 1 to 10 were hot-press fired by the following method to form silicon nitride sintered bodies. I got it.
The mixed powder was fired under the following conditions in a nitrogen atmosphere of 3 atm. FIG. 9 shows the temperature and press pressure during hot press firing. The mixed powder was held at 1430°C for 2 hours during heating before reaching the firing temperature (1600°C to 1830°C). While the temperature was maintained at 1430° C., a pressure of 10 MPa was applied using the outer circumferential surface as a pressing surface (first press treatment). Thereafter, the temperature was raised and maintained at the firing temperature for 1.5 hours. During the temperature rise after the first press treatment and while being maintained at the firing temperature, a pressure of 35 MPa was applied with the outer circumferential surface as the press surface. After completion of the holding at the firing temperature, the pressurization of 35 MPa was continued for about 4 hours while the temperature was lowered from the firing temperature to 1430° C., with the outer circumferential surface being used as the pressing surface.
In the manner described above, silicon nitride sintered bodies of Examples 1 to 10 were obtained.
Note that "HP" in "Firing method" in Table 1 means that hot press firing was performed. "Presence" in "Presence or absence of first press treatment" in Table 1 means that "pressure was applied while keeping the temperature approximately constant in a temperature range lower than the firing temperature during temperature rise and fall." Moreover, "none" means "pressure was not applied while keeping the temperature approximately constant in a temperature range lower than the firing temperature during temperature raising and lowering".

(3-2)比較例1,2の窒化珪素質焼結体
比較例1,2の窒化珪素質焼結体は、乾燥及び造粒までは実施例2,4の窒化珪素質焼結体と同じであるが、焼成温度より低い温度域(ここでは、1430℃)での加圧を行わない点で実施例2,4の窒化珪素質焼結体と相違する。また、比較例1,2の窒化珪素質焼結体は、焼成温度での保持が終了して、焼成温度から1430℃まで降温する間、加圧を行わない点で実施例1~10の窒化珪素質焼結体と相違する。すなわち、比較例1,2は従来のホットプレス焼成を採用している。
このホットプレス焼成における温度とプレス圧力の様子が図10に示されている。第1プレス処理と、降温時における加圧が行われていない様子が示されている。
以上のようにして、比較例1,2の窒化珪素質焼結体が得られた。
(3-2) Silicon nitride sintered bodies of Comparative Examples 1 and 2 The silicon nitride sintered bodies of Comparative Examples 1 and 2 were different from the silicon nitride sintered bodies of Examples 2 and 4 until drying and granulation. Although it is the same, it differs from the silicon nitride sintered bodies of Examples 2 and 4 in that it is not pressurized in a temperature range lower than the firing temperature (here, 1430° C.). In addition, the silicon nitride sintered bodies of Comparative Examples 1 and 2 were different from those of Examples 1 to 10 in that no pressure was applied while the temperature was lowered from the sintering temperature to 1430°C after the holding at the sintering temperature was completed. It is different from silicon sintered body. That is, Comparative Examples 1 and 2 employ the conventional hot press firing.
FIG. 10 shows the temperature and press pressure in this hot press firing. The first press treatment and the state in which pressurization is not performed at the time of temperature drop are shown.
In the manner described above, silicon nitride sintered bodies of Comparative Examples 1 and 2 were obtained.

(3-3)比較例3,4の窒化珪素質焼結体
比較例3,4の窒化珪素質焼結体は、乾燥及び造粒までは実施例2,4の窒化珪素質焼結体と同じであるが、その後の処理が実施例2,4の窒化珪素質焼結体と相違する。すなわち、比較例3,4の窒化珪素質焼結体では、混合粉末は、まず室温、100MPaで成形された。次にこの成形体が以下のように焼成された。成形体は、常圧の窒素雰囲気下において焼成(一次焼成)された後に、HIP焼成(熱間等方圧加圧法による焼成)された。なお、一次焼成時、成形体は、無加圧にて1750℃で2.5時間保持された。HIP焼成は、100MPaの窒素雰囲気下にて1650℃で2.5時間保持された。
以上のようにして、比較例3,4の窒化珪素質焼結体が得られた。
なお、表1における「焼成方法」の「常圧+HIP」とは、常圧下の一次焼成と、HIP焼成を行ったことを意味する。
(3-3) Silicon nitride sintered bodies of Comparative Examples 3 and 4 The silicon nitride sintered bodies of Comparative Examples 3 and 4 were different from the silicon nitride sintered bodies of Examples 2 and 4 until drying and granulation. Although it is the same, the subsequent treatment is different from the silicon nitride sintered bodies of Examples 2 and 4. That is, in the silicon nitride sintered bodies of Comparative Examples 3 and 4, the mixed powder was first molded at room temperature and 100 MPa. This molded body was then fired as follows. The molded body was fired (primary firing) in a nitrogen atmosphere at normal pressure, and then HIP fired (fired using a hot isostatic pressing method). During the primary firing, the molded body was held at 1750° C. for 2.5 hours without applying pressure. HIP firing was held at 1650° C. for 2.5 hours under a nitrogen atmosphere of 100 MPa.
In the manner described above, silicon nitride sintered bodies of Comparative Examples 3 and 4 were obtained.
In addition, "normal pressure + HIP" in "firing method" in Table 1 means that primary firing under normal pressure and HIP firing were performed.

2.XRD分析(X線回折分析)
(1)測定方法
β窒化珪素及び/又はβサイアロンの結晶面(200)面に帰属されるピーク強度I(200)と、結晶面(002)に帰属されるピークの強度(002)を測定するために、各窒化珪素質焼結体に対してX線回折測定を行った。各ピーク強度I(200)、I(002)は、以下の2θ値におけるピーク高さとした。
ピーク強度I(200):2θ=27.0°付近におけるピーク高さ
ピーク強度I(002):2θ=64.0°付近におけるピーク高さ
各窒化珪素質焼結体の外周面及び端面について、それぞれピーク強度I(200)、I(002)を求め、I(200)/(I(200)+I(002))の値を算出した。算出した外周面における値を、表1の「ピーク強度比」、「外周面」の欄に示す。算出した端面における値を、表1の「ピーク強度比」、「端面」の欄に示す。
なお、各面のピーク強度は、以下の条件で測定した。
・X線回折装置
(株)リガク製 X線回折装置 RINT-TTR III
・X線回折条件
モノクロメータ:使用
ターゲット:Cu
管電流:300mA
管電圧:50kV
スキャンスピード2度/分
サンプリング幅0.02度
2. XRD analysis (X-ray diffraction analysis)
(1) Measurement method Measure the peak intensity I (200) attributed to the crystal plane (200) of β-silicon nitride and/or β-sialon, and the peak intensity (002) attributed to the crystal plane (002). For this purpose, X-ray diffraction measurements were performed on each silicon nitride sintered body. The peak intensities I(200) and I(002) were the peak heights at the following 2θ values.
Peak intensity I (200): Peak height near 2θ = 27.0° Peak intensity I (002): Peak height near 2θ = 64.0° Regarding the outer peripheral surface and end surface of each silicon nitride sintered body, The peak intensities I(200) and I(002) were determined, respectively, and the value of I(200)/(I(200)+I(002)) was calculated. The calculated values on the outer peripheral surface are shown in the "Peak intensity ratio" and "Outer peripheral surface" columns of Table 1. The calculated values at the end face are shown in the columns of “Peak intensity ratio” and “End face” in Table 1.
Note that the peak intensity of each surface was measured under the following conditions.
・X-ray diffraction device RINT-TTR III manufactured by Rigaku Co., Ltd.
・X-ray diffraction conditions Monochromator: used Target: Cu
Tube current: 300mA
Tube voltage: 50kV
Scan speed 2 degrees/min Sampling width 0.02 degrees

(2)測定結果
窒化珪素質焼結体のXRD分析を行った所、実施例1~10の窒化珪素質焼結体では、外周面のI(200)/(I(200)+I(002))は0.8以上1.0以下であり、端面のI(200)/(I(200)+I(002))0.5以上0.7以下であった。
比較例1,2の窒化珪素質焼結体は、ホットプレス焼成において第1プレス処理を行っていない窒化珪素質焼結体である。比較例1,2では、外周面において、I(200)/(I(200)+I(002))が0.8未満であった。
比較例3,4の窒化珪素質焼結体は、ホットプレス焼成ではなく、常圧下の一次焼成と、HIP焼成を行った窒化珪素質焼結体である。比較例3,4の窒化珪素質焼結体は、外周面において、I(200)/(I(200)+I(002))が0.8未満であった。
(2) Measurement results XRD analysis of the silicon nitride sintered bodies revealed that the outer peripheral surface of the silicon nitride sintered bodies of Examples 1 to 10 was I(200)/(I(200)+I(002) ) was 0.8 or more and 1.0 or less, and I(200)/(I(200)+I(002)) of the end face was 0.5 or more and 0.7 or less.
The silicon nitride sintered bodies of Comparative Examples 1 and 2 are silicon nitride sintered bodies that have not been subjected to the first press treatment in hot press firing. In Comparative Examples 1 and 2, I(200)/(I(200)+I(002)) was less than 0.8 on the outer peripheral surface.
The silicon nitride sintered bodies of Comparative Examples 3 and 4 are silicon nitride sintered bodies that have been subjected to primary firing under normal pressure and HIP firing instead of hot press firing. In the silicon nitride sintered bodies of Comparative Examples 3 and 4, I(200)/(I(200)+I(002)) was less than 0.8 on the outer peripheral surface.

3.窒化珪素質焼結体の曲げ強度
実施例1~10及び比較例1~4の各試験片について、実施形態に記載の方法によって、25℃における曲げ強度(MPa)と1000℃における曲げ強度(MPa)を求めた。25℃における曲げ強度(MPa)を表1中、「曲げ強度」、「25℃:A」の欄に示す。1000℃における曲げ強度(MPa)を表1中、「曲げ強度」、「1000℃:B」の欄に示す。
そして、25℃における曲げ強度に対する1000℃における曲げ強度の比率(%)を算出した。その結果を表1中、「曲げ強度」、「強度比B/A」の欄に示す。
3. Bending strength of silicon nitride sintered body For each test piece of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 4, bending strength at 25°C (MPa) and bending strength at 1000°C (MPa) were determined by the method described in the embodiment. ) was sought. The bending strength (MPa) at 25°C is shown in the columns of "Bending strength" and "25°C: A" in Table 1. The bending strength (MPa) at 1000°C is shown in the columns of "Bending strength" and "1000°C: B" in Table 1.
Then, the ratio (%) of the bending strength at 1000°C to the bending strength at 25°C was calculated. The results are shown in the columns of "Bending strength" and "Strength ratio B/A" in Table 1.

4.エンドミルの作製
実施例1~10及び比較例1~4の窒化珪素質焼結体について、研磨加工して、工具形状(外径10mm、コーナ半径1.25mm、4flute)のエンドミルを作製した。
なお、表1には、上述のように窒化珪素質焼結体の原料粉末の組成(配合)が示されているが、この組成は焼成後にも変化しないから、各窒化珪素質焼結体の組成と同等である。そして、焼成後の各窒化珪素質焼結体を機械加工して、エンドミルとしているのであるから、結局、原料粉末の組成はエンドミルの組成と同等である。
4. Production of End Mill The silicon nitride sintered bodies of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 4 were polished to produce an end mill with a tool shape (outer diameter 10 mm, corner radius 1.25 mm, 4 flutes).
Table 1 shows the composition (mixture) of the raw material powder for the silicon nitride sintered body as described above, but since this composition does not change even after firing, the composition of each silicon nitride sintered body is It is equivalent to the composition. Since each silicon nitride sintered body after firing is machined to form an end mill, the composition of the raw material powder is ultimately the same as the composition of the end mill.

5.切削試験
(1)試験方法
各エンドミルを用いて、切削試験を行った。試験条件は下記の通りである。
・被削材:FC300
・切削速度:300m/min~
・評価:切削速度を100m/minずつ上げていき、工具欠損が起きた時の速度を工具寿命とする。
5. Cutting test (1) Test method A cutting test was conducted using each end mill. The test conditions are as follows.
・Work material: FC300
・Cutting speed: 300m/min~
-Evaluation: Increase the cutting speed by 100 m/min and define the speed at which tool breakage occurs as the tool life.

(2)試験結果
試験結果を表1の「切削試験」の欄に示す。実施例1~10のエンドミルは、工具寿命における切削速度が大きく、良好な耐欠損性を示した。他方、比較例1~4のエンドミルは、実施例1~10のエンドミルに比べて工具寿命における切削速度が小さく、耐欠損性が低かった。
以上の結果から、外周面から観察した際に関係式[1]:0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00を満たし、端面から観察した際に関係式[2]:0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70を満たすことにより、エンドミルの耐欠損性が向上することが確認された。
(2) Test results The test results are shown in the "Cutting test" column of Table 1. The end mills of Examples 1 to 10 had high cutting speeds over the tool life and exhibited good fracture resistance. On the other hand, the end mills of Comparative Examples 1 to 4 had lower cutting speeds during tool life and lower fracture resistance than the end mills of Examples 1 to 10.
From the above results, when observed from the outer peripheral surface, the relational expression [1]: 0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00 is satisfied, and when observed from the end surface It was confirmed that the fracture resistance of the end mill was improved by satisfying relational expression [2]: 0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70.

6.摩擦攪拌接合用工具の作製
実施例1~10及び比較例1~4の窒化珪素質焼結体について、研磨加工して、工具形状(ショルダー径12mm、プローブ長2mm)の摩擦攪拌接合用工具を作製した。
なお、表1には、上述のように窒化珪素質焼結体の原料粉末の組成(配合)が示されているが、この組成は焼成後にも変化しないから、各窒化珪素質焼結体の組成と同等である。そして、焼成後の各窒化珪素質焼結体を機械加工して、摩擦攪拌接合用工具としているのであるから、結局、原料粉末の組成は摩擦攪拌接合用工具の組成と同等である。
6. Production of a friction stir welding tool The silicon nitride sintered bodies of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 4 were polished to form a friction stir welding tool having a tool shape (shoulder diameter 12 mm, probe length 2 mm). Created.
Table 1 shows the composition (mixture) of the raw material powder for the silicon nitride sintered body as described above, but since this composition does not change even after firing, the composition of each silicon nitride sintered body is It is equivalent to the composition. Since each silicon nitride sintered body after firing is machined into a friction stir welding tool, the composition of the raw material powder is ultimately the same as the composition of the friction stir welding tool.

7.FSW(Friction Stir Welding)試験
(1)試験方法
各摩擦攪拌接合用工具を用いて、FSW試験を行った。試験条件は下記の通りである。
・被削材:SUS304
・ツール回転速度:1000rpm
・接合速度:100mm/min~
・評価:接合速度を50mm/minずつ上げていき、工具欠損が起きた時の速度を工具寿命とする。
7. FSW (Friction Stir Welding) Test (1) Test Method An FSW test was conducted using each friction stir welding tool. The test conditions are as follows.
・Work material: SUS304
・Tool rotation speed: 1000 rpm
・Joining speed: 100mm/min~
-Evaluation: Increase the welding speed by 50 mm/min, and define the speed at which tool breakage occurs as the tool life.

(2)試験結果
試験結果を表1の「FSW試験」の欄に示す。実施例1~10の摩擦攪拌接合用工具は、工具寿命における接合速度が大きく、良好な耐欠損性を示した。他方、比較例1~4の摩擦攪拌接合用工具は、実施例1~10の摩擦攪拌接合用工具に比べて工具寿命における接合速度が小さく、耐欠損性が低かった。
以上の結果から、外周面から観察した際に関係式[1]:0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00を満たし、端面から観察した際に関係式[2]:0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70を満たすことにより、摩擦攪拌接合用工具の耐欠損性が向上することが確認された。
(2) Test results The test results are shown in the "FSW test" column of Table 1. The friction stir welding tools of Examples 1 to 10 had a high welding speed over the tool life and exhibited good fracture resistance. On the other hand, the friction stir welding tools of Comparative Examples 1 to 4 had lower welding speeds over the tool life and lower fracture resistance than the friction stir welding tools of Examples 1 to 10.
From the above results, when observed from the outer peripheral surface, the relational expression [1]: 0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00 is satisfied, and when observed from the end surface It has been confirmed that by satisfying the relational expression [2]: 0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70, the fracture resistance of the friction stir welding tool is improved. Ta.

本発明は上記で詳述した実施形態に限定されず、本発明の請求項に示した範囲で様々な変形又は変更が可能である。 The present invention is not limited to the embodiments detailed above, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims of the present invention.

10…エンドミル
11…窒化珪素質焼結体
20…端面
21…底刃
22…コーナ
30…外周面
31…外周刃
32…切屑排出溝
110…摩擦攪拌接合用工具
111…窒化珪素質焼結体
112…軸部
113…突起部
114,115…被接合部材
120…端面
130…外周面
WA…接合領域
WL…接合線
X1…軸線
X2…軸線
10...End mill 11...Silicon nitride sintered body 20...End face 21...Bottom blade 22...Corner 30...Outer peripheral surface 31...Outer peripheral blade 32...Chip discharge groove 110...Friction stir welding tool 111...Silicon nitride sintered body 112 ...Shaft part 113...Protrusion part 114, 115...Member to be joined 120...End face 130...Outer peripheral surface WA...Joining area WL...Joining line X1...Axis line X2...Axis line

Claims (6)

窒化珪素又はサイアロンを主成分とする窒化珪素質焼結体から構成されたエンドミルであって、
前記窒化珪素質焼結体は、端面と、前記端面に連なる外周面とを有し、
前記窒化珪素質焼結体は、β窒化珪素及びβサイアロンの少なくとも一方を含有しており、
前記窒化珪素質焼結体のXRDピークのうちで、前記β窒化珪素及び/又は前記βサイアロンの結晶面(200)面に帰属されるピーク強度I(200)と、前記β窒化珪素及び/又は前記βサイアロンの結晶面(002)面に帰属されるピーク強度I(002)とが、前記外周面から観察した際に下記の関係式[1]を満たし、前記端面から観察した際に下記の関係式[2]を満たす、エンドミル。

関係式[1]:0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
関係式[2]:0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70
An end mill composed of a silicon nitride sintered body containing silicon nitride or sialon as a main component,
The silicon nitride sintered body has an end face and an outer circumferential face continuous with the end face,
The silicon nitride sintered body contains at least one of β silicon nitride and β sialon,
Among the XRD peaks of the silicon nitride sintered body, the peak intensity I (200) attributed to the crystal plane (200) of the β silicon nitride and/or the β sialon, and the peak intensity I (200) of the β silicon nitride and/or The peak intensity I(002) attributed to the crystal plane (002) of the β-sialon satisfies the following relational expression [1] when observed from the outer circumferential surface, and the following when observed from the end face: An end mill that satisfies relational expression [2].

Relational expression [1]: 0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
Relational expression [2]: 0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70
前記窒化珪素質焼結体は、1000℃における曲げ強度が25℃における曲げ強度に対して90%以上である、請求項1に記載のエンドミル。 The end mill according to claim 1, wherein the silicon nitride sintered body has a bending strength at 1000°C that is 90% or more of a bending strength at 25°C. 表面に被覆層が形成されている、請求項1または請求項2に記載のエンドミル。 The end mill according to claim 1 or 2, wherein a coating layer is formed on the surface. 窒化珪素又はサイアロンを主成分とする窒化珪素質焼結体から構成される摩擦攪拌接合用工具であって、
前記窒化珪素質焼結体は、端面と、前記端面に連なる外周面とを有し、
前記窒化珪素質焼結体は、β窒化珪素及びβサイアロンの少なくとも一方を含有しており、
前記窒化珪素質焼結体のXRDピークのうちで、前記β窒化珪素及び/又は前記βサイアロンの結晶面(200)面に帰属されるピーク強度I(200)と、前記β窒化珪素及び/又は前記βサイアロンの結晶面(002)面に帰属されるピーク強度I(002)とが、前記外周面から観察した際に下記の関係式[1]を満たし、前記端面から観察した際に下記の関係式[2]を満たす、摩擦攪拌接合用工具。

関係式[1]:0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
関係式[2]:0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70
A friction stir welding tool composed of a silicon nitride sintered body containing silicon nitride or sialon as a main component,
The silicon nitride sintered body has an end face and an outer circumferential face continuous with the end face,
The silicon nitride sintered body contains at least one of β silicon nitride and β sialon,
Among the XRD peaks of the silicon nitride sintered body, the peak intensity I (200) attributed to the crystal plane (200) of the β silicon nitride and/or the β sialon, and the peak intensity I (200) of the β silicon nitride and/or The peak intensity I(002) attributed to the crystal plane (002) of the β-sialon satisfies the following relational expression [1] when observed from the outer peripheral surface, and the following when observed from the end face: A friction stir welding tool that satisfies relational expression [2].

Relational expression [1]: 0.80≦I(200)/(I(200)+I(002))≦1.00
Relational expression [2]: 0.50≦I(200)/(I(200)+I(002))≦0.70
前記窒化珪素質焼結体は、1000℃における曲げ強度が25℃における曲げ強度に対して90%以上である、請求項4に記載の摩擦攪拌接合用工具。 The friction stir welding tool according to claim 4, wherein the silicon nitride sintered body has a bending strength at 1000°C that is 90% or more of a bending strength at 25°C. 表面に被覆層が形成されている、請求項4または請求項5に記載の摩擦攪拌接合用工具。 The friction stir welding tool according to claim 4 or 5, wherein a coating layer is formed on the surface.
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