JP7451133B2 - 無線電力伝送システム及び機械装置 - Google Patents
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Description
一方、装置内の送電部から受電部へ電力を伝送する装置の例として、半導体露光装置がある。半導体露光装置では、ウエハを露光位置に移動させるためのステージに対して、ウエハパターンの形成時にステージを微細移動させるためのモータが複数搭載されている場合がある。また、これらのモータを駆動させるために、電力供給等を行うためのケーブルがステージに対して接続されている場合がある。このような構成を有する半導体露光装置においては、ステージの移動に伴いケーブルも動くこととなり、ケーブルによる張力が発生し、ステージの位置決め精度が低下する場合がある。
前記第1の方向に延伸し、かつ前記第1の方向と略直行する第2の方向に前記送電アンテナと対向するように配設される受電アンテナを備える受電部と、の組を3つ以上含み、第1の送電アンテナと第2の送電アンテナとは、前記第1の方向及び前記第2の方向それぞれに略直行する第3の方向に離間して配設され、前記第1の送電アンテナと前記第2の送電アンテナとの間には、導電性を有し、かつ前記第1の送電アンテナと、前記第2の送電アンテナに対向する第2の受電アンテナと、の間を遮蔽するように前記第2の方向に延伸する第1のシールド部材が介在し、前記第1の送電アンテナと対向する第1の受電アンテナに対して、前記第2の方向に位置するように第3の送電アンテナが配設され、前記第1の受電アンテナと、前記第3の送電アンテナと、の間が、導電性を有する第2のシールド部材により遮蔽される。
以下に、本発明の第1の実施形態について説明する。本実施形態に係る無線電力伝送システムは、磁界、または電力及び磁界の双方を利用して電力を伝送する電磁誘導及び磁界共鳴と称される技術の少なくともいずれかの技術を、モータ等の駆動対象に対する電力の供給に利用する。
また、本実施形態では、半導体露光装置に対して無線電力伝送システムを適用する場合に着目して、当該無線電力伝送システムの特徴について説明を行うが、必ずしも本実施形態に係る無線電力伝送システムの適用先を限定するものではない。具体的には、モータや制御回路等のような駆動対象を複数駆動させ、当該駆動対象への電力伝送を無線化した装置であれば、本実施形態に係る無線電力伝送システムを適用することが可能である。特に、上述した装置のうち、複数の駆動対象それぞれに対する電力供給を個別に制御するような装置については、本実施形態に係る無線電力伝送システムとの親和性が高い。より具体的な一例として、インクジェットプリンタ、ロボット装置、自動搬送車(AGV:Automated guided vehicle)等に対して、本実施形態に係る無線電力伝送システムを適用することも可能である。
図1を参照して、本実施形態に係る無線電力伝送システムの概略的な構成の一例について説明する。図1に示す例では、無線電力伝送システム300は、複数のモータ400を駆動対象として、個々のモータ400に対して無線の伝送路を介して個別に電力を供給する。モータ400は、例えば、半導体露光装置においてステージを移動させるための個々のモータに相当し、それぞれが独立して駆動可能である。なお、半導体露光装置では10個程度のモータが使用されるが、図1に示す例では、3つのモータ400を駆動させるための構成を抜き出して図示している。無線電力伝送システム300は、送電部100と、受電部200とを含む。本実施形態では、無線電力伝送システム300全体が1つの装置内に実装されており、装置内の固定部に送電部100が含まれ、モータ400の動力などにより固定部に対して移動可能な可動部に受電部200が含まれるものとする。ただし、無線電力伝送システム300の実装はこれに限定されない。
コントローラ103は、各種条件も基づき電源104の動作を制御する。例えば、コントローラ103は、光学センサ等の各種センサによる検知結果に基づき各モータ400の状態(例えば、モータ400の駆動に伴うステージの位置や姿勢等)を監視し、監視結果に応じて電源104による電源電圧の印可に係る動作を制御してもよい。
出力電圧振幅値に関する情報は、コントローラ103が電源104に対して制御信号を出力することで電源104に通知される。すなわち、電源104は、コントローラ103から出力される上記制御信号に基づき、電源電圧の出力電圧振幅値が指定された値となるように制御する。
モータ印可電圧符号に関する情報は、コントローラ103が送信部102及び受信部202を介して制御信号をゲート駆動回路205に送信することで通知される。ゲート駆動回路205は、コントローラ103から送信される上記制御信号に基づき、モータ駆動回路206の整流動作を180°反転させることでモータ印可電圧符号を正から負、または負から正に反転させる。
電源104は、コントローラ103からの指示に基づき、各SW回路106に印可する電源電圧の出力電圧振幅値を制御したうえで、出力電圧振幅値が制御された電源電圧を対応するSW回路106に印可する。SW回路106は、所定の周波数のクロック信号の生成器とスイッチング素子とを備えており、当該クロック信号に基づき当該スイッチング素子を駆動することで、印可された電源電圧をスイッチングして交流波形の電圧信号に変換する。この交流波形の電圧信号は、SW回路106から送電アンテナ101に伝送され、送電アンテナ101と受電アンテナ201との間の磁界結合により、送電アンテナ101から受電アンテナ201に伝送される。そして、各受電アンテナ201に伝送された交流波形の電圧信号は、受電アンテナ201から受電回路204に伝送される。
モータ駆動回路206は、受電回路204から供給される電圧信号(電源電圧信号)に基づき、駆動対象となるモータ400を駆動する。この際に、モータ駆動回路206は、ゲート駆動回路205からの制御に基づき、モータ印可電圧符号を反転させることで、モータ400の駆動方向を制御してもよい。
モータ400の動きを高精度で駆動するうえでは、3つの送電アンテナ101及び受電アンテナ201のそれぞれは、隣接する送電アンテナ101からの干渉の影響を受けずに駆動することが望ましい。モータ駆動に求められる電圧精度としては、例えば、半導体露光装置等の場合には数mV程度の誤差となる。すなわち、このような場合には、隣接する電力システム(例えば、隣接する送電アンテナ101)からの干渉電圧を数mV以内に抑えることが望ましい。
ここで、本実施形態に係る無線電力伝送システムの特徴をよりわかりやすくするために、比較例として、図2を参照して、図1に示す送電アンテナ101及び受電アンテナ201の配設方法の一例について説明する。図2は、比較例に係る無線電力伝送システムの概略的な斜視図である。比較例に係る無線電力伝送システムでは、送電アンテナ101及び受電アンテナ201のそれぞれが所定の方向(図2に示すY方向)に沿って平置きされるように配設されている。
このような構成の基で、図2に示す例では、3つの受電アンテナ201は、送電アンテナ101が延伸する方向(X方向)に沿ってスライド移動が可能に支持されている。この際に、3つの受電アンテナ201それぞれが、3つの送電アンテナ101のうち対応する送電アンテナ101と対向する状態が維持された状態で、当該3つの受電アンテナ201がスライド移動する。なお、以降では、3つの受電アンテナ201のそれぞれを、便宜上、受電アンテナ2011、2012、及び2013とも称する。また、送電アンテナ1011と受電アンテナ2011とが結合し、送電アンテナ1011から受電アンテナ2011に交流波形の電圧信号が伝送されるものとする。同様に、送電アンテナ1012と受電アンテナ2012とが結合し、送電アンテナ1013と受電アンテナ2013とが結合するものとする。
図3は、本実施形態に係る無線電力伝送システムの構成の一例について説明するための説明図であり、特に、送電アンテナ101及び受電アンテナ201が配設された部分の断面図を示している。なお、図3に示す例では、送電アンテナ101は、図2に示す例と同様に、X方向に延伸するように長尺状に形成されているものとする。同様に、受電アンテナ201は、図2に示す例と同様に、X方向に延伸するように長尺状に形成されており、X方向の長さが送電アンテナ101よりも短くなるように形成されている。また、図3に示すX方向、Y方向、及びZ方向は、図2におけるX方向、Y方向、及びZ方向と同様であるものとする。すなわち、図3は、本実施形態に係る無線電力伝送システムのうち、送電アンテナ101及び受電アンテナ201を含む部分をYZ平面で切断した場合の概略的な断面図を示している。
また、以降の説明では、便宜上、図3において、図面の上方向を「+Z方向」とも称し、下方向を「-Z方向」とも称する。また、図面の左方向「+Y方向」とも称し、「右方向」を「-Y方向」とも称する。また、図面の奧側に向けた方向を「+X方向」とも称し、手前側に向けた方向を「-X方向」とも称する。
同様に、受電アンテナ2013は、送電アンテナ1013に対して+Z方向に位置し、かつ送電アンテナ1013とZ方向に離間して対向するようにシールド部材3013に支持される。具体的には、シールド部材3013の、送電アンテナ1013と対向する側(-Z方向)の面上に磁性体2113が配設され、当該磁性体2113上に受電アンテナ2013が積層される。
受電アンテナ2011は、送電アンテナ1011に対して+Z方向に位置し、かつ送電アンテナ1011とZ方向に離間して対向するようにシールド部材3015に支持される。具体的には、シールド部材3015の、送電アンテナ1011と対向する側(-Z方向)の面上に磁性体2111が配設され、当該磁性体2111上に受電アンテナ2011が積層される。
また、磁性体1111~1113、2111~2113としては、強磁性体を利用することが可能であり、具体的な一例として、フェライト等を利用することが可能である。また、送電アンテナ101と受電アンテナ201との間の結合係数の条件を満たすことが可能であれば、上記磁性体として利用される素材が適宜変更されてもよい。具体的な一例として、送電アンテナ101と受電アンテナ201との間で伝送する電力信号の周波数がkHz代であれば、パーマロイやセンダスト等の素材を上記磁性体として利用することも可能である。
また、送電アンテナ1012と受電アンテナ2013との間と、送電アンテナ1013と受電アンテナ2012との間と、のそれぞれには、Z方向に延伸するように形成されたシールド部材3012が配設されている。このような構成により、送電アンテナ1012から送信される無線信号による受電アンテナ2013への干渉の影響と、送電アンテナ1013から送信される無線信号による受電アンテナ2012への干渉の影響と、を抑制することが可能となる。
以下に、本発明の第2の実施形態について説明する。第1の実施形態に係る無線電力伝送システムでは、金属等のような導電性を有する素材で形成されたシールド部材を設けることで、アンテナ間の干渉を抑制していた。本実施形態では、第1の実施形態に比べてアンテナ間の干渉の抑制効果をさらに向上させることが可能な構成の一例について説明する。なお、本実施形態では、第1の実施形態と異なる部分に着目して説明し、第1の実施形態と実質的に同様の部分については詳細な説明は省略する。
以下に、本発明の第3の実施形態について説明する。本開示の各実施形態に係る無線電力伝送システムでは、アンテナのみに限らず、SW回路106と、受電回路204及びモータ駆動回路206(以下、「受電側回路」とも称する)と、についても駆動対象(例えば、モータ等)の数量に応じた数が設けられる。そのため、受電側回路の配設方法に応じて、例えば、SW回路間の干渉や、受電側回路間の干渉等が発生する可能性がある。また、受電側回路の配設に関して、省スペース化が求められる場合もある。そこで、本実施形態では、SW回路や受電側回路の実装方法の一例について説明する。
具体的な一例として、SW回路1061は、送電アンテナ1011に対して-X方向側に隣接するように、Z方向に積層されて形成される。同様に、SW回路1062及び1063は、それぞれ送電アンテナ1012及び1013に対して-X方向側に隣接するように、Z方向に積層されて形成されて形成される。
このような構成より、SW回路106間の干渉を抑制し、かつ省スペース化を実現することが可能となる。
具体的な一例として、受電側回路2041は、受電アンテナ2011に対して+Y方向側に近接するように、Z方向に積層されて形成される。同様に、受電側回路2042は、受電アンテナ2012に対して+Y方向側に近接するように、Z方向に積層されて形成される。また、受電側回路2043は、受電アンテナ2013に対して-Y方向側に近接するように、Z方向に積層されて形成される。
このような構成より、受電アンテナ201ごとに形成される受電回路204及びモータ駆動回路206を含む受電側回路間における干渉を抑制し、かつ省スペース化を実現することが可能となる。
上述した実施形態によれば、複数の駆動対象に応じた数の電力伝送用のモジュールを設けることで、複数の駆動対象に無線で電力を供給しつつ、複数の駆動対象を個別にかつ高精度に駆動させることができる。具体的な一例として、無線での電力伝送のためのアンテナや、当該アンテナの駆動回路(送電回路及び受電回路)が、電力伝送用のモジュールの数量分設けられる。また、半導体露光装置等のような高い精度での動作が要求される装置において、複数のアンテナ間や複数の回路間における干渉の発生を抑制する仕組みを導入することで、駆動電圧の制御の精度を高めることができる。
また、無線電力伝送システムの適用先となる各種装置には小型化が要求される場合もある。例えば、半導体露光装置においてはステージ周辺の実装スペースが制限されている。このような場合にも、上述した実施形態を適用することで、無線電力伝送システム自体を小型化することができ、その結果、適用先の装置の小型化も実現できる。
なお、無線電力伝送システムを小型化することで、アンテナ、送電回路、及び受電回路等が配設されるスペースが制限され、各アンテナや各回路が配設される間隔もより短くなるため、複数のアンテナ間における干渉の影響がより顕在化しやすくなる。しかしながら、上述した実施形態によれば、無線電力伝送システム内におけるアンテナ間及び回路基板間の干渉を抑制できるため、無線電力伝送システムを小型化しつつ、駆動対象を高精度に駆動させることができる。
上述した各実施形態では、長尺状の送電アンテナ101と、送電アンテナ101上を移動可能に支持された当該送電アンテナ101よりも長さの短い受電アンテナ201と、の間で電力伝送が行われる場合の構成の一例について説明した。一方で、同構成はあくまで一例であり、本実施形態に係る無線電力伝送システムの技術思想を逸脱しない範囲であれば、一部の構成が適宜変更されてもよい。
例えば、送電アンテナ101と受電アンテナ201との形状が略等しくてもよい。より具体的な一例として、送電アンテナ101と受電アンテナ201とが、長尺方向の長さが略等しくなるように形成されてもよい。
また、上述した実施形態では、送電アンテナ101及び受電アンテナ201が直線状に延伸するように形成される場合の一例について説明した。一方で、無線電力伝送システムを送電アンテナ101及び受電アンテナ201が延伸する方向に直行する平面で切断した場合の断面図が、図3、図4、図5、及び図7に示す断面図と略等しい構成を示していれば必ずしも無線電力伝送システムの構成は限定されない。具体的な一例として、送電アンテナ101及び受電アンテナ201のうち少なくともいずれかが、リングの円周に沿って延伸するように形成されていてもよいし、多角形の各辺に沿って延伸するように形成されてもよい。
200 受電部
300 無線電力伝送システム
400 モータ
1011、1012、1013 送電アンテナ
2011、2012、2013 受電アンテナ
3011、3012、3013、3014、3015 シールド部材
Claims (13)
- 第1の方向に延伸する送電アンテナを備える送電部と、
前記第1の方向に延伸し、かつ前記第1の方向と略直行する第2の方向に前記送電アンテナと対向するように配設される受電アンテナを備える受電部と、
の組を3つ以上含み、
第1の送電アンテナと第2の送電アンテナとは、前記第1の方向及び前記第2の方向それぞれに略直行する第3の方向に離間して配設され、
前記第1の送電アンテナと前記第2の送電アンテナとの間には、導電性を有し、かつ前記第1の送電アンテナと、前記第2の送電アンテナに対向する第2の受電アンテナと、の間を遮蔽するように前記第2の方向に延伸する第1のシールド部材が介在し、
前記第1の送電アンテナと対向する第1の受電アンテナに対して、前記第2の方向に位置するように第3の送電アンテナが配設され、
前記第1の受電アンテナと、前記第3の送電アンテナと、の間が、導電性を有する第2のシールド部材により遮蔽される、
無線電力伝送システム。 - 前記第2のシールド部材は、少なくとも第3の方向に延伸し、
当該第2のシールド部材と、前記第1のシールド部材と、が接合される、
請求項1に記載の無線電力伝送システム。 - 前記第1のシールド部材は、前記第2の方向の厚みが、
前記送電アンテナ及び前記受電アンテナそれぞれの前記第2の方向の厚みと、
前記送電アンテナと前記受電アンテナとの間の前記第2の方向の距離と、
の和以上となるように形成される、
請求項1または2に記載の無線電力伝送システム。 - 前記第2のシールド部材は、少なくとも前記送電アンテナよりも前記第1の方向の長さが長くなるように形成される、請求項1~3のいずれか1項に記載の無線電力伝送システム。
- 前記第1のシールド部材と前記第2のシールド部材とのうち少なくともいずれかは、金属により形成されている、請求項1~4のいずれか1項に記載の無線電力伝送システム。
- 前記送電アンテナ及び前記受電アンテナのそれぞれは、導電性を有するシールド部材に対して磁性体を介して配設される、請求項1~5のいずれか1項に記載の無線電力伝送システム。
- 前記送電アンテナの駆動に係る送電回路を備え、
前記送電回路は、前記送電アンテナに対して前記第1の方向に隣接するように、前記第2の方向に積層されることで形成される、請求項1~6のいずれか1項に記載の無線電力伝送システム。 - 前記受電アンテナは、当該第1の方向の長さが前記送電アンテナよりも短くなるように形成される、請求項1~7のいずれか1項に記載の無線電力伝送システム。
- 前記受電アンテナは、前記送電アンテナと対向する状態を維持しながら前記第1の方向に沿って移動可能に支持される、請求項8に記載の無線電力伝送システム。
- 前記受電アンテナの駆動に係る受電回路を備え、前記受電回路は、前記受電アンテナに対して前記第3の方向に隣接するように、前記第2の方向に積層されることで形成される、請求項9に記載の無線電力伝送システム。
- 前記受電部は、前記第1の方向に沿って移動可能に支持された駆動部材の少なくとも一部に支持される、請求項9または10に記載の無線電力伝送システム。
- 少なくとも第1の方向に沿って移動可能に支持された駆動部材と、
無線電力伝送システムと、
を備え、
前記無線電力伝送システムは、
前記第1の方向に延伸する送電アンテナを備える送電部と、
前記第1の方向に延伸し、かつ前記第1の方向と略直行する第2の方向に前記送電アンテナと対向するように配設される受電アンテナを備える受電部と、
の組を3つ以上含み、
第1の送電アンテナと第2の送電アンテナとは、前記第1の方向及び前記第2の方向それぞれに略直行する第3の方向に離間して配設され、
前記第1の送電アンテナと前記第2の送電アンテナとの間には、導電性を有し、かつ前記第1の送電アンテナと、前記第2の送電アンテナに対向する第2の受電アンテナと、の間を遮蔽するように前記第2の方向に延伸する第1のシールド部材が介在し、
前記第1の送電アンテナと対向する第1の受電アンテナに対して、前記第2の方向に位置するように第3の送電アンテナが配設され、
前記第1の受電アンテナと、前記第3の送電アンテナと、の間が、導電性を有する第2のシールド部材により遮蔽されることを特徴とする機械装置。 - 前記機械装置は、半導体露光装置であり、
前記駆動部材は、ウエハを露光位置に移動させるためのステージである、
請求項12に記載の機械装置。
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