JP2007123319A - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ケーブル類の使用を抑え、良好に温度調整される露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置EXは、電力を受給する受給器を有し、受給した電力によって駆動する温調システム30と、受給器とは非接触状態で受給器に電力を供給する供給器とを備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板を露光する露光装置、及びデバイス製造方法に関するものである。
半導体デバイス等のマイクロデバイスを製造する際のフォトリソグラフィ工程においては、マスクのパターン像を投影光学系を介して感光性の基板上に投影する露光装置が使用される。露光装置においては高精度な温度安定性が要求されており、例えば下記特許文献に開示されているような、投影光学系を支持する架台等を温度調整装置を用いて温度調整する技術が知られている。
特開平9−320927号公報
ところで、温度調整装置を駆動するための動力、あるいは温度調整を行うための媒体(冷媒)等をケーブルを介して温度調整装置に供給する場合、それらケーブル類の動きによって振動が発生する等の不具合が生じる可能性がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ケーブル類の使用を抑え、良好に温度調整できる露光装置、及びその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明は実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。
本発明の第1の態様に従えば、基板(P)上に露光光(EL)を照射して基板(P)を露光する露光装置において、電力を受給する受給器(31)を有し、受給した電力によって駆動する温度調整装置(30)と、受給器(31)とは非接触状態で受給器(31)に電力を供給する供給器(41)とを備えた露光装置(EX)が提供される。
本発明の第1の態様によれば、ケーブル類の使用が抑えられ、良好に温度調整することができる。
本発明の第2の態様に従えば、基板(P)上に露光光(EL)を照射して基板(P)を露光する露光装置において、温度を検出する温度検出装置(34)と、温度検出装置(34)の検出結果に基づいて温度を調整する温度調整装置(30)と、温度検出装置(34)の検出信号を送信する第1送信器(36)と、第1送信器(36)とは非接触状態で第1送信器(36)からの検出信号を受信する第1受信器(46)と、第1受信器(46)で受信した検出信号に基づいて、温度調整装置(30)に制御信号を送信する制御装置(7)とを備えた露光装置(EX)が提供される。
本発明の第2の態様によれば、ケーブル類の使用が抑えられ、良好に温度調整することができる。
本発明の第3の態様に従えば、基板(P)上に露光光(EL)を照射して基板(P)を露光する露光装置において、温度を調整する温度調整装置(30)と、温度調整装置(30)を制御するための制御信号を送信する第2送信器(47)と、第2送信器(47)とは非接触状態で第2送信器(47)からの制御信号を受信する第2受信器(37)とを備え、温度調整装置(30)は、第2受信器(37)で受信した制御信号に応じて動作する露光装置(EX)が提供される。
本発明の第3の態様によれば、ケーブル類の使用が抑えられ、良好に温度調整することができる。
本発明の第4の態様に従えば、上記態様の露光装置(EX)を用いるデバイス製造方法が提供される。
本発明の第4の態様に従えば、良好に温度調整された露光装置を用いて基板を露光することができる。
本発明によれば、ケーブル類の使用が抑えられ、良好に温度調整できる露光装置を用いて基板を露光することができ、所望の性能を有するデバイスを製造することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。なお、以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内における所定方向をX軸方向、水平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向のそれぞれに直交する方向(すなわち鉛直方向)をZ軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸まわりの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
<第1実施形態>
図1は第1実施形態に係る露光装置を示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージ3と、基板Pを保持して移動可能な基板ステージ4と、マスクステージ3に保持されているマスクMを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターン像を基板ステージ4に保持されている基板P上に投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置7とを備えている。なお、ここでいう基板は半導体ウエハ等の基材上に感光材(フォトレジスト)を塗布したものを含み、マスクは基板上に縮小投影されるデバイスパターンを形成されたレチクルを含む。なお、本実施形態においては、マスクとして透過型のマスクを用いるが、反射型のマスクを用いてもよい。
図1は第1実施形態に係る露光装置を示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージ3と、基板Pを保持して移動可能な基板ステージ4と、マスクステージ3に保持されているマスクMを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターン像を基板ステージ4に保持されている基板P上に投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置7とを備えている。なお、ここでいう基板は半導体ウエハ等の基材上に感光材(フォトレジスト)を塗布したものを含み、マスクは基板上に縮小投影されるデバイスパターンを形成されたレチクルを含む。なお、本実施形態においては、マスクとして透過型のマスクを用いるが、反射型のマスクを用いてもよい。
また、露光装置EXは、温度を調整する温調システム30と、温調システム30に電力を供給する電力供給装置40とを備えている。温調システム30は、電力供給装置40から供給される電力によって駆動する。
露光装置EXは、床面上に設けられたベースBPと、そのベースBP上に設置されたメインフレーム2とを備えている。照明系ILは、メインフレーム2の上部に固定された支持フレーム2Fにより支持されている。照明系ILは、マスクM上の所定の照明領域を均一な照度分布の露光光ELで照明するものである。照明系ILから射出される露光光ELとしては、例えば水銀ランプから射出される輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)や、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)及びF2レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)などが用いられる。本実施形態においてはArFエキシマレーザ光が用いられる。
マスクステージ3は、リニアモータ等のアクチュエータを含むマスクステージ駆動装置3Dの駆動により、マスクMを保持した状態で、マスクステージ定盤3B上で、X軸、Y軸、及びθZ方向に移動可能である。マスクステージ3は、エアベアリング3Aによりマスクステージ定盤3Bの上面(ガイド面)に対して非接触支持されている。マスクステージ定盤3Bは、メインフレーム2の内側に向かって突出する上側支持部2Aに防振装置3Sを介して支持されている。マスクステージ3(ひいてはマスクM)の位置情報はレーザ干渉計3Lによって計測される。レーザ干渉計3Lは、マスクステージ3上に設けられた移動鏡3Kを用いてマスクステージ3の位置情報を計測する。制御装置7は、レーザ干渉計3Lの計測結果に基づいてマスクステージ駆動装置3Dを駆動し、マスクステージ3に保持されているマスクMの位置制御を行う。
投影光学系PLは、マスクMのパターン像を所定の投影倍率で基板Pに投影するものであって、複数の光学素子を有している。本実施形態の投影光学系PLは、その投影倍率が例えば1/4、1/5、1/8等の縮小系である。なお、投影光学系PLは等倍系及び拡大系のいずれでもよい。また、投影光学系PLは、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系のいずれであってもよい。また、投影光学系PLは、倒立像と正立像とのいずれを形成してもよい。
投影光学系PLの複数の光学素子は鏡筒5で保持されている。鏡筒5はフランジ5Fを有しており、投影光学系PLはフランジ5Fを介してメインコラム5Bに支持されている。メインコラム5Bは、メインフレーム2の内側に向かって突出する下側支持部2Bに防振装置5Sを介して支持されている。
そして、本実施形態においては、温調システム30は、防振装置5Sによって支持されたメインコラム5Bに取り付けられている。温調システム30は、メインコラム5Bに取り付けられ、このメインコラム5Bの温度を調整する。
基板ステージ4は、基板Pを保持する基板ホルダ4Hを有しており、リニアモータ等のアクチュエータを含む基板ステージ駆動装置4Dの駆動により、基板ホルダ4Hに基板Pを保持した状態で、基板ステージ定盤4B上で、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZ方向の6自由度の方向に移動可能である。基板ステージ4は、エアベアリング4Aにより基板ステージ定盤4Bの上面(ガイド面)に対して非接触支持されている。基板ステージ定盤4Bは、ベースBPに防振装置4Sを介して支持されている。基板ステージ4(ひいては基板P)の位置情報はレーザ干渉計4Lによって計測される。レーザ干渉計4Lは、基板ステージ4に設けられた移動鏡4Kを用いて基板ステージ4のX軸、Y軸、及びθZ方向に関する位置情報を計測する。また、基板ステージ4に保持されている基板Pの表面の面位置情報(Z軸、θX、及びθY方向に関する位置情報)は、不図示のフォーカス・レベリング検出系によって検出される。制御装置7は、レーザ干渉計4Lの計測結果及びフォーカス・レベリング検出系の検出結果に基づいて基板ステージ駆動装置4Dを駆動し、基板ステージ4に保持されている基板Pの位置制御を行う。なお、基板ホルダ4Hは、基板ステージ4上に設けられた凹部4Rに配置されており、基板ステージ4のうち凹部4R以外の上面4Fは、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの表面とほぼ同じ高さ(面一)になるような平坦面となっている。なお、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの表面と基板ステージ4の上面4Fとの間に段差があってもよい。
本実施形態の露光装置EXは、露光波長を実質的に短くして解像度を向上するとともに焦点深度を実質的に広くするために液浸法を適用した液浸露光装置であって、投影光学系PLの複数の光学素子のうち、投影光学系PLの像面に最も近い最終光学素子FLと基板Pとの間の露光光ELの光路Kを液体LQで満たす液浸システム1を備えている。露光装置EXは、少なくともマスクMのパターン像を基板Pに投影している間、液浸システム1を用いて、露光光ELの光路Kを液体LQで満たす。露光装置EXは、投影光学系PLと露光光ELの光路Kに満たされた液体LQとを介してマスクMを通過した露光光ELを基板P上に照射することによって、マスクMのパターン像を基板P上に投影して、基板Pを露光する。本実施形態においては、液体LQとして、水(純水)を用いる。
液浸システム1は、露光光ELの光路Kの近傍に設けられ、その光路Kに対して液体LQを供給するための供給口12と液体LQを回収するための回収口22とを有するノズル部材70を備えている。本実施形態においては、ノズル部材70は、露光光ELの光路Kを囲むように環状に設けられており、供給口12は、ノズル部材70のうち、露光光ELの光路Kを向く内側面に設けられ、回収口22は、ノズル部材70のうち、基板Pの表面と対向する下面に設けられている。また、回収口22には多孔部材(メッシュ)が配置される。ノズル部材70は、支持装置60に支持されている。支持装置60は、メインフレーム2の下側支持部2Bに接続されている。ノズル部材70は、支持装置60を介してメインフレーム2の下側支持部2Bに支持されている。
液浸システム1の動作は制御装置7に制御される。制御装置7は、液浸システム1を制御して、供給口12を用いた液体供給動作と回収口22を用いた液体回収動作とを並行して行うことで、投影光学系PLの最終光学素子FLと、その最終光学素子FLと対向する位置に配置された基板Pとの間の露光光ELの光路Kを液体LQで満たすように、基板P上に液浸領域LRを形成する。本実施形態においては、露光装置EXは、最終光学素子FLと基板Pとの間の露光光ELの光路Kに満たされた液体LQが、投影光学系PLの投影領域ARを含む基板P上の一部の領域に、投影領域ARよりも大きく且つ基板Pよりも小さい液体LQの液浸領域LRを局所的に形成する局所液浸方式を採用している。なお、液浸領域LRは、基板P上のみならず、投影光学系PLの像面側において、最終光学素子FLの下面と対向する位置(直下の位置)に配置された物体上、例えば基板ステージ4の少なくとも一方にも形成可能である。
本実施形態の露光装置EXは、マスクMと基板Pとを走査方向に同期移動しつつマスクMに形成されたパターンを基板Pに露光する走査型露光装置(所謂スキャニングステッパ)である。基板Pを露光するときには、制御装置7は、最終光学素子FLと基板Pとの間の露光光ELの光路Kを液体LQで満たすように基板P上に液浸領域LRを形成した状態で、マスクMと基板Pとを所定の走査方向(例えばY軸方向)に同期移動しつつ、マスクMのパターン像を投影光学系PL及び液体LQを介して基板P上に投影する。
次に、図2を参照しながら温調システム30及び電力供給装置40について説明する。図2(A)は温調システム30が設けられたメインコラム5Bの側面図、図2(B)は平面図である。図2に示すように、温調システム30は、電力を受給する受給器31と、受給器31で受給した電力によって駆動する複数の温調器32とを備えている。本実施形態においては、受給器31は、メインコラム5Bの所定位置に設けられている。本実施形態においては、受給器31は、メインコラム5Bの側面に1つ設けられている。温調器32は、メインコラム5B上の複数の所定位置のそれぞれに取り付けられており、メインコラム5Bの温度を調整する。図2(B)に示すように、本実施形態においては、複数の温調器32は、メインコラム5Bの上面に一様に配置されている。また、受給器31と温調器32のそれぞれとは導電性のケーブル33で接続されており、受給器31で受給された電力は、ケーブル33を介して複数の温調器32のそれぞれに送られる。
電力供給装置40は、受給器31に電力を供給するものであり、支持機構42を介して、メインフレーム2の下側支持部2Bに固定されている。本実施形態の電力供給装置40は、例えば特開平6−6993号公報に開示されているような、受給器31とは非接触状態で、この受給器31に電力を供給する供給器41を備えている。本実施形態においては、温調器32は、供給器41を有する電力供給装置40に対して複数設けられており、電力供給装置40の供給器41より受給器31に対して供給された電力は、ケーブル33を介して複数の温調器32のそれぞれに分配される。
また、温調器32のそれぞれの近傍には、温度を検出する温度センサ34が設けられている。温度センサ34は、メインコラム5Bの温度を検出するものであって、温調器32は、温度センサ34の検出結果に基づいて、メインコラム5Bの温度を調整する。
図3は温調システム30及び電力供給装置40の一例を示すブロック図である。図3において、供給器41は、受給器31とは非接触状態で、受給器31に電力を供給する。なお、図3の一点鎖線は、非接触又は分離状態であることを示している。供給器41には、第1制御器48が接続され、第1制御器48には制御装置7が接続されている。また、第1制御器48には、電源からの電力が供給される。
第1制御器48は、電源(例えば商用電源200V又は100V)を、パワートランジスタースイッチなどで高周波励磁させる。高周波励磁された電圧は、供給器41の電磁誘導コイルに送られる。供給器41の電磁誘導コイルとしては、E型コア又はポットコアが適用できる。また、受給器31も電磁誘導コイルを備えており、受給器31の電磁誘導コイルとしては、供給器41の電磁誘導コイルに対応して、E型コア又はポットコアが適用できる。受給器31の電磁誘導コイルからの高周波は、第2制御器38の整流回路で整流され、パワースイッチ等を経て、温調器32に駆動電力として供給される。
図4は温度器32を示す図である。本実施形態においては、温調器32はペルチェ素子を含み、メインコラム5Bを冷却可能である。温調器32の近傍には温度センサ34が設けられており、温調器32は温度センサ34の検出結果に基づいて、メインコラム5Bの温度を調整する。
ペルチェ素子を含む温調器32は、第1金属板32Aと第2金属板32Bとの接合部に電流を流すことによって、第1金属板32A及び第2金属板32Bの一方から他方へ熱を移動させる。本実施形態では、第1金属板32Aが吸熱側、第2金属板32Bが放熱側となっており、吸熱側である第1金属板32Aがメインコラム5Bに接続されている。したがって、温調器32に所定の電力(電流)を供給ことにより、メインコラム5Bが冷却される。
図4に示す例では、温度センサ34の検出結果に基づいて、温調器32にケーブル33を介して供給される電力(電流)の値を調整可能な制御器34Sが設けられており、温調器32、温度センサ34、及び制御器34Sが一体となってモジュール化されている。すなわち、これら温調器32、温度センサ34、及び制御器34Sを含む温調モジュール39に電力を供給することで、目標温度に応じて、温調モジュール39がメインコラム5Bの温度調整を行うことができる。
本実施形態の温調システム30は、温調モジュール39の制御器34Sを用いて、温調器32の動作を制御する。電力供給装置40は、供給器41より、受給器31に対して温調器32を駆動するための電力を供給する。制御器34Sには目標温度が予め記憶されており、制御器34Sは、温度センサ34の検出結果に基づいて、メインコラム5Bの温度が目標温度となるように、温調器32に送る電力(電流)を調整する。このように、温調器32、温度センサ34、及び制御器34Sをモジュール化することで、温調システム30は、電力供給装置40の供給器41から受給器31に供給された電力を用いて、メインコラム5Bの温度を調整することができる。
メインコラム5Bを温調システム30を用いて温度調整することで、メインコラム5Bの熱変形を抑えることができる。また、メインコラム5Bの温度を調整することで、メインコラム5Bの温度変化に起因して、露光光ELの光路や各種計測光の光路の温度変化が生じるといったことを抑えることができる。
また、複数の温調器32に付随して設けられた制御器34Sのそれぞれは、個別に目標温度を設定することができる。例えば、複数の温調器32に付随して設けられた制御器34Sのそれぞれの目標温度を異ならせることもできる。例えば、メインコラム5Bに温度分布が発生している場合には、高熱領域(例えば投影光学系PLの近傍の領域)に設けられている温調器32の目標温度を、他の温調器32の目標温度よりも僅かに低くしておくことにより、結果的には、メインコラム5Bの温度を均一化できる。また、必要に応じて、メインコラム5Bに温度分布を持たせることもできる。
以上説明したように、温調システム30に対して、電力供給装置40から非接触で電力を供給するようにしたので、ケーブル類の使用を低減することができ、ケーブル類の動きに起因するメインコラム5Bの振動の発生を抑えることができる。所定部材(ここでは下側支持部2B)に固定されている電力供給装置40と、防振装置によって支持されている部材(ここではメインコラム5B)上の温調システム30とをケーブル類を介して接続した場合、ケーブル類の動きによってメインコラム5Bに振動が発生する可能性がある。メインコラム5Bは、露光光ELが通過又は照射される光学素子を有する投影光学系PLを支持しており、メインコラム5Bが振動することによって投影光学系PLが振動すると、露光精度が劣化する可能性がある。本実施形態では、防振装置5Sによって支持されているメインコラム5Bの温度を調整するための温調システム30に、非接触で電力を供給するので、メインコラム5Bの振動の発生を抑えることができる。また、ケーブル類の使用を低減し、振動の発生を抑えることで、メインコラム5Bに対する防振装置5Sのアクティブ防振(制振)制御を円滑に行うことができる。
また、ケーブル類を使用する場合、そのケーブル類の耐久性が低いと、頻繁にメンテナンスを行う必要が生じる等、作業効率が低下する可能性があるが、本実施形態においては、ケーブル類の使用が低減されているので、作業効率の低下を抑制することができる。また、ケーブル類の使用を減らすことにより、省スペース化を図ることができる。
また、本実施形態においては、温調器32は、メインコラム5Bの複数の所定位置のそれぞれに設けられているので、そらら各温調器32を制御することで、メインコラム5Bの温度を良好に均一化したり、あるいは所望の温度分布に調整することができる。
<第2実施形態>
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の第1実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の第1実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図5(A)は温調システム30が設けられたメインコラム5Bの側面図、図5(B)は平面図である。上述の第1実施形態同様、本実施形態においても、温調システム30は、電力を受給する受給器31と、受給器31で受給した電力によって駆動する複数の温調器32とを備えている。受給器31は、メインコラム5Bの所定位置(側面)に1つ設けられている。温調器32は、メインコラム5B上の複数の所定位置のそれぞれに取り付けられており、メインコラム5Bの温度を調整する。複数の温調器32は、メインコラム5Bの上面に一様に配置されている。また、受給器31と温調器32のそれぞれとは導電性のケーブル33で接続されており、受給器31で受給された電力は、ケーブル33を介して複数の温調器32のそれぞれに送られる。
電力供給装置40は、支持機構42を介して、メインフレーム2の下側支持部2Bに固定されている。電力供給装置40は、受給器31とは非接触状態で、この受給器31に電力を供給する供給器41を備えている。電力供給装置40の供給器41より受給器31に対して供給された電力は、ケーブル33を介して複数の温調器32のそれぞれに分配される。
温調器32のそれぞれの近傍には、温度を検出する温度センサ34が設けられている。また、本実施形態においては、温度センサ34の検出信号は、ケーブル35を介して第1送信器36に送られる。第1送信器36は、受給器31の近傍に設けられており、温度センサ34の検出信号を、供給器41の近傍に設けられた第1受信器46に送信可能である。第1受信器46は、第1送信器36とは非接触状態で、第1送信器36からの温度センサ34の検出信号を受信する。
図6は第2実施形態に係る温調システム30及び電力供給装置40の一例を示すブロック図である。図6において、供給器41は、受給器31とは非接触状態で、受給器31に電力を供給する。なお、図6の一点鎖線は、非接触又は分離状態であることを示している。供給器41には、第1制御器48が接続され、第1制御器48には制御装置7が接続されている。また、第1制御器48には、電源からの電力が供給される。
電力供給装置40の第1制御器48には、第1受信器46が接続されている。第1受信器46は、第1送信器36からの温度センサ34の検出信号を、第1送信器36とは非接触状態で受信する。第1受信器46は、第1送信器36と対向する位置に設けられており、第1送信器36から受信した信号(すなわち温度センサ34の検出信号)を、制御装置7に出力する。ここで、温度センサ34の検出信号34は、温調システム30に設けられた第2制御器38に出力され、その第2制御器38を介して、第1送信器36に送られる。
また、制御装置7は、第1受信器46で受信した温度センサ34の検出信号に基づいて、温調器32に制御信号を送信することができる。制御装置7は、制御信号を第1制御器48を介して第2送信器47に送信する。第2送信器47は、温調器32を制御するための制御信号を、温調システム30に設けられた第2受信器37に送信可能である。第2受信器37は、第2送信器47と対向する位置に設けられており、第2送信器47とは非接触状態で、第2送信器47からの制御信号を受信する。第2受信器37は、第2送信器47から出力された制御信号を、第2制御器38に出力し、第2制御器38は、制御信号を温調器32に送ることができる。
第1送信器36及び第1受信器46は、赤外線等を用いたフォトカプラー又は微弱電波を使用した電波送受信器を含む。赤外線等を用いたフォトカプラー又は微弱電波を使用した電波送受信器は、非接触状態で、信号を送受信することができる。又、第1送信器36及び第1受信器46は、二種類以上の周波数を用いたり、周波数変調を与えることができ、信号を重畳して送受信することも可能である。第2送信器37及び第2受信器47も、第1送信器36及び第1受信器46とほぼ同等であり、非接触状態で、信号を送受信することができる。
図7は温度器32を示す図である。温調器32はペルチェ素子を含んでおり、メインコラム5Bを冷却可能である。温調器32の近傍には温度センサ34が設けられており、温調器32は温度センサ34の検出結果に基づいて、メインコラム5Bの温度を調整する。
図7に示す例では、温度センサ34の検出結果に基づいて、温調器32にケーブル33を介して供給される電力(電流)の値を調整可能な制御器34Sが設けられており、温調器32、温度センサ34、及び制御器34Sが一体となってモジュール化されている。
本実施形態においては、温度センサ34の検出結果が、第1送信器36及び第1受信器46を介して制御装置7に出力される。制御装置7は、目標温度となるように、第1受信器46で受信した温度センサ34の検出信号に基づいて、温調器32に制御信号を送信する。本実施形態においては、制御装置7は、制御信号を温調器32の制御器34Sに送信する。例えば、制御装置7は、温度センサ34の検出結果に基づいて、目標温度となるように、制御器34Sを用いて、温調器32に供給される電力の量を調整する。あるいは、制御装置7は、温度センサ34の検出結果に基づいて、目標温度となるように、供給器41から受給器31を介して温調器32に供給する電力の量を調整する。
また、制御装置7(又は温調システム30の第2制御器38)は、複数の温調器32に付随して設けられた温度センサ34のそれぞれの検出結果に応じて、各温調器32のそれぞれに供給される電力の量を調整することができる。こうすることにより、例えばメインコラム5Bの温度を均一化できたり、あるいは所望の温度分布を持たせることができる。
また、制御装置7は、複数の温調器32に付随して設けられた制御器34Sに、目標設定温度を送信することができる。これにより、制御器34Sにおいては、目標温度が更新される。また、複数の温調器32に付随して設けられた制御器34Sのそれぞれの目標温度を異ならせることもできる。こうすることにより、例えば、メインコラム5Bに温度分布を持たせることができる。また、メインコラム5Bに温度分布が発生している場合には、高熱領域(例えば投影光学系PLの近傍の領域)に設けられている温調器32の目標温度を、他の温調器32の目標温度よりも僅かに低くするといった制御を行うこともできる。
以上説明したように、制御信号及び検出信号を非接触で送受信するようにしたので、ケーブル類の使用を低減することができ、ケーブル類の動きに起因するメインコラム5Bの振動の発生を抑えることができる。
なお、第2実施形態において、温調器32(温調システム30)に電力を蓄えることができるバッテリを搭載し、基板Pを露光するときなどにおいては、供給器41からの電力供給を行うことなく、バッテリの電力で温調器32を駆動するようにしてもよい。そして、非接触状態で制御信号及び検出信号の送受信を行い、目標温度となるように、温調器32の動作を制御してもよい。バッテリに電力を蓄える場合には、非接触で充電してもよいし、電源とバッテリとを接触させてもよい。基板Pの露光処理時及び所定の計測処理時以外のタイミングで充電作業を行えば、露光処理及び計測処理に与える影響を低減できる。
なお、第2実施形態において、第1送信器36と第1受信器46との間の信号の送受信、及び第2送信器47と第2受信器37との間の信号の送受信と、受給器31及び供給器41との間の電力の供給及び受給とを、重畳的に行うことも可能である。また、通信器と受信器とに電力供給及び受給可能な機能を持たせ、送信器と受信器との間で、非接触状態で、電力の供給及び受給動作と、信号の送信及び受信動作とを、重畳的に行うようにしてもよい。
なお、上述の第1、第2実施形態においては、温度を検出する温度センサ34の検出結果に基づいて、温調器32の動作が制御されるが、必ずしも温度センサ34は必要ではない。例えば、予め温調器32に供給する電力(電流)の量と、そのときの温調器32の温度(例えば第1金属板32Aの温度)との関係が予め求められている場合には、制御装置7は、その関係に基づいて、温調器32(第1金属板32A)が所望の温度となるように、供給する電力(電流)の量を調整するようにしてもよい。
<第3実施形態>
次に、第3実施形態について説明する。上述のように、温調器32は、第2金属板32Bが放熱側であり、周囲の温度変化をもたらす可能性がある。そこで、図8に示すように、メインコラム5Bに取り付けられた温調器32又はその近傍に気体を供給する気体供給装置50を設けることができる。これにより、供給した気体によって、温度上昇した第2金属板32Bを冷却することができ、温調器32の周囲の温度上昇した気体を、気体供給装置50より供給した気体(風)によって排除することができる。
次に、第3実施形態について説明する。上述のように、温調器32は、第2金属板32Bが放熱側であり、周囲の温度変化をもたらす可能性がある。そこで、図8に示すように、メインコラム5Bに取り付けられた温調器32又はその近傍に気体を供給する気体供給装置50を設けることができる。これにより、供給した気体によって、温度上昇した第2金属板32Bを冷却することができ、温調器32の周囲の温度上昇した気体を、気体供給装置50より供給した気体(風)によって排除することができる。
<第4実施形態>
また、図9に示すように、メインコラム5Bに取り付けられた温調器32を覆うようにカバー部材60を設けることができる。これにより、温調器32から発生した熱が、温調器32の周囲の環境に与える影響を抑えることができる。
また、図9に示すように、メインコラム5Bに取り付けられた温調器32を覆うようにカバー部材60を設けることができる。これにより、温調器32から発生した熱が、温調器32の周囲の環境に与える影響を抑えることができる。
<第5実施形態>
更に、図10に示すように、気体供給装置50が温調器32とカバー部材60との間に気体を供給するようにしてもよい。これにより、より一層、周囲への熱の影響を抑えることができる。
更に、図10に示すように、気体供給装置50が温調器32とカバー部材60との間に気体を供給するようにしてもよい。これにより、より一層、周囲への熱の影響を抑えることができる。
なお、上述の各実施形態においては、供給器41及び受給器31は1組であるが、複数の温調器32に応じた数の組の供給器41及び受給器31を設けてもよい。
なお、上述の各実施形態においては、温調システム30の温調器32は、メインコラム5Bの上面に取り付けられているが、もちろん、下面や側面に取り付けることもできる。
また、上述の各実施形態においては、温調システム30の温調器32は、露光光ELが通過又は照射される光学素子を保持する鏡筒5を支持するメインコラム5Bに取り付けられるが、鏡筒5に温調器32を取り付けることもできる。
なお、上述の各実施形態では、メインコラム5Bに取り付けられた温調システム30に非接触で電力を供給しているが、例えば、防振装置3Sに支持されているマスクステージ定盤3Bに温調システム30を取り付ける場合には、その温調システム30に非接触で電力を供給することができるし、その温調システム30との間で非接触で通信することができる。同様に、防振装置4Sに支持されている基板ステージ定盤4Bに温調システム30を取り付け、その温調システム30に非接触で電力を供給することができるし、その温調システム30との間で非接触で通信することができる。
また、露光光ELが通過又は照射される光学部材を含む照明系ILを保持するハウジングに温調器32を設けてもよいし、露光光ELが通過又は照射されるマスクMを保持するマスクステージ3、あるいは露光光ELが照射される基板Pを保持する基板ステージ4に温調器32を設けてもよい。特に、マスクステージ駆動装置3Dによって移動するマスクステージ3や、基板ステージ駆動装置4Dによって移動する基板ステージ4に温調システム30を取り付けた場合、非接触で電力を供給したり、あるいは信号の送受信を行うことで、ステージの動きの妨げを抑えつつ、温度調整することができる。
もちろん、メインフレーム2の所定位置や、支持フレーム2Fの所定位置に温調システム30を設けてもよい。
なお、上述の各実施形態においては、温調システム30として、所定部材を冷却する場合を例にして説明したが、もちろん、所定部材を暖める温調システム30であってもよい。
なお、上述の各実施形態においては、温調システム30がペルチェ素子を含み、そのペルチェ素子と温度調整対象である部材とを接触させることで、その部材の温度調整を行っているが、温調システム30としては、例えば、露光装置EXが置かれている温度(環境)を調整するための空調系であってもよく、その空調系との間で、非接触状態で、電力の供給及び受給を行ったり、信号の送信及び受信を行うようにしてもよい。また、温調システム30としては、例えばステージ駆動装置に含まれているリニアモータ等のアクチュエータを温度調整するために、冷媒を供給する冷媒供給系であってもよい。そして、その冷媒供給系との間で、非接触状態で、電力の供給及び受給を行ったり、信号の送信及び受信を行うようにしてもよい。
なお、上述の実施形態において、光路Kを満たす液体LQは水であるが、水以外の液体であってもよい、例えば、露光光ELの光源がF2レーザである場合、このF2レーザ光は水を透過しないので、液体LQとしてはF2レーザ光を透過可能な例えば、過フッ化ポリエーテル(PFPE)やフッ素系オイル等のフッ素系流体であってもよい。また、液体LQとしては、その他にも、露光光ELに対する透過性があってできるだけ屈折率が高く、投影光学系PLや基板P表面に塗布されているフォトレジストに対して安定なもの(例えばセダー油)を用いることも可能である。また、液体LQとしては、屈折率が1.6〜1.8程度のものを使用してもよい。
また、上述の実施形態の投影光学系は、先端の光学素子の像面側の光路を液体で満たしているが、国際公開第2004/019128号パンフレットに開示されているように、先端の光学素子の物体面側の光路も液体で満たす投影光学系を採用することもできる。
なお、上記各実施形態の基板Pとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等が適用される。
露光装置EXとしては、マスクMと基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(スキャニングステッパ)の他に、マスクMと基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを一括露光し、基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパ)にも適用することができる。
また、露光装置EXとしては、第1パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第1パターンの縮小像を投影光学系(例えば1/8縮小倍率で反射素子を含まない屈折型投影光学系)を用いて基板P上に一括露光する方式の露光装置にも適用できる。この場合、更にその後に、第2パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第2パターンの縮小像をその投影光学系を用いて、第1パターンと部分的に重ねて基板P上に一括露光するスティッチ方式の一括露光装置にも適用できる。また、スティッチ方式の露光装置としては、基板P上で少なくとも2つのパターンを部分的に重ねて転写し、基板Pを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。
また、本発明は、特開平10−163099号公報、特開平10−214783号公報、特表2000−505958号公報などに開示されているような複数の基板ステージを備えたツインステージ型の露光装置にも適用できる。
更に、特開平11−135400号公報や特開2000−164504号公報に開示されているように、基板を保持する基板ステージと基準マークが形成された基準部材や各種の光電センサを搭載した計測ステージとを備えた露光装置にも本発明を適用することができる。
また、上述の実施形態においては、投影光学系PLと基板Pとの間に局所的に液体を満たす露光装置を採用しているが、本発明は、特開平6−124873号公報、特開平10−303114号公報、米国特許第5,825,043号などに開示されているような露光対象の基板の表面全体が液体中に浸かっている状態で露光を行う液浸露光装置にも適用可能である。
また、上述の実施形態においては、光路Kを液体LQで満たす液浸型の露光装置を例にして説明したが、光路Kを液体LQで満たさずに気体で満たす通常のドライ型露光装置であってもよい。
露光装置EXの種類としては、基板Pに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
なお、上述の実施形態においては、光透過性の基板上に所定の遮光パターン(又は位相パターン・減光パターン)を形成した光透過型マスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第6,778,257号公報に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターン又は反射パターン、あるいは発光パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。
また、国際公開第2001/035168号パンフレットに開示されているように、干渉縞を基板P上に形成することによって、基板P上にライン・アンド・スペースパターンを露光する露光装置(リソグラフィシステム)にも本発明を適用することができる。
以上のように、本願実施形態の露光装置EXは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図11に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態の露光装置EXによりマスクのパターンを基板に露光する露光処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
1…液浸システム、3…マスクステージ、3D…マスクステージ駆動装置、4…基板ステージ、4D…基板ステージ駆動装置、5…鏡筒、5B…メインコラム、5S…防振装置、7…制御装置、30…温調システム、31…受給器、32…温調器、34…温度センサ、36…第1送信器、37…第2受信器、40…電力供給装置、41…供給器、46…第1受信器、47…第2送信器、50…気体供給装置、60…カバー部材、EL…露光光、EX…露光装置、FL…最終光学素子、M…マスク、P…基板、PL…投影光学系
Claims (19)
- 基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
電力を受給する受給器を有し、前記受給した電力によって駆動する温度調整装置と、
前記受給器とは非接触状態で前記受給器に電力を供給する供給器とを備えた露光装置。 - 前記温度調整装置は、前記供給器を有する電力供給装置に対して複数設けられ、
前記電力供給装置は、前記複数の温度調整装置のそれぞれに電力を分配する請求項1記載の露光装置。 - 温度を検出する温度検出装置を有し、
前記温度調整装置は、前記温度検出装置の検出結果に基づいて温度を調整する請求項1又は2記載の露光装置。 - 前記温度検出装置の検出信号を送信する第1送信器と、
前記第1送信器とは非接触状態で前記第1送信器からの検出信号を受信する第1受信器と、
前記第1受信器で受信した検出信号に基づいて、前記温度調整装置に制御信号を送信する制御装置とを備えた請求項3記載の露光装置。 - 基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
温度を検出する温度検出装置と、
前記温度検出装置の検出結果に基づいて温度を調整する温度調整装置と、
前記温度検出装置の検出信号を送信する第1送信器と、
前記第1送信器とは非接触状態で前記第1送信器からの検出信号を受信する第1受信器と、
前記第1受信器で受信した検出信号に基づいて、前記温度調整装置に制御信号を送信する制御装置とを備えた露光装置。 - 前記温度検出装置は前記温度調整装置近傍に設けられている請求項3〜5のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記温度調整装置を制御するための制御信号を送信する第2送信器と、
前記温度調整装置に設けられ、前記第2送信器とは非接触状態で前記第2送信器からの制御信号を受信する第2受信器とを備えた請求項3〜6のいずれか一項記載の露光装置。 - 基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
温度を調整する温度調整装置と、
前記温度調整装置を制御するための制御信号を送信する第2送信器と、
前記第2送信器とは非接触状態で前記第2送信器からの制御信号を受信する第2受信器とを備え、
前記温度調整装置は、前記第2受信器で受信した制御信号に応じて動作する露光装置。 - 前記温度調整装置は、当該露光装置の所定部材に取り付けられ、前記所定部材の温度を調整する請求項1〜8のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記温度調整装置は、ペルチェ素子を含む請求項9記載の露光装置。
- 前記温度調整装置は、前記露光光に対して動く部材に取り付けられる請求項9又は10記載の露光装置。
- 前記温度調整装置は、所定の駆動装置によって移動する部材に取り付けられる請求項9〜11のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記温度調整装置は、防振装置によって支持された部材に取り付けられる請求項9〜12のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記温度調整装置は、前記露光光が通過又は照射される物体を支持する第1部材、又は前記第1部材を支持する第2部材に取り付けられる請求項9〜13のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記露光光が通過又は照射される光学部材を備え、
前記物体は、前記光学部材を含む請求項14記載の露光装置。 - 前記所定部材に取り付けられた前記温度調整装置又はその近傍に気体を供給する気体供給装置を備えた請求項9〜15のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記所定部材に取り付けられた前記温度調整装置を覆うように設けられたカバー部材を有する請求項16記載の露光装置。
- 前記気体供給装置は、前記温度調整装置と前記カバー部材との間に気体を供給する請求項17記載の露光装置。
- 請求項1〜請求項18のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
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2005
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