JP7445182B2 - フッ素樹脂フィルム、金属張積層体及び回路用基板 - Google Patents
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Description
前記フッ素樹脂は、テトラフルオロエチレン/パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体(PFA)もしくはテトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)であることが好ましい。
前記フィルムは、面積が1平方メートル以上であることが好ましい。
前記フィルムは、表面粗さRzが1.5μm以下の金属箔と接着した場合の接着強度が0.8N/mm以上であることが好ましい。
前記フィルムは、金属張積層板に用いられることが好ましい。
前記金属張積層体は、更に、金属箔およびフッ素樹脂フィルム以外の層を有し、
当該金属箔およびフッ素樹脂フィルム以外の層は、ポリイミド、液晶ポリマー、ポリフェニレンスルファイド、シクロオレフィンポリマー、ポリスチレン、エポキシ樹脂、ビスマレイミド、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンエーテル、及び、ポリブタジエンからなる群から選択される少なくとも1種であることが好ましい。
前記金属箔は、表面粗さRzが1.5μm以下であることが好ましい。
前記金蔵張積層板は、金属箔と、フッ素樹脂フィルムとの接着強度が0.8N/mm以上であることが好ましい。
本開示は、フッ素樹脂から構成されたフィルムであって、フィルム表面に存在する、フィルムの流れ方向の長さもしくは幅方向の長さが50μm以上の導電性異物の個数が60個/平方メートル未満であるフィルムである。
本明細書において、上記フィルムの流れ方向とは、フィルム製造装置を用いてフィルムを成形加工する際にフィルムが流れていく方向のことを指す。上記幅方向はその流れ方向に対して垂直な方向を意味する。上記フィルムの成形加工は、押出成形等の溶融成形による方法、フッ素樹脂を含有する溶液又は分散液を調製した後、基材上に塗布・乾燥させることによるキャスト法による方法を含む。
更に、フィルム表面に存在する、フィルムの流れ方向の長さもしくは幅方向の長さが50μm以上である、上記導電性異物の個数が60個/平方メートル未満であるフィルムであれば、外観不良、金属箔への張り合わせ不良が抑制でき、また、伝送損失の少ない回路基板を提供できることを見出した。
また、炭化物については、押出成形時のフッ素樹脂の不安定官能基の熱分解により生じるもの等であることが明らかとなった。そこで、フッ素樹脂の不安定官能基の数を減らし、炭化物の発生を抑制するようにした。
本開示は、フッ素樹脂から構成されるフィルムに関するものである。なお、フィルムは、フッ素樹脂以外のその他の樹脂、ゴム、添加剤、フィラーなどを含んでもよい。
さらに、フッ素樹脂は、カルボニル基含有基(たとえば、酸無水物基、炭化水素基の炭素原子間にカルボニル基を有する基、カーボネート基、カルボキシ基、ハロホルミル基、アルコキシカルボニル基、など)、ヒドロキシ基、エポキシ基、アミド基、アミノ基およびイソシアネート基などから選択される少なくとも一種の官能基を含んでも良い。
これら溶融成形可能なフッ素樹脂の中でも、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)が好ましい。
上記PFAは、TFE及びPAVEのみからなる共重合体であってもよいし、TFE及びPAVEと共重合可能な単量体に由来する単量体単位が0.1~10モル%であり、TFE単位及びPAVE単位が合計で90~99.9モル%である共重合体であることも好ましい。TFE及びPAVEと共重合可能な単量体としては、HFP、CZ3Z4=CZ5(CF2)nZ6(式中、Z3、Z4及びZ5は、同一若しくは異なって、水素原子又はフッ素原子を表し、Z6は、水素原子、フッ素原子又は塩素原子を表し、nは2~10の整数を表す。)で表されるビニル単量体、及び、CF2=CF-OCH2-Rf7(式中、Rf7は炭素数1~5のパーフルオロアルキル基を表す。)で表されるアルキルパーフルオロビニルエーテル誘導体等が挙げられる。その他の共重合可能な単量体としては、たとえば、酸無水物基を有する環状炭化水素単量体などであり、酸無水物系単量体としては、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、5-ノルボルネン-2,3-ジカルボン酸無水物、無水マレイン酸などが挙げられる。酸無水物系単量体は、一種を単独で用いてもよく、二種以上を併用してもよい。
このように不安定官能基数を低減したフッ素樹脂を使用すると、フィルム製造過程の押出成形時に、フッ素樹脂の不安定官能基の熱分解による導電性を持つ炭化物の生成が抑制できる。また、静電正接が低下し、電気信号の損失が低下するという点で好ましいものである。
このような範囲とすることにより、フィルム製造時に炭化物が生じにくくなり、よって、フィルム中の導電性異物の数を抑制することができる。
N=I×K/t (A)
I:吸光度
K:補正係数
t:フィルムの厚さ(mm)
なお、本明細書においてMFRは、ASTM D3307に準拠して、上記条件下で測定し得られる値である。
MFRを上記範囲とすることにより、不安定官能基量が350個未満となり、炭化物の生成が抑制され、導電性異物の低減を実現できる。
上記導電性異物の数は、60個/平方メートル未満であることが好ましく、40個/平方メートル未満であることが好ましく、20個/平方メートル未満であることがより好ましく、10個/平方メートル未満であることが更に好ましい。
よって、フィルム中のフィッシュアイの数を減らしても、特定の大きさの導電性異物を減らすことで得られる、伝送損失の少ない回線基板を得るという効果は期待できない。
また、より高周波での信号の伝送やアンテナの送受信が行われることを想定すると、40GHzにおける誘電正接が、0.0015未満であることが好ましく、0.0013未満であることがより好ましく、0.0010未満であることが更に好ましく、0.00050以下が最も好ましい。
誘電正接を上記範囲内のものとするためには、不安定官能基が少ない樹脂を使用することが好ましく、フッ素化処理を行ったフッ素樹脂を使用することがより好ましい。
以下に、上述した本開示のフッ素樹脂フィルムの製造方法の例を詳述する。なお、本開示のフッ素樹脂フィルムは、以下の製造方法によって製造されたものに限定されない。
本開示のフッ素樹脂フィルムは、フィルム状態とする際の成形方法を特に限定するものではないが、例えば、押出成形等の溶融成形による方法、フッ素樹脂を含有する溶液又は分散液を調製した後、基材上に塗布・乾燥させることによるキャスト法による方法等を挙げることができる。さらに、フィルムを一軸延伸又は二軸延伸の方法で延伸したものであってもよいし、未延伸のフィルムであってもよい。
本開示において、フィルターとしては、濾過精度、フィルターライフの点から焼結フィルターが好ましい。焼結フィルターを使用することでメッシュ間の目開きなく、上記フィルムの流れ方向の長さ、もしくは幅方向の長さが50μm程度の比較的小さい炭化物や、金属片等の小さい異物の除去が可能となる。
このようなフィルターには、例えば、ニッケル又はニッケル合金の平畳織金網等を複数枚積層し、焼結して一体化したものや、金属長繊維あるいは金属粉末を焼結し形成する焼結濾材等が挙げられる。
そこで、本開示においては、除塵、清浄化を行ったフィルターを使用することが好適である。フィルターの除塵、清浄化を行うために、洗浄液または純水を貯留した浸漬槽にフィルターを浸漬させて洗浄を行う浸漬洗浄や、金属フィルターに洗浄液または純水を高圧で噴射して洗浄を行うジェット洗浄、あるいは、これら浸漬洗浄とジェット洗浄を組み合わせた洗浄方式を行っても良い。また、フィルターを洗浄液または純水で超音波洗浄してもよい。これらの洗浄工程により、フィルム製造時に脱離してしまうニッケル等を減少させることができる。
表面処理及びアニール処理を行うことにより、180℃×3分間熱処理した後にその片面又は両面の表面状態をESCAによって測定した際の酸素元素比率が1.35atomic%以上であり、180℃×10分間の熱処理後に25℃まで冷却し測定した際、熱処理前後のMDおよびTDの寸法変化率の絶対値が2.0%以下である、フッ素樹脂フィルムを得ることができるので好ましい。
フッ素樹脂フィルムの表面改質は、従来行なわれているコロナ放電処理やグロー放電処理、プラズマ放電処理、スパッタリング処理などによる放電処理が採用できる。例えば、放電雰囲気中に酸素ガス、窒素ガス、水素ガスなどを導入することで表面自由エネルギーをコントロールできる他、有機化合物を含む不活性ガスである有機化合物含有不活性ガスの雰囲気に改質すべき表面を曝し、電極間に高周波電圧をかけることにより放電を起こさせ、これにより表面に活性種を生成し、ついで有機化合物の官能基を導入もしくは重合性有機化合物をグラフト重合することによって表面改質を行うことができる。上記不活性ガスとしては、たとえば窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガスなどが挙げられる。
アニール処理は、熱処理によって行うことができる。当該熱処理は、例えば、ロールtoロールの方式で加熱炉の中を通すことによって行うことができる。
上記その他の基材としては、金属箔、フッ素樹脂以外の樹脂フィルム等が挙げられる。
上記金属箔は、Rz1.5μm以下であることが好ましい。すなわち、本開示のフッ素樹脂フィルムは、Rz1.5μm以下という平滑性の高い金属箔への接着性も優れたものである。更に、金属箔は、少なくとも上述したフッ素樹脂フィルムと接着する面が1.5μm以下であればよく、他方の面は、Rz値を特に限定するものではない。
金属箔のRzはキーエンス社製 カラー3Dレーザ顕微鏡VK-9700を用いて、200μm2の範囲の最大高さRzを測定した値である。
上記銅箔は特に限定されるものではなく、具体的には例えば、圧延銅箔、電解銅箔等が挙げられる。
なお、粗化処理が本開示において要求される性能を低下させるおそれがある場合は、必要に応じて金属箔表面に電着させる粗化粒子を少なくしたり、粗化処理を行わない態様としたりすることもできる。
ガラスクロスとしては市販のものが使用でき、フッ素樹脂との親和性を高めるためにシランカップリング剤処理を施されたものが好ましい。ガラスクロスの材質としてはEガラス、Cガラス、Aガラス、Sガラス、Dガラス、NEガラス、低誘電率ガラスなどが挙げられるが、入手が容易である点からEガラス、Sガラス、NEガラスが好ましい。繊維の織り方としては平織でも綾織でも構わない。ガラスクロスの厚さは通常5~90μmであり、好ましくは10~75μmであるが、使用するフッ素樹脂フィルムよりは薄いものを用いることが好ましい。
上記ガラス繊維からなる布帛層は、樹脂を含浸させたプリプレグの状態であってもよい。
更に、ガラス繊維からなる布帛にフッ素樹脂組成物を含浸させてプリプレグを作成したものであってもよい。このようにして得られたプリプレグに対して、更に、本開示のフッ素樹フィルムを積層したものであってもよい。この場合、プリプレグを作成する際に使用するフッ素樹脂組成物としては特に限定されるものではなく、本開示のフッ素樹脂フィルムを使用することもできる。
耐熱性樹脂フィルムおよび熱硬化性樹脂フィルムは強化繊維を含んでいても良い。強化繊維としては特に限定されないが、例えばガラスクロス、とくに低誘電タイプのものが好ましい。
(i)金属箔、基材層、あらかじめ成形されたフッ素樹脂フィルムを用いて、ロールtoロールプロセスやプレス機を用いて加熱下で圧力を加えて積層する方法。
(ii)フッ素樹脂フィルムを金属箔の片面に接着した積層体を製造し、これを基材層と加熱下で圧力を加えて積層する方法。
上記(i)の方法にて、金属箔、基材層、フッ素樹脂フィルムを積層する際、各々の層の密着性向上のために、金属箔、基材層、フッ素樹脂フィルムの少なくても一つの層の一表面以上に表面処理を行い、その他の層と接着してもよい。
更に、密着性を向上させるため、金属箔、基材層、もしくはフッ素樹脂フィルムの表面処理面の上に、更に、カップリング剤の処理等を施してもよい。
もしくは、事前の表面処理有無に関わらず、接着層をそれらの層の間に設けるようにしてもよい。
なお、金属箔の表面には、防錆層(例えば、クロメート等の酸化皮膜)や耐熱層が形成されていてもよい。
更に、密着性を向上させるため、金属箔、フッ素樹脂フィルムの表面処理面の上に、更に、カップリング剤の処理等を施してもよい。
もしくは、事前の表面処理の有無に関わらず、接着層をそれらの層の間に設けるようにしてもよい。
また、フッ素樹脂フィルムを金属箔の片面に接着した積層体を積層させる前、もしくは積層させた後に、フッ素樹脂フィルムに対して、基材層を積層させる面に表面処理を行い、フッ素樹脂フィルムと基材層との密着性を向上させるようにしてもよい。
また、同様な効果を得るために基材層に関して、表面処理を施しても構わない。
更に、密着性を向上させるため、フッ素樹脂フィルム、基材層の表面処理面の上に、更に、カップリング剤の処理等を施してもよい。
もしくは、事前の表面処理の有無に関わらず、接着層をそれらの層の間に設けるようにしてもよい。
なお、金属箔の表面には、防錆層(例えば、クロメート等の酸化皮膜)や耐熱層が形成されていてもよい。
上述した積層順として、具体的には、基材層/フッ素樹脂フィルム/金属箔層で構成されるもの、金属箔層/フッ素樹脂フィルム/基材層/フッ素樹脂フィルム/金属箔層、金属箔層/基材層/フッ素樹脂フィルム/基材層/金属箔層で構成されるもの等を挙げることができる。
また、必要に応じて、その他の層を有するものとすることもできる。
PFA1:TFE/PPVE共重合体、組成(モル比):TFE/PPVE=98.6/1.4、MFR15.2g/10分、融点309.5℃、ガラス転移温度93℃、製膜、表面処理後の不安定官能基数:フッ素樹脂の主鎖炭素数1×106個あたり324個
PFA2:TFE/PPVE共重合体、組成(モル比):TFE/PPVE=97.7/2.3、MFR14.6g/10分、融点300.9℃、ガラス転移温度93℃、製膜、表面処理後の不安定官能基数:フッ素樹脂の主鎖炭素数1×106個あたり192個
PFA3:フッ素化TFE/PPVE共重合体、組成(モル比):TFE/PPVE=97.7/2.3、MFR15.0g/10分、融点300.9℃、ガラス転移温度93℃、製膜、表面処理後の不安定官能基数:フッ素樹脂の主鎖炭素数1×106個あたり8個
PFA4:TFE/PPVE共重合体、組成(モル比):TFE/PPVE=97.2/2.8、MFR64g/10分、融点284℃、ガラス転移温度90℃、製膜、表面処理後の不安定官能基数:フッ素樹脂の主鎖炭素数1×106個あたり507個
19F-NMR分析により測定した。
DSC装置を用い、10℃/分の速度で昇温して測定したときの融解ピークから算出。
固体動的粘弾性装置(DMA)を用い、周波数10Hz、歪み0.1%、5℃/分の速度で昇温して測定したときのtanδピークから算出。
ASTM D3307に準拠して、温度372℃、荷重5.0kgの条件下で測定した。
マイクロメーターを用いて測定した。
FT-IR Spectrometer 1760X(Perkin-Elmer社製)を用いて分析を行った。
走査型X線光電子分光分析装置(XPS/ESCA)PHI5000VersaProbeII(アルバック・ファイ株式会社製)を用いて測定した。
電解銅箔CF-T9DA-SV-18(厚み18μm/Rz0.85μm)(福田金属箔粉工業株式会社製)のカタログ値を採用した。
予熱なしまたはガラス転移温度以上融点未満で予熱したフッ素樹脂フィルムを用い、銅箔/フッ素樹脂フィルム/銅箔の順に重ね、真空ヒートプレスにて作製した積層体の片面に粘着テープでアルミ板を貼り付け、テンシロン万能試験機(株式会社島津製作所製)を用いて、毎分50mmの速度で、積層体の平面に対して90°の方向に10mm幅の銅箔を掴んで引っ張ることで銅箔の引きはがし強さを測定し、得られた値を接着強度とした。
導電性異物の個数の測定
導電性異物の数は、以下の方法によって検出した。すなわち、シート検査装置(製品名等:スーパーNASP-λ、オムロン株式会社社製)を用い、フィルムの検査を行った。成形機に設置した検査装置の多波長カメラと可視光と近赤外光を照射する照明の間にフィルムを通した。その際、異物に可視光と赤外光を照射したときの反射率の比である金属度合が70以上のものを導電性異物とみなした。
ニッケル :金属度合が88~92であるもの
炭化物 :金属度合が95~100であるもの
その他の導電性異物:金属度合が70以上かつ上記範囲外
フィルムの流れ方向の長さもしくは幅方向の長さが50μm以上の導電性異物の個数を検出した。
1m2のフィルム内の異物を目視で観察し、ルーペを用いて黒い異物個数を数えた。確認の結果、1m2あたり10個未満のものを◎、10個以上60個未満のものを〇、60個以上のものを×とした。なお、この目視で確認できる黒い異物はニッケルや炭化物を含むすべての導電性異物とみなした。
予熱なしまたはガラス転移温度以上融点未満で予熱したフッ素樹脂フィルムを用い、25cm×40cmのサイズに切り出し、銅箔/フッ素樹脂フィルムの順に重ね、真空ヒートプレスにて作製した。その積層体の銅箔と張り合わせたフィルムについて目視判定し、確認できた異物をフィルム面側から微分干渉顕微鏡(製品名:LV100ND、ニコン製)で観察した。導電性異物として、異物付近が黒く見えたものを炭化物、金属状の光沢が確認されたものを金属異物とみなした。凹凸のみしか確認されないものは非導電性異物のフィッシュアイとみなした。
25cm×40cmの面積内に導電性異物由来の凸部が1個以下である場合を◎、2個以上6個以下である場合を○、7個以上である場合を×とした。
[フィルムの製造方法]
PFA1のペレットをスクリューとダイの間に、#300以上のメッシュを複数枚重ねた超音波洗浄したニッケル製のフィルターを挿入した360℃の押出機に投入し、1700mm幅のTダイから押出して、金属冷却ロールに引き取り、さらに巻取り芯に巻取り1300mm幅、50μmの厚みのロールフィルムを製膜した。
この製膜時に導電性異物の検査を行った。
[フィルムの表面処理]
次いで、得られた長尺ロールフィルムの両面に表面処理(コロナ放電装置の放電電極とロール状接地電極の近傍に酢酸ビニルが0.50容量%含まれる窒素ガスを流しながら、フィルムをロール状接地電極に添わせて連続的に通過させ、放電量1324W・min/m2でフィルムの両面をコロナ放電処理)を行いロール状に表面処理された長尺フィルムを巻き取った。
得られたフィルムの外観検査を行った。
[銅箔との貼り合わせ]
フッ素樹脂フィルムに表面処理を行った面と同じ面が、電解銅箔CF-T9DA-SV-18(厚み18μm/Rz0.85μm)(福田金属箔粉工業株式会社製)と接するように重ね、真空ヒートプレス機(型番:MKP-1000HVWH-S7/ミカドテクノス株式会社製)を用いて、プレス温度320℃、予熱時間60秒、加圧力1.5MPa、加圧時間300秒で熱プレスすることで接着させ、25cm×40cmのサイズの張り合わせ品を得た。
銅箔/フッ素樹脂フィルムの層構成で張り合わせたもので歩留まり評価を行った。また同様に銅箔/フッ素樹脂フィルム/銅箔の層構成で張り合わせたもので接着強度を測定した。
実施例1と同様の内容でフィルム厚みが25μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
実施例1と同様の内容でフィルム厚みが12.5μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
PFA2を用いた以外は実施例1と同様の内容でフィルム厚みが50μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
実施例4と同様の内容でフィルム厚みが25μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
実施例4と同様の内容でフィルム厚みが12.5μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
PFA3を用いた以外は実施例1と同様の内容でフィルム厚みが50μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
実施例7と同様の内容でフィルム厚みが25μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
実施例7と同様の内容でフィルム厚みが12.5μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
PFA1のペレットをスクリューとダイの間に、#300以上のメッシュを複数枚重ねた焼結処理を施し超音波洗浄したニッケル製のフィルターを挿入した360℃の押出機に投入し、1700mm幅のTダイから押出して、金属冷却ロールに引き取り、さらに巻取り芯に巻取り1300mm幅、50μmの厚みのロールフィルムを製膜した。
実施例1と同様に、製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
実施例10と同様の内容でフィルム厚みが25μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
実施例10と同様の内容でフィルム厚みが12.5μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
PFA2を用いた以外は実施例10と同様の内容でフィルム厚みが50μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
実施例13と同様の内容でフィルム厚みが25μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
実施例13と同様の内容でフィルム厚みが12.5μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
PFA3を用いた以外は実施例10と同様の内容でフィルム厚みが50μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
実施例16と同様の内容でフィルム厚みが25μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
実施例16と同様の内容でフィルム厚みが12.5μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
PFA4のペレットをスクリューとダイの間に#300以上の洗浄、焼結処理をしていないメッシュを複数枚重ねたニッケル製のフィルターを挿入した360℃の押出機に投入し、1700mm幅のTダイから押出して、金属冷却ロールに引き取り、さらに巻取り芯に巻取り1300mm幅、50μmの厚みのロールフィルムを製膜した。
実施例1と同様に、製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
比較例1と同様の内容でフィルム厚みが25μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
比較例1と同様の内容でフィルム厚みが12.5μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
PFA1のペレットをスクリューとダイの間に#300以上のメッシュを複数枚重ねた焼結処理を施したニッケル製のフィルターを挿入した360℃の押出機に投入し、1700mm幅のTダイから押出して、金属冷却ロールに引き取り、さらに巻取り芯に巻取り1300mm幅、50μmの厚みのロールフィルムを製膜した。
実施例1と同様に、製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
比較例4と同様の内容でフィルム厚みが25μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
比較例4と同様の内容でフィルム厚みが12.5μmのものを製膜した。製膜時の導電性異物の検査、フィルムの外観検査、張り合わせ後の歩留まり評価、接着強度の測定を行った。
Claims (13)
- フッ素樹脂から構成されたフィルムであって、フィルムに存在する、フィルムの流れ方向の長さもしくは幅方向の長さが50μm以上の導電性異物の個数が60個/平方メートル未満であるフッ素樹脂フィルム。
- 前記フッ素樹脂の不安定官能基数が、フッ素樹脂の主鎖炭素数1×106個あたり350個未満である請求項1に記載のフッ素樹脂フィルム。
- 前記フッ素樹脂がテトラフルオロエチレン/パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体もしくはテトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体である請求項1又は2に記載のフッ素樹脂フィルム。
- 372℃、荷重49Nにおける前記フッ素樹脂の溶融流れ速度が0.1~50g/10分である請求項1又は2に記載のフッ素樹脂フィルム。
- 面積が1平方メートル以上である請求項1又は2に記載のフッ素樹脂フィルム。
- 前記導電性異物が、ニッケル及び/又は炭化物を含むものである請求項1又は2に記載のフッ素樹脂フィルム。
- 表面粗さRzが1.5μm以下の金属箔と接着した場合の接着強度が0.8N/mm以上である請求項1又は2に記載のフッ素樹脂フィルム。
- 金属張積層板に用いられる請求項1又は2に記載のフッ素樹脂フィルム。
- 金属箔及び請求項1又は2に記載のフッ素樹脂フィルムを必須の層とする金属張積層体。
- 更に、金属箔およびフッ素樹脂フィルム以外の層を有し、当該金属箔およびフッ素樹脂フィルム以外の層は、ポリイミド、液晶ポリマー、ポリフェニレンスルファイド、シクロオレフィンポリマー、ポリスチレン、エポキシ樹脂、ビスマレイミド、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンエーテル、及び、ポリブタジエンからなる群から選択される少なくとも1種である請求項9に記載の金属張積層体。
- 金属箔は、表面粗さRzが1.5μm以下である請求項9に記載の金属張積層体。
- 金属箔と、フッ素樹脂フィルムとの接着強度が0.8N/mm以上である請求項9に記載の金属張積層体。
- 請求項9に記載の金属張積層体を有することを特徴とする回路用基板。
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