JP7433200B2 - ヒータ - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 101
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 37
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 25
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 16
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 16
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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- Resistance Heating (AREA)
Description
最初に、実施形態に係るヒータについて、図1~図4を参照しながら説明する。図1は、実施形態に係るヒータを示す斜視図であり、図2は、実施形態に係るヒータの平面図であり、図3は、実施形態に係るヒータの側面図である。また、図4は、図2に示すA-A線の断面図である。
つづいて、実施形態の各種変形例について、図5~図8を参照しながら説明する。なお、以下に示す各種変形例では、実施形態と同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略することがある。
図6は、実施形態の変形例2に係るヒータの断面図である。図6に示すヒータ1は、リード線30の端子部32の形状が、図4、図5に示すヒータ1が有する端子部32の形状と相違する。具体的には、図6に示すように、端子部32は、セラミック体10の端面12に沿う方向に延びている。このように、端子部32がセラミック体10の端面12に沿う方向に延びていることにより、例えば端子部32の端部35が端子部32の延びるY軸に沿う方向(正方向および/または負方向)に外力を受けた場合であっても、リード線30は、セラミック体10が位置する方向にはさらに変形しにくい。このため、本変形例に係るヒータ1によれば、たとえば、セラミック体10の損傷をさらに低減することができる。
図7は、実施形態の変形例3に係るヒータの平面図である。図8は、実施形態の変形例3に係るヒータの断面図である。図7、図8に示すように、リード線30は、コイル部31と端子部32との間に位置する接続部36を有している。接続部36は、端子部32とは異なる方向に延びている。また、接続部36は、コイル部31と平面視で重なる連結部37を有している。そして、端子部32は、平面視で連結部37と重ならない方向に延びている。このように、端子部32が延びる方向に連結部37が位置しないことにより、例えば、例えば端子部32の端部35が端子部32の延びるY軸に沿う方向(正方向および/または負方向)に外力を受けた場合であっても、リード線30の連結部37は、変形しにくい。このため、本変形例に係るヒータ1によれば、例えば、連結部37に近接するセラミック体10の損傷をさらに低減することができる。
10 セラミック体
14 発熱抵抗体
20 接合材
30,40 リード線
31,41 コイル部
32,42 端子部
50 空隙
Claims (9)
- 柱状のセラミック体と、
前記セラミック体の内部に位置する発熱抵抗体と、
前記セラミック体の外部に位置し、前記発熱抵抗体と電気的に接続されるリード線と
を備え、
前記リード線は、前記セラミック体の周面に沿って巻回されるコイル部と、前記コイル部の一端に接続され、前記セラミック体の端面を跨いで延びる端子部とを有し、
前記コイル部と前記端子部とが、交差する部分で接合材を介して接合されている
ヒータ。 - 前記コイル部は、前記セラミック体の周面に沿って同じ方向に巻回されている
請求項1に記載のヒータ。 - 前記端子部は、前記セラミック体の端面に沿う方向に延びている
請求項1または2に記載のヒータ。 - 前記端子部は、前記セラミック体の端面との間に空隙を隔てて位置する
請求項1~3のいずれか1つに記載のヒータ。 - 前記端子部は、前記セラミック体の端面との間に空隙を隔てて位置する第1部分と、前記コイル部の一端と前記第1部分との間に位置する第2部分とを有し、
前記第1部分と前記セラミック体との間隔は、前記第2部分と前記セラミック体との間隔よりも大きい
請求項1~4のいずれか1つに記載のヒータ。 - 前記リード線は、前記端子部と前記コイル部との間に位置し、前記端子部とは異なる方向に延びる接続部を有している
請求項1~5のいずれか1つに記載のヒータ。 - 前記端子部は、陽極端子部である
請求項1~6のいずれか1つに記載のヒータ。 - 前記発熱抵抗体の一端側および他端側にそれぞれ接続される一対のリード材料を有し、
前記一対のリード材料は、前記セラミック体の周面に沿って同じ方向に巻回されるコイル部をそれぞれ有する
請求項1~7のいずれか1つに記載のヒータ。 - 前記一対のリード材料は、各コイル部にそれぞれ接続され、同じ方向に延びる一対の端子部を有する
請求項8に記載のヒータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020199748A JP7433200B2 (ja) | 2020-12-01 | 2020-12-01 | ヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020199748A JP7433200B2 (ja) | 2020-12-01 | 2020-12-01 | ヒータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022087682A JP2022087682A (ja) | 2022-06-13 |
JP7433200B2 true JP7433200B2 (ja) | 2024-02-19 |
Family
ID=81975624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020199748A Active JP7433200B2 (ja) | 2020-12-01 | 2020-12-01 | ヒータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7433200B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017134912A (ja) | 2016-01-25 | 2017-08-03 | 京セラ株式会社 | セラミックヒータ |
WO2018096778A1 (ja) | 2016-11-28 | 2018-05-31 | 京セラ株式会社 | ヒータ |
WO2019004286A1 (ja) | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 京セラ株式会社 | ヒータ |
-
2020
- 2020-12-01 JP JP2020199748A patent/JP7433200B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017134912A (ja) | 2016-01-25 | 2017-08-03 | 京セラ株式会社 | セラミックヒータ |
WO2018096778A1 (ja) | 2016-11-28 | 2018-05-31 | 京セラ株式会社 | ヒータ |
WO2019004286A1 (ja) | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 京セラ株式会社 | ヒータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022087682A (ja) | 2022-06-13 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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