JP7433200B2 - ヒータ - Google Patents

ヒータ Download PDF

Info

Publication number
JP7433200B2
JP7433200B2 JP2020199748A JP2020199748A JP7433200B2 JP 7433200 B2 JP7433200 B2 JP 7433200B2 JP 2020199748 A JP2020199748 A JP 2020199748A JP 2020199748 A JP2020199748 A JP 2020199748A JP 7433200 B2 JP7433200 B2 JP 7433200B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic body
terminal portion
heater
terminal
coil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020199748A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2022087682A (ja
Inventor
良彦 木佐木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2020199748A priority Critical patent/JP7433200B2/ja
Publication of JP2022087682A publication Critical patent/JP2022087682A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7433200B2 publication Critical patent/JP7433200B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)

Description

開示の実施形態は、ヒータに関する。
従来、発熱抵抗体を有する柱状のセラミック体を有するヒータが知られている。このヒータでは、セラミック体の外部に位置するリード端子を介した通電により発熱抵抗体を発熱させて、所望する温度に昇温させる。
国際公開第2019/004286号
しかしながら、例えばリード端子が受ける外力によってセラミック体が損傷するおそれがあった。
実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、セラミック体の損傷を低減することができるヒータを提供することを目的とする。
実施形態の一態様に係るヒータは、柱状のセラミック体と、発熱抵抗体と、リード線とを備える。発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部に位置する。リード線は、前記セラミック体の外部に位置し、前記発熱抵抗体と電気的に接続される。前記リード線は、コイル部と、端子部とを有する。コイル部は、前記セラミック体の周面に沿って巻回される。端子部は、前記コイル部の一端に接続され、前記セラミック体の端面を跨いで延びる。前記コイル部と前記端子部とが、交差する部分で接合材を介して接合されている。
実施形態の一態様によれば、セラミック体の損傷を低減することができるヒータが提供可能となる。
図1は、実施形態に係るヒータを示す斜視図である。 図2は、実施形態に係るヒータの平面図である。 図3は、実施形態に係るヒータの側面図である。 図4は、図2に示すA-A線の断面図である。 図5は、実施形態の変形例1に係るヒータの断面図である。 図6は、実施形態の変形例2に係るヒータの断面図である。 図7は、実施形態の変形例3に係るヒータの平面図である。 図8は、実施形態の変形例3に係るヒータの側面図である。
以下、添付図面を参照して、本願の開示するヒータの実施形態について説明する。なお、以下に示す実施形態により本開示が限定されるものではない。また、図面は模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実と異なる場合があることに留意する必要がある。さらに、図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。
<実施形態>
最初に、実施形態に係るヒータについて、図1~図4を参照しながら説明する。図1は、実施形態に係るヒータを示す斜視図であり、図2は、実施形態に係るヒータの平面図であり、図3は、実施形態に係るヒータの側面図である。また、図4は、図2に示すA-A線の断面図である。
図1~図4に示すように、実施形態に係るヒータ1は、セラミック体10と、発熱抵抗体14と、リード線30,40とを備える。
なお、説明を分かりやすくするために、図1~図4には、ヒータ1の長さ方向に沿って延びるZ軸を含む3次元の直交座標系を図示している。かかる直交座標系は、後出の説明に用いる他の図面でも示す場合がある。
ヒータ1の長さ、すなわちセラミック体10の長さは、例えば、1mm~200mm程度とすることができる。また、セラミック体10の外寸は、例えば、0.5mm~100mm程度とすることができる。なお、セラミック体10の形状は、円柱状に限らず、例えば楕円柱状または角柱状であってもよい。
セラミック体10の材料は、例えば、絶縁性を有するセラミックである。セラミック体10の材料としては、例えば、酸化物セラミックス、窒化物セラミックスまたは炭化物セラミックス等を使用することができる。
また、発熱抵抗体14は、セラミック体10の内部に位置している。発熱抵抗体14は、電流が流れることによって発熱する部材である。発熱抵抗体14は、例えば、タングステン、モリブデンなどを含む高抵抗の導体を含んでよい。発熱抵抗体14の寸法は、例えば幅を0.1~5mmに、厚みを0.05~0.3mmに、全長を1~500mmにすることができる。
リード線30,40は、セラミック体10の外部に位置している。リード線30,40はそれぞれ、セラミック体10の周面11に固定されている。リード線30,40は、一端が外部電源に接続され、他端が発熱抵抗体14にそれぞれ電気的に接続されており、外部電源から供給された電力を発熱抵抗体14に供給する。リード線30,40は、一対のリード材料の一例である。リード線30,40は、一方が陽極リード線であり、他方が陰極リード線である。
リード線30,40は、例えば、ニッケル、鉄またはニッケル系耐熱合金等の金属材料を含む線材である。リード線30,40の断面は、例えば円形状であってもよく、楕円形状、矩形状であってもよい。リード線30,40の外径は、例えば0.5~2.0mmであってもよい。
リード線30は、ヒータ1の後端側に位置している。リード線30は、コイル部31と端子部32とを含む。コイル部31は、セラミック体10の周面11に沿って巻回される部分であり、発熱抵抗体14に電気的に接続されている。セラミック体10の周面11には、発熱抵抗体14の端部が位置していてもよく、発熱抵抗体14とコイル部31とを電気的に接続する図示しない導体が位置していてもよい。セラミック体10の周面11に沿って螺旋状に位置するコイル部31は、セラミック体10に接触していてもよく、セラミック体10の周面11から離れて位置していてもよい。
端子部32は、リード線30の端部に位置し、セラミック体10の端面12と垂直な方向から見たときに、端面12を横切るように延びている部分である。言い換えれば、端子部32は、コイル部31の一端に接続され、平面視でセラミック体10の端面12を跨いで延びている。このように、端子部32が平面視でセラミック体10の端面12を跨ぐように位置することにより、例えば端子部32の端部35が端子部32の延びるY軸に沿う方向(正方向および/または負方向)に外力を受けた場合であっても、リード線30は、セラミック体10が位置する方向には変形しにくい。このため、実施形態に係るヒータ1によれば、たとえば、セラミック体10の損傷を低減することができる。
なお、端子部32は、第1領域32aと第2領域32bとを有してもよい。第1領域32aは、セラミック体10の端面12に沿って延びる端子部32の先端部である。第2領域32bは、セラミック体10の端面12に対して傾斜するように位置する傾斜部である。第2領域32bは、後述する近接部分33,34の間に位置している。第2領域32bは、近接部分33から近接部分34に近付くにつれて端子部32と端面12との間隔が大きくなるように位置している。このように第2領域32bをセラミック体10の端面12に対して傾斜させることにより、通電により温度が上昇しやすい第1領域32aをセラミック体10の端面12から離すことができる。このため、セラミック体10の熱膨張を抑えることができ、ヒータ1の強度が向上する。
リード線40は、リード線30よりもヒータ1の先端側に位置している。リード線40は、コイル部41と端子部42とを含む。コイル部41は、セラミック体10の周面11に沿って巻回される部分であり、発熱抵抗体14に電気的に接続されている。すなわち、発熱抵抗体14の一端がリード線30に接続され、他端がリード線40に接続されている。リード線40は、セラミック体10の周面11に位置する発熱抵抗体14の端部に電気的に接続されていてもよく、発熱抵抗体14とコイル部41とを電気的に接続する図示しない導体を介して発熱抵抗体14と電気的に接続されていてもよい。セラミック体10の周面11に沿って螺旋状に位置するコイル部41は、セラミック体10に接触していてもよく、セラミック体10の周面11から離れて位置していてもよい。
また、コイル部31,41は、セラミック体10の周面11に沿って同じ方向に巻回されていてもよい。コイル部31,41が同じ方向に巻回されることで、各リード線30,40に加わる応力の方向が同じになる。これにより、コイル部31,41の間にひねりの応力が生じにくくなることから、リード線30,40における応力が緩和される。
端子部42は、リード線40の端部に位置し、セラミック体10の端面12と垂直な方向から見たときに、端面12の径方向に延びている部分である。端子部42は、端子部32と同じ方向に延びていてもよい。言い換えれば、端子部32,42は、セラミック体10の端面12と垂直な方向から見たときに、互いに重なるように位置していてもよい。端子部32,42が同じ方向に延びていることにより、例えば、ヒータ1の配置スペースを小さくすることができる。
また、ヒータ1は、接合材20を有していてもよい。接合材20は、コイル部31と端子部32とが平面視で重なるコイル部31および端子部32の近接部分33,34に位置している。近接部分33は、コイル部31と端子部32とが平面視で交差する部分である。また、近接部分34は、コイル部31と端子部32とをつなぐ連結部である。
近接部分33,34に位置する端子部32およびコイル部31は、接合材20を介して接合されている。このように、コイル部31と端子部32との間に接合材20が位置することにより、たとえば端子部32の延びるY軸に沿う方向(正方向および/または負方向)に端子部32の端部35が外力を受けた場合であっても、リード線30の変形がさらに抑えられる。このため、実施形態に係るヒータ1によれば、たとえば、セラミック体10の損傷を低減することができる。
なお、接合材20は、コイル部31と端子部32とが近接する近接部分33,34にのみ位置してもよいし、隣り合うコイル部31の間に挟まれるように位置してもよい。また、接合材20は、近接部分33,34を覆うように位置してもよい。また、接合材20は、セラミック体10の周面11とコイル部31との間に位置してもよく、コイル部31の周囲を覆うように位置してもよい。セラミック体10の周面11とコイル部31との間に接合材20が位置することにより、セラミック体10とコイル部31との接合強度を高めることができる。また、コイル部31の周囲を覆うように接合材20が位置することにより、コイル部31およびコイル部31が巻回されたセラミック体10の機械的強度を高めることができる。
接合材20としては、例えば、はんだまたは銀ろう等のろう材を用いることができる。また、セラミック体10の周面11にメタライズ(不図示)を設け、メタライズの表面に接合材20が接するように位置させてもよい。また、図示による説明は省略するが、接合材20は、リード線40が有する各部位の固定を目的として使用されてもよい。
ヒータ1が接合材20を有する場合、端子部32は、例えば、陽極端子部としてもよい。例えば、ヒータ1を急速に昇温させた場合、陽極端子部は、通電によって発熱し、近傍に位置するセラミック体10を膨張させようとする。近接部分33,34に位置する端子部32およびコイル部31が接合材20を介して接合されていると、セラミック体10は端子部32に沿って同様に膨張するため、歪が生じにくい。このため、ヒータ1が昇温および降温を繰り返した場合であっても、セラミック体10の損傷を低減することができる。
<変形例1>
つづいて、実施形態の各種変形例について、図5~図8を参照しながら説明する。なお、以下に示す各種変形例では、実施形態と同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略することがある。
図5は、実施形態の変形例1に係るヒータの断面図である。図5に示すヒータ1は、リード線30の端子部32の形状が、図4に示すヒータ1が有する端子部32の形状と相違する。具体的には、図5に示すように、端子部32の第1領域32aが、セラミック体10の端面12と向かい合うように位置する部分(第1部分)を有している。かかる第1部分とセラミック体10の端面12との間隔は、第2領域32b(第2部分)とセラミック体10の端面12との間隔よりも大きい。第1部分は、第2部分よりも通電により温度が上昇しやすいため、かかる第1部分をセラミック体10の端面12から離して位置させると、端子部32の温度上昇に伴うセラミック体10の熱膨張を抑えることができ、ヒータ1の強度が向上する。
<変形例2>
図6は、実施形態の変形例2に係るヒータの断面図である。図6に示すヒータ1は、リード線30の端子部32の形状が、図4、図5に示すヒータ1が有する端子部32の形状と相違する。具体的には、図6に示すように、端子部32は、セラミック体10の端面12に沿う方向に延びている。このように、端子部32がセラミック体10の端面12に沿う方向に延びていることにより、例えば端子部32の端部35が端子部32の延びるY軸に沿う方向(正方向および/または負方向)に外力を受けた場合であっても、リード線30は、セラミック体10が位置する方向にはさらに変形しにくい。このため、本変形例に係るヒータ1によれば、たとえば、セラミック体10の損傷をさらに低減することができる。
なお、端子部32は、セラミック体10の端面12との間に空隙50を隔てて位置していてもよい。このように端子部32がセラミック体10の端面12から離れて位置することにより、通電により端子部32の温度が上昇した場合であっても、セラミック体10に対する熱の伝達を抑えることができる。このため、端子部32の温度上昇に伴うセラミック体10の熱膨張を抑えることができ、ヒータ1の強度がさらに向上する。
<変形例3>
図7は、実施形態の変形例3に係るヒータの平面図である。図8は、実施形態の変形例3に係るヒータの断面図である。図7、図8に示すように、リード線30は、コイル部31と端子部32との間に位置する接続部36を有している。接続部36は、端子部32とは異なる方向に延びている。また、接続部36は、コイル部31と平面視で重なる連結部37を有している。そして、端子部32は、平面視で連結部37と重ならない方向に延びている。このように、端子部32が延びる方向に連結部37が位置しないことにより、例えば、例えば端子部32の端部35が端子部32の延びるY軸に沿う方向(正方向および/または負方向)に外力を受けた場合であっても、リード線30の連結部37は、変形しにくい。このため、本変形例に係るヒータ1によれば、例えば、連結部37に近接するセラミック体10の損傷をさらに低減することができる。
また、図8に示すように、連結部37からコイル部31にかけてメニスカス状に位置する接合材20を有してもよい。図8に示すように、端子部32は、平面視で接合材20の少なくとも一部と重なる方向に延びている。接合材20がメニスカス状に位置することにより、例えばブロック状の堅牢な接合材によりリード線30が固定された場合と比較して端子部32の自由度が高められる。このため、例えば端子部32の端部35が端子部32の延びるY軸に沿う方向(正方向および/または負方向)に、リード線30が一時的に変形する程度の外力を受けた場合であっても、接合材20の剥離や脱落が発生しにくい。このため、本変形例に係るヒータ1によれば、例えば、機械的強度がさらに向上する。なお、接合材20は、上記した各実施形態および変形例において説明した各部位にさらに位置してもよい。
以上のように、実施形態に係るヒータ1は、柱状のセラミック体10と、発熱抵抗体14と、リード線30とを備える。発熱抵抗体14は、セラミック体10の内部に位置する。リード線30は、セラミック体10の外部に位置し、発熱抵抗体14と電気的に接続される。リード線30は、コイル部31と、端子部32とを有する。コイル部31は、セラミック体10の周面11に沿って巻回される。端子部32は、コイル部31一端に接続され、平面視でセラミック体10の端面12を跨いで延びる。これにより、セラミック体10の損傷を低減することができる。
また、実施形態に係るヒータ1は、接合材20を有する。接合材20は、コイル部31と端子部32とが平面視で重なるコイル部31および端子部32の近接部分33,34に位置する。これにより、セラミック体10の損傷をさらに低減することができる。
また、実施形態に係る端子部32は、セラミック体10の端面12に沿う方向に延びている。これにより、セラミック体10の損傷を低減することができる。
また、実施形態に係る端子部32は、セラミック体10の端面12との間に空隙50を隔てて位置する。これにより、セラミック体10の損傷をさらに低減することができる。
また、実施形態に係る端子部32は、セラミック体10の端面12との間に空隙を隔てて位置する第1部分と、コイル部31の一端と第1部分との間に位置する第2部分とを有する。第1部分とセラミック体10との間隔は、第2部分とセラミック体10との間隔よりも大きい。これにより、セラミック体10の損傷を低減することができる。
また、実施形態に係るリード線30は、端子部32とコイル部31との間に位置し、端子部32とは異なる方向に延びる接続部36を有する。接続部36は、コイル部31と平面視で重なる連結部37を有する。端子部32は、平面視で連結部37と重ならない方向に延びている。これにより、セラミック体10の損傷を低減することができる。
また、実施形態に係るヒータ1は、連結部37からコイル部31にかけてメニスカス状に位置する接合材20を有する。端子部32は、平面視で接合材20の少なくとも一部と重なる方向に延びている。これにより、セラミック体10の損傷を低減することができる。
また、実施形態に係る端子部32は、陽極端子部である。これにより、セラミック体10の損傷を低減することができる。
また、実施形態に係るヒータ1は、発熱抵抗体14の一端側および他端側にそれぞれ接続される一対のリード材料を有し、一対のリード材料は、セラミック体10の周面11に沿って同じ方向に巻回されるコイル部31,41をそれぞれ有する。これにより、リード線30,40における応力が緩和される。
また、実施形態に係る一対のリード材料は、各コイル部31,41にそれぞれ接続され、同じ方向に延びる一対の端子部32,42を有する。これにより、セラミック体10の損傷を低減することができる。
さらなる効果や他の態様は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本開示のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。
1 ヒータ
10 セラミック体
14 発熱抵抗体
20 接合材
30,40 リード線
31,41 コイル部
32,42 端子部
50 空隙

Claims (9)

  1. 柱状のセラミック体と、
    前記セラミック体の内部に位置する発熱抵抗体と、
    前記セラミック体の外部に位置し、前記発熱抵抗体と電気的に接続されるリード線と
    を備え、
    前記リード線は、前記セラミック体の周面に沿って巻回されるコイル部と、前記コイル部の一端に接続され、前記セラミック体の端面を跨いで延びる端子部とを有し、
    前記コイル部と前記端子部とが、交差する部分で接合材を介して接合されてい
    ヒータ。
  2. 前記コイル部は、前記セラミック体の周面に沿って同じ方向に巻回されている
    請求項1に記載のヒータ。
  3. 前記端子部は、前記セラミック体の端面に沿う方向に延びている
    請求項1または2に記載のヒータ。
  4. 前記端子部は、前記セラミック体の端面との間に空隙を隔てて位置する
    請求項1~3のいずれか1つに記載のヒータ。
  5. 前記端子部は、前記セラミック体の端面との間に空隙を隔てて位置する第1部分と、前記コイル部の一端と前記第1部分との間に位置する第2部分とを有し、
    前記第1部分と前記セラミック体との間隔は、前記第2部分と前記セラミック体との間隔よりも大きい
    請求項1~4のいずれか1つに記載のヒータ。
  6. 前記リード線は、前記端子部と前記コイル部との間に位置し、前記端子部とは異なる方向に延びる接続部を有している
    請求項1~5のいずれか1つに記載のヒータ。
  7. 前記端子部は、陽極端子部である
    請求項1~のいずれか1つに記載のヒータ。
  8. 前記発熱抵抗体の一端側および他端側にそれぞれ接続される一対のリード材料を有し、
    前記一対のリード材料は、前記セラミック体の周面に沿って同じ方向に巻回されるコイル部をそれぞれ有する
    請求項1~のいずれか1つに記載のヒータ。
  9. 前記一対のリード材料は、各コイル部にそれぞれ接続され、同じ方向に延びる一対の端子部を有する
    請求項に記載のヒータ。
JP2020199748A 2020-12-01 2020-12-01 ヒータ Active JP7433200B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020199748A JP7433200B2 (ja) 2020-12-01 2020-12-01 ヒータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020199748A JP7433200B2 (ja) 2020-12-01 2020-12-01 ヒータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022087682A JP2022087682A (ja) 2022-06-13
JP7433200B2 true JP7433200B2 (ja) 2024-02-19

Family

ID=81975624

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020199748A Active JP7433200B2 (ja) 2020-12-01 2020-12-01 ヒータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7433200B2 (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017134912A (ja) 2016-01-25 2017-08-03 京セラ株式会社 セラミックヒータ
WO2018096778A1 (ja) 2016-11-28 2018-05-31 京セラ株式会社 ヒータ
WO2019004286A1 (ja) 2017-06-28 2019-01-03 京セラ株式会社 ヒータ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017134912A (ja) 2016-01-25 2017-08-03 京セラ株式会社 セラミックヒータ
WO2018096778A1 (ja) 2016-11-28 2018-05-31 京セラ株式会社 ヒータ
WO2019004286A1 (ja) 2017-06-28 2019-01-03 京セラ株式会社 ヒータ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022087682A (ja) 2022-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4026761B2 (ja) セラミックヒーター
CN107432056B (zh) 加热器
KR100512350B1 (ko) 세라믹 히터
JP7433200B2 (ja) ヒータ
JP5268805B2 (ja) 超電導線材の接続構造および超電導コイル装置
WO2020153086A1 (ja) セラミックヒータ
CN108513385B (zh) 过热水蒸气生成装置和用于该装置的导体管的制造方法
JP2009220168A (ja) 抵抗溶接用電極
JP7265559B2 (ja) 基板状構造体及びヒータシステム
JP2018203581A (ja) セラミックス構造体
JP7458967B2 (ja) ヒータ
WO2022173017A1 (ja) ヒータ
KR101904490B1 (ko) 세라믹 히터 접합구조
JP6838957B2 (ja) ヒータ
JP2842507B2 (ja) 電導線と接続端子の結合方法及び接続構造
US20230058637A1 (en) Wafer support table and rf rod
WO2022249794A1 (ja) ヒータ
JPWO2019004286A1 (ja) ヒータ
JP2021068652A (ja) ヒータ
JP7427517B2 (ja) ヒータ
JPH09153392A (ja) 挿入型誘導加熱コイル
JP6483535B2 (ja) ヒータ
CN208609212U (zh) 一种红外线散热器
JP7454224B2 (ja) ステンレス発熱体及びそれを用いたシースヒータの製造方法
WO2022209619A1 (ja) ウエハ支持台及びrfロッド

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230517

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20231013

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20231024

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231222

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240109

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240206

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7433200

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150