JP7431227B2 - プリント配線板 - Google Patents
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Description
本出願は、2019年5月15日出願の日本出願第2019-092388号に基づく優先権を主張し、上記日本出願に記載された全ての記載内容を援用するものである。
上記ビアホールの配線層としては一般に銅箔が広く採用されており、この銅箔については屈曲性等の機械的特性のさらなる向上が求められている。例えば銅箔においては、機械的特性を向上させるために銅の結晶の配向性や結晶粒径等の検討が行われている。しかしながら、特定の範囲の結晶の配向性や結晶粒径を有する銅箔の表面に無電解銅めっきを行った後に電気銅めっきを行った場合、電解銅めっき層の銅の結晶が部分的に異常成長する場合がある。このように銅の結晶が部分的に異常成長すると、電解銅めっき層表面に凹凸が生じることにより、自動光学検査装置(AOI:Automated Optical Inspection system)による外観検査で不良であると誤検出されてしまう場合がある。また、電解銅めっき層表面に生じた凸部に多くの銅が析出されてしまっていることから、ビアホールの底部に銅が十分析出されない結果、ビアホールの底部が導電層から剥離してしまうおそれがある。
本開示によれば、外観検査での誤検出及びビアホールの底部の剥離を抑制できるプリント配線板を提供することができる。
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
以下、本開示に係るプリント配線板の各実施形態について図面を参照しつつ詳説する。
図1に、本開示の一実施形態に係るプリント配線板を示す。当該プリント配線板20は、絶縁性を有する基材層1と、基材層1の表面に直接的又は間接的に積層され、銅箔を含む第1導電層2と、基材層1の裏面に直接的又は間接的に積層され、銅箔を含む第2導電層3と、第1導電層2及び基材層1を厚さ方向に貫通する接続穴5の内周及び底に積層され、第1導電層2及び第2導電層3間を電気的に接続するビアホール用積層体10とを備える。異なる導電層のパターン間を接続するためのビアホール4は、接続穴5に、ビアホール用積層体10が積層されることにより形成される。
基材層1の材質としては、例えばポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエステル等を挙げることができる。中でも、例えば耐熱性等の機械的強度の点で、ポリアミド、ポリイミド及びポリアミドイミドが好適に用いられる。当該プリント配線板は、必ずしも可撓性を有しなくてもよい。
第1導電層2及び第2導電層3は、基材層1に積層される銅箔をパターニングして形成される。上記銅箔が(100)面方位に配向する銅の結晶粒を含有し、銅箔の銅の平均結晶粒径が10μm以上である。上記銅箔の銅の結晶粒の面方位及び平均結晶粒径が上記範囲であることで、屈曲性等の機械的特性に優れる。
ビアホール用積層体10は、接続穴5の内周及び底に積層される無電解銅めっき層8と、上記無電解銅めっき層8の表面に積層される電解銅めっき層7とを有する。ビアホール用積層体10は、第1導電層2及び基材層1を厚さ方向に貫通する接続穴5の内周及び底に積層される。ビアホール用積層体10は、第1導電層2及び第2導電層3間を電気的に接続する。より詳細には、ビアホール用積層体10は、接続穴5の内周、第1導電層2の基材層1と反対側の面、及び第2導電層3の接続穴5の内側に露出する面(つまり、底部)に積層される無電解銅めっき層8と、この無電解銅めっき層8にさらに積層される電解銅めっき層7とを有する構成とすることができる。
無電解銅めっき層8は、導電性を有する薄層であり、電解銅めっき層7を電解銅めっきによって形成する際の被着体として利用される。この無電解銅めっき層8は、無電解銅めっきにより積層された銅によって形成することができる。銅めっきは、柔軟性、厚付け可能性、電気銅めっきとの密着性が良好で、導電性が高いことから、プリント配線板に好適である。この無電解銅めっきは、触媒の還元作用により触媒活性を有する金属を析出させる処理であり、市販の各種無電解銅めっき液を塗布することによって行うことができる。このように無電解銅めっきを用いることで、無電解銅めっき層8の積層を簡便に行うことができ、さらなる電解銅めっき層7の積層を確実なものとすることができる。
電解銅めっき層7は、無電解銅めっき層8の表面に電解銅めっきによって積層される。このように無電解銅めっき層8を形成してからその内周及び底に電解銅めっき層7を設けることにより、導電性に優れるビアホール4を容易かつ確実に形成できる。上述のように、銅は安価で導電性が高いため、電解銅めっき層を形成する金属としては、銅が好適に用いられる。
当該プリント配線板の製造方法は、例えば基材層の表面に銅箔を含む第1導電層を積層し、上記基材層の裏面に銅箔を含む第2導電層を積層する導電層積層工程と、上記第1導電層及び上記基材層を厚さ方向に貫通する接続穴を形成する接続穴形成工程と、上記接続穴の内周及び底に無電解銅めっきを行う前に前処理を行う無電解銅めっき前処理工程と、上記無電解銅めっき前処理が行われた接続穴の内周及び底に無電解銅めっき層を積層する無電解銅めっき層積層工程と、上記無電解銅めっき層の表面に電解銅めっき層を積層する電解銅めっき層積層工程とを備える。
導電層積層工程では基材層の表面に上述の銅箔を積層することにより、第1導電層を形成する。また、基材層の裏面に上述の銅箔を積層することにより、第2導電層を形成する。導電層積層工程では公知の方法によって、基材層の表面に導電パターンが形成される。
第1導電層及び第2導電層を電気的に接続させるための穴を形成する方法としては、特に限定されず、例えばマイクロドリルやレーザーで第1導電層及び基材層に穴を開けて第2導電層の銅箔を露出させる方法を用いることができる。
無電解銅めっき前処理工程では、上記接続穴の内周及び底に無電解銅めっきを行う前に前処理を行う工程である。本工程では、例えばクリーナー工程、酸処理工程、プレディップ工程、触媒処理工程、還元工程等が行われる。
無電解銅めっき層積層工程では、接続穴の内周及び底に無電解銅めっきを施すことにより無電解銅めっき層を形成する。無電解銅めっき工程では、加熱によりめっき反応が活性化した無電解銅めっき液に基材層及び導電層を備える積層体を浸漬して、導電パターンの表面に銅を積層する。無電解銅めっき液はアルカリ浴が好ましい。
電解銅めっき層積層工程では、無電解銅めっき層の表面に、電解銅めっきにより電解銅めっき層を積層する。この電解銅めっき工程において、ビアホール用積層体の厚さを所望の厚さまで増大させる。
今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
基材として新日鉄住金化学社製のエスパネックス(銅12μm/ポリイミド12μm/銅12μm)を用いた。この基材の表面及び裏面に、主に(100)面方位に配向し、平均結晶粒径が50μmである銅箔を積層して基材の表面及び裏面に導電層を形成した(導電層積層工程)。得られたサンプルを、UVレーザーにて表層の銅、ポリイミドを除去してビアホールを作製した(接続穴形成工程)。次に、上記導電層の表面の略全面に無電解銅めっき前処理を行った(無電解銅めっき前処理工程)。この無電解銅めっき前処理工程では触媒処理として、パラジウム及びスズのコロイド溶液(キャタリスト)にサンプルを浸漬した。No.1~No.8の無電解銅めっき前処理工程の条件は下記の通りとした。
(1)No.1
クリーナー→ソフトエッチング(30秒)→酸洗→プレディップ→キャタリスト(通常パラジウム濃度0.13g/L、スズ濃度6g/L)→無電解銅めっきを実施した。
(2)No.2
クリーナー→ソフトエッチング(60秒)→酸洗→プレディップ→キャタリスト(液中パラジウム濃度1.5倍0.2g/L、スズ濃度9g/L)→無電解銅めっきを実施した。
(3)No.3
クリーナー→ソフトエッチング(60秒)→酸洗→プレディップ→キャタリスト(通常パラジウム濃度:0.13g/L、スズ濃度6g/L)→無電解銅めっきを実施した。
(4)No.4
クリーナー→ソフトエッチング(60秒)→酸洗→プレディップ→キャタリスト(液中パラジウム濃度3倍:0.4g/L、スズ濃度18g/L)→無電解銅めっきを実施した。
(5)No.5
クリーナー→ソフトエッチング(60秒)→酸洗→プレディップ→キャタリスト(通常パラジウム濃度:0.13g/L、スズ濃度6g/L)→無電解銅めっきを実施した。
(6)No.6
クリーナー→ソフトエッチング(60秒)→酸洗→プレディップ→キャタリスト(液中パラジウム濃度1.5倍:0.2g/L、スズ濃度9g/L)→無電解銅めっきを実施した。
(7)No.7
クリーナー→ソフトエッチング(60秒)→酸洗→プレディップ→キャタリスト(通常パラジウム濃度:0.13g/L、スズ濃度6g/L)→無電解銅めっきを実施した。
(8)No.8
クリーナー→ソフトエッチング(60秒)→酸洗→プレディップ→キャタリスト(液中パラジウム濃度1.5倍:0.2g/L、スズ濃度9g/L)→無電解銅めっきを実施した。
(パラジウム及びスズの積層量の測定)
銅箔上のパラジウム及びスズの積層量は、No.1~No.8のプリント配線板を20mm×20mmに切り出し、硝酸と塩酸の混合溶液に溶解させた後に、この溶解液を誘導結合プラズマ質量分析(ICP-MS:Inductively coupled plasma-mass spectrometry)により測定した。
No.1~No.8のプリント配線板をそれぞれ100個用意し、これら複数のプリント配線板について自動光学検査装置を用いて外観検査を行った。次に、自動光学検査装置で外観不良が検出されたNo.1~No.8のそれぞれのプリント配線板について、正確な外観不良の有無を光学顕微鏡により目視にて検査した。No.1~No.8のプリント配線板のそれぞれの自動光学検査装置による外観検査での誤検出の割合を算出し、下記の3段階で評価し、A及びB評価のものを合格と判定した。
A:誤検出率0%以上6%未満
B:誤検出率6%以上16%未満
C:誤検出率16%以上
ビアホールの底部の剥離については、光学顕微鏡により目視にて検査した。No.1~No.8のプリント配線板のそれぞれのビアホールの底部の剥離の出現率については、各試験No.のプリント配線板100個中においてビアホールの底部の剥離が観察されたプリント配線板の割合を算出し、下記の2段階で評価した。評価結果から、A評価のものを合格と判定した。
A:剥離率0%以上3%未満
B:剥離率3%以上
2 第1導電層
3 第2導電層
4 ビアホール
5 接続穴
7 電解銅めっき層
8 無電解銅めっき層
10 ビアホール用積層体
20 プリント配線板
Claims (5)
- 絶縁性を有する基材層と、
上記基材層の表面に直接的又は間接的に積層され、銅箔を含む第1導電層と、
上記基材層の裏面に直接的又は間接的に積層され、銅箔を含む第2導電層と、
上記第1導電層及び上記基材層を厚さ方向に貫通する接続穴の内周及び底に積層され、上記第1導電層及び上記第2導電層間を電気的に接続するビアホール用積層体と
を備え、
上記ビアホール用積層体が、上記接続穴の内周及び底に積層される無電解銅めっき層と、上記無電解銅めっき層表面に積層される電解銅めっき層とを有し、
上記銅箔が(100)面方位に配向する銅の結晶粒を含有し、上記銅箔の銅の平均結晶粒径が10μm以上であり、
上記無電解銅めっき層がパラジウム及びスズを含み、
上記無電解銅めっき層が銅、パラジウム及びスズを含み、
上記無電解銅めっき層において、パラジウム及びスズの上に銅が積層され、
上記銅箔表面の単位面積当たりの上記パラジウムの積層量が0.18μg/cm2以上0.40μg/cm2以下であるプリント配線板。 - 上記銅箔表面の単位面積当たりの上記パラジウムの積層量が0.18μg/cm 2 以上0.35μg/cm 2 以下であり、
上記銅箔表面の単位面積当たりの上記スズの積層量が0.08μg/cm2以上0.50μg/cm2以下である請求項1に記載のプリント配線板。 - 上記銅箔表面の面積に対する上記銅箔表面に存在する(100)面方位に配向する銅の結晶粒の面積の割合が50%以上である請求項1又は請求項2に記載のプリント配線板。
- 上記銅箔表面の面積に対する上記銅箔表面に存在する(100)面方位に配向する銅の結晶粒の面積の割合が60%以上である請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のプリント配線板。
- 上記無電解銅めっき層8の平均厚さが0.01μm以上1.0μm以下である請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のプリント配線板。
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