JP7430184B2 - 窒化ケイ素基板 - Google Patents
窒化ケイ素基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7430184B2 JP7430184B2 JP2021527721A JP2021527721A JP7430184B2 JP 7430184 B2 JP7430184 B2 JP 7430184B2 JP 2021527721 A JP2021527721 A JP 2021527721A JP 2021527721 A JP2021527721 A JP 2021527721A JP 7430184 B2 JP7430184 B2 JP 7430184B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon nitride
- region
- nitride substrate
- epma
- signal intensity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims description 119
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 119
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 72
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 83
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 47
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 22
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 4
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 claims 8
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 claims 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 63
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 35
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 25
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 24
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 21
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 18
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 16
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 14
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 9
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 3
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
- C04B35/587—Fine ceramics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
- H01L23/14—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
- H01L23/15—Ceramic or glass substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
鉄元素及びクロム元素の少なくとも一方を含む第1領域と、
前記第1領域の周囲のうちの少なくとも一部分に位置する第2領域と、
を含み、
前記鉄元素及び前記クロム元素の前記少なくとも一方は、前記第1領域において、前記第2領域においてよりも、高い濃度で存在し、
前記第1領域は、前記鉄元素及び前記クロム元素の前記少なくとも一方のEPMA信号強度がシリコン元素のEPMA信号強度の0.005倍以上となる部分を含む、窒化ケイ素基板である。
実施例1に係る窒化ケイ素基板100は、以下のようにして製造した。
実施例2~4のそれぞれに係る窒化ケイ素基板100は、窒化ケイ素(Si3N4)の含有率、酸化イットリウム(Y2O3)の含有率、酸化マグネシウム(MgO)の含有率及び酸化ケイ素(SiO2)の含有率が表1に示す値になる点を除いて、実施例1に係る窒化ケイ素基板100と同様にして製造した。
実施例5~8のそれぞれに係る窒化ケイ素基板100は、鉄濃度、クロム濃度、窒化ケイ素(Si3N4)の含有率、酸化イットリウム(Y2O3)の含有率、酸化マグネシウム(MgO)の含有率及び酸化ケイ素(SiO2)の含有率が表1に示す値になる点を除いて、実施例1に係る窒化ケイ素基板100と同様にして製造した。
実施例9に係る窒化ケイ素基板100は、鉄濃度及びクロム濃度が表1に示す値になる点を除いて、実施例1に係る窒化ケイ素基板100と同様にして製造した。
比較例1~2のそれぞれに係る窒化ケイ素基板100は、鉄濃度、クロム濃度、窒化ケイ素(Si3N4)の含有率、酸化イットリウム(Y2O3)の含有率、酸化マグネシウム(MgO)の含有率及び酸化ケイ素(SiO2)の含有率が表1に示す値になる点を除いて、実施例1に係る窒化ケイ素基板100と同様にして製造した。
参考例1に係る窒化ケイ素基板100は、鉄濃度、クロム濃度、窒化ケイ素(Si3N4)の含有率、酸化イットリウム(Y2O3)の含有率、酸化マグネシウム(MgO)の含有率及び酸化ケイ素(SiO2)の含有率並びに1200℃から焼成温度(1830℃)までの昇温速度が表1に示す値になる点を除いて、実施例1に係る窒化ケイ素基板100と同様にして製造した。
装置:電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)
機種:日本電子社製 JXA-8230
加速電圧:15kV
ピクセルサイズ:1μm×1μm
マッピングサイズ:400μm×400μm
測定時間:30m秒/ピクセル
測定元素:Si(シリコン)元素、N(窒素)元素、O(酸素)元素、Y(イットリウム)元素、Mg(マグネシウム)元素、Fe(鉄)元素、Cr(クロム)元素、P(リン)元素、V(バナジウム)元素、Ni(ニッケル)元素、C(炭素)元素
102 第1面
102a 第1領域
102b 第2領域
104 第2面
Claims (6)
- 鉄元素及びクロム元素の少なくとも一方を含む第1領域と、
前記第1領域の周囲のうちの少なくとも一部分に位置する第2領域と、
を含み、
前記鉄元素及び前記クロム元素の前記少なくとも一方は、前記第1領域において、前記第2領域においてよりも、高い濃度で存在し、
前記第1領域は、前記鉄元素及び前記クロム元素の前記少なくとも一方のEPMA信号強度がシリコン元素のEPMA信号強度の0.005倍以上となる部分を含む、窒化ケイ素基板(ただし、窒化珪素を主成分とし、マグネシウム,希土類金属,アルミニウムおよび硼素を酸化物換算でそれぞれ2質量%以上6質量%以下,12質量%以上16質量%以下,0.1質量%以上0.5質量%以下,0.06質量%以上0.32質量%以下含んでなり、β-Si 3 N 4 からなる主結晶相と、組成式がRE 4 Si 2 N 2 O 7 (REは希土類金属)として示される成分を含む粒界相とにより構成され、X線回折法によって求められる、回折角27°~28°におけるβ-Si 3 N 4 の第1のピーク強度I 0 に対する、回折角30°~35°におけるRE 4 Si 2 N 2 O 7 の第1のピーク強度I 1 の比率(I 1 /I 0 )が20%以下(但し、0%を除く)であることを特徴とする窒化珪素質焼結体を除く)。 - 請求項1に記載の窒化ケイ素基板において、
前記第2領域は、前記鉄元素及び前記クロム元素の両方のEPMA信号強度がシリコン元素のEPMA信号強度の0.005倍未満となる部分を含む、窒化ケイ素基板。 - 請求項1又は2に記載の窒化ケイ素基板において、
前記第1領域は、前記鉄元素の前記EPMA信号強度の最大値が前記シリコン元素の前記EPMA信号強度の0.008倍以上となる部分を含む、窒化ケイ素基板。 - 請求項1又は2に記載の窒化ケイ素基板において、
前記第1領域は、前記クロム元素の前記EPMA信号強度の最大値が前記シリコン元素の前記EPMA信号強度の0.006倍以上となる部分を含む、窒化ケイ素基板。 - 請求項1から4までのいずれか一項に記載の窒化ケイ素基板において、
前記第2領域は、前記第1領域を囲んでいる、窒化ケイ素基板。 - 請求項1から5までのいずれか一項に記載の窒化ケイ素基板において、
前記第1領域は、20μm以上350μm以下の円相当直径を有する、窒化ケイ素基板。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019119570 | 2019-06-27 | ||
JP2019119570 | 2019-06-27 | ||
PCT/JP2020/024964 WO2020262519A1 (ja) | 2019-06-27 | 2020-06-25 | 窒化ケイ素基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020262519A1 JPWO2020262519A1 (ja) | 2020-12-30 |
JP7430184B2 true JP7430184B2 (ja) | 2024-02-09 |
Family
ID=74061725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021527721A Active JP7430184B2 (ja) | 2019-06-27 | 2020-06-25 | 窒化ケイ素基板 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7430184B2 (ja) |
WO (1) | WO2020262519A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005213131A (ja) | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Isuzu Motors Ltd | セラミックス及びその製造方法 |
JP2012092006A (ja) | 2010-09-29 | 2012-05-17 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体およびこれを用いた回路基板ならびに電子装置 |
JP2014005190A (ja) | 2012-05-31 | 2014-01-16 | Kyocera Corp | セラミック焼結体,これを用いた耐食性部材およびフィルターならびにハレーション防止部材 |
WO2015147071A1 (ja) | 2014-03-25 | 2015-10-01 | 京セラ株式会社 | 流路部材および半導体モジュール |
-
2020
- 2020-06-25 JP JP2021527721A patent/JP7430184B2/ja active Active
- 2020-06-25 WO PCT/JP2020/024964 patent/WO2020262519A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005213131A (ja) | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Isuzu Motors Ltd | セラミックス及びその製造方法 |
JP2012092006A (ja) | 2010-09-29 | 2012-05-17 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体およびこれを用いた回路基板ならびに電子装置 |
JP2014005190A (ja) | 2012-05-31 | 2014-01-16 | Kyocera Corp | セラミック焼結体,これを用いた耐食性部材およびフィルターならびにハレーション防止部材 |
WO2015147071A1 (ja) | 2014-03-25 | 2015-10-01 | 京セラ株式会社 | 流路部材および半導体モジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2020262519A1 (ja) | 2020-12-30 |
WO2020262519A1 (ja) | 2020-12-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5345580B2 (ja) | セラミックヒータ及びその製造方法 | |
JP5141227B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5408929B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
US9884762B2 (en) | Silicon nitride substrate and silicon nitride circuit board using the same | |
US20130285336A1 (en) | Alumina sintered body, member including the same, and semiconductor manufacturing apparatus | |
JP6394702B2 (ja) | チップ型セラミック半導体電子部品 | |
KR102657287B1 (ko) | 세라믹 구조체, 그 제법 및 반도체 제조 장치용 부재 | |
KR102655133B1 (ko) | 복합 소결체, 반도체 제조 장치 부재 및 복합 소결체의 제조 방법 | |
JP7430184B2 (ja) | 窒化ケイ素基板 | |
TW201622998A (zh) | 陶瓷構造體、基板保持裝置用元件以及陶瓷構造體之製法 | |
TW201730133A (zh) | 氧化鋁燒結體及光學元件用下方基板 | |
JPWO2016208766A1 (ja) | セラミック基板およびこれを用いた実装用基板ならびに電子装置 | |
JP2007162103A (ja) | 混合磁性粉末とその製造方法、およびそれを用いてなるシート素材とその製造方法 | |
JP5401356B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5743830B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびこれを用いた回路基板ならびに電子装置 | |
JP6626500B2 (ja) | アルミナ焼結体及び光学素子用下地基板 | |
JP7227954B2 (ja) | 複合焼結体、半導体製造装置部材および複合焼結体の製造方法 | |
JP2004262712A (ja) | 焼成用道具 | |
WO2023013684A1 (ja) | セラミック焼結体、セラミック基板、実装用基板、電子装置及びセラミック焼結体の製造方法 | |
WO2018083837A1 (ja) | 酸化物焼結体およびその製造方法、スパッタターゲット、ならびに半導体デバイスの製造方法 | |
WO2017006594A1 (ja) | 炭化珪素半導体基板および炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
US20200064375A1 (en) | Probe card board, probe card, and inspection apparatus | |
WO2019177086A1 (ja) | MgO焼結体及びスパッタリングターゲット | |
WO2024122270A1 (ja) | 炭化珪素基板、エピタキシャル基板、半導体装置および炭化珪素基板の製造方法 | |
JP6233531B2 (ja) | 炭化ケイ素半導体装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230912 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231016 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7430184 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |