JP7421497B2 - フィルム状接着剤、積層シート、複合シート、及び積層体の製造方法 - Google Patents
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Description
本願は、2018年12月28日に日本に出願された特願2018-246837号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
例えば、半導体チップを基板の回路形成面に装着する場合には、半導体チップの裏面にフィルム状接着剤を貼付しておき、このフィルム状接着剤を介して、半導体チップを基板の回路形成面に接着(ダイボンディング)する。また、センサー等のチップの回路形成面を保護する場合には、光透過性を有するフィルム状接着剤を介して、前記回路形成面を光透過性カバーで被覆する。
本発明のフィルム状接着剤においては、前記エポキシ化合物(b1)が脂肪族系化合物であってもよい。
本発明のフィルム状接着剤においては、前記フィルム状接着剤が、さらにフェノール樹脂(b2)を含有し、前記フィルム状接着剤における、前記フィルム状接着剤の総質量に対する、前記フェノール樹脂(b2)の含有量の割合が、10質量%以下であってもよい。
本発明のフィルム状接着剤においては、前記フィルム状接着剤が、さらに脂肪族系多価イソシアネート架橋剤を含有し、前記アクリル系樹脂(a)が、前記架橋剤と結合可能な官能基を有していてもよい。
本発明は、前記フィルム状接着剤と、前記フィルム状接着剤の一方の面上に設けられた樹脂フィルムと、を備えた、積層シートを提供する。
本発明は、前記フィルム状接着剤と、前記フィルム状接着剤の一方の面上に設けられたダイシングシートと、を備えており、前記ダイシングシートが、基材と、前記基材の一方の面上に設けられた粘着剤層と、を備えており、前記粘着剤層が、前記基材と前記フィルム状接着剤との間に配置されている、複合シートを提供する。
本発明は、前記フィルム状接着剤の一方の面に、チップの回路形成面を貼り合わせ、前記フィルム状接着剤の他方の面に、光透過性カバーを貼り合わせることにより、前記チップと、前記フィルム状接着剤と、前記光透過性カバーと、がこの順に積層されて構成された積層体を得る、積層体の製造方法を提供する。
本発明のフィルム状接着剤を備えた、本発明の積層シート又は複合シートを用いることにより、前記フィルム状接着剤を、その適用対象である部品に設けることができる。
本発明の積層体の製造方法により、チップと、フィルム状接着剤と、光透過性カバーと、がこの順に積層されて構成された積層体を製造できる。
本発明の一実施形態に係るフィルム状接着剤は、アクリル系樹脂(a)、エポキシ化合物(b1)、及びリン系酸化防止剤(z)を含有するフィルム状接着剤であって、260℃で加熱する前の前記フィルム状接着剤の、波長が400~800nmである光(本明細書においては、「光(400~800nm)」と略記することがある)の直線透過率(本明細書においては、「加熱前直線透過率」と略記することがある)が、90%以上であり、260℃で10分加熱した後の前記フィルム状接着剤の、波長が400~800nmである光の直線透過率(本明細書においては、「加熱後直線透過率」と略記することがある)が、85%以上であり、前記フィルム状接着剤の厚さが10~40μmである。
本実施形態のフィルム状接着剤は、その260℃等での加熱前後において、濁りと着色が抑制され、光(400~800nm)の直線透過率が高い。
例えば、センサー等のチップの回路形成面を、前記フィルム状接着剤を介して、光透過性カバー(保護カバー)で被覆できる。すなわち、前記フィルム状接着剤は、チップの回路形成面に対してカバーを接着するためのフィルムとして使用できる。
その場合、フィルム状接着剤が上記のように、加熱前後で光透過性が高く、着色が抑制されるため、光透過性カバー及びフィルム状接着剤越しに、チップの回路形成面に存在する視覚情報を安定して高精度に視認可能である。
なお、本明細書において、単なる「チップ」との記載は、半導体チップのみを意味するものではなく、半導体チップ以外のチップも含む。
例えば、前記加熱前直線透過率が99.8%以下であるフィルム状接着剤は、その製造がより容易である。
例えば、前記加熱後直線透過率が99.8%以下であるフィルム状接着剤は、その製造がより容易である。
なお、本明細書において、単位「N/2mm□」は「N/(2mm×2mm)」と同義である。
例えば、せん断強度が300N/2mm□以下であるフィルム状接着剤は、その製造がより容易である。
(フィルム状接着剤のせん断強度の測定方法)
大きさが2mm×2mmで、厚さが20μmであるフィルム状接着剤と、大きさが30mm×30mmで、厚さが300μmである銅板と、シリコンチップとを用い、前記フィルム状接着剤の、一方の面全面が前記シリコンチップの表面に貼付され、他方の面全面が前記銅板の表面に貼付されて構成された試験片を作製する。この試験片のうち、少なくとも一の側面においては、前記フィルム状接着剤と前記シリコンチップとの側面の位置合わせを行う。
23℃の温度条件下で、前記試験片中の、前記位置合わせを行った側面において、前記フィルム状接着剤と前記シリコンチップの両方に対して、前記フィルム状接着剤の前記他方の面に対して平行な方向に、200μm/sの速度で力を加え、前記フィルム状接着剤が破壊されるまでに加えられていた力の最大値を、前記フィルム状接着剤のせん断強度(N/2mm□)として採用する。
ここで、「フィルム状接着剤の厚さ」とは、フィルム状接着剤全体の厚さを意味し、例えば、複数層からなるフィルム状接着剤の厚さとは、フィルム状接着剤を構成するすべての層の合計の厚さを意味する。
前記フィルム状接着剤は、その構成材料(すなわち、アクリル系樹脂(a)、エポキシ化合物(b1)、及びリン系酸化防止剤(z))を含有する接着剤組成物を用いて形成できる。例えば、フィルム状接着剤の形成対象面に接着剤組成物を塗工し、必要に応じて乾燥させることで、目的とする部位にフィルム状接着剤を形成できる。
接着剤組成物中の、常温で気化しない成分同士の含有量の比率は、通常、フィルム状接着剤の前記成分同士の含有量の比率と同じとなる。なお、本明細書において、「常温」とは、特に冷やしたり、熱したりしない温度、すなわち平常の温度を意味し、例えば、15~25℃の温度等が挙げられる。
以下、フィルム状接着剤及び接着剤組成物の含有成分について、詳細に説明する。
アクリル系樹脂(a)は、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸エステル、及びこれらの誘導体からなる群から選択される1種又は2種以上が、重合反応して形成されたとみなせる成分である。
なお、本明細書において「誘導体」とは、特に断りのない限り、元の化合物の1個以上の基がそれ以外の基(置換基)で置換された構造を有するものを意味する。ここで、「基」とは、複数個の原子が結合して構成された原子団だけでなく、1個の原子も包含するものとする。
アクリル系樹脂(a)は、フィルム状接着剤に造膜性や可撓性等を付与すると共に、前記チップ等の接着対象への接着性(貼付性)を向上させるための樹脂成分である。
アクリル系樹脂(a)の重量平均分子量(Mw)は、10000~2000000であることが好ましく、100000~1500000であることがより好ましい。アクリル系樹脂(a)の重量平均分子量がこのような範囲内であることで、フィルム状接着剤と被着体との間の接着力を好ましい範囲に調節することが容易となる。
一方、アクリル系樹脂(a)の重量平均分子量が前記下限値以上であることで、フィルム状接着剤の形状安定性(保管時の経時安定性)が向上する。また、アクリル系樹脂(a)の重量平均分子量が前記上限値以下であることで、被着体の凹凸面へフィルム状接着剤が追従し易くなり、被着体とフィルム状接着剤との間でボイド等の発生がより抑制される。
なお、本明細書において、「重量平均分子量」とは、特に断りのない限り、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算値である。
(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル等の(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステル;
(メタ)アクリル酸ベンジル等の(メタ)アクリル酸アラルキルエステル;
(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニルエステル等の(メタ)アクリル酸シクロアルケニルエステル;
(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニルオキシエチルエステル等の(メタ)アクリル酸シクロアルケニルオキシアルキルエステル;
(メタ)アクリル酸イミド;
(メタ)アクリル酸グリシジル等のグリシジル基含有(メタ)アクリル酸エステル;
(メタ)アクリル酸ヒドロキシメチル、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸3-ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸3-ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸4-ヒドロキシブチル等の水酸基含有(メタ)アクリル酸エステル;
(メタ)アクリル酸N-メチルアミノエチル等の置換アミノ基含有(メタ)アクリル酸エステル等が挙げられる。ここで、「置換アミノ基」とは、アミノ基の1個又は2個の水素原子が水素原子以外の基で置換された構造を有する基を意味する。
エポキシ化合物(b1)は、樹脂成分及び非樹脂成分のいずれであってもよい。
エポキシ化合物(b1)としては、公知のものが挙げられ、例えば、多官能系エポキシ樹脂、ビフェニル化合物、ビスフェノールAジグリシジルエーテル及びその水添物、オルソクレゾールノボラックエポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェニレン骨格型エポキシ樹脂、トリアジン型脂環式エポキシ化合物等、2官能以上のエポキシ化合物が挙げられる。
不飽和炭化水素基は、重合性を有する不飽和基であり、その具体的な例としては、エテニル基(ビニル基)、2-プロペニル基(アリル基)、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリルアミド基等が挙げられ、アクリロイル基が好ましい。
エポキシ化合物(b1)のエポキシ当量は、100~1000g/eqであることが好ましく、120~600g/eqであることがより好ましい。
本明細書において、「脂肪族系化合物」とは、脂肪族基を有し、かつ芳香族基を有しない化合物を意味する。また、「脂肪族基」には、鎖状脂肪族基及び脂肪族環式基(別名:脂環式基)が含まれる。また、「芳香族基」には、芳香族炭化水素基及び芳香族複素環式基が含まれる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、エポキシ化合物(b1)として、脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、芳香族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、エポキシ化合物(b1)として、これら結合又は基を有しないものを含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しないもののみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有するものを含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、エポキシ化合物(b1)として、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有する脂肪族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
リン系酸化防止剤(z)は、その構成原子としてリン原子を有し、酸化防止作用を有するものであれば、特に限定されない。
リン系酸化防止剤(z)としては、例えば、リンの酸化数が3である化合物が挙げられる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、リン系酸化防止剤(z)として、脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、芳香族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、リン系酸化防止剤(z)として、これら結合又は基を有しないものを含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しないもののみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有するものを含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、リン系酸化防止剤(z)として、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有する脂肪族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
なかでも、リン系酸化防止剤(z)は、脂肪族系亜リン酸エステルであることがより好ましく、脂肪族系亜リン酸トリアルキルエステルであることがさらに好ましい。
前記フィルム状接着剤が含有する他の成分としては、例えば、フェノール樹脂(b2)、硬化促進剤(c)、充填材(d)、カップリング剤(e)、架橋剤(f)、エネルギー線硬化性樹脂(g)、光重合開始剤(h)、リン系酸化防止剤(z)以外の酸化防止剤(y)(本明細書においては、「他の酸化防止剤(y)」と略記することがある)、アクリル系樹脂(a)以外の熱可塑性樹脂(x)(本明細書においては、「熱可塑性樹脂(x)」と略記することがある)、汎用添加剤(i)等が挙げられる。
フェノール樹脂(b2)は、エポキシ化合物(b1)に対する熱硬化剤として機能する。
本実施形態において、エポキシ化合物(b1)及びフェノール樹脂(b2)を併用する場合、これらの組み合わせは、エポキシ系熱硬化性樹脂として機能する。本実施形態においては、このようなエポキシ系熱硬化性樹脂を「エポキシ系熱硬化性樹脂(b)」と称することがある。
不飽和炭化水素基を有する他のフェノール樹脂(b2)としては、例えば、フェノール樹脂の水酸基の一部が、不飽和炭化水素基を有する基で置換された構造を有する化合物、フェノール樹脂の芳香環に、不飽和炭化水素基を有する基が直接結合した構造を有する化合物等が挙げられる。
フェノール樹脂(b2)における前記不飽和炭化水素基は、上述の不飽和炭化水素基を有するエポキシ化合物における不飽和炭化水素基と同様である。
例えば、フェノール樹脂(b2)を用いたことによる効果が、より顕著に得られる点では、前記割合は、0.5質量%以上であることが好ましい。
硬化促進剤(c)は、接着剤組成物及びフィルム状接着剤の硬化速度を調節するための成分である。
好ましい硬化促進剤(c)としては、例えば、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等の第3級アミン;2-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール類(1個以上の水素原子が水素原子以外の基で置換されたイミダゾール);トリブチルホスフィン、ジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン等の有機ホスフィン類(1個以上の水素原子が有機基で置換されたホスフィン);テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィンテトラフェニルボレート等のテトラフェニルボロン塩;前記イミダゾール類をゲスト化合物とする包接化合物等が挙げられる。
フィルム状接着剤は、充填材(d)を含有することにより、その熱膨張係数の調整が容易となり、この熱膨張係数をフィルム状接着剤の貼付対象物に対して最適化することで、フィルム状接着剤を用いて得られたパッケージの信頼性がより向上する。また、フィルム状接着剤が充填材(d)を含有することにより、フィルム状接着剤の硬化物の吸湿率を低減したり、放熱性を向上させたりすることもできる。
好ましい無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシウム、チタンホワイト、ベンガラ、炭化ケイ素、窒化ホウ素等の粉末;これら無機充填材を球形化したビーズ;これら無機充填材の表面改質品;これら無機充填材の単結晶繊維;ガラス繊維等が挙げられる。
これらの中でも、無機充填材は、シリカ又はその表面改質品であることが好ましい。
なお、本明細書において「平均粒子径」とは、特に断りのない限り、レーザー回折散乱法によって求められた粒度分布曲線における、積算値50%での粒子径(D50)の値を意味する。
フィルム状接着剤は、カップリング剤(e)を含有することにより、被着体に対する接着性及び密着性が向上する。また、フィルム状接着剤がカップリング剤(e)を含有することにより、その硬化物は耐熱性を損なうことなく、耐水性が向上する。カップリング剤(e)は、無機化合物又は有機化合物と反応可能な官能基を有する。
好ましい前記シランカップリング剤としては、例えば、3-グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシジルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、3-グリシジルオキシプロピルトリエトキシシラン、3-グリシジルオキシメチルジエトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3-メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピルメチルジエトキシシラン、3-(フェニルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3-アニリノプロピルトリメトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、ビス(3-トリエトキシシリルプロピル)テトラスルファン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、イミダゾールシラン、オリゴマー型又はポリマー型オルガノシロキサン等が挙げられる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、カップリング剤(e)として、脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、芳香族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、カップリング剤(e)として、これら結合又は基を有しないものを含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しないもののみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有するものを含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、カップリング剤(e)として、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有する脂肪族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
アクリル系樹脂(a)として、上述の他の化合物と結合可能なビニル基、(メタ)アクリロイル基、アミノ基、水酸基、カルボキシ基、イソシアネート基等の官能基を有するものを用いる場合、接着剤組成物及びフィルム状接着剤は、前記官能基を他の化合物と結合させて架橋するための架橋剤(f)を含有していてもよい。架橋剤(f)を用いて架橋することにより、フィルム状接着剤の初期接着力及び凝集力を調節できる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、架橋剤(f)として、脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、芳香族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、架橋剤(f)として、これら結合又は基を有しないものを含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しないもののみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有するものを含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、架橋剤(f)として、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有する脂肪族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
前記脂肪族系多価イソシアネート架橋剤として、より具体的には、例えば、2,4-トリレンジイソシアネート;2,6-トリレンジイソシアネート;ヘキサメチレンジイソシアネート;イソホロンジイソシアネート;ジシクロヘキシルメタン-4,4’-ジイソシアネート;ジシクロヘキシルメタン-2,4’-ジイソシアネート;トリメチロールプロパン等のポリオールのすべて又は一部の水酸基に、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート及びヘキサメチレンジイソシアネートのいずれか1種又は2種以上が付加した化合物;リジンジイソシアネート等が挙げられる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤は、エネルギー線硬化性樹脂(g)を含有していてもよい。フィルム状接着剤は、エネルギー線硬化性樹脂(g)を含有していることにより、エネルギー線の照射によって特性を変化させることができる。
紫外線は、例えば、紫外線源として高圧水銀ランプ、ヒュージョンランプ、キセノンランプ、ブラックライト又はLEDランプ等を用いることで照射できる。電子線は、電子線加速器等によって発生させたものを照射できる。
本明細書において、「エネルギー線硬化性」とは、エネルギー線を照射することにより硬化する性質を意味し、「非エネルギー線硬化性」とは、エネルギー線を照射しても硬化しない性質を意味する。
前記エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、分子内に少なくとも1個の重合性二重結合を有する化合物が挙げられ、(メタ)アクリロイル基を有するアクリレート系化合物が好ましい。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤は、エネルギー線硬化性樹脂(g)を含有する場合、エネルギー線硬化性樹脂(g)の重合反応を効率よく進めるために、光重合開始剤(h)を含有していてもよい。
また、光重合開始剤(h)としては、例えば、アミン等の光増感剤等も挙げられる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、光重合開始剤(h)として、脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、芳香族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、光重合開始剤(h)として、これら結合又は基を有しないものを含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しないもののみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有するものを含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、光重合開始剤(h)として、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有する脂肪族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
ここで例示した化合物のうち、脂肪族系化合物であり、かつ、炭素原子間の三重結合(C≡C)、炭素原子間の二重結合(C=C)及びシアノ基(-C≡N)からなる群から選択される1種又は2種以上を有しない光重合開始剤(h)としては、例えば、アゾビスイソブチロニトリル以外の化合物が挙げられる。
前記接着剤組成物及びフィルム状接着剤は、本発明の効果を損なわない範囲で、前記他の酸化防止剤(y)を含有していてもよい。
他の酸化防止剤(y)は、リン系酸化防止剤(z)以外の酸化防止剤であれば、特に限定されず、有機化合物及び無機化合物のいずれであってもよい。
前記接着剤組成物及びフィルム状接着剤は、本発明の効果を損なわない範囲で、前記熱可塑性樹脂(x)を含有していてもよい。
熱可塑性樹脂(x)を用いることで、例えば、ピックアップ時において、フィルム状接着剤を備えた前記チップの、後述するダイシングシートからの引き離しがより容易となったり、被着体の凹凸面へフィルム状接着剤が追従し易くなり、被着体とフィルム状接着剤との間でボイド等の発生がより抑制されることがある。
前記熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエステル、ポリウレタン、フェノキシ樹脂、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリスチレン等が挙げられる。
汎用添加剤(i)は、公知のものでよく、目的に応じて任意に選択でき、特に限定されない。好ましい汎用添加剤(I)としては、例えば、可塑剤、帯電防止剤、着色剤(染料、顔料)、ゲッタリング剤等が挙げられる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、有機汎用添加剤として、脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、芳香族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、有機汎用添加剤として、これら結合又は基を有しないものを含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しないもののみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有するものを含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が、有機汎用添加剤として、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物を含有することにより、フィルム状接着剤の加熱(例えば、260℃での加熱)後の着色の抑制効果がより高くなり、これら結合又は基を有しない脂肪族系化合物のみを含有する(換言すると、これら結合又は基を有する脂肪族系化合物を含有しない)ことにより、上記の着色の抑制効果が顕著に高くなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤の汎用添加剤(i)の含有量は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択すればよい。
接着剤組成物は、さらに溶媒を含有することが好ましい。溶媒を含有する接着剤組成物は、取り扱い性が良好となる。
前記溶媒は特に限定されないが、好ましいものとしては、例えば、トルエン、キシレン等の炭化水素;メタノール、エタノール、2-プロパノール、イソブチルアルコール(2-メチルプロパン-1-オール)、1-ブタノール等のアルコール;酢酸エチル等のエステル;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン;テトラヒドロフラン等のエーテル;ジメチルホルムアミド、N-メチルピロリドン等のアミド(アミド結合を有する化合物)等が挙げられる。
接着剤組成物が含有する溶媒は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
接着剤組成物は、これを構成するための各成分を配合することで得られる。
各成分の配合時における添加順序は特に限定されず、2種以上の成分を同時に添加してもよい。
溶媒を用いる場合には、溶媒を溶媒以外のいずれかの配合成分と混合してこの配合成分を予め希釈しておくことで用いてもよいし、溶媒以外のいずれかの配合成分を予め希釈しておくことなく、溶媒をこれら配合成分と混合することで用いてもよい。
各成分の添加及び混合時の温度並びに時間は、各配合成分が劣化しない限り特に限定されず、適宜調節すればよいが、温度は15~30℃であることが好ましい。
このようなフィルム状接着剤13(積層シート109)は、例えば、ロール状として保存するのに好適である。
フィルム状接着剤13の厚さは、10~40μmである。
フィルム状接着剤13は、上述の接着剤組成物を用いて形成できる。
第1剥離フィルム151及び第2剥離フィルム152は、互いに同じものであってもよいし、例えば、フィルム状接着剤13から剥離させるときに必要な剥離力が互いに異なるなど、互いに異なるものであってもよい。
大きさが2mm×2mmで、厚さが20μmである前記フィルム状接着剤と、大きさが30mm×30mmで、厚さが300μmである銅板と、シリコンチップとを用い、前記フィルム状接着剤の、一方の面全面が前記シリコンチップの表面に貼付され、他方の面全面が前記銅板の表面に貼付されて構成され、前記フィルム状接着剤と前記シリコンチップとの側面が位置合わせされた試験片を作製し、23℃の温度条件下で、前記試験片中の、前記位置合わせされた側面において、前記フィルム状接着剤と前記シリコンチップの両方に対して、前記フィルム状接着剤の前記他方の面に対して平行な方向に、200μm/sの速度で力を加え、前記フィルム状接着剤が破壊されるまでに加えられていた力の最大値を、前記フィルム状接着剤のせん断強度(N/2mm□)としたとき、前記せん断強度が20N/2mm□以上であるもの、が挙げられる。
前記リン系酸化防止剤(z)が、脂肪族系化合物であり、かつ、炭素原子間の三重結合と、炭素原子間の二重結合と、シアノ基と、からなる群から選択される1種又は2種以上を有さず、
前記フィルム状接着剤における、前記フィルム状接着剤の総質量に対する、前記リン系酸化防止剤(z)の含有量の割合が、0.1~5質量%であるもの、が挙げられる。
前記エポキシ化合物(b1)及びリン系酸化防止剤(z)がいずれも、脂肪族系化合物であり、かつ、炭素原子間の三重結合と、炭素原子間の二重結合と、シアノ基と、からなる群から選択される1種又は2種以上を有しないもの、が挙げられる。
前記リン系酸化防止剤(z)及び架橋剤(f)がいずれも、脂肪族系化合物であり、かつ、炭素原子間の三重結合と、炭素原子間の二重結合と、シアノ基と、からなる群から選択される1種又は2種以上を有しないもの、が挙げられる。
前記充填材(d)の平均粒子径が10~100nmであるもの、が挙げられる。
本発明の一実施形態に係る積層シートは、前記フィルム状接着剤と、前記フィルム状接着剤の一方の面上に設けられた樹脂フィルムと、を備えて構成されている。
また、本発明の一実施形態に係る複合シートは、前記フィルム状接着剤と、前記フィルム状接着剤の一方の面上に設けられたダイシングシートと、を備えており、前記ダイシングシートが、基材と、前記基材の一方の面上に設けられた粘着剤層と、を備えており、前記粘着剤層が、前記基材と前記フィルム状接着剤との間に配置されている。
また、前記樹脂としては、例えば、前記ポリエステルとそれ以外の樹脂との混合物等のポリマーアロイも挙げられる。前記ポリエステルとそれ以外の樹脂とのポリマーアロイは、ポリエステル以外の樹脂の量が比較的少量であるものが好ましい。
また、前記樹脂としては、例えば、ここまでに例示した前記樹脂の1種又は2種以上が架橋した架橋樹脂;ここまでに例示した前記樹脂の1種又は2種以上を用いたアイオノマー等の変性樹脂も挙げられる。
前記樹脂層は、樹脂を含有する樹脂組成物を成形又は塗工し、必要に応じて乾燥させることで作製できる。
前記樹脂層の剥離処理は、例えば、アルキッド系、シリコーン系、フッ素系、不飽和ポリエステル系、ポリオレフィン系又はワックス系等の、公知の各種剥離剤によって行うことができる。
前記剥離剤は、耐熱性を有する点では、アルキッド系、シリコーン系又はフッ素系の剥離剤であることが好ましい。
なお、図2以降の図において、既に説明済みの図に示すものと同じ構成要素には、その説明済みの図の場合と同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
樹脂フィルム19は、上記のものであり、剥離フィルム(例えば、図1中の第1剥離フィルム151又は第2剥離フィルム152)であってもよいし、後述する基材であってもよい。
前記樹脂フィルムの厚さは、例えば、10~200μmであってもよい。
治具用接着剤層は、例えば、接着剤成分を含有する単層構造のものであってもよいし、芯材となるシートの両面に接着剤成分を含有する層が積層された複数層構造のものであってもよい。
ここに示す複合シート101は、フィルム状接着剤13と、フィルム状接着剤13の第2面13b上に設けられたダイシングシート10と、を備えており、ダイシングシート10が、基材11と、基材11の一方の面(本明細書においては、「第1面」と称することがある)11a上に設けられた粘着剤層12と、を備えており、粘着剤層12が、基材11とフィルム状接着剤13との間に配置されて、構成されている。
換言すると、複合シート101は、基材11、粘着剤層12及びフィルム状接着剤13がこの順に、これらの厚さ方向において積層されて構成されている。
ダイシングシート10のフィルム状接着剤13側の面(本明細書においては、「第1面」と称することがある)10aは、粘着剤層12の基材11側とは反対側の面(本明細書においては、「第1面」と称することがある)12aと同じである。
複合シート101においては、基材11の第1面11aに粘着剤層12が積層され、粘着剤層12の第1面12aの全面又はほぼ全面に、フィルム状接着剤13が積層され、フィルム状接着剤13の第1面13aの全面又はほぼ全面に、剥離フィルム15が積層されている。
ダイシングシート10中の基材11及び粘着剤層12について、順次説明する。
ここで、「基材の厚さ」とは、基材全体の厚さを意味し、例えば、複数層からなる基材の厚さとは、基材を構成するすべての層の合計の厚さを意味する。
また、基材11は、表面がプライマー処理を施されたものであってもよい。
また、基材11は、帯電防止コート層;複合シートを重ね合わせて保存する際に、基材11が他のシートに接着することや、基材11が吸着テーブルに接着することを防止する層等を有するものであってもよい。
前記粘着剤としては、例えば、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ゴム系樹脂、シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリビニルエーテル、ポリカーボネート、エステル系樹脂等の粘着性樹脂が挙げられ、アクリル系樹脂が好ましい。
ここで、「粘着剤層の厚さ」とは、粘着剤層全体の厚さを意味し、例えば、複数層からなる粘着剤層の厚さとは、粘着剤層を構成するすべての層の合計の厚さを意味する。
フィルム状接着剤13の厚さは、10~40μmである。
フィルム状接着剤13は、上述の接着剤組成物を用いて形成できる。
この場合の治具用接着剤層は、先に説明したものと同様である。
前記複合シートが前記他の層を備えている場合、その配置位置は、特に限定されない。
<<積層体及びその製造方法>>
本実施形態の積層シート中のフィルム状接着剤は、例えば、センサー等のチップの回路形成面に対して、光透過性カバーを接着するためのフィルムとして使用できる。
より具体的には、前記フィルム状接着剤を用いることにより、チップと、前記チップの回路形成面上に設けられたフィルム状接着剤と、前記フィルム状接着剤の前記チップ側と反対側の面上に設けられた光透過性カバーと、を備えて構成された積層体を製造できる。
ここに示す積層体801は、チップ8と、チップ8の回路形成面8a上に設けられたフィルム状接着剤13と、フィルム状接着剤13のチップ8側と反対側の面(第1面)13a上に設けられた光透過性カバー7と、を備えて構成されている。
このように、積層体801は、チップ8と、フィルム状接着剤13と、光透過性カバー7と、がこの順に、これらの厚さ方向において積層され、チップ8の回路形成面8aがフィルム状接着剤13側に配置されて、構成されている。
一方、フィルム状接着剤13は、上述の光透過性を有する。そのため、積層体801においては、光透過性カバー7及びフィルム状接着剤13を介して(光透過性カバー7及びフィルム状接着剤13越しに)、チップ8の回路形成面8aに存在する視覚情報が、視認可能となっている。
さらに、フィルム状接着剤13は、上述のとおり、加熱前後で光透過性が高く、着色が抑制されている。したがって、積層体801は、チップ8上の視覚情報を安定して高精度に視認可能となっている。
<<積層体及びその製造方法>>
本実施形態の複合シートは、公知のダイシングダイボンディングシートの場合と同じ方法で使用できる。
図5は、本実施形態の複合シートの使用方法の一例を模式的に説明するための断面図である。ここでは、図3に示す複合シート101を用いた場合について示している。
本実施例及び比較例において、接着剤組成物の製造に用いた原料を以下に示す。
(a)-1:アクリル酸メチル(85質量部)及びアクリル酸2-ヒドロキシエチル(15質量部)を共重合して得られたアクリル系樹脂(重量平均分子量800000、ガラス転移温度6℃)。
(a)-2:アクリル酸メチル(95質量部)及びアクリル酸2-ヒドロキシエチル(5質量部)を共重合して得られたアクリル系樹脂(重量平均分子量800000、ガラス転移温度9℃)。
(a)-3:エポキシ基を有するアクリル酸エステル共重合体(重量平均分子量850000、ガラス転移温度12℃)。
[エポキシ化合物(b1)]
(b1)-1:アクリロイル基が付加されたクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬社製「CNA147」、エポキシ当量518g/eq、数平均分子量2100、不飽和基の含有量とエポキシ基の含有量とは等量)
(b1)-2:水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(共栄社化学社製「エポライト4000」、エポキシ当量310~340g/eq)
[フェノール樹脂(b2)]
(b2)-1:アラルキル型フェノール樹脂(エア・ウォーター・ケミカル社製「HE100C-10」)
[硬化促進剤(c)]
(c)-1:トリフェニルホスフィン(北興化学工業社製)
[充填材(d)]
(d)-1:メタクリル基で修飾された球状シリカ(アドマテックス社製「YA050C-MJE」、平均粒子径50nm)
(d)-2:エポキシ基で修飾された球状シリカ(アドマテックス社製「YA050C-MKK」、平均粒子径50nm)
(d)-3: エポキシ基で修飾されたシリカフィラー(アドマテックス社製「SC2050MA」、平均粒子径500nm)
[架橋剤(f)]
(f)-1:トリメチロールプロパンのトリレンジイソシアネート三量体付加物(東ソー社製「コロネートL」)
(f)-2:トリメチロールプロパンのイソホロンジイソシアネート三量体付加物(三井化学社製「D-140N」)
[リン系酸化防止剤(z)]
(z)-1:ビス(デシル)ペンタエリスリトールジホスファイト(城北化学工業社製「JPE-10」、脂肪族系亜リン酸エステル)
(z)-2:トリス(2-エチルへキシル)ホスファイト(城北化学工業社製「JP-308E」、脂肪族系亜リン酸エステル)
[他の酸化防止剤(y)]
(y)-1:1,3,5-トリス(3,5-ジ-tert-ブチル-4-ヒドロキシベンジル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン(ADEKA社製「AO-20」、ヒンダードフェノール)
<<フィルム状接着剤の製造>>
<接着剤組成物の製造>
アクリル系樹脂(a)-1(58質量部)、エポキシ化合物(b1)-1(18質量部)、フェノール樹脂(b2)-1(3質量部)、充填材(d)-1(20質量部)、架橋剤(f)-1(0.5質量部)及びリン系酸化防止剤(z)-1(0.5質量部)をメチルエチルケトンに溶解又は分散させて、23℃で撹拌することにより、メチルエチルケトン以外のすべての成分の合計濃度が32質量%である接着剤組成物を得た。なお、ここに示すメチルエチルケトン以外の成分の配合量はすべて、溶媒成分を含まない目的物の配合量である。
ポリエチレンテレフタレート(PET)製フィルムの片面がシリコーン処理により剥離処理されている剥離フィルム(リンテック社製「SP-PET381031」、厚さ38μm)を用い、その前記剥離処理面に、上記で得られた接着剤組成物を塗工し、100℃で2分加熱乾燥させることにより、厚さ20μmのフィルム状接着剤を形成し、前記剥離フィルム及びフィルム状接着剤が、これらの厚さ方向において積層されて構成された接着シートを得た。
<せん断強度の測定>
テープマウンター(リンテック社製「Adwill RAD2500 m/12」)を用い、貼付温度23℃、貼付速度20mm/sの条件で、ダイシングシート(リンテック社製「Adwill D-678」)を6インチシリコンウエハ(厚さ350μm)に貼付し、このダイシングシート及びシリコンウエハの積層物を、リングフレームに固定した。
次いで、ダイシング装置(DISCO社製「DFD6362)を用い、ダイシングブレード(DISCO社製「NBC-ZH2050-SE27HECC」によって、ブレード回転数30000rpm、切断速度40mm/sの条件で、ダイシングを行い、大きさが2mm×2mmの複数個のシリコンチップ(以下、「シリコンチップ群」と称することがある)を得た。上記のダイシングシートは、基材と及び粘着剤層が積層されて構成されており、ダイシング時には、このダイシングシート中の基材の深さ20μmの領域まで、ダイシングブレードにより切り込んだ。
以上により、ダイシングシート、シリコンチップ及び接着シートがこの順に、これらの厚さ方向において積層されて構成され、大きさが2mm×2mmである積層物を得た。
上記で得られたフィルム状接着剤を、40℃で加熱しながらガラス製プレパラート(厚さ0.9mm)の一方の面に貼付した。フィルム状接着剤は、その製造直後からこの貼付までの間、加熱処理を行わなかった。
次いで、貼付後のフィルム状接着剤のうち、ガラス製プレパラートからはみ出している部分を切断し、同じ大きさのフィルム状接着剤とガラス製プレパラートが、これらの周縁部の位置が一致した状態で、これらの厚さ方向において積層されて構成された試験片(以下、「加熱前試験片」と称する)を得た。
上記で得られた加熱前試験片についても、同じ方法で、光(400~800nm)の直線透過率を測定した。
加熱前試験片の、各波長での光(400~800nm)の直線透過率の測定値から、同じ波長での前記基準直線透過率の測定値を減じて得られた値を、加熱前のフィルム状接着剤の光(400~800nm)の直線透過率(すなわち、前記加熱前直線透過率)として採用した。結果を表1に示す。
電気炉を用いて、上記の光(400~800nm)の加熱前直線透過率を測定後の試験片を、260℃で10分加熱した。
次いで、この加熱後の試験片を、室温と同じ温度になるまで放冷した。
次いで、この加熱及び放冷後の試験片(以下、「加熱後試験片」と称する)について、上述の加熱前試験片の場合と同じ方法で、光(400~800nm)の直線透過率を測定した。
加熱後試験片の、各波長での光(400~800nm)の直線透過率の測定値から、同じ波長での前記基準直線透過率の測定値を減じて得られた値を、加熱後のフィルム状接着剤の光(400~800nm)の直線透過率(すなわち、前記加熱後直線透過率)として採用した。結果を表1に示す。
左手人差し指の腹の前に、デジタルカメラ(キャノン社製「IXY650」)を配置し、左手人差し指の腹の表面と、カメラレンズの表面と、の間の距離を50mmに調節して、この状態で左手人差し指の指紋の撮像データ(以下、「基準撮像データ」と称する)をマクロモードで取得した。
この左手人差し指とデジタルカメラの配置関係を維持したまま、左手人差し指の腹とデジタルカメラとの間に、さらに前記加熱前試験片を配置した。このとき、左手人差し指の腹とデジタルカメラとを結ぶ直線が、前記加熱前試験片中のガラス製プレパラートの露出面(すなわち、フィルム状接着剤との貼付面とは反対側の面)に対して直交し、かつ、前記露出面がデジタルカメラ側となるように、前記加熱前試験片を配置した。この条件で、前記基準撮像データの取得時と同じ方法で、左手人差し指の指紋の撮像データ(以下、「加熱前透過撮像データ」と称する)をマクロモードで取得した。
加熱前透過撮像データより取得した指紋の山部のR値から、基準撮像データより取得した指紋の山部のR値を減じて得られた値を、加熱前評価時の指紋の山部のR値として採用した。これと同様の方法で、加熱前評価時の指紋の山部のG値とB値を求めた。
上記と同様の方法で、加熱前透過撮像データより取得した指紋の谷部のR値から、基準撮像データより取得した指紋の谷部のR値を減じて得られた値を、加熱前評価時の指紋の谷部のR値として採用した。これと同様の方法で、加熱前評価時の指紋の谷部のG値とB値を求めた。
さらに、前記山部のR値と前記谷部のR値との差の絶対値(以下、「絶対値ΔR」と記載することがある)を算出し、前記山部のG値と前記谷部のG値との差の絶対値(以下、「絶対値ΔG」と記載することがある)を算出し、前記山部のB値と前記谷部のB値との差の絶対値(以下、「絶対値ΔB」と記載することがある)を算出した。
(評価基準)
A:絶対値ΔR、絶対値ΔG及び絶対値ΔBのうち、少なくとも1種が10以上である。
B:絶対値ΔR、絶対値ΔG及び絶対値ΔBがすべて10未満であり、かつ、絶対値ΔR、絶対値ΔG及び絶対値ΔBのうち、少なくとも1種が5以上である。
C:絶対値ΔR、絶対値ΔG及び絶対値ΔBがすべて5未満である。
前記加熱前試験片に代えて前記加熱後試験片を用いた点以外は、上述の「加熱前の指紋認識性の評価」の場合と同じ方法で、RGBによる加熱後のフィルム状接着剤の指紋認識性を評価した。
より具体的には、本評価時には、前記加熱前透過撮像データに代えて「加熱後透過撮像データ」を取得した。また、この加熱後透過撮像データを用いて、加熱前評価時の指紋の山部のR値、G値及びB値に代えて、加熱後評価時の指紋の山部のR値、G値及びB値を求め、加熱前評価時の指紋の谷部のR値、G値及びB値に代えて、加熱後評価時の指紋の谷部のR値、G値及びB値を求めた。さらに、これらR値、G値及びB値から、加熱前評価時の前記絶対値ΔR、絶対値ΔG及び絶対値ΔBに代えて、加熱後評価時の絶対値ΔR、絶対値ΔG及び絶対値ΔBを算出した。結果を表1に示す。
無作為に5名の観察者を選定し、以下に示す方法で、1名ずつ、指紋を目視観察した。
すなわち、左手人差し指の腹の前に、1名の観察者を配置し、左手人差し指の腹の表面と、観察者の目と、の間の距離を150mmに調節して、この状態で左手人差し指の指紋を直接、目視観察した。
この左手人差し指と観察者の配置関係を維持したまま、左手人差し指の腹と観察者との間に、さらに前記加熱前試験片を配置した。このときの前記加熱前試験片の配置形態は、上述の「RGBによる加熱前の指紋認識性の評価」時における加熱前試験片の場合と同じとした。この条件で、上記のとおり直接目視観察した場合と同様に、左手人差し指の指紋を、前記加熱前試験片越しに、目視観察した。
A: 観察者5名全員が、指紋の見え方に差が無い、と判定した。
B: 観察者5名中4名が、指紋の見え方に差が無い、と判定した。
C: 観察者5名中2名以上が、指紋の色が互いに異なっており、見え方に差がある、と判定した。
前記加熱前試験片に代えて前記加熱後試験片を用いた点以外は、上述の「目視による加熱前の指紋認識性の評価」の場合と同じ方法で、目視による加熱後のフィルム状接着剤の指紋認識性を評価した。結果を表1に示す。
[実施例2~4]
接着剤組成物の含有成分の種類及び含有量が、表1に示すとおりとなるように、接着剤組成物の製造時における、配合成分の種類及び配合量のいずれか一方又は両方を変更した点以外は、実施例1の場合と同じ方法で、フィルム状接着剤を製造し、評価した。結果を表1に示す。
接着剤組成物の含有成分の種類及び含有量が、表2に示すとおりとなるように、接着剤組成物の製造時における、配合成分の種類及び配合量のいずれか一方又は両方を変更した点以外は、実施例1の場合と同じ方法で、フィルム状接着剤の製造及び評価を試みた。結果を表2に示す。
比較例1~2においては、フィルム状接着剤が酸化防止剤を含有していなかったため、加熱による着色が抑制されなかったと推測された。
比較例3においては、フィルム状接着剤が酸化防止剤を含有していたものの、酸化防止剤がリン系酸化防止剤(z)ではなかったため、加熱による着色が抑制されなかったと推測された。
比較例5においては、平均粒子径が大きい充填材(d)-3を用いたため、フィルム状接着剤が白く濁ったと推測された。これは、用いた充填材(d)の種類のみが異なる、実施例1のフィルム状接着剤と比較例5のフィルム状接着剤との比較からも明らかであった。
比較例2においては、フィルム状接着剤の接着力が弱過ぎて、フィルム状接着剤のせん断強度を測定できなかった。これは、接着剤組成物がエポキシ化合物(b1)等のエポキシ化合物を含有していないためであった。
Claims (8)
- アクリル系樹脂(a)、エポキシ化合物(b1)、充填材(d)、及びリン系酸化防止剤(z)を含有するフィルム状接着剤であって、
前記リン系酸化防止剤(z)は、脂肪族系化合物であり、
前記充填材(d)の平均粒子径が、10~100nmであり、
260℃で加熱する前の前記フィルム状接着剤の、波長が400~800nmである光の直線透過率が、90%以上であり、
260℃で10分加熱した後の前記フィルム状接着剤の、波長が400~800nmである光の直線透過率が、85%以上であり、
前記フィルム状接着剤の厚さが10~40μmである、フィルム状接着剤。 - 前記エポキシ化合物(b1)が脂肪族系化合物である、請求項1に記載のフィルム状接着剤。
- 前記フィルム状接着剤が、さらにフェノール樹脂(b2)を含有し、
前記フィルム状接着剤における、前記フィルム状接着剤の総質量に対する、前記フェノール樹脂(b2)の含有量の割合が、10質量%以下である、請求項1又は2に記載のフィルム状接着剤。 - 前記リン系酸化防止剤(z)が、脂肪族系亜リン酸エステルである、請求項1~3のいずれか一項に記載のフィルム状接着剤。
- 前記フィルム状接着剤が、さらに脂肪族系多価イソシアネート架橋剤を含有し、
前記アクリル系樹脂(a)が、前記架橋剤と結合可能な官能基を有する、請求項1~4のいずれか一項に記載のフィルム状接着剤。 - 請求項1~5のいずれか一項に記載のフィルム状接着剤と、前記フィルム状接着剤の一方の面上に設けられた樹脂フィルムと、を備えた、積層シート。
- 請求項1~5のいずれか一項に記載のフィルム状接着剤と、前記フィルム状接着剤の一方の面上に設けられたダイシングシートと、を備えており、
前記ダイシングシートが、基材と、前記基材の一方の面上に設けられた粘着剤層と、を備えており、
前記粘着剤層が、前記基材と前記フィルム状接着剤との間に配置されている、複合シート。 - 請求項1~5のいずれか一項に記載のフィルム状接着剤の一方の面に、チップの回路形成面を貼り合わせ、前記フィルム状接着剤の他方の面に、光透過性カバーを貼り合わせることにより、前記チップと、前記フィルム状接着剤と、前記光透過性カバーと、がこの順に積層されて構成された積層体を得る、積層体の製造方法。
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