JP7416701B2 - 有機修飾金属酸化物または半金属酸化物高分子膜 - Google Patents
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-
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-
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-
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Description
a1)次の式(I)の1種類以上の金属化合物または半金属化合物を供給する工程:
M1(OR1)nR2 m (I)
[式中、M1は原子価zの金属または半金属であり、R1はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、R2はそれぞれ独立してC1~C20のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、nは1~zであり、mはz-1~0であり、n+mはzである];
a2)M1(OR1)部位を少なくとも部分的に加水分解し、式(I)の金属化合物または半金属化合物を重合する工程;
を含む、第1の容器の中で第1の前駆体組成物(FPC)を製造する工程;
b)
b1a)次の式(II)の金属化合物または半金属化合物を供給する工程:
M2(OR3)o (II)
[式中、M2は原子価yの金属または半金属であり、M1およびM2は周期表の異なる元素に基づくものであり、R3はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、oはyである];
b2a)任意選択的に、式(II)の金属化合物または半金属化合物を、(OR3)とは異なる配位子(L)と反応させる工程;
または
b1b)工程b2a)の反応生成物を直接供給する工程;
を含む、第2の容器の中で第2の前駆体組成物(SPC)を製造する工程;
c)第1の前駆体組成物(FPC)を第2の前駆体組成物(SPC)と混合する工程;
c1)任意選択的に、工程c)の生成物をSi(R23)3Xと反応させる工程:
[式中、R23はC1~C3アルキル基であり、XはClまたはOR24を表し、R24はC1~C3アルキル基である];
d)基板上に薄層を形成する工程;
e)任意選択的に、工程d)の後に、溶媒が存在する場合には溶媒を部分的にまたは完全に除去する工程;
f)工程e)が存在する場合には工程e)で得られた中間生成物を、または工程e)が存在しない場合には工程d)で得られた中間生成物を硬化させる工程;
を含む、基板上での薄膜の作製方法であって、
第1の前駆体組成物(FPC)の製造中、第2の前駆体組成物(SPC)の製造中、および/または工程c)中、もしくは工程c)の後でかつ工程d)が行われる前に、任意選択的に、(メタ)アクリル酸エステル(ME)を添加する、方法。
上で概説したように、第1の前駆体組成物(FPC)は、第1の容器の中で製造され、この製造は、
a1)次の式(I)の1種類以上の金属化合物または半金属化合物を供給する工程:
M1(OR1)nR2 m (I)
[式中、M1は原子価zの金属または半金属であり、R1はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、R2はそれぞれ独立してC1~C20のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、nは1~zであり、mはz-1~0であり、n+mはzである];
a2)M1(OR1)部位を少なくとも部分的に加水分解し、式(I)の金属化合物または半金属化合物を重合する工程;
を含む。
R7 t’(OR6’)s’M3’-Y-M3(OR6)sR7 t (III)
[式中、
M3、M3’は同じであるか、または異なっており、それぞれ独立して原子価xの金属または半金属から選択され;
Yは二価の連結基であり;
R6、R6’は同じであるか、または異なっており、それぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され;
R7、R7’は同じであるか、または異なっており、それぞれ独立してC1~C20のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され;
s、s’は同じであるか、または異なっており、それぞれ独立して1~x-1から選択され;
t、t’は同じであるか、または異なっており、それぞれ独立してx-2~0から選択され;
s+tはx-1であり;
s’+t’はx-1である]。
または
溶媒が工程a2)に存在する場合に、溶媒を除去する。
上記で概説したように、第2の前駆体組成物(SPC)は第2の容器の中で製造され、この製造は、
b1a)次の式(II)の金属化合物または半金属化合物を供給する工程:
M2(OR3)o (II)
[式中、M2は原子価yの金属または半金属であり、M1およびM2は周期表の異なる元素に基づくものであり、R3はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、oはyである];
b2a)任意選択的に、式(II)の金属化合物または半金属化合物を、(OR3)とは異なる配位子(L)と反応させる工程;
または
b1b)工程b2a)の反応生成物を直接供給する工程;
を含む。
R8、R9は、同じであるか、または異なっており、それぞれ独立してC1~C10オルガニル基またはC1~C10オルガノヘテリル基から選択され、好ましくは、C1~C10ヒドロカルビル、C1~C10ヒドロカルビルオキシ基、より好ましくは直鎖、分岐、または環状のC1~C10アルキル基、C6~C10アリール基、C1~C10アルコキシ、C6~C10アリールオキシ基、およびC7~C10アルキルアリールオキシ基から選択され、最も好ましくは直鎖、分岐、または環状のC1~C10アルキル基およびC1~C10アルコキシ基から選択され;
R10、R11は、同じであるか、または異なっており、それぞれ独立して水素、C1~C4オルガニル基、またはC1~C4オルガノヘテリル基から選択され、より好ましくは水素およびC1~C4ヒドロカルビル基から選択され、最も好ましくは水素およびC1~C4アルキル基から選択され、例えば水素である。
R20は、OまたはNR22が挟まれていてもよいC2~C6アルキレン基であり、
R21は、水素またはC1~C6ヒドロカルビル基、好ましくはC1~C6アルキル基から独立して選択され、
R22は水素、メチル基、またはヒドロキシエチル基である。
または
工程b1a)とb2a)が存在する場合には、そのうちのいずれか1つに、b1b)が存在する場合には、そこに溶媒が存在する場合に、溶媒を除去する。
工程c)の間、第1の前駆体組成物(FPC)は、第2の前駆体組成物(SPC)と混合される。
c1)工程c)の生成物をSi(R23)3XまたはSi(R23)2X2と反応させる工程
を含んでいてもよく、
式中、
R23はC1~C3アルキル基であり、
XはClまたはOR24を表し、
R24はC1~C3アルキル基である。
c2)工程c)で得られた混合物に溶媒(S)を追加する工程。
c4)任意選択的に、上で定義された(OR3)とは異なる配位子(L)を添加する。
上で概説したように、
- 第1の前駆体組成物(FPC)の製造中、
- 第2の前駆体組成物(SPC)の製造中、および/または
- 工程c)中、もしくは工程c)の後でかつ工程d)が行われる前に、
任意選択的に(メタ)アクリル酸エステル(ME)が添加される。
TG-O-[R12-O]p-TG (V)
TG-[O-R12]p-O-A-O-[R12-O]p-TG (VI)
から選択され、式中、
R12は、C2~C6ジオールから選択され、さらに好ましくは、エチレングリコール、1,2-プロピレングリコール、1,3-プロピレングリコール、1,4-ブタノールなどのC2~C4ジオールから選択され、例えばエチレングリコールであり;
pは、それぞれ独立して1~20、より好ましくは1~10から選択され、さらに好ましくは1または2であり;
Aは、10個より多い炭素原子を有し、好ましくは1個以上の芳香族部位を含むジアルコール、例えばジヒドロキシベンゼン、ジヒドロキシビフェニル、ビスフェノールAであり;
TGは、少なくとも1つのTGが(メタ)アクリル酸エステル基であることを条件として、それぞれ独立して、ビニルエーテル基または(メタ)アクリル酸エステル基またはモノアルコール、例えばフェノール、フェニル-フェノール、ナフトールなどの芳香族部位を含むアルコールから選択される。
- 第2の前駆体組成物(SPC)の製造中、または
- 工程c)の間、または工程c)の後でかつ工程d)が行われる前、
に添加される。
工程d)では、基板上に薄膜層が形成される。
薄膜は、ディップコーティング、スロットコーティング、スロット+スピンコーティングの組み合わせ、スピンコーティング、スプレーコーティング、インクジェット印刷、カーテンコーティング、ローラー、ロール・ツー・ロール印刷、スクリーン印刷を使用して、またはバーやブラシを使用して、またはラビングにより、より好ましくはスプレーコーティング、スロットコーティング、ディップコーティング、スピンコーティングにより、最も好ましくはスプレーコーティングおよびスピンコーティングにより、基板上に堆積させることができる(いくつかの典型的な液相堆積法に言及しているが、これらに限定されない)。さらに、薄膜は、リソグラフィープロセス、または他のパターニング方法、例えば、グラビア、印刷、インクジェット、3D/4D印刷による直接パターニングによって、任意選択的にパターニングされてもよい。本発明により、膜および構造体の製造に適した材料が提供される。層は、有機または無機の半導体材料およびLEDまたはOLEDの層のような、ガラス、石英、シリコン、窒化ケイ素、ポリマー、金属、およびプラスチックなどの様々な基板表面に堆積することができる。
工程d)に溶媒が存在する場合、工程e)では、溶媒は、好ましくは工程d)の後に部分的にまたは完全に除去される。
工程f)では、工程e)が存在する場合には工程e)で得られた中間生成物が、あるいは工程e)が存在しない場合には工程d)で得られた中間生成物が、硬化される。
1.基板の予備洗浄:水酸化カリウム(KOH)による予備洗浄(KOH溶液は、室温であってもよく、あるいは温度は20℃~55℃の間で変化させることができる;典型的な濃度は0.04%~1%で変化させることができる)が行われた後、UV洗浄および脱イオン水によるすすぎ洗いが行われ、続いて乾燥プロセスが行われる。あるいは、濡れ性および接着性を改善するために、接着促進剤、プライマー、または他の化学的もしくは物理的な、例えばプラズマアッシングな表面改質方法が使用されてもよい。
本発明はさらに、本発明の方法に従って作製された薄膜からなる少なくとも1つの層を含む多層構造体に関する。これにより、上述したプロセスの全ての実施形態は、多層構造体にも当てはまる。
本発明は、さらに、本発明による方法によって得られる薄膜または発明による多層構造体を含む物品に関する。
光学および電気コーティング;
High-κ誘電体;
光アウトカップリング/取り出し層;
エッチングおよびCMP停止層;
OLED保護/シーリング/封止コーティング;
有機太陽電池;ならびに
光学薄膜フィルタ;
から選択される。
本発明は、さらに、第1の前駆体組成物(FPC)と第2の前駆体組成物(SPC)とを含有する組成物に関し、第1の前駆体組成物(FPC)は、重合された1種類以上の次の式(I):
M1(OR1)nR2 m (I)
[式中、M1は原子価zの金属または半金属であり、R1はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、R2はそれぞれ独立してC1~C20のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、nは1~z-1であり、mは1~z-1であり、n+mはzである];
の金属化合物または半金属化合物であり、
重合は、M1(OR1)部位を少なくとも部分的に加水分解することによって行われ;
第2の前駆体組成物(SPC)は、
b1a)次の式(II)の金属化合物または半金属化合物を供給すること:
M2(OR3)o (II)
[式中、M2は原子価yの金属または半金属であり、M1およびM2は周期表の異なる元素に基づくものであり、R3はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、oはyである];
b2a)任意選択的に、式(II)の金属化合物または半金属化合物を、(OR3)とは異なる配位子(L)と反応させること、
または
b1b)工程b2a)の反応生成物を直接供給すること、
により得ることができる。
M1(OR1)nR2 m (I)
[式中、M1は原子価zの金属または半金属であり、R1はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、R2はそれぞれ独立してC1~C20のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、nは1~z-1であり、mは1~z-1であり、n+mはzである];
の金属化合物または半金属化合物であり、
重合は、M1(OR1)部位を少なくとも部分的に加水分解することによって行われ;
第2の前駆体組成物(SPC)は、
b1a)次の式(II)の金属化合物または半金属化合物を供給すること:
M2(OR3)o (II)
[式中、M2は原子価yの金属または半金属であり、M1およびM2は周期表の異なる元素に基づくものであり、R3はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、oはyである];
b2a)任意選択的に、式(II)の金属化合物または半金属化合物を、(OR3)とは異なる配位子(L)と反応させること、
または
b1b)工程b2a)の反応生成物を直接供給すること、
により得ることができる。
- 光学および電気コーティング;
- High-κ誘電体;
- 光アウトカップリング/取り出し層;
- エッチングおよびCMP停止層;
- OLED保護/シーリング/封止コーティング;
- 有機太陽電池;または
- 光学薄膜フィルタ。
測定方法
工程a2)の後に得られるポリマーの分子量
分子量測定に使用したツールはWATERS GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー):waters 1515 Isocratic HPLCポンプ、waters2414屈折率検出器。測定の校正標準としてポリスチレン標準を使用する。測定のための実際のサンプルは、溶離液としてのTHFを使用して4m%のサンプルとして製造される。
分子量を決定するために使用されるツールは、Mettler Toledo HB43ハロゲンドライヤー/天秤である。サンプルをアルミニウム皿/カップ上で秤量し、約1グラムの材料を使用して測定を行う。
実際の測定データについては、応用実施例24および24Cを参照のこと。材料の保管寿命は、以下の硬化膜としての材料処理/塗布結果の安定性/再現性により決定される。硬化した膜から観察される値は膜厚および膜の屈折率である。膜厚および屈折率はエリプソメーター(UVISEL-VASE Horiba Jobin-Yvon)を使用して特性評価する。測定は、基板としてゴリラガラス4またはシリコンウェハを使用して行われる(直径:150mm、タイプ/ドーパント:P/Bor、配向:<1-0-0>、抵抗率:1~30ohm・cm、厚さ:675+/-25μm、TTV:<5μm、粒子:<20@0.2μm、表面:研磨、裏面:エッチング、フラット:1 SEMI規格)。材料膜の堆積は、スピンコーティング、ホットプレートを使用した予備硬化、広帯UV光源によるUV露光、および対流式オーブン中での最終ベークを使用することにより行われる。任意選択的には、材料に対してUV硬化のみ、または熱硬化のみが行われてもよい。
機械製造元:Grabner Instruments粘度計MlNIVIS-II。測定方法「落下球式粘度測定」。サンプルは、直径3.175mmの鋼球を使用して20℃で測定される。
Konica Minolta分光光度計CM-3700A(SpectraMagic NXソフトウェア)。試料の準備については、それぞれの実施例に記載する。
L*(D65)、a*(D65)、b*(D65)、およびヘイズは、Konica Minolta分光光度計CM-3700A(SpectraMagic NXソフトウェア)を使用して決定した。測定は、基材としてゴリラガラス4を使用して行われる。材料膜の堆積は、スピンコーティング、ホットプレートを使用した予備硬化、広帯UV光源によるUV露光、および対流式オーブン中での最終ベークを使用することにより行われる。任意選択的には、材料に対してUV硬化のみ、または熱硬化のみが行われてもよい。同様に任意選択的に、ガラス上への材料のインクジェット堆積が行われてもよい。
膜の屈折率はエリプソメーター(UVISEL-VASE Horiba Jobin-Yvon)を使用して特性評価する。測定は、基板としてゴリラガラス4またはシリコンウェハを使用して行われる(直径:150mm、タイプ/ドーパント:P/Bor、配向:<1-0-0>、抵抗率:1~30ohm・cm、厚さ:675+/-25μm、TTV:<5μm、粒子:<20@0.2μm、表面:研磨、裏面:エッチング、フラット:1 SEMI規格)。材料膜の堆積は、スピンコーティング、ホットプレートを使用した予備硬化、広帯UV光源によるUV露光、および対流式オーブン中での最終ベークを使用することにより行われる。任意選択的には、材料に対してUV硬化のみ、または熱硬化のみが行われてもよい。同様に任意選択的に、ガラス上への材料のインクジェット堆積が行われてもよい。
膜厚はエリプソメーター(UVISEL-VASE Horiba Jobin-Yvon)を使用して測定する。測定は、基板としてゴリラガラス4またはシリコンウェハを使用して行われる(直径:150mm、タイプ/ドーパント:P/Bor、配向:<1-0-0>、抵抗率:1~30ohm・cm、厚さ:675+/-25μm、TTV:<5μm、粒子:<20@0.2μm、表面:研磨、裏面:エッチング、フラット:1 SEMI規格)。材料膜の堆積は、スピンコーティング、ホットプレートを使用した予備硬化、広帯UV光源によるUV露光、および対流式オーブン中での最終ベークを使用することにより行われる。任意選択的には、材料に対してUV硬化のみ、または熱硬化のみが行われてもよい。同様に任意選択的に、ガラス上への材料のインクジェット堆積が行われてもよい。
重量2.0mgのサンプルをTGA/DTA同時測定装置DTG-60A、Shimadzu Japanの中にセットし、窒素気流雰囲気下で連続的に160℃、230℃、および250℃まで加熱した。加熱速度は10℃/minであり、160℃の温度を60分間保持し、230℃の温度を60分間保持し、250℃の温度を30分間保持した。
使用した物質:
MIRAMER M1142、o-フェニルフェノールエチレンオキシドアクリレート、CAS番号72009-86-0、MW=268g/mol、Miwonから供給
MIRAMER M244、ビスフェノールA(エチレンオキシド)3ジアクリレート、CAS番号64401-02-1、MW=468g/mol、Miwonから供給
実施例1
2.34gのメタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、0.5gの水、8gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.2gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。16gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを反応混合物に添加した。5.2gのオルトチタン酸テトライソプロピルを反応混合物に80℃で滴下した(5分)。(徐々にゆっくりと添加することが重要である。それ以外の場合にはTiO2粒子が生成される)。混合物を80℃で3時間撹拌したところ、透明な溶液が得られた。得られた溶液の固形分(SC)は14重量%であった。
8.4gのオルトチタン酸テトライソプロピルを使用したことを除き実施例1の手順を繰り返したところ、SCが15重量%の透明な溶液が得られた。
トリメチルアミンの代わりに0.2gの2,6,10-トリメチル-2,6,10-トリアザウンデカンを使用したことを除き実施例2の手順を繰り返したところ、SCが15重量%の透明な溶液が得られた。
メタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシランの代わりに5.2gの3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシランを使用したことを除き実施例1の手順を繰り返したところ、SCが14重量%の透明な溶液が得られた。
11gの3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシランを使用したことを除き実施例4の手順を繰り返したところ、SCが20重量%の透明な溶液が得られた。
4.68gのメタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、1.0gの水、16gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.4gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。32gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを反応混合物に添加した。16.8gのオルトチタン酸テトライソプロピルを反応混合物に80℃で滴下した(4分)。混合物を130℃で3時間撹拌し、蒸留しながらさらに130℃で4時間撹拌したところ、SCが17重量%の透明な溶液が得られた。
4.68gのグリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、1.0gの水、16gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.4gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。32gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを反応混合物に添加した。22gのオルトチタン酸テトライソプロピルを反応混合物に80℃で滴下した(8分)。混合物を130℃で3時間撹拌し、蒸留しながらさらに130℃で4時間撹拌したところ、SCが26重量%の透明な溶液が得られた。
9.36gのグリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2gの水、32gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.8gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。64gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを反応混合物に添加した。44gのオルトチタン酸テトライソプロピルを80℃で反応混合物に滴下した(18分)。混合物を80℃で3時間撹拌した。その後、生成したアルコールを減圧下での蒸発により除去したところ、SCが31重量%の透明な溶液が得られた。
メタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシランの代わりに2.34gのメルカプトプロピルメチルジメトキシシランを使用したことを除き実施例1の手順を繰り返したところ、SCが17重量%の透明な溶液が得られた。
8.4gのオルトチタン酸テトライソプロピルを使用したことを除き実施例9の手順を繰り返したところ、SCが16重量%の透明な溶液が得られた。
9.36gのグリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2gの水、32gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.8gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。64gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを反応混合物に添加した。59.6gのチタンテトラn-ブトキシドを80℃で反応混合物に滴下した(9分)。混合物を100℃で3時間撹拌したところ、SCが19重量%の透明な溶液が得られた。
本発明の実施例5の手順を繰り返して得られた透明な溶液30gに、6gのアセト酢酸エチルを添加し、得られた混合物を25℃で24時間撹拌したところ、SCが17重量%の透明な溶液が得られた。
本発明の実施例5の手順を繰り返して得られた透明な溶液30gに、12gのアセト酢酸エチルを添加し、得られた混合物を25℃で48時間撹拌したところ、SCが13重量%の透明な溶液が得られた。
3.12gのグリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、9gのジメチルジエトキシシラン、2gの水、32gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.8gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。64gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを反応混合物に添加した。44gのオルトチタン酸テトライソプロピルを80℃で反応混合物に滴下した(7分)。混合物を100℃で3時間撹拌したところ、SCが16重量%の透明な溶液が得られた。
本発明の実施例11の手順を繰り返して得られた透明な溶液20gに、4gのアセト酢酸エチルおよび16gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを添加し、得られた混合物を25℃で72時間撹拌したところ、SCが10重量%の透明な溶液が得られた。
2.11gのメタクリロイルプロピルトリメトキシシラン、0.23gのグリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、0.5gの水、8gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.2gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。16gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを反応混合物に添加した。8.4gのオルトチタン酸テトライソプロピルを80℃で反応混合物に滴下した。混合物を80℃で6時間撹拌したところ、SCが17重量%の透明な溶液が得られた。
2.34gのグリシドキシプロピルトリメトキシシラン、0.5gの水、32gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.8gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。64gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを反応混合物に添加した。11gのオルトチタン酸テトライソプロピルを80℃で反応混合物に滴下した。混合物を80℃で20時間撹拌したところ、SCが23重量%の透明な溶液が得られた。
1.76gのグリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、0.58gのグリシドキシプロピルトリメトキシシラン、0.5gの水、32gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.8gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。64gのプロピレングリコールモノメチルエーテルを反応混合物に添加した。11gのオルトチタン酸テトライソプロピルを80℃で反応混合物に滴下した。混合物を80℃で20時間撹拌したところ、SCが21重量%の透明な溶液が得られた。
溶液1:メタクリルオキシプロピルトリエトキシシラン(120g)を反応フラスコに入れ、21gの水(0.1MのHNO3)を添加した。オイルバス中、95℃で反応混合物を3時間40分還流した。溶液を冷却し、トリエチルアミン(0.39g)と2-プロパノール(3.51g)との混合物を添加し、還流を65分間継続した。還流後、溶媒を減圧下で除去した。材料の分子量は1000であった。
溶液1:2-プロパノール(50g)中の70%のジルコニウム(IV)イソプロポキシド溶液に、アセト酢酸エチル(83.43g)を添加した。溶液を室温で5日間混合した。溶媒の除去は減圧下で行った。
溶液1:2-プロパノール(50g)中の70%のジルコニウム(IV)イソプロポキシド溶液に、アセト酢酸エチル(111.24g)を添加した。溶液を室温で5日間混合した。溶媒の除去は減圧下で行った。
溶液1:2-プロパノール(50g)中の70%のジルコニウム(IV)イソプロポキシド溶液に、アセト酢酸エチル(83.43g)を添加した。溶液を室温で5日間混合した。溶媒の除去は減圧下で行った。溶媒除去後の溶液の質量は96.2gであった。
溶液1:2-プロパノール(200g)中の70%のジルコニウム(IV)イソプロポキシド溶液に、アセト酢酸エチル(222.48g)を添加した。溶液を室温で5日間混合した。溶媒の除去は減圧下で行った。溶媒除去後の溶液の質量は270.46gであった。
溶液1:ブタノール(1963g)中の80%のジルコニウム(IV)ブトキシド溶液に、アセト酢酸エチル(1066g)を添加した。溶液を室温で5日間混合した。溶媒の除去は減圧下で行った。
溶液1:ブタノール(1963g)中の80%のジルコニウム(IV)ブトキシド溶液に、アセト酢酸エチル(1066g)を添加した。溶液を室温で5日間混合した。溶媒の除去は減圧下で行った。
溶液1:ブタノール(1963g)中の80%のジルコニウム(IV)ブトキシド溶液に、アセト酢酸エチル(1066g)を添加した。溶液を室温で5日間混合した。溶媒の除去は減圧下で行った。
溶液1:ブタノール(1963g)中の80%のジルコニウム(IV)ブトキシド溶液に、アセト酢酸エチル(1066g)を添加した。溶液を室温で5日間混合した。溶媒の除去は減圧下で行った。
溶液1:ブタノール(1963g)中の80%のジルコニウム(IV)ブトキシド溶液に、アセト酢酸エチル(1066g)を添加した。溶液を室温で5日間混合した。溶媒の除去は減圧下で行った。
溶液1:ブタノール(1963g)中の80%のジルコニウム(IV)ブトキシド溶液に、アセト酢酸エチル(1066g)を添加した。溶液を室温で5日間混合した。溶媒の除去は減圧下で行った。
2.34gのグリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、0.5gの水、24gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.2gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。12gのオルトチタン酸テトライソプロピルを80℃で反応混合物に滴下した。混合物を100℃で3時間撹拌した。室温まで冷却した後、4.6gのクロロトリメチルシランを反応混合物に添加して100℃で1.5時間加熱したところ、SCが22重量%の透明な溶液が得られた。
2.3gのクロロトリメチルシランを使用したことを除き実施例30の手順を繰り返したところ、SCが21重量%の透明な溶液が得られた。
2.34gのメルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、0.5gの水、24gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.2gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。14.8gのオルトチタン酸テトライソプロピルを80℃で反応混合物に滴下した。混合物を100℃で3時間撹拌した。室温まで冷却した後、2.8gのクロロトリメチルシランを反応混合物に添加して100℃で1.5時間加熱したところ、SCが19重量%の透明な溶液が得られた。
2.34gのメルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、0.5gの水、24gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.2gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。7.4gのオルトチタン酸テトライソプロピルを80℃で反応混合物に滴下した。混合物を100℃で3時間撹拌した。室温まで冷却した後、0.25gの水と5.6gのクロロトリメチルシランを反応混合物に添加して100℃で1.5時間加熱したところ、SCが17重量%の透明な溶液が得られた。
2.34gのグリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、0.5gの水、24gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.2gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。12gのオルトチタン酸テトライソプロピルを80℃で反応混合物に滴下した。混合物を100℃で3時間撹拌した。5gのエトキシトリメチルシランと、0.5gの水と、4gのプロピレングリコールモノメチルエーテルと、0.2gのトリエチルアミンとの混合物を反応混合物に滴下し、100℃で15時間加熱したところ、SCが16重量%の透明な溶液が得られた。
2.34gのグリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、0.5gの水、24gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.2gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で30分間撹拌した。12gのオルトチタン酸テトライソプロピルを80℃で反応混合物に滴下した。混合物を100℃で3時間撹拌した。6.3gのジエトキシジメチルシランと、0.5gの水と、4gのプロピレングリコールモノメチルエーテルと、0.2gのトリエチルアミンとの混合物を反応混合物に滴下し、100℃で18時間加熱したところ、SCが17重量%の透明な溶液が得られた。
実施例19の薄膜コーティング材料を、スプレーコーティング法によりガラス上に堆積させた。コーティング材料の固形分は約9.8%であった。ゴリラガラス4に層を堆積させるスプレーコートパラメータは以下の通りである:走査速度:300mm/s、ピッチ:50mm、ギャップ:50~100mm、流量:3~10ml/min、噴霧空気圧:5kg/cm2。スプレー堆積後、150℃の対流式オーブンの中で膜を30分間硬化させた。図4は、得られた材料の透過率グラフを示している。ガラス基板の反射と吸収は差し引かれていない。膜の他の光学特性には、550nmで92.3%の透過率、a*(D65)0.07、およびb*(D65)0.46が含まれる。屈折率は1.56(632nm)であり、最終的な硬化した厚さは308nmであった。
実施例20の材料を、シリコンウェハ上の材料を特性評価することにより試験した(直径:150mm、タイプ/ドーパント:P/Bor、配向:<1-0-0>、抵抗率:1~30ohm・cm、厚さ:675+/-25μm、TTV:<5μm、粒子:<20@0.2μm、表面:研磨、裏面:エッチング、フラット:1 SEMI規格)、この事例では堆積方法としてスピンコーティングを使用した。堆積方法として、2000rpmでのスピンコーティングを使用し、100℃で120秒間のプリベーク、100℃で30分間のポストベークを行った。膜厚は3.1μmであり、屈折率は1.608(632nm)であると測定された。
実施例21の材料を、シリコンウェハ上の材料を特性評価することにより試験した(直径:150mm、タイプ/ドーパント:P/Bor、配向:<1-0-0>、抵抗率:1~30ohm・cm、厚さ:675+/-25μm、TTV:<5μm、粒子:<20@0.2μm、表面:研磨、裏面:エッチング、フラット:1 SEMI規格)、この事例では堆積方法としてスピンコーティングを使用した。堆積方法として、2000rpmでのスピンコーティングを使用し、100℃で120秒間のプリベーク、100℃で30分間のポストベークを行った。膜厚は3.3μmであり、屈折率は1.613(632nm)であると測定された。
実施例22の材料を、シリコンウェハ上の材料を特性評価することにより試験した(直径:150mm、タイプ/ドーパント:P/Bor、配向:<1-0-0>、抵抗率:1~30ohm・cm、厚さ:675+/-25μm、TTV:<5μm、粒子:<20@0.2μm、表面:研磨、裏面:エッチング、フラット:1 SEMI規格)。この事例では堆積方法としてスピンコーティングを使用した。堆積方法として、2000rpmでのスピンコーティングを使用し、100℃で120秒間のプリベーク、100℃で30分間のポストベークを行った。膜厚は6.1μmであり、屈折率は1.585(632nm)であると測定された。
実施例23の材料を、シリコンウェハ上の材料を特性評価することにより試験した(直径:150mm、タイプ/ドーパント:P/Bor、配向:<1-0-0>、抵抗率:1~30ohm・cm、厚さ:675+/-25μm、TTV:<5μm、粒子:<20@0.2μm、表面:研磨、裏面:エッチング、フラット:1 SEMI規格)。この事例では堆積方法としてスピンコーティングを使用した。堆積方法として、2000rpmでのスピンコーティングを使用し、100℃で120秒間のプリベーク、100℃で30分間のポストベークを行った。膜厚は6.1μmであり、屈折率は1.653(632nm)であると測定された。
実施例24の薄膜コーティング材料を、Mikasa Co., Ltd., Japanのスピンコーター、1H-DX2を用いて360rpmで30秒間スピンコーティングすることにより、Matsunami Glass Ind., Ltd.,のS2003F3上に堆積させた。プリベークは100℃で120秒間であり、ポストベークは250℃で30分間であった。膜厚は200nmであり、屈折率は1.71(632nm)であると測定された。その後、透過率測定の薄膜干渉効果を排除するためにWako Pure Chemical Industries, Ltd., Japanの1-ブロモナフタレンを58umの厚さでコーティング表面にさらに塗布し、同じスライドガラスプレートで覆った。図5は、材料の透過率グラフを示している。薄膜の他の光学特性(基板の分が差し引かれたもの)には、550nmで99.1%の透過率、a*(D65)-0.35、およびb*(D65)0.45が含まれる。
ポストベーク工程を各ベーク工程の合間に室温まで冷却しながら250℃で30分間4回行ったことを除き応用実施例24の手順を繰り返した。
ポストベーク工程を250℃で30分間、引き続き350℃で30分間行ったことを除き応用実施例24の手順を繰り返した。
スピンコーティング工程を2000rpmで行ったことを除き応用実施例24の手順を繰り返した。
実施例25の薄膜コーティング材料を、スピンコーティング法によってゴリラガラス4の上に堆積させた。材料をガラス基板上で特性評価し、堆積方法としてスピンコーティングを使用した。堆積方法として、2000rpmでのスピンコーティングを使用し、100℃で120秒間のプリベーク、250℃でのポストベークを行った。膜厚は56nmであり、屈折率は1.72(632nm)であると測定された。実施例24と25の材料の間の唯一の違いは、サンプル25ではより薄い膜を得るために材料をさらに希釈することである。
実施例26の薄膜コーティング材料を、ゴリラガラス4の上の材料を特性評価することにより試験した。この事例では堆積方法としてスピンコーティングを使用した。堆積方法として、2000rpmでのスピンコーティングを使用し、100℃で120秒間のプリベーク、250℃で30分間のポストベークを行った。
本発明の材料28を使用したことを除き応用実施例27の手順を繰り返した。
実施例28の薄膜コーティング材料を、インクジェット印刷コーティング法によりガラス上に堆積させた。材料を、ゴリラガラス4およびシリコンウェハ(直径:150mm、タイプ/ドーパント:P/Bor、配向:<1-0-0>、抵抗率:1~30ohm・cm、厚さ:675+/-25μm、TTV:<5μm、粒子:<20@0.2μm、表面:研磨、裏面:エッチング、フラット:1 SEMI規格)上で特性評価し、堆積方法としてインクジェットコーティングを使用した。インクジェット印刷(Dimatix Materials Printer DMP-2850;ジェット16、射出周波数5kHz、印加電圧20V、液滴間隔30pm、カートリッジタイプ10pL)を堆積方法として使用し、100℃で120秒間のプリベーク、250℃で30分間のポストベークを行った。膜厚は450nmであり、屈折率は1.71(632nm)であると測定された。
実施例28の薄膜コーティング材料を、散乱粒子(200nmの平均粒径を有するTiO2、Kronosから入手可能)を2つの異なる濃度で材料に入れることによってさらに修飾した。応用実施例28Bは、本発明の実施例28の配合物に3.8重量%の散乱粒子を添加することにより製造し、応用実施例28Cは、本発明の実施例28の配合物に4.8重量%の散乱粒子を添加することにより製造した。本発明の実施例28Bおよび28Cの薄膜コーティング材料を、スピンコーティング法によってゴリラガラス4上に堆積させた。堆積方法として、400rpmでのスピンコーティングを使用し、100℃で120秒間のプリベーク、250℃で30分間のポストベークを行った。膜厚は400nmであると測定された。2つの応用実施例の他の光学データは下の表に記載されている。
0.5gの水、24gのプロピレングリコールモノメチルエーテル、および0.2gのトリエチルアミンを丸底フラスコの中に入れ、80℃(オイルバス)で加熱した。2.34gのメタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシランと5.2gのオルトチタン酸テトライソプロピルとの混合物を反応混合物に80℃で滴下した(3分)。添加中に析出物が徐々に生成し、混合物の添加後に溶液は半透明になった。反応混合物を80℃で3時間撹拌することで、半透明の白色分散液を得た。不透明な膜となるため、この組成物からは膜を形成しなかった。
Claims (15)
- a)
a1)次の式(I)の1種類以上の金属化合物または半金属化合物を供給する工程:
M1(OR1)nR2 m (I)
[式中、M1は、Siであり、R1はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、R2はそれぞれ独立してC1~C20のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、nは1~zであり、mはz-1~0であり、n+mはzである];
a2)前記M1(OR1)部位を少なくとも部分的に加水分解し、式(I)の金属化合物または半金属化合物を重合する工程;
を含む、第1の容器の中で第1の前駆体組成物(FPC)を製造する工程;
b)
b1a)次の式(II)の金属化合物または半金属化合物を供給する工程:
M2(OR3)o (II)
[式中、M2は、Tiおよび/またはZrであり、R 3 はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、oはyである];
b2a)任意選択的に、式(II)の前記金属化合物または半金属化合物を、(OR3)とは異なる配位子(L)と反応させる工程;
または
b1b)工程b2a)の反応生成物を直接供給する工程;
を含む、第2の容器の中で第2の前駆体組成物(SPC)を製造する工程;
c)前記第1の前駆体組成物(FPC)を前記第2の前駆体組成物(SPC)と混合する工程;
c1)任意選択的に、工程c)の生成物をSi(R23)3XまたはSi(R23)2X2と反応させる工程:
[式中、R23はC1~C3アルキル基であり、XはClまたはOR24を表し、R24はC1~C3アルキル基である];
d)前記基板上に薄層を形成する工程;
e)任意選択的に、工程d)の後に、溶媒が存在する場合には溶媒を部分的にまたは完全に除去する工程;
f)工程e)が存在する場合には工程e)で得られた中間生成物を、または工程e)が存在しない場合には工程d)で得られた中間生成物を硬化させる工程;
を含む、基板上での薄膜の作製方法であって、
- 前記第1の前駆体組成物(FPC)の製造中、
- 前記第2の前駆体組成物(SPC)の製造中、および/または
- 工程c)中、もしくは工程c)の後でかつ工程d)が行われる前に、
任意選択的に(メタ)アクリル酸エステル(ME)を添加し、かつポリビニルアセタールを添加しない、方法。 - 工程c)におけるM1とM2とのモル比が、1.0:10~10:1.0、好ましくは1.0:10~1.0:1.0、より好ましくは1.0:10~1.0:2.0である、請求項1記載の方法。
- 工程c)の間に、添加剤、例えば界面活性剤、レベリング剤、加工助剤、帯電防止剤、酸化防止剤、水および酸素捕捉剤、触媒、散乱粒子、光開始剤、またはこれらの混合物を添加する、請求項1または2記載の方法。
- 工程d)からf)の間の最高温度が450℃未満、好ましくは300℃未満である、請求項1から3までのいずれか1項記載の方法。
- 工程c)の後に、
c2)工程c)で得られた前記混合物に溶媒(S)を添加する工程
を含む、請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。 - 工程d)の前の固形分が、75重量%以下、好ましくは55重量%以下である、請求項1から5までのいずれか1項記載の方法。
- 工程d)の前の固形分が少なくとも90重量%である、請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。
- 工程f)が熱および/または照射による硬化によって行われる、請求項1から7までのいずれか1項記載の方法。
- 請求項1から8までのいずれか1項記載の方法により作製される薄膜からなる少なくとも1つの層を含む、多層構造体。
- 請求項1から8までのいずれか1項記載の方法により作製される薄膜からなる少なくとも1つの層の1つの表面が前記基板の1つの表面および/または別の層と直接接触している、請求項9記載の多層構造体。
- 請求項1から8までのいずれか1項記載の方法により得られる薄膜または請求項9もしくは10記載の多層構造体を含む、物品。
- - 光学および電気コーティング;
- High-κ誘電体;
- 光アウトカップリング/取り出し層;
- エッチングおよびCMP停止層;
- OLED保護/シーリング/封止コーティング;
- 有機太陽電池;ならびに
- 光学薄膜フィルタ;
から選択される、請求項11記載の物品。 - 第1の前駆体組成物(FPC)と第2の前駆体組成物(SPC)とを含有する組成物であって、前記第1の前駆体組成物(FPC)が、重合された1種類以上の次の式(I):
M1(OR1)nR2 m (I)
[式中、M1は、Siであり、R1はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、R2はそれぞれ独立してC1~C20のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、nは1~z-1であり、mは1~z-1であり、n+mはzである]の金属化合物または半金属化合物であり、
前記重合が、前記M1(OR1)部位を少なくとも部分的に加水分解することによって行われ;
前記第2の前駆体組成物(SPC)が、
b1a)次の式(II)の金属化合物または半金属化合物を供給すること:
M2(OR3)o (II)
[式中、M2は、Tiおよび/またはZrであり、R 3 はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、oはyである];
b2a)任意選択的に、式(II)の前記金属化合物または半金属化合物を、(OR3)とは異なる配位子(L)と反応させること、
または
b1b)工程b2a)の反応生成物を直接供給すること、
により得られ、前記組成物はポリビニルアセタールを含有しない、組成物。 - 第1の容器内の第1の前駆体組成物(FPC)と第2の容器内の第2の前駆体組成物(SPC)とを含むキット・オブ・パーツであって、前記第1の前駆体組成物(FPC)が、重合された1種類以上の次の式(I):
M1(OR1)nR2 m (I)
[式中、M1は、Siであり、R1はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、R2はそれぞれ独立してC1~C20のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、nは1~z-1であり、mは1~z-1であり、n+mはzである]の金属化合物または半金属化合物であり、
前記重合が、前記M1(OR1)部位を少なくとも部分的に加水分解することによって行われ;
前記第2の前駆体組成物(SPC)が、
b1a)次の式(II)の金属化合物または半金属化合物を供給すること:
M2(OR3)o (II)
[式中、M2は、Tiおよび/またはZrであり、R 3 はそれぞれ独立してC1~C10のオルガニルまたはオルガノヘテリル基から選択され、oはyである];
b2a)任意選択的に、式(II)の前記金属化合物または半金属化合物を、(OR3)とは異なる配位子(L)と反応させること、
または
b1b)工程b2a)の反応生成物を直接供給すること、
により得られ、前記キット・オブ・パーツはポリビニルアセタールを含有しない、キット・オブ・パーツ。 - 基板上の薄膜、および/または
- 光学および電気コーティング;
- High-κ誘電体;
- 光アウトカップリング/取り出し層;
- エッチングおよびCMP停止層;
- OLED保護/シーリング/封止コーティング;
- 有機太陽電池;または
- 光学薄膜フィルタ;
の作製のための、請求項13記載の組成物または請求項14記載のキット・オブ・パーツの使用。
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000119586A (ja) | 1998-10-12 | 2000-04-25 | Nikon Corp | コーティング組成物及びこれが塗布された光学物品 |
WO2019230283A1 (ja) | 2018-05-31 | 2019-12-05 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリアー性基材、その製造方法、それを具備した電子デバイス |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59197401A (ja) | 1983-04-26 | 1984-11-09 | Nippon Oil & Fats Co Ltd | 光重合開始剤 |
US4772530A (en) | 1986-05-06 | 1988-09-20 | The Mead Corporation | Photosensitive materials containing ionic dye compounds as initiators |
IL84025A0 (en) * | 1986-10-03 | 1988-02-29 | Ppg Industries Inc | Organosiloxane/metal oxide coating compositions and their production |
US4754012A (en) * | 1986-10-03 | 1988-06-28 | Ppg Industries, Inc. | Multi-component sol-gel protective coating composition |
US4950581A (en) | 1987-07-06 | 1990-08-21 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Photopolymerizable composition |
GB2304472B (en) | 1995-08-17 | 1999-03-24 | Deltron Components Ltd | Improvements in or relating to electrical terminals |
AU717137B2 (en) | 1995-11-24 | 2000-03-16 | Ciba Specialty Chemicals Holding Inc. | Borate coinitiators for photopolymerization |
MY132867A (en) | 1995-11-24 | 2007-10-31 | Ciba Specialty Chemicals Holding Inc | Acid-stable borates for photopolymerization |
TW466256B (en) | 1995-11-24 | 2001-12-01 | Ciba Sc Holding Ag | Borate photoinitiator compounds and compositions comprising the same |
US6218494B1 (en) * | 1998-11-18 | 2001-04-17 | Essilor International - Compagnie Generale D'optique | Abrasion-resistant coating composition process for making such coating composition and article coated therewith |
CN101805282B (zh) | 2004-02-23 | 2012-07-04 | 三菱化学株式会社 | 肟酯化合物、光聚合性组合物和使用该组合物的滤色器 |
US7094709B2 (en) | 2004-06-15 | 2006-08-22 | Braggone Oy | Method of synthesizing hybrid metal oxide materials and applications thereof |
US10690847B2 (en) | 2005-06-15 | 2020-06-23 | Braggone Oy | Method of making a photonic crystal device and photonic crystal device |
EP2172455B1 (en) | 2005-12-01 | 2011-01-19 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
WO2007071797A1 (es) | 2005-12-19 | 2007-06-28 | Uralita Sistemas De Tuberias, S.A. | Sistema distribuido de transmisión bidireccional de ondas guiadas y/o radiadas |
ATE458010T1 (de) | 2005-12-20 | 2010-03-15 | Basf Se | Oximester-photoinitiatoren |
CN101528694B (zh) | 2006-12-27 | 2012-03-07 | 株式会社艾迪科 | 肟酯化合物和含有该化合物的光聚合引发剂 |
JP2010015025A (ja) | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Adeka Corp | 特定の光重合開始剤を含有する感光性組成物 |
JP5685803B2 (ja) | 2008-07-24 | 2015-03-18 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物および液晶表示素子用スペーサーとその製造法 |
US20140147684A1 (en) * | 2012-11-26 | 2014-05-29 | Korea Institute Of Science And Technology | Gas barrier film and method of preparing the same |
JP2018504479A (ja) * | 2014-12-19 | 2018-02-15 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se | 紫外線/可視光線から基材を保護するための紫外線吸収剤と顔料との組み合わせ |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000119586A (ja) | 1998-10-12 | 2000-04-25 | Nikon Corp | コーティング組成物及びこれが塗布された光学物品 |
WO2019230283A1 (ja) | 2018-05-31 | 2019-12-05 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリアー性基材、その製造方法、それを具備した電子デバイス |
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