JP7411132B1 - ワーク形状測定方法、及びワーク形状測定装置。 - Google Patents
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Abstract
Description
形状測定器により前記ワークの形状を測定し、
空間精度測定部により前記運動機構部の空間精度を測定するとともに、
前記空間精度測定部によって測定された前記運動機構部の空間精度に基づいて、前記形状測定器によって測定されたワーク形状に係るデータを補正するようにしたワーク形状測定方法に係る。
前記ワークの形状を測定する形状測定器と、
前記運動機構部の空間精度を測定する空間精度測定部と、
前記空間精度測定部によって測定された前記運動機構部の空間精度に基づいて、前記形状測定器によって測定されたワーク形状に係る測定データを補正する形状データ補正部とを備えたワーク形状測定装置に係る。
前記形状測定器と前記読取器とは連結部材により連結されるとともに、該連結部材は前記工具保持部によって保持可能に構成され、
前記形状測定器及び空間精度測定部は、前記工具保持部に前記形状測定器及び読取器を保持した状態で、前記一方の送り軸を用いて、前記ワーク保持部と工具保持部とを相対移動させる動作中に、それぞれ、ワーク形状及び空間精度を測定するように構成された態様を採ることができる。
前記形状測定器と前記読取器とは連結部材により連結されるとともに、該連結部材は前記工具保持部によって保持可能に構成され、
前記形状測定器及び空間精度測定部は、前記工具保持部に前記形状測定器及び読取器を保持した状態で、前記二つの送り軸を用いて、前記ワーク保持部と工具保持部とをジグザグに相対移動させる動作中に、それぞれ、ワーク形状及び空間精度を測定するように構成された態様を採ることができる。
また、本例では、Yj,1=Yj,2=・・・=Yj,i=・・・=Yj,nである。
但し、前記EYY(Yj)、EZY(Yj)、EAY(Yj)及びEA(0Y)Zは、それぞれ前記三次元空間内における空間精度(空間誤差)であり、
EYY(Yj)は、Y軸に沿った直線送り軸(Y軸送り機構)のY軸方向における位置決め誤差、
EZY(Yj)は、Y軸送り機構のY軸-Z軸平面における真直誤差(Z軸方向)、
EAY(Yj)は、Y軸送り機構における、Y軸及びZ軸に直交する軸まわりの角度誤差、
EA(0Y)Zは、理想のY軸に対するZ軸送り機構の直角誤差であり、X軸送り機構、Y軸送り機構及びZ軸送り機構の幾何学モデルから設定される誤差である。
ここで、位置Yjにおいて算出される前記位置決誤差Δpj、並びに各空間精度EYY(Yj)、EZY(Yj)、EAY(Yj)、EA(0Y)Zを含めて誤差Ejと総称する。
因みに、他の誤差パラメータは、以下のように定義される。
EXXは、X軸送り機構のX軸方向における位置決め誤差、
EZZは、Z軸送り機構のZ軸方向における位置決め誤差、
EYXは、X軸送り機構のX軸-Y軸平面における真直誤差(Y軸方向)、
EZXは、X軸送り機構のX軸-Z軸平面における真直誤差(Z軸方向)、
EXYは、Y軸送り機構のY軸-X軸平面における真直誤差(X軸方向)、
EXZは、Z軸送り機構のZ軸-X軸平面における真直誤差(X軸方向)、
EYZは、Z軸送り機構のZ軸-Y軸平面における真直誤差(Y軸方向)、
EAXは、X軸送り機構におけるX軸まわりの角度誤差、
EAZは、Z軸送り機構におけるX軸まわりの角度誤差、
EBXは、X軸送り機構におけるY軸まわりの角度誤差、
EBYは、Y軸送り機構におけるY軸まわりの角度誤差、
EBZは、Z軸送り機構におけるY軸まわりの角度誤差、
ECXは、X軸送り機構におけるZ軸まわりの角度誤差、
ECYは、Y軸送り機構におけるZ軸まわりの角度誤差、
ECZは、Z軸送り機構におけるZ軸まわりの角度誤差、
EB(0Z)Xは、X軸送り機構と理想のZ軸との直角誤差、
EC(0X)Yは、Y軸送り機構と理想のX軸との直角誤差である。
ここで、前記EXY及びECYは、第1読取カメラ対27によって撮像される移動前後の画像を解析することによって算出することができる。具体的には、EXXは格子模様31aのX軸方向の変化量から算出することができ、ECYは格子模様31aのZ軸回りの回転量から算出することができる。
(数式2)
(xj,i,yj,i,zj,i)=(Xj,i,Yj,i,Zj,i)-Δpj
即ち、
=
但し、jは1からmの整数であり、iは1からnの整数である。
2 ベッド
10 運動機構部
11 フレーム
12 サドル
13 主軸
15 数値制御装置
20 ワーク形状測定装置
21 形状測定器
25 空間精度測定部
26 連結部材
27 第1読取カメラ対
28 第2読取カメラ対
30 基準ブロック
35 演算装置
36 形状データ記憶部
37 算出部
38 形状データ補正部
Claims (8)
- ワークを保持するワーク保持部、工具を保持する工具保持部、及び前記ワーク保持部と工具保持部とを少なくとも相互に直交する二つの送り軸方向に相対的に移動させる運動機構部を備えた工作機械の機内で、前記ワークの形状を測定する方法であって、
形状測定器により前記ワークの形状を測定し、
空間精度測定部により前記運動機構部の空間精度を測定するとともに、
前記空間精度測定部によって測定された前記運動機構部の空間精度に基づいて、前記形状測定器によって測定されたワーク形状に係るデータを補正するように構成され、
前記空間精度測定部は、前記二つの送り軸から選定された一方の送り軸に沿って配設されるとともに、検出面として設定した表面に、空間精度を測定するための格子模様が形成された基準物体と、前記検出面と対向するように配設され、前記格子模様を読み取る読取器と、該読取器により読み取られた格子模様に係るデータに基づいて、前記運動機構部の空間精度を算出する算出部とを備えており、
前記形状測定器と前記読取器とを連結部材により連結した状態で前記工具保持部に保持させた後、前記一方の送り軸を用いて、前記ワーク保持部と工具保持部とを相対移動させながら、前記形状測定器によりワーク形状を測定するとともに、前記空間精度測定部により前記運動機構部の空間精度を測定し、得られた空間精度データに基づいて、前記ワーク形状に係る測定データを補正するようにしたことを特徴とするワーク形状測定方法。 - 前記基準物体は、直方体形状を有し、その長手方向に沿った相互に直交する二つの表面が検出面に設定され、前記読取器は、二つの検出面にそれぞれ対向するように配設され、前記算出部は、各読取器により読み取られたデータに基づいて、前記運動機構部の空間精度を算出するように構成されていることを特徴とする請求項1記載のワーク形状測定方法。
- ワークを保持するワーク保持部、工具を保持する工具保持部、及び前記ワーク保持部と工具保持部とを少なくとも相互に直交する二つの送り軸方向に相対的に移動させる運動機構部を備えた工作機械の機内で、前記ワークの形状を測定する方法であって、
形状測定器により前記ワークの形状を測定し、
空間精度測定部により前記運動機構部の空間精度を測定するとともに、
前記空間精度測定部によって測定された前記運動機構部の空間精度に基づいて、前記形状測定器によって測定されたワーク形状に係るデータを補正するように構成され、
前記空間精度測定部は、前記二つの送り軸から選定された一方の送り軸に沿って配設されるとともに、検出面として設定した表面に、空間精度を検出するための格子模様が形成された基準物体と、前記検出面と対向するように配設され、前記格子模様を読み取る読取器と、該読取器により読み取られた格子模様に係るデータに基づいて、前記運動機構部の空間精度を算出する算出部とを備えており、
前記二つの送り軸を用いて、前記ワーク保持部と工具保持部とをジグザグに相対移動させながら、前記形状測定器によりワーク形状を測定するとともに、前記空間精度測定部により前記運動機構部の空間精度を測定し、得られた空間精度データに基づいて、前記ワーク形状に係る測定データを補正するようにしたことを特徴とするワーク形状測定方法。 - 前記形状測定器によって逐次測定されるワーク形状に係る測定データ、及び前記空間精度測定部によって逐次測定される前記運動機構部の空間精度データに基づいて、該ワーク形状に係る測定データ及び空間精度データを逐次処理することによって前記ワーク形状に係る測定データを補正するように構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のワーク形状測定方法。
- ワークを保持するワーク保持部、工具を保持する工具保持部、及び前記ワーク保持部と工具保持部とを少なくとも相互に直交する二つの送り軸方向に相対的に移動させる運動機構部を備えた工作機械の機内で、前記ワークの形状を測定する装置であって、
前記ワークの形状を測定する形状測定器と、
前記運動機構部の空間精度を測定する空間精度測定部と、
前記空間精度測定部によって測定された前記運動機構部の空間精度に基づいて、前記形状測定器によって測定されたワーク形状に係る測定データを補正する形状データ補正部とを備え、
前記空間精度測定部は、前記二つの送り軸から選定された一方の送り軸に沿って配設されるとともに、検出面として設定した表面に、空間精度を検出するための格子模様が形成された基準物体と、前記検出面と対向するように配設され、前記格子模様を読み取る読取器と、該読取器により読み取られた格子模様に係るデータに基づいて、前記運動機構部の空間精度を算出する算出部とを備え、
前記形状測定器と前記読取器とは連結部材により連結されるとともに、該連結部材は前記工具保持部によって保持可能に構成され、
前記形状測定器及び空間精度測定部は、前記工具保持部に前記形状測定器及び読取器を保持した状態で、前記一方の送り軸を用いて、前記ワーク保持部と工具保持部とを相対移動させる動作中に、それぞれ、ワーク形状及び空間精度を測定するように構成されていることを特徴とするワーク形状測定装置。 - 前記基準物体は、直方体形状を有し、その長手方向に沿った相互に直交する二つの表面が検出面に設定され、前記読取器は、二つの検出面にそれぞれ対向するように配設され、前記算出部は、各読取器により読み取られたデータに基づいて、前記運動機構部の空間精度を算出するように構成されていることを特徴とする請求項5記載のワーク形状測定装置。
- ワークを保持するワーク保持部、工具を保持する工具保持部、及び前記ワーク保持部と工具保持部とを少なくとも相互に直交する二つの送り軸方向に相対的に移動させる運動機構部を備えた工作機械の機内で、前記ワークの形状を測定する装置であって、
前記ワークの形状を測定する形状測定器と、
前記運動機構部の空間精度を測定する空間精度測定部と、
前記空間精度測定部によって測定された前記運動機構部の空間精度に基づいて、前記形状測定器によって測定されたワーク形状に係る測定データを補正する形状データ補正部とを備え、
前記空間精度測定部は、前記二つの送り軸から選定された一方の送り軸に沿って配設されるとともに、検出面として設定した表面に、空間精度を検出するための格子模様が形成された基準物体と、前記検出面と対向するように配設され、前記格子模様を読み取る読取器と、該読取器により読み取られた格子模様に係るデータに基づいて、前記運動機構部の空間精度を算出する算出部とを備え、
前記形状測定器と前記読取器とは連結部材により連結されるとともに、該連結部材は前記工具保持部によって保持可能に構成され、
前記形状測定器及び空間精度測定部は、前記工具保持部に前記形状測定器及び読取器を保持した状態で、前記二つの送り軸を用いて、前記ワーク保持部と工具保持部とをジグザグに相対移動させる動作中に、それぞれ、ワーク形状及び空間精度を測定するように構成されていることを特徴とするワーク形状測定装置。 - 前記形状データ補正部は、前記形状測定器によって逐次測定されるワーク形状に係る測定データ、及び前記空間精度測定部によって逐次測定される前記運動機構部の空間精度データに基づいて、該ワーク形状に係る測定データ及び空間精度データを逐次処理することによって前記ワーク形状に係る測定データを補正するように構成されていることを特徴とする請求項5から7のいずれか1項に記載のワーク形状測定装置。
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JP2023075513A JP7411132B1 (ja) | 2023-05-01 | 2023-05-01 | ワーク形状測定方法、及びワーク形状測定装置。 |
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---|---|---|---|---|
JP2012045703A (ja) | 2010-07-26 | 2012-03-08 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械 |
JP2014163757A (ja) | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Kyoto Univ | 工作機械の空間精度測定方法および空間精度測定装置 |
JP2015093358A (ja) | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 三菱日立パワーシステムズ株式会社 | 形状測定方法 |
JP2015135276A (ja) | 2014-01-17 | 2015-07-27 | Dmg森精機株式会社 | 表面形状測定装置およびそれを備えた工作機械 |
JP2016064497A (ja) | 2014-09-16 | 2016-04-28 | 株式会社東芝 | データ補正装置、データ補正方法、及び、加工装置 |
JP2021094600A (ja) | 2019-12-13 | 2021-06-24 | トーヨーエイテック株式会社 | 工作機械及びワーク加工部の形状測定方法 |
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JP2012045703A (ja) | 2010-07-26 | 2012-03-08 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械 |
JP2014163757A (ja) | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Kyoto Univ | 工作機械の空間精度測定方法および空間精度測定装置 |
JP2015093358A (ja) | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 三菱日立パワーシステムズ株式会社 | 形状測定方法 |
JP2015135276A (ja) | 2014-01-17 | 2015-07-27 | Dmg森精機株式会社 | 表面形状測定装置およびそれを備えた工作機械 |
JP2016064497A (ja) | 2014-09-16 | 2016-04-28 | 株式会社東芝 | データ補正装置、データ補正方法、及び、加工装置 |
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