JP7409519B2 - 流体制御装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る流体制御装置10の構成の一例を示す分解斜視図である。図2(A)は、第1の実施形態に係る流体制御装置10の構成の一例を示す側面断面図であり、図2(B)は、第1の実施形態に係る流体制御装置10の放熱状態を概略的に示す図である。本実施形態を含む各実施形態の各図では、流体制御装置10の構成を分かり易くするため、それぞれの構成要素の形状を部分的または全体として誇張して記載している。
ポンプ20は、平板21、平板22、ポンプ用枠体23、および、圧電素子30を備える。
外筐体40は、外壁主板41、外壁主板42、側板431、および、側板432を備える。なお、図1、図2(A)の構成では、平板22の外周端部分も外筐体40の一部を構成している。
第1外壁は、外壁主板41と側板431とによって構成される。
第2外壁は、外壁主板42と側板432とによって構成される。
上述の構成の流体制御装置10では、流体を搬送する際、圧電素子30の電極パターンに、交流の駆動信号が印加される。これにより、圧電素子30の圧電体は歪む。この歪みによる応力が平板21に加わることによって、平板21は、ベンディング振動する。平板21がベンディング振動することによって、ポンプ室100内の体積、圧力が変動する。
本発明の第2の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図4は、第2の実施形態に係る流体制御装置10Aの構成の一例を示す側面断面図である。
本発明の第3の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図6(A)は、第3の実施形態に係る流体制御装置10B1の構成の一例を示す側面断面図であり、図6(B)は、第3の実施形態に係る流体制御装置10B2の構成の一例を示す側面断面図である。
本発明の第4の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図7(A)は、第4の実施形態に係る流体制御装置10Cの構成の一例を示す側面断面図であり、図7(B)は、第4の実施形態に係る流体制御装置10Cの構成の一部を示す分解斜視図である。
本発明の第5の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図8(A)は、第5の実施形態に係る流体制御装置10D1の構成の一例を示す側面断面図であり、図8(B)は、第5の実施形態に係る流体制御装置10D2の構成の一例を示す側面断面図である。
本発明の第6の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図9(A)は、第6の実施形態に係る流体制御装置10E1の構成の一例を示す側面断面図であり、図9(B)は、第6の実施形態に係る流体制御装置10E2の構成の一例を示す側面断面図である。
本発明の第7の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図10は、第7の実施形態に係る流体制御装置10Fの構成の一例を示す側面断面図である。
本発明の第8の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図11は、第8の実施形態に係る流体制御装置10Gの構成の一例を示す側面断面図である。
10、10A、10B1、10B2、10C、10D1、10D2、10E1、10E2、10F、10G:流体制御装置
20、20E:ポンプ
21、22、22E:平板
23:ポンプ用枠体
30:圧電素子
40、40A、40B、40C、40D、40G:外筐体
41、41C、41D1、41D2、42、42A、42B、42C、42D、42G:外壁主板
51、52:貫通孔
60E1、60E2:バルブ
61:平板
62:バルブ用枠体
63:弁膜
71:支持部材
100:ポンプ室
101、102:内部空間
110:バルブ室
401、402:絶縁薄膜
411、411D1、411D2:金属部
412:樹脂部
420G:貫通孔
431、432:側板
501、502:ノズル
Claims (11)
- ポンプと、前記ポンプを内包する外筐体と、を備え、
前記ポンプは、第1平板と、前記第1平板に対して間隔を空けて対向して配置され、前記第1平板とともにポンプ室を形成する第2平板と、前記第1平板における前記ポンプ室と反対側の面に配置された圧電素子と、を備え、
前記外筐体は、前記第1平板側の第1内部空間を形成し、前記第1内部空間と外部空間とを連通する第1貫通孔を有する第1外壁と、前記第2平板側の第2内部空間を形成し、前記第2内部空間と外部空間とを連通する第2貫通孔を有する第2外壁と、を備え、
前記第1外壁は、前記圧電素子に対向する第1外壁主板と、前記第1外壁主板に接続し、前記第1貫通孔を有する第1側板と、を備え、
前記第1外壁主板は、前記第2外壁よりも高い熱伝導性を有する、
流体制御装置。 - 前記第1外壁主板は、前記圧電素子と対向する面が金属である、
請求項1に記載の流体制御装置。 - 前記第1外壁主板の主材料は、前記金属である、
請求項2に記載の流体制御装置。 - 前記第1外壁主板は、前記金属である、
請求項3に記載の流体制御装置。 - 前記第2外壁は、樹脂である、
請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第2外壁は、前記第2平板に対向する第2外壁主板と、前記第2外壁主板に接続し、前記第2貫通孔を有する第2側板と、を備え、
前記第1外壁主板における前記圧電素子に対向する部分は、前記第2外壁主板における平面視において前記圧電素子に重なる部分よりも薄い、
請求項5に記載の流体制御装置。 - 前記第1外壁主板の表面に絶縁薄膜を備える、
請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記絶縁薄膜は、前記第1外壁主板における前記ポンプ室側の面に配置される、
請求項7に記載の流体制御装置。 - 前記絶縁薄膜は、前記第1外壁主板における前記圧電素子に対向する部分に配置される、
請求項8に記載の流体制御装置。 - 前記絶縁薄膜は、前記第1外壁主板における前記ポンプ室側の全面に配置される、
請求項9に記載の流体制御装置。 - 前記絶縁薄膜は、前記第1外壁主板における前記外部空間側の面に配置される、
請求項7乃至請求項10のいずれかに記載の流体制御装置。
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