CN110821795A - 流体驱动装置 - Google Patents

流体驱动装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110821795A
CN110821795A CN201811200411.XA CN201811200411A CN110821795A CN 110821795 A CN110821795 A CN 110821795A CN 201811200411 A CN201811200411 A CN 201811200411A CN 110821795 A CN110821795 A CN 110821795A
Authority
CN
China
Prior art keywords
unit
piezoelectric element
region
hole
driving device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201811200411.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN110821795B (zh
Inventor
吴宗翰
黄俊谚
王薪椉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koge Micro Tech Co Ltd
Original Assignee
Koge Micro Tech Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koge Micro Tech Co Ltd filed Critical Koge Micro Tech Co Ltd
Publication of CN110821795A publication Critical patent/CN110821795A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110821795B publication Critical patent/CN110821795B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
    • F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/06—Pumps having fluid drive
    • F04B43/073—Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2047—Membrane type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

本发明提供一种流体驱动装置，包括致动单元、信号传导层、压电元件及平面单元。信号传导层包括第一传导区及第二传导区。压电元件包括电性隔绝的第一电极及第二电极，压电元件的第一电极导通于信号传导层的第一传导区，压电元件的第二电极导通于信号传导层的第二传导区。平面单元具有至少一孔。信号传导层、压电元件及平面单元分别位于致动单元的同一侧且依序堆叠。

Description

流体驱动装置
技术领域
本发明涉及一种流体驱动装置，尤其涉及一种电性连接至压电元件的信号传导层具有较佳的被保护性的流体驱动装置。
背景技术
压电泵是一种新型的流体驱动器，其无需附加驱动电机，仅通过电陶瓷的逆压电效应便能使压电振子产生变形，再依据前述变形产生泵腔的容积变化以实现流体输出，或者通过压电振子产生波动来传输流体，因此压电泵已逐渐取代传统泵而广泛地应用于电子、生医、航太、汽车以及石化等产业。
一般来说，压电泵是由压电元件以及泵体所组成，其中当通电至压电元件时，压电元件会在电场作用下径向压缩，并于其内部产生拉应力而弯曲变形。当压电元件正向弯曲时，泵体的腔室(以下称泵腔)的容积便会增大，使得泵腔内的压力减小，以令流体自入口流入泵腔。另一方面，当压电元件向反向弯曲时，泵腔的容积减小，使得泵腔内的压力增大，以令泵腔内的流体被挤压而自出口排出。目前，用来供电至压电元件的电路结构通常为多层结构，且位于泵体外部，整体体积较大且较容易受损。
发明内容
本发明提供一种流体驱动装置，其用以电性连接至压电元件的信号传导层，具有较佳的被保护性。
本发明的一种流体驱动装置，包括致动单元、信号传导层、压电元件及平面单元。信号传导层包括第一传导区及第二传导区。压电元件包括电性隔绝的第一电极及第二电极，压电元件的第一电极导通于信号传导层的第一传导区，压电元件的第二电极导通于信号传导层的第二传导区。平面单元具有至少一孔。信号传导层、压电元件及平面单元分别位于致动单元的同一侧且依序堆叠。
在本发明的一实施例中，上述的流体驱动装置还包括传导单元，传导单元位于致动单元与压电元件之间，传导单元是选用可挠性或软性印刷电路板(Flexible PrintedCircuit Board，FPCB)。
在本发明的一实施例中，上述的流体驱动装置还包括框体及凸出部。致动单元包括第一中央区及第一周围区，框体配置于第一周围区与平面单元之间。凸出部配置于第一中央区与平面单元之间对应于孔的位置且朝向孔凸出，框体在朝向于平面单元的表面共平面于凸出部在朝向于平面单元的表面。
在本发明的一实施例中，上述的传导单元包括对应于压电元件的第二中央区及位于第二中央区之外的第二周围区，压电元件固定于传导单元的第二中央区，框体固定于传导单元的第二周围区。
在本发明的一实施例中，上述的框体固定于致动单元的第一周围区。
在本发明的一实施例中，上述的压电元件包括通孔，凸出部穿过通孔。
在本发明的一实施例中，上述的传导单元包括对应于通孔的开孔，凸出部穿过开孔而固定至致动单元的第一中央区。
在本发明的一实施例中，上述的流体驱动装置还包括凸出部，致动单元包括第一中央区及第一周围区，凸出部配置于第一中央区与平面单元之间对应于孔的位置且朝向孔凸出，第一周围区的厚度大于第一中央区的厚度，第一周围区在朝向于平面单元的表面共平面于凸出部在朝向于平面单元的表面。
在本发明的一实施例中，上述的流体驱动装置，其中凸出部位于压电元件的朝向平面单元的表面。
在本发明的一实施例中，上述的流体驱动装置还包括承载件，包括第三中央区与第三周围区，承载件的第三中央区配置于压电元件与平面单元之间，而形成对应于孔且朝向孔凸出的凸出部，承载件的第三周围区配置于致动单元的第一周围区与平面单元之间。在本发明的一实施例中，上述的流体驱动装置还包括导流件，平面单元位于压电元件与导流件之间，导流件包括至少一贯孔。
基于上述，本发明的流体驱动装置的信号传导层、压电元件及平面单元分别位于致动单元的同一侧且依序堆叠。由于用以电性连接于压电元件的第一电极与第二电极的信号传导层位于致动单元与平面单元之间，信号传导层形成在流体驱动装置的内部而具有较佳的被保护性。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。
附图说明
图1是依照本发明的第一实施例的一种流体驱动装置的示意图。
图2是图1的另一视角的示意图。
图3是图1的爆炸示意图。
图4是图2的爆炸示意图。
图5是图1的流体驱动装置的剖面示意图。
图6是依照本发明的第二实施例的一种流体驱动装置的剖面示意图。
图7是依照本发明的第三实施例的一种流体驱动装置的剖面示意图。
图8是依照本发明的第四实施例的一种流体驱动装置的剖面示意图。
图9是依照本发明的第五实施例的一种流体驱动装置的爆炸示意图。
图10是图9的另一视角的示意图。
图11是图9的流体驱动装置的剖面示意图。
【符号说明】
100、100a、100b、100c、100d：流体驱动装置
110、110c：致动单元
112：第一中央区
114、114c：第一周围区
116：第一连接区
120、120b、120d：框体
130、130d：压电元件
131：通孔
132：第一面
133：第二面
134：第一电极
138：第二电极
140、140b、140d：传导单元
141：第二中央区
142：穿槽
143：第二周围区
144：开孔
145：信号传导层
146：第二导电区
147：第一导电区
148：第二传导区
149：第一传导区
150：承载件
152：第三周围区
155：凸出部
160：平面单元
162：第四中央区
163：穿槽
164：第四周围区
166：孔
170：导流件
172：第五中央区
174：第五周围区
175：凹槽
176：贯孔
178：流道
具体实施方式
图1是依照本发明的第一实施例的一种流体驱动装置的示意图。图2是图1的另一视角的示意图。图3是图1的爆炸示意图。图4是图2的爆炸示意图。图5是图1的流体驱动装置的剖面示意图。请参阅图1至图5，本实施例的流体驱动装置100包括致动单元110、信号传导层145、压电元件130及平面单元160。下面对流体驱动装置100进行详细地说明。
请参阅图3与图4，在本实施例中，致动单元110包括第一中央区112、第一周围区114及连接于第一中央区112及第一周围区114的多个第一连接区116。第一中央区112可相对于第一周围区114运动。此外，在本实施例中，致动单元110的材质可包括金属或合金，具有可挠曲的特性，但致动单元110的材质不以此为限制。在其他实施例中，致动单元110也可以是具有可挠性的橡胶、硅胶或是其他非金属材质。
在本实施例中，压电元件130具有相对的第一面132(标示于图3)与第二面133(标示于图4)，压电元件130的第一面132朝向致动单元110。在本实施例中，压电元件130包括位于第一面132且电性隔绝于彼此的第一电极134及第二电极138。第一电极134及第二电极138的其中一者为正极，另一者为负极。此外，在本实施例中，压电元件130的形状可为片状或任意几何外形，且压电元件130的外轮廓可为弧形、多角形、矩形、多边形等，压电元件130的形状并不以此为限制。
如图4所示，在本实施例中，信号传导层145包括电性隔绝的第一传导区149及第二传导区148。更明确地说，在本实施例中，流体驱动装置100还包括传导单元140，传导单元140位于压电元件130与致动单元110之间。传导单元140是选用可挠性或软性印刷电路板(Flexible Printed Circuit Board，FPCB)。传导单元140包括由多个穿槽142围绕出且对应于压电元件130的第二中央区141及位于第二中央区141之外的第二周围区143。压电元件130固定于传导单元140的第二中央区141。第一传导区149与第二传导区148分别形成于传导单元140上。传导单元140上的第一传导区149与第二传导区148是互相电性隔离绝缘，不会电性连接。更明确地说，第一传导区149与第二传导区148分别延伸至传导单元140的第二中央区141而连接于位于第二中央区141的第一导电区147与第二导电区146。
请共同参阅图3与图4，在本实施例中，压电元件130的第一电极134(标示于图3)通过第一导电区147导通于信号传导层145的第一传导区149(标示于图4)，压电元件130的第二电极138(标示于图3)通过第二导电区146导通于信号传导层145的第二传导区148(标示于图4)。
当然，在其他实施例中，第一传导区149与第二传导区148也可以是两条一般形式的导线，也可以直接连接压电元件130的第一电极134与第二电极138，第一传导区149与第二传导区148并不一定要形成在传导单元140上。此外，第一传导区149与第二传导区148也不一定要形成在同一层，结构上不以上述为限制，只要第一传导区149与第二传导区148导通于压电元件130的第一电极134与第二电极138即可。
在本实施例中，平面单元160为阀片，但平面单元160的形式不以此为限制。平面单元160包括三个形状为弧形的穿槽163，这些围绕出圆形的第四中央区162并区分出位于第四中央区162之外的第四周围区164。第四中央区162的位置对应于压电元件130的位置。在本实施例中，平面单元160还包括形成于第四中央区162的孔166。在其他实施例中，平面单元160的穿槽163的数量以及形状并不以此为限制。此外，平面单元160的材质可包括金属或非导电性材质，其略具可挠性，但平面单元160的材质并不以此为限制。
值得一提的是，在本实施例中，流体驱动装置100还包括框体120及凸出部155。框体120配置于致动单元110的第一周围区114与平面单元160之间。更明确地说，在本实施例中，框体120固定于传导单元140的第二周围区143与平面单元160的第四周围区164之间。凸出部155配置于致动单元110的第一中央区112与平面单元160的第四中央区162之间。如图5所示，在本实施例中，凸出部155位于压电元件130的朝向平面单元160的表面，且凸出部155朝向孔166凸出。
此外，由图5可见，在本实施例中，框体120在朝向于平面单元160的表面共平面于凸出部155在朝向于平面单元160的表面。如此，当流体驱动装置100组装完成之后，凸出部155可抵住平面单元160在靠近孔166处的部位，而可确保在某一个动作的时刻(例如是图5的时刻)，凸出部155抵住孔166，而使流体(未示出)不通过孔166。在本实施例中，框体120与凸出部155可以是金属、陶瓷、塑胶等材质，框体120与凸出部155的材质种类不以此为限制。
另外，如图3所示，在本实施例中，流体驱动装置100还包括导流件170，平面单元160位于压电元件130与导流件170之间。在本实施例中，导流件170包括由三个凹槽175围绕出且对应于压电元件130的第五中央区172、位于第五中央区172之外的第五周围区174、贯穿导流件170的三个贯孔176及分别连通于这三个贯孔176的三个流道178。当然，导流件170的凹槽175、贯孔176与流道178的数量并不以此为限制。
在本实施例中，导流件170的第五周围区174贴附至平面单元160的第四周围区164，平面单元160的第四中央区162可相对于第四周围区164运动。此外，在本实施例中，导流件170的材质可包括金属或合金，但导流件170的材质并不以此为限制。
值得一提的是，在本实施例中，具有信号传导层145的传导单元140、压电元件130及平面单元160分别位于致动单元110的同一侧且依序堆叠。换句话说，在本实施例中，具有信号传导层145的传导单元140与压电元件130会位于致动单元110与平面单元160之间。由于信号传导层145主要是形成在流体驱动装置100的内部，如此，本实施例的流体驱动装置100可对信号传导层145具有较佳的保护性。
此外，在本实施例的流体驱动装置100中，导通于压电元件130的信号传导层145被设置在位于致动单元110与压电元件130之间的单一件传导单元140上。由于信号传导层145制作在单一件传导单元140上，相较于现有的流体驱动装置具有多层的信号传导层，本实施例的流体驱动装置100也具有较小的整体厚度，组装上也较为简单方便。
下面将介绍其他形式的流体驱动装置100a、100b、100c。与前一实施例相同或相近的元件以相同或相近的符号表示，不再多加赘述，下面仅就不同实施例之间的主要差异之处进行说明。
图6是依照本发明的第二实施例的一种流体驱动装置的剖面示意图。请参阅图6，本实施例的流体驱动装置100a与前一实施例(如图5)的流体驱动装置100的主要差异在于，在前一实施例中，如图5所示，框体120的厚度实质上相同于压电元件130的厚度与凸出部155的厚度的总合。
如图6所示，在本实施例中，框体120的厚度实质上相同于压电元件130的厚度。此外，在本实施例中，流体驱动装置100a还包括承载件150，承载件150包括第三中央区与第三周围区152。承载件150的第三中央区配置于压电元件130与平面单元160之间，而作为对应于孔166且朝向孔166凸出的凸出部155。承载件150的第三周围区152配置于致动单元110与平面单元160之间。更明确地说，承载件150的第三周围区152位于框体120与平面单元160之间。
在本实施例中，承载件150可以是金属、陶瓷、塑胶等材质，承载件150的材质种类不以此为限制。在本实施例中，承载件150的第三中央区与第三周围区152可由同一件物件来制作，可确保第三中央区的厚度与第三周围区152的厚度相同，而提供良好的平整度，且制作上也较为简单。
图7是依照本发明的第三实施例的一种流体驱动装置的剖面示意图。框体固定于致动单元的第一周围区。请参阅图7，本实施例的流体驱动装置100b与图5的实施例的流体驱动装置100的差异在于，在图5的实施例中，框体120所分布的区域对应于传导单元140的第二周围区143所分布的区域。也就是说，在前一实施例中，框体120是叠置于传导单元140的第二周围区143。
在本实施例中，传导单元140b的第二周围区143的外轮廓小于框体120b的内轮廓，且传导单元140b位于框体120b的范围之内。由图7可见，在本实施例中，传导单元140b的第二周围区143与框体120b分别接触于致动单元110。因此，传导单元140b的第二周围区143不交叠于框体120b。
由图7可见，在本实施例中，框体120b的厚度实质上相同于传导单元140b的厚度、压电元件130的厚度与凸出部155的厚度的总合。也就是说，框体120b在朝向于平面单元160的表面共平面于凸出部155在朝向于平面单元160的表面。如此，当流体驱动装置100b组装完成之后，凸出部155可抵住平面单元160在靠近孔166处的部位，而可确保在某一个动作的时刻(例如是图5的时刻)，凸出部155抵住孔166，而使流体(未示出)不通过孔166。
图8是依照本发明的第四实施例的一种流体驱动装置的剖面示意图。请参阅图8，本实施例的流体驱动装置100c与图7的实施例的流体驱动装置100b的差异在于，在本实施例中，致动单元110c的第一周围区114c的厚度大于第一中央区112的厚度。更明确地说，在本实施例中，致动单元110c类似于图7的致动单元110与框体120b的组合。
在本实施例中，致动单元110c的第一周围区114c在朝向于平面单元160的表面共平面于凸出部155在朝向于平面单元160的表面。如此，当流体驱动装置100c组装完成之后，凸出部155可抵住平面单元160在靠近孔166处的部位，而可确保在某一个动作的时刻(例如是图5的时刻)，凸出部155抵住孔166，而使流体(未示出)不通过孔166。
图9是依照本发明的第五实施例的一种流体驱动装置的爆炸示意图。图10是图9的另一视角的示意图。图11是图9的流体驱动装置的剖面示意图。请参阅图9至图11，本实施例的流体驱动装置100d与图7的实施例的流体驱动装置100b的差异在于，在图7的实施例中，传导单元140b的第二中央区141不具有可以让凸出部155穿过的开孔，且压电元件不具有可以让凸出部155穿过的通孔。
如图9所示，在本实施例中，压电元件130d呈环形，而包括通孔131。传导单元140d包括对应于通孔131的开孔144。凸出部155穿过压电元件130d的通孔131、传导单元140d的开孔144而固定至致动单元110的第一中央区112。
由图11可见，在本实施例中，框体120d的厚度实质上相同于凸出部155的厚度，而可由同一件物件来制作而成，制作上较为简单，且可确保框体120d的下表面齐平于凸出部155的下表面，而具有较小的公差。此外，由图11可见，在本实施例的流体驱动装置100d中，流体驱动装置100d的中央位置(例如是指图9中致动单元110的第一中央区112与平面单元160的第四中央区162之间)的部位，可说是流体驱动装置100d的主要功能区。在本实施例中，由于致动单元110的第一中央区112与平面单元160的第四中央区162之间仅由凸出部155隔开，流体驱动装置100d在中央位置的构件数量少，而使得流体驱动装置100d具有良好的精度。
综上所述，本发明的流体驱动装置的信号传导层、压电元件及平面单元分别位于致动单元的同一侧且依序堆叠。由于用以电性连接于压电元件的第一电极与第二电极的信号传导层位于致动单元与平面单元之间，信号传导层大部分被形成在流体驱动装置的内部而具有较佳的被保护性。此外，在一实施例中，信号传导层形成于同一层，例如是可形成于同一片传导单元，而使得流体驱动装置的元件数量较少，流体驱动装置的层数也较低，组装上也较为方便简单，整体公差也可缩减。
虽然本发明已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更改与润饰，故本发明的保护范围当视权利要求所界定的为准。

Claims (11)

1.一种流体驱动装置，其特征在于，包括：
致动单元；
信号传导层，包括第一传导区及第二传导区；
压电元件，包括电性隔绝的第一电极及第二电极，所述压电元件的所述第一电极导通于所述信号传导层的所述第一传导区，所述压电元件的所述第二电极导通于所述信号传导层的所述第二传导区；以及
平面单元，其中所述平面单元具有至少一孔，所述信号传导层、所述压电元件及所述平面单元分别位于所述致动单元的同一侧且依序堆叠。
2.根据权利要求1所述的流体驱动装置，其特征在于，还包括：
传导单元，所述传导单元位于所述致动单元与所述压电元件之间，且所述传导单元是选用可挠性或软性印刷电路板。
3.根据权利要求2所述的流体驱动装置，其特征在于，还包括：
框体，所述致动单元包括第一中央区及第一周围区，所述框体配置于所述第一周围区与所述平面单元之间；以及
凸出部，配置于所述第一中央区与所述平面单元之间对应于所述孔的位置且朝向所述孔凸出，所述框体在朝向于所述平面单元的表面共平面于所述凸出部在朝向于所述平面单元的表面。
4.根据权利要求3所述的流体驱动装置，其特征在于，其中所述传导单元包括对应于所述压电元件的第二中央区及位于所述第二中央区之外的第二周围区，所述压电元件固定于所述传导单元的所述第二中央区，所述框体固定于所述传导单元的所述第二周围区。
5.根据权利要求3所述的流体驱动装置，其特征在于，其中所述框体固定于所述致动单元的所述第一周围区。
6.根据权利要求3所述的流体驱动装置，其特征在于，其中所述压电元件包括通孔，所述凸出部穿过所述通孔。
7.根据权利要求6所述的流体驱动装置，其特征在于，其中所述传导单元包括对应于所述通孔的开孔，所述凸出部穿过所述开孔而固定至所述致动单元的所述第一中央区。
8.根据权利要求1所述的流体驱动装置，其特征在于，还包括：
凸出部，所述致动单元包括第一中央区及第一周围区，所述凸出部配置于所述第一中央区与所述平面单元之间对应于所述孔的位置且朝向所述孔凸出，所述第一周围区的厚度大于所述第一中央区的厚度，所述第一周围区在朝向于所述平面单元的表面共平面于所述凸出部在朝向于所述平面单元的表面。
9.根据权利要求3或8所述的流体驱动装置，其特征在于，其中所述凸出部位于所述压电元件的朝向所述平面单元的表面。
10.根据权利要求1所述的流体驱动装置，其特征在于，还包括：
承载件，包括第三中央区与第三周围区，所述承载件的所述第三中央区配置于所述压电元件与所述平面单元之间，而形成对应于所述孔且朝向所述孔凸出的凸出部，所述承载件的所述第三周围区配置于所述致动单元的第一周围区与所述平面单元之间。
11.根据权利要求1所述的流体驱动装置，其特征在于，还包括：
导流件，所述平面单元位于所述压电元件与所述导流件之间，所述导流件包括至少一贯孔。
CN201811200411.XA 2018-08-13 2018-10-16 流体驱动装置 Active CN110821795B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW107128142A TWI680232B (zh) 2018-08-13 2018-08-13 流體驅動裝置
TW107128142 2018-08-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110821795A true CN110821795A (zh) 2020-02-21
CN110821795B CN110821795B (zh) 2021-12-31

Family

ID=66906359

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201821671336.0U Active CN209025824U (zh) 2018-08-13 2018-10-16 流体驱动装置
CN201811200411.XA Active CN110821795B (zh) 2018-08-13 2018-10-16 流体驱动装置

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201821671336.0U Active CN209025824U (zh) 2018-08-13 2018-10-16 流体驱动装置

Country Status (5)

Country Link
US (2) US11248597B2 (zh)
EP (1) EP3611380B1 (zh)
JP (1) JP6870810B2 (zh)
CN (2) CN209025824U (zh)
TW (1) TWI680232B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI680232B (zh) * 2018-08-13 2019-12-21 科際精密股份有限公司 流體驅動裝置
WO2021186860A1 (ja) * 2020-03-18 2021-09-23 株式会社村田製作所 アクチュエータ、流体制御装置、および、アクチュエータの製造方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0424087A1 (en) * 1989-10-17 1991-04-24 Seiko Epson Corporation Micro-pump or micro-discharge device
CN1054119A (zh) * 1989-12-27 1991-08-28 精工爱普生株式会社 微电化泵及其制造方法
US5759015A (en) * 1993-12-28 1998-06-02 Westonbridge International Limited Piezoelectric micropump having actuation electrodes and stopper members
JP2005098234A (ja) * 2003-09-25 2005-04-14 Brother Ind Ltd 液体移送装置
WO2008081767A1 (ja) * 2006-12-27 2008-07-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. 圧電バルブ
JP2008180091A (ja) * 2007-01-23 2008-08-07 Alps Electric Co Ltd ドライバ内蔵圧電ポンプ
JP2009097367A (ja) * 2007-10-15 2009-05-07 Alps Electric Co Ltd 圧電ポンプ
CN101634292A (zh) * 2009-08-10 2010-01-27 胡军 用于电子产品及cpu散热冷却系统的压电陶瓷泵
CN104832404A (zh) * 2015-05-13 2015-08-12 长春工业大学 一种基于pdms的压电微泵
CN209025824U (zh) * 2018-08-13 2019-06-25 科际精密股份有限公司 流体驱动装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE59303655D1 (de) * 1993-02-04 1996-10-10 Landis & Gyr Tech Innovat Messwandler
JPH09247781A (ja) * 1996-03-05 1997-09-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電レシーバ
JP4453114B2 (ja) * 1999-01-28 2010-04-21 本田技研工業株式会社 圧電型アクチュエータ
US7198250B2 (en) * 2000-09-18 2007-04-03 Par Technologies, Llc Piezoelectric actuator and pump using same
JP2007165664A (ja) * 2005-12-15 2007-06-28 Alps Electric Co Ltd 振動子の配線構造及び圧電ポンプ
JP4946464B2 (ja) * 2007-01-30 2012-06-06 ブラザー工業株式会社 液体移送装置及び液体移送装置の製造方法
TW201011954A (en) * 2008-09-15 2010-03-16 Micro Base Technology Corp Conduction wire structure applied to the inner of micro piezoelectric pump
JP2010263061A (ja) * 2009-05-07 2010-11-18 Murata Mfg Co Ltd 圧電装置及びそれを備える送風機
JP5533823B2 (ja) * 2011-09-06 2014-06-25 株式会社村田製作所 流体制御装置
JP5900155B2 (ja) * 2011-09-06 2016-04-06 株式会社村田製作所 流体制御装置
US10139479B2 (en) * 2014-10-15 2018-11-27 Qualcomm Incorporated Superpixel array of piezoelectric ultrasonic transducers for 2-D beamforming
DE112016001938B4 (de) * 2015-04-27 2024-07-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Pumpe
US10371136B2 (en) * 2016-01-29 2019-08-06 Microjet Technology Co., Ltd. Miniature pneumatic device
TWM570534U (zh) * 2018-08-13 2018-11-21 科際精密股份有限公司 流體驅動裝置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0424087A1 (en) * 1989-10-17 1991-04-24 Seiko Epson Corporation Micro-pump or micro-discharge device
CN1054119A (zh) * 1989-12-27 1991-08-28 精工爱普生株式会社 微电化泵及其制造方法
US5759015A (en) * 1993-12-28 1998-06-02 Westonbridge International Limited Piezoelectric micropump having actuation electrodes and stopper members
JP2005098234A (ja) * 2003-09-25 2005-04-14 Brother Ind Ltd 液体移送装置
WO2008081767A1 (ja) * 2006-12-27 2008-07-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. 圧電バルブ
JP2008180091A (ja) * 2007-01-23 2008-08-07 Alps Electric Co Ltd ドライバ内蔵圧電ポンプ
JP2009097367A (ja) * 2007-10-15 2009-05-07 Alps Electric Co Ltd 圧電ポンプ
CN101634292A (zh) * 2009-08-10 2010-01-27 胡军 用于电子产品及cpu散热冷却系统的压电陶瓷泵
CN104832404A (zh) * 2015-05-13 2015-08-12 长春工业大学 一种基于pdms的压电微泵
CN209025824U (zh) * 2018-08-13 2019-06-25 科际精密股份有限公司 流体驱动装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP3611380B1 (en) 2020-11-11
CN110821795B (zh) 2021-12-31
TWI680232B (zh) 2019-12-21
US20220074403A1 (en) 2022-03-10
US11585337B2 (en) 2023-02-21
US11248597B2 (en) 2022-02-15
CN209025824U (zh) 2019-06-25
JP6870810B2 (ja) 2021-05-12
TW202009376A (zh) 2020-03-01
US20200049139A1 (en) 2020-02-13
JP2020073250A (ja) 2020-05-14
EP3611380A1 (en) 2020-02-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWM570534U (zh) 流體驅動裝置
CN110821797B (zh) 流体驱动系统
US20070065309A1 (en) Diaphragm pump
CN110821795B (zh) 流体驱动装置
TWM570535U (zh) 壓電驅動裝置
CN110821796B (zh) 压电驱动装置
TWM570536U (zh) 流體驅動系統
US20070065310A1 (en) Diaphragm pump
CN116249834A (zh) 流体控制装置
CN211715297U (zh) 致动装置
CN211791323U (zh) 致动系统
US11711980B2 (en) Fluid actuator
CN116261627B (zh) 流体控制装置
WO2006113344A2 (en) Actuators with connected diaphragms
TWI725602B (zh) 致動裝置
CN112780532A (zh) 致动装置
TWI712739B (zh) 致動系統
CN112787543A (zh) 致动系统
TW202119660A (zh) 致動器
JP2009062947A (ja) 液体ダイヤフラムポンプ

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant