JPWO2022070638A5 - - Google Patents
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Description
この発明の流体制御装置は、ポンプと、ポンプを内包する外筐体と、を備える。ポンプは、第１平板と、第１平板に対して間隔を空けて対向して配置され、第１平板とともにポンプ室を形成する第２平板と、第１平板におけるポンプ室と反対側の面に配置された圧電素子と、を備える。外筐体は、第１平板側の第１内部空間を形成し、第１内部空間と外部空間とを連通する第１貫通孔を有する第１外壁と、第２平板側の第２内部空間を形成し、第２内部空間と外部空間とを連通する第２貫通孔を有する第２外壁と、を備える。第１外壁は、圧電素子に対向する第１外壁主板と、第１外壁主板に接続し、第１貫通孔を有する第１側板と、を備える。第１外壁主板は、第２外壁よりも高い熱伝導性を有する。
平板２１は、円板である。平板２１は、金属板等からなる。平板２１には、貫通孔ＴＨ２１が形成される。貫通孔ＴＨ２１は、平板２１を厚み方向に貫通する。貫通孔ＴＨ２１は、平板２１における外周端付近に形成される。より具体的には、平面視において、平板２１が圧電素子３０に重なる部分よりも外周側で、後述するポンプ用枠体２３に重なる部分よりも中心側に形成される。貫通孔ＴＨ２１は、平板２１の外周に沿って形成され、離散的な形状の溝である。これにより、平板２１における貫通孔ＴＨ２１の形成部分よりも内側の部分は、ベンディング振動が可能になる。
このような構成によって、流体制御装置１０Ｂ２は、流体制御装置１０Ａと同様の作用効果を奏するとともに、金属製の外壁主板４１と外部の導体等との短絡を抑制できる。
なお、図６（Ｂ）では、外壁主板４１における外部空間側の面の全面に絶縁薄膜４０２を配置する態様を示した。しかしながら、絶縁薄膜４０２は、外壁主板４１における少なくとも必要箇所に配置されていればよい。例えば、絶縁薄膜４０２は、流体制御装置１０Ｂ２に近接する導体に対向する部分に配置されていればよい。また、図６（Ｂ）では、流体制御装置１０Ｂ２は、外壁主板４１における必要箇所のみに絶縁薄膜４０２を配置することで、放熱性の確保と短絡の抑制とを実現できる。
Claims (2)
- ポンプと、前記ポンプを内包する外筐体と、を備え、
前記ポンプは、第１平板と、前記第１平板に対して間隔を空けて対向して配置され、前記第１平板とともにポンプ室を形成する第２平板と、前記第１平板における前記ポンプ室と反対側の面に配置された圧電素子と、を備え、
前記外筐体は、前記第１平板側の第１内部空間を形成し、前記第１内部空間と外部空間とを連通する第１貫通孔を有する第１外壁と、前記第２平板側の第２内部空間を形成し、前記第２内部空間と外部空間とを連通する第２貫通孔を有する第２外壁と、を備え、
前記第１外壁は、前記圧電素子に対向する第１外壁主板と、前記第１外壁主板に接続し、前記第１貫通孔を有する第１側板と、を備え、
前記第１外壁主板は、前記第２外壁よりも高い熱伝導性を有する、
流体制御装置。 - 前記第２外壁は、前記第２平板に対向する第２外壁主板と、前記第２外壁主板に接続し、前記第２貫通孔を有する第２側板と、を備え、
前記第１外壁主板における前記圧電素子に対向する部分は、前記第２外壁主板における平面視において前記圧電素子に重なる部分よりも薄い、
請求項５に記載の流体制御装置。
Applications Claiming Priority (3)
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