JP7407518B2 - ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法 - Google Patents

ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7407518B2
JP7407518B2 JP2019079223A JP2019079223A JP7407518B2 JP 7407518 B2 JP7407518 B2 JP 7407518B2 JP 2019079223 A JP2019079223 A JP 2019079223A JP 2019079223 A JP2019079223 A JP 2019079223A JP 7407518 B2 JP7407518 B2 JP 7407518B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive resin
resin composition
polyimide precursor
negative photosensitive
general formula
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019079223A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2020091464A (ja
JP2020091464A5 (enrdf_load_stackoverflow
Inventor
秀二郎 塩崎
知士 小倉
竜也 平田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Kasei Corp
Original Assignee
Asahi Kasei Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Kasei Corp filed Critical Asahi Kasei Corp
Publication of JP2020091464A publication Critical patent/JP2020091464A/ja
Publication of JP2020091464A5 publication Critical patent/JP2020091464A5/ja
Priority to JP2023146953A priority Critical patent/JP2023171788A/ja
Priority to JP2023206198A priority patent/JP7674451B2/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7407518B2 publication Critical patent/JP7407518B2/ja
Priority to JP2025072375A priority patent/JP2025100903A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
JP2019079223A 2018-04-27 2019-04-18 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法 Active JP7407518B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2023146953A JP2023171788A (ja) 2018-04-27 2023-09-11 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2023206198A JP7674451B2 (ja) 2018-04-27 2023-12-06 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2025072375A JP2025100903A (ja) 2018-04-27 2025-04-24 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法

Applications Claiming Priority (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018087350 2018-04-27
JP2018087319 2018-04-27
JP2018087350 2018-04-27
JP2018087319 2018-04-27
JP2018092007 2018-05-11
JP2018092007 2018-05-11
JP2018203990 2018-10-30
JP2018203990 2018-10-30
JP2018221555 2018-11-27
JP2018221555 2018-11-27

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023146953A Division JP2023171788A (ja) 2018-04-27 2023-09-11 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2020091464A JP2020091464A (ja) 2020-06-11
JP2020091464A5 JP2020091464A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2022-03-04
JP7407518B2 true JP7407518B2 (ja) 2024-01-04

Family

ID=69582780

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019079223A Active JP7407518B2 (ja) 2018-04-27 2019-04-18 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2023146953A Pending JP2023171788A (ja) 2018-04-27 2023-09-11 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2023206198A Active JP7674451B2 (ja) 2018-04-27 2023-12-06 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2025072375A Pending JP2025100903A (ja) 2018-04-27 2025-04-24 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法

Family Applications After (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023146953A Pending JP2023171788A (ja) 2018-04-27 2023-09-11 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2023206198A Active JP7674451B2 (ja) 2018-04-27 2023-12-06 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2025072375A Pending JP2025100903A (ja) 2018-04-27 2025-04-24 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法

Country Status (2)

Country Link
JP (4) JP7407518B2 (enrdf_load_stackoverflow)
TW (2) TWI803627B (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021153608A1 (ja) * 2020-01-30 2021-08-05 旭化成株式会社 ネガ型感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法
WO2022202907A1 (ja) * 2021-03-26 2022-09-29 住友ベークライト株式会社 感光性樹脂組成物、樹脂膜および電子装置
CN115701440B (zh) * 2021-08-02 2024-07-30 华为技术有限公司 聚酰亚胺复合物薄膜及其制备方法、电子设备
WO2024209647A1 (ja) * 2023-04-06 2024-10-10 Ｈｄマイクロシステムズ株式会社 感光性樹脂組成物、パターン硬化物の製造方法、硬化物、及び電子部品
WO2025178098A1 (ja) * 2024-02-22 2025-08-28 富士フイルム株式会社 樹脂組成物、硬化物、積層体、硬化物の製造方法、積層体の製造方法、半導体デバイスの製造方法、及び、半導体デバイス、並びに、ポリアミック酸エステルの製造方法
WO2025178103A1 (ja) * 2024-02-22 2025-08-28 富士フイルム株式会社 樹脂組成物、硬化物、積層体、硬化物の製造方法、積層体の製造方法、半導体デバイスの製造方法、及び、半導体デバイス、並びに、ポリアミック酸エステルの製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001302746A (ja) 2000-04-21 2001-10-31 Nippon Kayaku Co Ltd 樹脂組成物、ソルダーレジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物
WO2017110982A1 (ja) 2015-12-25 2017-06-29 富士フイルム株式会社 樹脂、組成物、硬化膜、硬化膜の製造方法および半導体デバイス

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11282155A (ja) * 1998-03-27 1999-10-15 Hitachi Chem Co Ltd 感光性樹脂組成物及びこれを用いたソルダーレジストの製造法
JP5887172B2 (ja) * 2011-07-29 2016-03-16 富士フイルム株式会社 感光性樹脂組成物、レリーフパターン形成材料、感光性膜、ポリイミド膜、硬化レリーフパターンの製造方法、及び半導体装置
JP2015147907A (ja) 2014-02-07 2015-08-20 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 樹脂組成物、樹脂組成物を用いた硬化膜の製造方法及び電子部品
JP6636707B2 (ja) 2015-03-10 2020-01-29 旭化成株式会社 感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法及び半導体装置
JP6923334B2 (ja) * 2016-04-14 2021-08-18 旭化成株式会社 感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法
KR102212731B1 (ko) 2016-08-25 2021-02-08 후지필름 가부시키가이샤 적층체의 제조 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001302746A (ja) 2000-04-21 2001-10-31 Nippon Kayaku Co Ltd 樹脂組成物、ソルダーレジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物
WO2017110982A1 (ja) 2015-12-25 2017-06-29 富士フイルム株式会社 樹脂、組成物、硬化膜、硬化膜の製造方法および半導体デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020091464A (ja) 2020-06-11
JP7674451B2 (ja) 2025-05-09
JP2023171788A (ja) 2023-12-05
TWI881341B (zh) 2025-04-21
TW202334283A (zh) 2023-09-01
TW201945439A (zh) 2019-12-01
JP2025100903A (ja) 2025-07-03
TWI803627B (zh) 2023-06-01
JP2024019341A (ja) 2024-02-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7590394B2 (ja) ネガ型感光性樹脂組成物、並びにこれを用いたポリイミド及び硬化レリーフパターンの製造方法
JP7407518B2 (ja) ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP7393491B2 (ja) ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法、並びに硬化レリーフパターンの製造方法
WO2021020463A1 (ja) ネガ型感光性樹脂組成物、ポリイミドの製造方法、硬化レリーフパターンの製造方法、及び半導体装置
JP7542102B2 (ja) ネガ型感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法
KR102456730B1 (ko) 네거티브형 감광성 수지 조성물, 폴리이미드의 제조 방법 및 경화 릴리프 패턴의 제조 방법
JP2025024080A (ja) ネガ型感光性樹脂組成物、並びにこれを用いたポリイミド及び硬化レリーフパターンの製造方法
JP7640227B2 (ja) 感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターン及びその製造方法
JP7540891B2 (ja) ネガ型感光性樹脂組成物、並びにこれを用いたポリイミド及び硬化レリーフパターンの製造方法
JP7445443B2 (ja) ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法、並びに硬化レリーフパターンの製造方法
JP7488659B2 (ja) ネガ型感光性樹脂組成物、並びにこれを用いたポリイミド及び硬化レリーフパターンの製造方法
JP2024031928A (ja) ネガ型感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法
JP2023158657A (ja) ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法、並びに硬化レリーフパターンの製造方法
JP2023160771A (ja) 感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220224

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220224

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230127

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230207

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230406

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20230801

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230911

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20230919

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20231121

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20231219

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7407518

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150