JP2020091464A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2020091464A5
JP2020091464A5 JP2019079223A JP2019079223A JP2020091464A5 JP 2020091464 A5 JP2020091464 A5 JP 2020091464A5 JP 2019079223 A JP2019079223 A JP 2019079223A JP 2019079223 A JP2019079223 A JP 2019079223A JP 2020091464 A5 JP2020091464 A5 JP 2020091464A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive resin
resin composition
composition according
general formula
negative photosensitive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019079223A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2020091464A (ja
JP7407518B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of JP2020091464A publication Critical patent/JP2020091464A/ja
Publication of JP2020091464A5 publication Critical patent/JP2020091464A5/ja
Priority to JP2023146953A priority Critical patent/JP2023171788A/ja
Priority to JP2023206198A priority patent/JP7674451B2/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7407518B2 publication Critical patent/JP7407518B2/ja
Priority to JP2025072375A priority patent/JP2025100903A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2019079223A 2018-04-27 2019-04-18 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法 Active JP7407518B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2023146953A JP2023171788A (ja) 2018-04-27 2023-09-11 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2023206198A JP7674451B2 (ja) 2018-04-27 2023-12-06 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2025072375A JP2025100903A (ja) 2018-04-27 2025-04-24 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法

Applications Claiming Priority (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018087350 2018-04-27
JP2018087319 2018-04-27
JP2018087350 2018-04-27
JP2018087319 2018-04-27
JP2018092007 2018-05-11
JP2018092007 2018-05-11
JP2018203990 2018-10-30
JP2018203990 2018-10-30
JP2018221555 2018-11-27
JP2018221555 2018-11-27

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023146953A Division JP2023171788A (ja) 2018-04-27 2023-09-11 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2020091464A JP2020091464A (ja) 2020-06-11
JP2020091464A5 true JP2020091464A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2022-03-04
JP7407518B2 JP7407518B2 (ja) 2024-01-04

Family

ID=69582780

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019079223A Active JP7407518B2 (ja) 2018-04-27 2019-04-18 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2023146953A Pending JP2023171788A (ja) 2018-04-27 2023-09-11 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2023206198A Active JP7674451B2 (ja) 2018-04-27 2023-12-06 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2025072375A Pending JP2025100903A (ja) 2018-04-27 2025-04-24 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法

Family Applications After (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023146953A Pending JP2023171788A (ja) 2018-04-27 2023-09-11 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2023206198A Active JP7674451B2 (ja) 2018-04-27 2023-12-06 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法
JP2025072375A Pending JP2025100903A (ja) 2018-04-27 2025-04-24 ネガ型感光性樹脂組成物及びその製造方法

Country Status (2)

Country Link
JP (4) JP7407518B2 (enrdf_load_stackoverflow)
TW (2) TWI803627B (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021153608A1 (ja) * 2020-01-30 2021-08-05 旭化成株式会社 ネガ型感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法
WO2022202907A1 (ja) * 2021-03-26 2022-09-29 住友ベークライト株式会社 感光性樹脂組成物、樹脂膜および電子装置
CN115701440B (zh) * 2021-08-02 2024-07-30 华为技术有限公司 聚酰亚胺复合物薄膜及其制备方法、电子设备
WO2024209647A1 (ja) * 2023-04-06 2024-10-10 Ｈｄマイクロシステムズ株式会社 感光性樹脂組成物、パターン硬化物の製造方法、硬化物、及び電子部品
WO2025178098A1 (ja) * 2024-02-22 2025-08-28 富士フイルム株式会社 樹脂組成物、硬化物、積層体、硬化物の製造方法、積層体の製造方法、半導体デバイスの製造方法、及び、半導体デバイス、並びに、ポリアミック酸エステルの製造方法
WO2025178103A1 (ja) * 2024-02-22 2025-08-28 富士フイルム株式会社 樹脂組成物、硬化物、積層体、硬化物の製造方法、積層体の製造方法、半導体デバイスの製造方法、及び、半導体デバイス、並びに、ポリアミック酸エステルの製造方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11282155A (ja) * 1998-03-27 1999-10-15 Hitachi Chem Co Ltd 感光性樹脂組成物及びこれを用いたソルダーレジストの製造法
JP2001302746A (ja) 2000-04-21 2001-10-31 Nippon Kayaku Co Ltd 樹脂組成物、ソルダーレジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物
JP5887172B2 (ja) * 2011-07-29 2016-03-16 富士フイルム株式会社 感光性樹脂組成物、レリーフパターン形成材料、感光性膜、ポリイミド膜、硬化レリーフパターンの製造方法、及び半導体装置
JP2015147907A (ja) 2014-02-07 2015-08-20 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 樹脂組成物、樹脂組成物を用いた硬化膜の製造方法及び電子部品
JP6636707B2 (ja) 2015-03-10 2020-01-29 旭化成株式会社 感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法及び半導体装置
TWI634135B (zh) 2015-12-25 2018-09-01 日商富士軟片股份有限公司 樹脂、組成物、硬化膜、硬化膜的製造方法及半導體元件
JP6923334B2 (ja) * 2016-04-14 2021-08-18 旭化成株式会社 感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法
KR102212731B1 (ko) 2016-08-25 2021-02-08 후지필름 가부시키가이샤 적층체의 제조 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2020091464A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JPWO2020031958A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2014085643A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009258723A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009258722A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP5144646B2 (ja) 感光性樹脂組成物
JPWO2020196139A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009265642A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2008546027A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009115835A5 (enrdf_load_stackoverflow)
WO2013054771A1 (ja) シラン系組成物およびその硬化膜、並びにそれを用いたネガ型レジストパターンの形成方法
JP2014237632A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2011164216A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JPWO2020044918A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2018123103A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2007530682A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JPWO2023032820A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2016157451A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009109541A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2008260839A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JPWO2024090486A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009185255A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP5279353B2 (ja) 感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体およびパターン形成方法
TW201905589A (zh) 化學增幅型正型感光性樹脂組成物、光阻圖案及其形成方法以及電子裝置
JPWO2020111086A5 (enrdf_load_stackoverflow)