JP7400267B2 - 半導体装置 - Google Patents
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- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
12、112:半導体素子
12a:半導体基板
12b:上面電極
12c:下面電極
12e:外周縁
12g:ゲート配線
13、15、17:はんだ層
14:封止体
16、18:導体板
20:導体スペーサ
22、24:電力端子
26:信号端子
30:保護膜
30a:表面
30e:外周縁
32:導電膜
34、134:絶縁膜
34a、134a:表面
34e:外周縁
134c:突出部
S:剥離
a1:第1領域
a2:第2領域
a3:第3領域
a4:第4領域
Claims (3)
- 半導体素子と、
前記半導体素子を封止する封止体と、を備え、
前記半導体素子は、
半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられた第1導電膜及び第2導電膜と、を備え、
前記第2導電膜は、前記第1導電膜の周縁に沿って延びるとともに、平面視において前記第1導電膜を取り囲んでおり、
前記絶縁膜の表面は、前記第1導電膜が設けられた第1領域と、前記第2導電膜が設けられた第2領域と、前記第1領域及び前記第2領域の間に位置する第3領域と、を有し、
前記第3領域は、前記第1領域及び前記第2領域に対して突出している、
半導体装置。 - 前記半導体素子は、前記半導体基板上に設けられており、前記半導体基板の周縁に沿って延びるとともに、前記絶縁膜上に設けられた前記第1導電膜及び前記第2導電膜を少なくとも部分的に覆う保護膜をさらに備え、
前記絶縁膜の表面には、前記絶縁膜上に設けられた前記第2導電膜と前記保護膜の外周縁との間に位置するとともに、前記外周縁に沿って連続的又は断続的に延びる突出部が設けられており、
前記突出部は、前記保護膜の表面に露出する高さを有する、
請求項1に記載の半導体装置。 - 半導体素子と、
前記半導体素子を封止する封止体と、を備え、
前記半導体素子は、
半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられた第1導電膜及び第2導電膜と、
前記半導体基板上に設けられており、前記半導体基板の周縁に沿って延びるとともに、前記絶縁膜上に設けられた前記第1導電膜及び前記第2導電膜を少なくとも部分的に覆う保護膜と、を備え、
前記第2導電膜は、前記第1導電膜の周縁に沿って延びるとともに、平面視において前記第1導電膜を取り囲んでおり、
前記絶縁膜の表面は、前記第1導電膜が設けられた第1領域と、前記第2導電膜が設けられた第2領域と、前記第1領域及び前記第2領域の間に位置する第3領域と、を有し、
前記第3領域は、前記第2領域に対して突出しており、
前記絶縁膜の表面には、前記絶縁膜上に設けられた前記第2導電膜と前記保護膜の外周縁との間に位置するとともに、前記外周縁に沿って連続的又は断続的に延びる突出部が設けられており、
前記突出部は、前記保護膜の表面に露出する高さを有する、
半導体装置。
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