JP7398977B2 - 加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、空圧機器を有する加工装置に関する。

切削装置や研削装置、レーザー加工装置など各種被加工物を加工したり処理（洗浄、紫外線照射）したりする加工装置において、内部の駆動源としてエアシリンダやロータリエアアクチュエータなど、エアを用いるアクチュエータやエアオペレイトバルブなどの空圧機器が使われている（例えば、特許文献１、特許文献２及び特許文献３参照）。これらの空圧機器は、軽く安価であり動力源もエアであるためにクリーンなため良く用いられている。

特開２０１６－０６４４９０号公報 特開２０１１－１５９８２３号公報 特開２００１－３４１０４０号公報

しかしながら、これらの空圧機器では、エアを供給した分排気も発生し、これらはバルブに戻され、バルブの外側の装置内に排出される、空圧機器の内部には、グリスなど潤滑油が使用されており、エアは潤滑油に触れている場合もあり、バルブに戻され装置内に排出されたエアはグリスの成分を含む恐れがある。グリスの成分が装置内に漂うと、被加工物に付着する恐れがあり、半導体デバイスなど精密部品にとっては、不良発生の原因になる。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、装置内にグリスが排出されることを抑制することができる加工装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、内部にグリスを用いるとともに、圧縮エアにより駆動する空圧機器を有して、ウェーハである被加工物を加工する加工装置であって、該空圧機器に圧縮エア供給源から圧縮エアを供給する供給路と、該供給路に設置されるバルブと、該バルブを収容する収容ボックスと、を有し、該バルブは、該空圧機器に圧縮エアを供給する給気部として機能するシリンダポートと、該空圧機器からの該グリスを含む排気を受入れる排気受入部として機能するシリンダポートとを適宜逆転させる構成を有して、該排気受入部として機能するシリンダポートから受入れた該グリスを含む排気を該収容ボックス内に排出し、該収容ボックスは、該収容ボックスの内部の、該グリスを含む排気を含む雰囲気を、該加工装置の加工中の該被加工物を覆う外装カバーの外部へ、またはフィルターを介して収容ボックスの外側へ排出する排気ユニットを備えることを特徴とする。

前記加工装置において、該空圧機器は、エアアクチュエータまたはエアオペレイトバルブでも良い。

本発明は、装置内にグリスが排出されることを抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された加工装置の収容ボックス及びバルブを模式的に示す図である。 図３は、図２に示された収容ボックス、バルブ、エアアクチュエータを模式的に示す図である。 図４は、図３に示されたエアアクチュエータのロッドが伸張した状態を模式的に示す図である。 図５は、実施形態２に係る加工装置の収容ボックス及びバルブを模式的に示す図である。 図６は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る加工装置の空圧機器であるエアオペレイトバルブの一例を示す断面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置を図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された加工装置の収容ボックス及びバルブを模式的に示す図である。図３は、図２に示された収容ボックス、バルブ、エアアクチュエータを模式的に示す図である。図４は、図３に示されたエアアクチュエータのロッドが伸張した状態を模式的に示す図である。

（切削装置）
実施形態１に係る図１に示す加工装置１は、被加工物２００を切削（加工）する切削装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウェーハでもよく、ウェーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックスで構成されたセラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板、ガラス基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。

図１に示された加工装置１は、被加工物２００をチャックテーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削する切削装置である。加工装置１は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像ユニット３０と、制御ユニット１００とを備える。

また、加工装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的に移動させる移動ユニット４０を備える。移動ユニット４０は、チャックテーブル１０を水平方向及び装置本体２の短手方向と平行なＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動ユニット４１と、切削ユニット２０を水平方向及び装置本体２の長手方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニット４２と、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニット４３と、チャックテーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転するとともにＸ軸移動ユニット４１によりチャックテーブル１０とともにＸ軸方向に加工送りされる回転移動ユニット４４とを備える。加工装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。

Ｘ軸移動ユニット４１は、チャックテーブル１０を回転移動ユニット４４とともに加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｘ軸移動ユニット４１は、チャックテーブル１０を被加工物２００が搬入出される搬入出領域３０１と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００が切削ユニット２０により切削加工される加工領域３０２とに亘ってＸ軸方向に移動させる。

Ｙ軸移動ユニット４２は、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット４３は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

Ｘ軸移動ユニット４１、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及びチャックテーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット４１により搬入出領域３０１と加工領域３０２とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転移動ユニット４４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、チャックテーブル１０は、粘着テープ２０６を介して被加工物２００の裏面２０４側を吸引、保持する。

また、チャックテーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。クランプ部１２は、図２に示す圧縮エア供給源から供給される圧縮エアにより駆動する空圧機器であるロータリエアアクチュエータ１３により環状フレーム２０５をクランプする状態と、環状フレーム２０５のクランプを解除する状態とに亘って回転される。

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した加工ユニットである。切削ユニット２０は、それぞれ、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット４２、Ｚ軸移動ユニット４３などを介して、装置本体２から立設した門型の支持フレーム３の柱部に設けられている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

切削ユニット２０は、図１に示すように、切削ブレード２１と、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転可能に設けられかつ図示しないモータにより回転されるとともに先端に切削ブレード２１が装着されるスピンドル２３と、スピンドルハウジング２２の先端面に固定されたブレードカバー２４と、切削ブレード２１に切削水を供給するノズル２５とを備える。

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、図２に示すように、円環状の円形基台２１１と、円形基台２１１の外周縁に配設されて被加工物２００を切削する円環状の切り刃２１２とを備える所謂ハブブレードである。切り刃２１２は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、本発明では、切削ブレード２１は、切り刃２１２のみで構成された所謂ワッシャーブレードでもよい。

スピンドル２３は、モータにより切削ブレード２１を軸心回りに回転させる。ブレードカバー２４は、切削ブレード２１を覆うものである。ブレードカバー２４は、図２に示すように、スピンドルハウジング２２の先端面に固定されたカバー本体２４１と、切削ブレード２１の上側を覆う上方カバー２４２と、カバー本体２４１に固定されかつ切削ブレード２１の搬入出領域３０１側の前側を覆う前側カバー２４３と、上方カバー２４２に固定されかつ切削ブレード２１の加工領域３０２側の後側を覆う後側カバー２４４とを備える。

ノズル２５は、前側カバー２４３に設けられたシャワーノズル２５１と、後側カバー２４４の下端に取り付けられた一対のクーラーノズル２５２とを備える。シャワーノズル２５１は、切削ブレード２１の切り刃２１２の刃先とＸ軸方向に対面し、切削中に切削ブレード２１の切り刃２１２の刃先に切削水を供給する。クーラーノズル２５２は、Ｘ軸方向と平行に延在し、互いにＹ軸方向に間隔をあけて配置されている。クーラーノズル２５２は、互いの間に切削ブレード２１の切り刃２１２の下端を位置づけており、切削中に切削ブレード２１の切り刃２１２の下端に切削水を供給する。

また、実施形態１において、ブレードカバー２４は、カバー本体２４１に対して後側カバー２４４をＸ軸方向に移動させる空圧機器であるエアアクチュエータ５０を備える。エアアクチュエータ５０は、図３及び図４に示すように、圧縮エア供給源９０からレギュレータ９１を介して圧縮エアが供給されるシリンダ５１と、シリンダ５１内を第１室５１１と第２室５１２とに仕切るピストン５２と、ピストン５２に連結したロッド５３とを備える。シリンダ５１は、カバー本体２４１に取り付けられている。ロッド５３は、Ｘ軸方向と平行に配置され、先端が後側カバー２４４に取り付けられている。

実施形態１において、エアアクチュエータ５０は、図３に示すように、第１室５１１内に圧縮エアが供給され、第２室５１２が大気解放されると、ロッド５３が縮小して、図２に点線で示すカバー本体２４１に近接する切削位置に後側カバー２４４を位置付ける。なお、切削位置は、切削ユニット２０が被加工物２００を切削する際に、後側カバー２４４が位置付けられる位置である。エアアクチュエータ５０は、図４に示すように、第２室５１２内に圧縮エアが供給され、第１室５１１が大気解放されると、ロッド５３が伸張して、図２に実線で示すカバー本体２４１から離間するブレード着脱位置に後側カバー２４４を位置付ける。なお、ブレード着脱位置は、切削ユニット２０のスピンドル２３に切削ブレード２１を着脱する際に、後側カバー２４４が位置付けられる位置である。

なお、切削ユニット２０の切削ブレード２１及びスピンドル２３の軸心は、Ｙ軸方向と平行である。

撮像ユニット３０は、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。

また、加工装置１は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、チャックテーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、加工装置１の各構成要素のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置を基準とした位置で定められる。

また、加工装置１は、切削前後の被加工物２００を収容するカセット６１が載置されかつカセット６１をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ６０と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット７０と、カセット６１に被加工物２００を出し入れするとともに被加工物２００を搬送する搬送ユニット８０を備える。

洗浄ユニット７０は、切削後の被加工物２００を吸引保持しＺ軸方向と軸心回りに回転するスピンナーテーブル７１と、スピンナーテーブル７１に吸引保持した被加工物２００に洗浄水を供給する洗浄水供給ノズル７２と、スピンナーテーブル７１をＺ軸方向に昇降させる図示しない昇降用エアアクチュエータとを備える。

搬送ユニット８０は、被加工物２００を支持した環状フレーム２０５を把持する把持ユニット８１と、把持ユニット８１をＺ軸方向に移動させる空圧機器である昇降用エアアクチュエータ８２と、把持ユニット８１を昇降用エアアクチュエータ８２とともにＹ軸方向に移動させる空圧機器である水平移動用エアアクチュエータ８３とを備える。

洗浄ユニット７０の昇降用エアアクチュエータ、エアアクチュエータ８２，８３は、エアアクチュエータ５０と構成が同等である。

前述した空圧機器であるロータリエアアクチュエータ１３、エアアクチュエータ５０、洗浄ユニット７０の昇降用エアアクチュエータ、エアアクチュエータ８２，８３は、内部に潤滑油としてグリスを用いるものである。これらのロータリエアアクチュエータ１３、エアアクチュエータ５０、洗浄ユニット７０の昇降用エアアクチュエータ、エアアクチュエータ８２，８３は、構成が同等である。

エアアクチュエータ５０、洗浄ユニット７０の昇降用エアアクチュエータ、エアアクチュエータ８２，８３は、ピストン５２とシリンダ５１との間の摩擦を抑制するためにグリスを内部に用いている。このために、エアアクチュエータ５０、洗浄ユニット７０の昇降用エアアクチュエータ、エアアクチュエータ８２，８３は、シリンダ５１即ち第１室５１１及び第２室５１２内にグリスを含む雰囲気が存在することとなる。

また、加工装置１は、図１に示すように、加工領域３０２の外側を囲って切削水の拡散を抑制する加工室壁６と、装置本体２上をカセットエレベータ６０及びカセットエレベータ６０上に設置されたカセット６１を除いて覆う外装カバー７とを備えている。実施形態１において、加工室壁６は、加工領域３０２に位置付けられたチャックテーブル１０及び切削ユニット２０を収容する加工室３０３を加工装置１内に形成する。外装カバー７は、加工室壁６即ちチャックテーブル１０、切削ユニット２０、洗浄ユニット７０及び搬送ユニット８０を収容している。

また、加工装置１は、図２、図３及び図４に示すように、ロータリエアアクチュエータ１３及びエアアクチュエータ５０，８２，８３に圧縮エア供給源９０から圧縮エアを供給する供給路９２と、供給路９２に設置されるバルブ９３と、バルブ９３を収容する収容ボックス９４とを有する。

供給路９２は、図２に示すように、圧縮エア供給源９０と接続しかつ圧縮エアの圧力を調整するレギュレータ９１が設けられた幹供給路９２１と、幹供給路９２１から分岐して空圧機器であるロータリエアアクチュエータ１３及びエアアクチュエータ５０，８２，８３と１対１で対応して、対応したロータリエアアクチュエータ１３及びエアアクチュエータ５０，８２，８３に接続した枝供給路９２２とを有する。

枝供給路９２２と、空圧機器であるロータリエアアクチュエータ１３及びエアアクチュエータ５０，８２，８３と、バルブ９３とは１対１で対応している。このために、加工装置１は、枝供給路９２２とロータリエアアクチュエータ１３及びエアアクチュエータ５０，８２，８３と、バルブ９３とを同数、実施形態１では複数有している。以下、ロータリエアアクチュエータ１３及びエアアクチュエータ５０，８２，８３と、これらと対応する枝供給路９２２及びバルブ９３の構成は、互いに等しいので、エアアクチュエータ５０と、エアアクチュエータ５０と対応する枝供給路９２２及びバルブ９３を代表して説明する。

枝供給路９２２は、バルブ９３の供給ポート９３１に接続して、供給ポート９３１に圧縮エアを供給する。また、供給路９２は、エアアクチュエータ５０の第１室５１１とバルブ９３とに接続した第１室供給路９２３と、エアアクチュエータ５０の第２室５１２とバルブ９３とに接続した第２室供給路９２４とを備える。第１室供給路９２３と第２室供給路９２４とは、互いに一組となって、バルブ９３とロータリエアアクチュエータ１３及びエアアクチュエータ５０，８２，８３と１対１で対応している。

第１室供給路９２３は、エアアクチュエータ５０の第１室５１１に圧縮エア供給源９０からの圧縮エアを供給可能であり、エアアクチュエータ５０の第１室５１１をバルブ９３を介して大気解放することが可能である。第２室供給路９２４は、エアアクチュエータ５０の第２室５１２に圧縮エア供給源９０からの圧縮エアを供給可能であり、エアアクチュエータ５０の第２室５１２をバルブ９３を介して大気解放することが可能である。なお、本明細書でいう第１室５１１及び第２室５１２を大気解放するとは、第１室５１１及び第２室５１２を収容ボックス９４の内部と連通させることをいう。

バルブ９３は、エアアクチュエータ５０の第１室５１１と第２室５１２とのうち一方に圧縮エアを供給して他方を大気解放して、エアアクチュエータ５０のロッド５３を伸縮するもの、即ち駆動源である圧縮エアをエアアクチュエータ５０に供給してエアアクチュエータ５０を駆動するものである。バルブ９３は、供給ポート９３１と、排気ポート９３２と、一対のシリンダポート９３３，９３４とを備えた所謂４方向電磁弁（方向切替弁ともいう）である。実施形態１では、供給ポート９３１は、１つ設けられかつ供給路９２の枝供給路９２２に接続し、排気ポート９３２は、１つ設けられている。

一対のシリンダポート９３３，９３４のうち一方のシリンダポート９３３は、第１室供給路９２３及び第１室５１１内と連通している。他方のシリンダポート９３４は、第２室供給路９２４及び第２室５１２内と連通している。こうして、バルブ９３は、供給ポート９３１が供給路９２の枝供給路９２２に接続し、一方のシリンダポート９３３が第１室供給路９２３と連通し、他方のシリンダポート９３４が第２室供給路９２４と連通することで、供給路９２に設置されている。

また、バルブ９３は、図示しない電磁石と、電磁石への電流を供給することと電磁石への電流の供給を停止することとが切り替えられることで、図３に示す一方のシリンダポート９３３が供給ポート９３１と連通しかつ他方のシリンダポート９３４が排気ポート９３２と連通する状態と、図４に示す一方のシリンダポート９３３が排気ポート９３２と連通しかつ他方のシリンダポート９３４が供給ポート９３１と連通する状態とを切り替える図示しない弁体とを備える。

バルブ９３は、図３に示す一方のシリンダポート９３３が供給ポート９３１と連通し他方のシリンダポート９３４が排気ポート９３２と連通する状態では、一方のシリンダポート９３３がエアアクチュエータ５０の第１室５１１内に圧縮エア供給源９０からの圧縮エアを供給し、他方のシリンダポート９３４がエアアクチュエータ５０の第２室５１２からのグリスを含む排気を受入れて排気ポート９３２を介して収容ボックス９４の内部に導いて、エアアクチュエータ５０のロッド５３を縮小する。図３に示す状態では、一方のシリンダポート９３３は、エアアクチュエータ５０の第１室５１１内に圧縮エア供給源９０からの圧縮エアを供給する給気部として機能し、他方のシリンダポート９３４は、エアアクチュエータ５０の第２室５１２からのグリスを含む排気を受入れる排気受入部として機能する。

バルブ９３は、図４に示す一方のシリンダポート９３３が排気ポート９３２と連通しかつ他方のシリンダポート９３４が供給ポート９３１と連通する状態では、一方のシリンダポート９３３がエアアクチュエータ５０の第１室５１１からのグリスを含む排気を受入れて排気ポート９３２を介して収容ボックス９４の内部に導き、他方のシリンダポート９３４がエアアクチュエータ５０の第２室５１２内に圧縮エア供給源９０からの圧縮エアを供給して、エアアクチュエータ５０のロッド５３を伸張する。図４に示す状態では、一方のシリンダポート９３３は、エアアクチュエータ５０の第１室５１１からのグリスを含む排気を受入れる排気受入部として機能し、他方のシリンダポート９３４は、エアアクチュエータ５０の第２室５１２内に圧縮エア供給源９０からの圧縮エアを供給する給気部として機能する。

こうして、実施形態１において、バルブ９３は、前述した弁体を備えることで、シリンダポート９３３，９３４が、エアアクチュエータ５０に圧縮エア供給源９０からの圧縮エアを供給する給気部としての機能を発揮する状態と、エアアクチュエータ５０からのグリスを含む排気を受入れる排気受入部としての機能を発揮する状態とを適宜逆転させる構成を有している。

収容ボックス９４は、複数のバルブ９３を収容する内部が密閉された箱状のボックス本体９４１と、収容ボックス９４のボックス本体９４１の内部のバルブ９３から供給されたグリスを含む排気を含む雰囲気を加工装置１の外部へ排出する排気ユニット９４２とを備える。排気ユニット９４２は、一端がボックス本体９４１に接続してボックス本体９４１内に連通しているとともに他端が外装カバー７を貫通して加工装置１の外装カバー７の外側に連通した排気ダクト９４３と、排気ダクト９４３内の気体を加工装置１の外装カバー７の外側に排出する図示しない排気用のファンを備える。

また、実施形態１では、排気ダクト９４３は、図１に示すように、一端が加工室壁６に連なって加工室３０３内と連通した加工室用排気ダクト３０４の他端が接続している。排気ユニット９４２は、収容ボックス９４のボックス本体９４１内のグリスを含む排気を含む雰囲気を加工装置１の外装カバー７の外側へ排出するとともに、加工室壁６内即ち加工室３０３内の雰囲気を加工装置１の外装カバー７の外側へ排出する。

制御ユニット１００は、加工装置１の上述した各ユニットをそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を加工装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理装置が演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を入出力インターフェース装置を介して加工装置１の上述した構成要素に出力する。

また、制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット１０２と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニット１０２に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

以上説明したように、実施形態１に係る加工装置１は、収容ボックス９４のボックス本体９４１が複数のバルブ９３を収容するので、バルブ９３がエアアクチュエータ５０からのグリスを含む排気を排気ポート９３２からボックス本体９４１内に排気する。加工装置１は、収容ボックス９４がボックス本体９４１の内部のグリスを含む排気を含む雰囲気を加工装置１の外装カバー７の外側へ排出する排気ユニット９４２を備えている。このように、加工装置１は、バルブ９３を収容ボックス９４のボックス本体９４１内に収容し、収容ボックス９４がボックス本体９４１の内部の雰囲気を加工装置１の外装カバー７の外側へ排出する排気ユニット９４２を備えているので、加工装置１の内部である外装カバー７の内側にエアアクチュエータ５０からの排気戻りのエアアクチュエータ５０のグリスを含む雰囲気が排出されることを抑制できる。その結果、加工装置１は、外装カバー７の内側にグリスが排出されることを抑制することができるという効果を奏する。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る加工装置を図面に基いて説明する。図５は、実施形態２に係る加工装置の収容ボックス及びバルブを模式的に示す図である。なお、図５は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係る加工装置１は、図５に示すように、収容ボックス９４の排気ユニット９４２－２が、排気ダクト９４３を備えずに、収容ボックス９４のボックス本体９４１の外壁を貫通した孔９４４と、孔９４４を塞ぐフィルター９４５とを備え、加工室用排気ダクト３０４の他端が外装カバー７を貫通し加工室用排気ダクト３０４内の気体を加工装置１の外装カバー７の外側に排出する図示しない排気用のファンを備えること以外、実施形態１と構成が同じである。

フィルター９４５は、雰囲気内のグリスの通過を規制し、期待が通過することを許容するものである。実施形態２に係る加工装置１は、収容ボックス９４の排気ユニット９４２－２が収容ボックス９４のボックス本体９４１の内部のグリスを含む排気を含む雰囲気をフィルター９４５を介して外装カバー７の内側でかつ収容ボックス９４のボックス本体９４１の外側へ排出する。

実施形態２に係る加工装置１は、収容ボックス９４のボックス本体９４１が複数のバルブ９３を収容するので、バルブ９３がエアアクチュエータ５０からのグリスを含む排気を排気ポート９３２からボックス本体９４１内に排気する。加工装置１は、収容ボックス９４がボックス本体９４１の内部のグリスを含む排気を含む雰囲気をグリスの通過を規制するフィルター９４５を介して収容ボックス９４のボックス本体９４１の外側へ排出する排気ユニット９４２－２を備えている。このように、実施形態２に係る加工装置１は、バルブ９３を収容ボックス９４のボックス本体９４１内に収容し、収容ボックス９４がボックス本体９４１の内部の雰囲気をフィルター９４５を介して収容ボックス９４のボックス本体９４１の外側へ排出する排気ユニット９４２－２を備えているので、加工装置１の内部である外装カバー７の内側にエアアクチュエータ５０からの排気戻りのエアアクチュエータ５０のグリスを含む雰囲気が排出されることを抑制できる。その結果、加工装置１は、外装カバー７の内側にグリスが排出されることを抑制することができるという効果を奏する。

なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、実施形態１及び実施形態２に係る加工装置１は、空圧機器として、図６に示すエアオペレイトバルブ１１０を備え、バルブ９３は、駆動源である圧縮エアをエアオペレイトバルブ１１０に供給してエアオペレイトバルブ１１０を駆動しても良い。なお、図６は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る加工装置の空圧機器であるエアオペレイトバルブの一例を示す断面図である。図６は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

なお、図６に示すエアオペレイトバルブ１１０は、液体と気体との少なくとも一方で構成される流体が供給される供給ポート１１１と流体を各種の機器に供給する排出ポート１１２と設けられた弁箱１１３と、弁箱１１３内に設けられ供給ポート１１１又は排出ポート１１２と連通する２つの弁座１１４と、弁座１１４を開閉する２つの弁体１１５とを備える。弁箱１１３は、内側の空間が供給ポート９３１と連通可能な第１室１１６と、排出ポート１１２と連通可能な第２室１１７とに区画され、各室１１６，１１７に弁体１１５に連結された板状部材１１８を収容している。

また、弁箱１１３は、第１室１１６内の板状部材１１８を、第１室１１６内の板状部材１１８に連結された弁体１１５が弁座１１４を閉じる方向に付勢するばね１１９を第１室１１６内に収容し、第２室１１７内の板状部材１１８を、第２室１１７内の板状部材１１８に連結された弁体１１５が弁座１１４を開く方向に付勢するばね１２０を第２室１１７内に収容している。

図６に示すエアオペレイトバルブ１１０は、バルブ９３から第１室１１６に圧縮エア供給源９０からの圧縮エアが第１室供給路９２３を通して供給され、第２室１１７が第２室供給路９２４及びバルブ９３により大気解放されることで、２つの弁体１１５がそれぞれ弁座１１４を開いて、供給ポート１１１から供給された流体を排出ポート１１２から排出する。図６に示すエアオペレイトバルブ１１０は、第１室１１６が第１室供給路９２３及びバルブ９３により大気解放され、バルブ９３から第２室１１７に圧縮エア供給源９０からの圧縮エアが第２室供給路９２４を通して供給されることで、２つの弁体１１５がそれぞれ弁座１１４を閉じて、供給ポート１１１から排出ポート１１２への流体の流れを遮断する。このように、エアオペレイトバルブ１１０は、バルブ９３から圧縮エアが供給されて、駆動される。

また、前述した実施形態１では、加工装置１は、被加工物２００を切削する切削装置であったが、本発明では、切削装置に限定されず、例えば、被加工物２００を研削する研削装置、被加工物２００を研磨する研磨装置、又は被加工物２００をレーザー加工するレーザー加工装置等の被加工物２００に種々の加工を施す種々の加工装置でも良い。

１ 加工装置
１３ ロータリエアアクチュエータ（空圧機器）
５０ エアアクチュエータ（空圧機器）
８２ 昇降用エアアクチュエータ（空圧機器）
８３ 水平移動用エアアクチュエータ（空圧機器）
９０ 圧縮エア供給源
９２ 供給路
９３ バルブ
９４ 収容ボックス
１１０ エアオペレイトバルブ（空圧機器）
９３３，９３４ シリンダポート（給気部、排気受入部）
９４２，９４２－２ 排気ユニット
９４３ 排気ダクト
９４５ フィルター

Claims (2)

1. 内部にグリスを用いるとともに、圧縮エアにより駆動する空圧機器を有して、ウェーハである被加工物を加工する加工装置であって、
   該空圧機器に圧縮エア供給源から圧縮エアを供給する供給路と、該供給路に設置されるバルブと、該バルブを収容する収容ボックスと、を有し、
   該バルブは、
   該空圧機器に圧縮エアを供給する給気部として機能するシリンダポートと、該空圧機器からの該グリスを含む排気を受入れる排気受入部として機能するシリンダポートとを適宜逆転させる構成を有して、該排気受入部として機能するシリンダポートから受入れた該グリスを含む排気を該収容ボックス内に排出し、
   該収容ボックスは、
   該収容ボックスの内部の、該グリスを含む排気を含む雰囲気を、該加工装置の加工中の該被加工物を覆う外装カバーの外部へ、またはフィルターを介して収容ボックスの外側へ排出する排気ユニットを備えることを特徴とする加工装置。
2. 該空圧機器は、エアアクチュエータまたはエアオペレイトバルブである請求項１に記載の加工装置。

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