JP7395067B1 - 機上計測装置、機上計測システムおよび機上計測方法 - Google Patents

機上計測装置、機上計測システムおよび機上計測方法 Download PDF

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Abstract

異常検出を支援する機上計測装置(50)は、数値制御装置(10)からの出力に応じて動作する駆動軸を有する工作機械(30)の実位置を少なくとも含むサーボ信号と、駆動軸のうちの少なくとも1軸に設置された距離センサ(40)の出力である距離センサ信号と、を取得し、測定信号の送信周期である測定信号送信周期の間に取得したサーボ信号および距離センサ信号を測定信号として出力する情報収集部(52)と、工作機械(30)の座標系の情報と、座標系に対する補正量の情報と、を含む機械構成情報の外部からの入力を受け付ける構成情報受付部(51)と、機械構成情報および測定信号に基づいて、工作機械(30)の加工対象であるワーク(31)の形状を算出する測定結果算出部(53)と、を備える。

Description

本開示は、工作機械で使用される機上計測装置、機上計測システムおよび機上計測方法に関する。
従来、工作機械において、ワーク寸法などの加工結果を工作機械上で検査するための機上計測が行われている。機上計測では、工作機械の送り軸の位置および、回転軸の角度を検出する位置検出器からの軸位置検出信号と、ワーク寸法などを計測する機上計測装置からの計測信号とを同期して扱う必要がある。例えば、特許文献1には、工作機械のアンプをインタフェースとして使用し、工作機械のアンプから外部装置に対して、軸位置検出信号および計測信号を同期して送信する技術が開示されている。
特開2009-279722号公報
しかしながら、上記従来の技術によれば、同じタイミングで検出された軸位置検出信号および計測信号が使用されることになるので、機上計測装置のサンプリング周期が位置検出器のサンプリング周期より高速であっても、機上計測装置で得られた計測信号については、利用されないものが発生してしまう。そのため、上記従来の技術のような工作機械では、サンプリング周期の速い機上計測装置を使用しても、機上計測装置の性能を十分に利用することができない、という問題があった。
本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、機上計測で使用される計測センサの性能に応じた計測結果を利用することができる機上計測装置を得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示の機上計測装置は、数値制御装置からの出力に応じて動作する送り軸および回転軸を有する工作機械の送り軸の位置および回転軸の角度を検出する位置検出器からの軸位置検出信号の情報を少なくとも含む実位置と、送り軸のうちの少なくとも1軸に設置された距離センサと工作機械の加工対象であるワークとの間の距離を計測した距離センサ信号と、を取得し、測定信号の送信周期である測定信号送信周期の間に取得した実位置および距離センサ信号を測定信号として出力する情報収集部と、工作機械に設定される座標系であって送り軸および回転軸、距離センサ及びワークの相対位置を表す座標系の情報と、座標系に対する幾何誤差を補正する補正量の情報と、を含む機械構成情報の外部からの入力を受け付ける構成情報受付部と、機械構成情報および測定信号に基づいて、ワークの形状を算出する測定結果算出部と、を備えることを特徴とする。
本開示の機上計測装置は、機上計測で使用される計測センサの性能に応じた計測結果を利用することができる、という効果を奏する。
実施の形態に係る機上計測システムの構成例を示す図 実施の形態に係る機上計測システムの動作を示すフローチャート 実施の形態に係る機上計測装置の情報収集部が測定結果算出部に出力する測定信号の例を示す図 実施の形態に係る機上計測装置が備える測定結果算出部の動作を示すフローチャート 一般的な工作機械に対して設定される機械構成情報に含まれる各情報の関係を示す第1の図 一般的な工作機械に対して設定される機械構成情報に含まれる各情報の関係を示す第2の図 実施の形態に係る機上計測システムを実現する処理回路をプロセッサおよびメモリで実現する場合の処理回路の構成の一例を示す図 実施の形態に係る機上計測システムを実現する処理回路を専用のハードウェアで実現する場合の処理回路の構成の一例を示す図
以下に、本開示の実施の形態に係る機上計測装置、機上計測システムおよび機上計測方法を図面に基づいて詳細に説明する。
実施の形態.
図1は、本実施の形態に係る機上計測システム60の構成例を示す図である。機上計測システム60は、工作機械30がワーク31を加工する際に、ワーク31の形状などを計測するシステムである。機上計測システム60は、数値制御装置10と、サーボ制御部20と、距離センサ40と、機上計測装置50と、を備える。機上計測装置50は、構成情報受付部51と、情報収集部52と、測定結果算出部53と、を備える。機上計測装置50は、ワーク31の形状などを計測することで、ワーク31、工作機械30などの異常検出を支援することができる。図2は、本実施の形態に係る機上計測システム60の動作を示すフローチャートである。
数値制御装置10は、動作する駆動軸を有する工作機械30の動作を制御して、ワーク31の加工を制御する。数値制御装置10は、設定されたプログラムに基づいて、サーボ制御部20に対して、位置指令、速度指令、工作機械30の座標系に対する幾何誤差の補正値などを含む、工作機械30の動作を制御するための制御信号を出力する(ステップS11)。
サーボ制御部20は、数値制御装置10からの出力、すなわち数値制御装置10から出力された制御信号に応じて、駆動軸の実位置の情報を少なくとも含むサーボ信号を、工作機械30の有する駆動軸および機上計測装置50の情報収集部52に出力する(ステップS12)。サーボ信号には、工作機械30の駆動軸を動作させる電流の情報および工作機械30の駆動軸の実位置に対応する幾何誤差の補正値などが含まれていてもよい。
工作機械30は、図1の例では3つの駆動軸を有し、数値制御装置10の制御によって3軸加工を行ってワーク31を加工する。なお、工作機械30については、図1の例に限定されず、5つの駆動軸を有して5軸加工を行うような構成であってもよい。
距離センサ40は、工作機械30の有する駆動軸のうちの少なくとも1軸に設置され、規定された対象物、図1の例ではワーク31との距離を測定する。距離センサ40は、測定した対象物、図1の例ではワーク31との距離を示す距離センサ信号を、機上計測装置50の情報収集部52に出力する(ステップS13)。図1の例では、距離センサ40は、工作機械30のZ軸の駆動軸に1つ設置されているが、X軸の駆動軸、Y軸の駆動軸などに設置されていてもよい。
構成情報受付部51は、工作機械30の座標系の情報と、座標系に対する補正量の情報と、を含む、工作機械30についての機械構成情報の外部からの入力を受け付ける(ステップS14)。構成情報受付部51は、受け付けた機械構成情報を測定結果算出部53に出力する。なお、構成情報受付部51は、後述するように測定結果算出部53がワーク31の形状を算出するまでに機械構成情報を測定結果算出部53に出力できていればよい。そのため、ステップS14の動作については、ステップS13の動作よりも前に行われていてもよい。
情報収集部52は、サーボ制御部20から、駆動軸の実位置の情報を少なくとも含むサーボ信号を取得する(ステップS15)。また、情報収集部52は、距離センサ40から、工作機械30の駆動軸のうちの少なくとも1軸に設置された距離センサ40の出力である距離センサ信号を取得する(ステップS16)。情報収集部52は、サーボ制御部20から取得したサーボ信号および距離センサ40から取得した距離センサ信号を、測定信号として測定結果算出部53に出力する(ステップS17)。本実施の形態において、情報収集部52は、測定信号の送信周期である測定信号送信周期の間に取得したサーボ信号および距離センサ信号を、測定信号として測定結果算出部53に出力する。
測定結果算出部53は、構成情報受付部51から機械構成情報を取得し、情報収集部52から測定信号を取得する。測定結果算出部53は、取得した機械構成情報および測定信号に基づいて、工作機械30の加工対象であるワーク31の形状を算出する(ステップS18)。
ここで、情報収集部52が測定結果算出部53に出力する測定信号について説明する。図3は、本実施の形態に係る機上計測装置50の情報収集部52が測定結果算出部53に出力する測定信号の例を示す図である。図3において、1段目は情報収集部52が測定結果算出部53に測定信号を送信するタイミングを示し、2段目は情報収集部52がサーボ制御部20からサーボ信号を取得するタイミングを示し、3段目は情報収集部52が距離センサ40から距離センサ信号を取得するタイミングを示している。また、図3において、4段目はワーク31の加工面形状および距離センサ40が距離センサ40とワーク31の加工面との距離を測定したタイミングを示している。図3の例では、距離センサ40が距離センサ40とワーク31の加工面との距離を測定したタイミングを、測定点として表している。図3において、2回前の測定信号の送信タイミングと1回前の測定信号の送信タイミングとの間が測定信号送信周期となり、1回前の測定信号の送信タイミングと測定信号の送信タイミングとの間が測定信号送信周期となる。
図3に示すように、情報収集部52は、距離センサ信号を、距離センサ40が測定を行う距離センサ信号周期ごとに取得する。また、情報収集部52は、サーボ信号を、距離センサ信号周期より長い周期であって、サーボ制御部20がサーボ信号を出力するサーボ信号周期ごとに取得する。情報収集部52は、1回前の測定信号の送信時刻から最新の測定信号の送信時刻までの測定信号送信周期の間に取得した、少なくとも1つのサーボ信号、および2つ以上の距離センサ信号を含む測定信号を出力する。2つ以上の距離センサ信号は、図3の例では4つの距離センサ信号となる。このように、情報収集部52は、距離センサ40の距離センサ信号周期、サーボ制御部20のサーボ信号周期、および情報収集部52の測定信号送信周期に関わらず、1つの距離センサ信号も無駄にすることなく、全ての距離センサ信号を利用することができる。なお、図3の例では、各測定信号において、測定信号に含まれるサーボ信号の数および距離センサ信号の数が同じであるが、これに限定されない。距離センサ信号周期および測定信号送信周期に応じて、例えば、ある送信周期の測定信号には距離センサ信号が3つ含まれ、次の送信周期の測定信号には距離センサ信号が4つ含まれ、さらに次の送信周期の測定信号には距離センサ信号が3つ含まれるようなパターンであってもよい。
つぎに、測定結果算出部53の動作について詳細に説明する。図4は、本実施の形態に係る機上計測装置50が備える測定結果算出部53の動作を示すフローチャートである。前述のように、測定結果算出部53は、構成情報受付部51から工作機械30についての機械構成情報を取得する(ステップS21)。
構成情報受付部51で受け付けられる機械構成情報について説明する。まず、機械構成情報に含まれる工作機械30の座標系に対する補正量の情報について説明する。補正量の情報とは、幾何誤差を補正するためのものである。幾何誤差とは、例えば、工作機械30を組み立てたときに発生する垂直からのずれ、工作機械30の自重によるずれなどである。これらの補正量は、工作機械30の出荷前または出荷後の定期検査などで得られた結果に基づいて設定される。また、幾何誤差には、例えば、工作機械30が5軸制御マシニングセンタのような多軸工作機械の場合において、駆動軸の回転軸中心線の位置および傾き、ワーク31の設置位置および傾きなどで発生する誤差が含まれていてもよい。本実施の形態において、幾何誤差の求め方は特に限定されない。例えば、特許第4959028号公報に記載されているような測定方法によって求められた誤差に応じて、補正量を設定すればよい。
また、機械構成情報には、少なくとも、工作機械30の駆動軸である回転軸がワーク31の側または主軸の側のどちらに設置されているかを表す情報および回転軸が直交3軸であるX,Y,Z軸のどの軸を基準として回転するかを表す情報から成る回転軸構成情報と、直交3軸であるX,Y,Z軸を工作機械30の規定された原点に設定した際の主軸先端である機械原点からワーク31が設置されるテーブルの規定されたテーブル原点までの直交3軸それぞれの距離を表すX,Y,Z軸の三次元ベクトルと、距離センサ40の基準長さであるセンサ長と、が含まれる。主軸とは、工作機械30における主要な駆動軸のことである。回転軸が直交3軸であるX,Y,Z軸のどの軸を基準として回転するかを表す情報においては、一般的には、X軸回りがA軸、Y軸回りがB軸、Z軸回りがC軸として表記される。なお、回転軸には、図示しないモータの回転により駆動軸が直線運動する直動軸、および図示しないモータの回転により駆動軸が回転運動する回転軸が含まれる。テーブル原点は、例えば、ワーク31が設置されるテーブルの中心座標である。X,Y,Z軸の三次元ベクトルは、ワーク座標原点情報とも称する。センサ長は、後述する測距距離値が基準値となるように、距離センサ40を主軸先端に設置し、測定対象面を設定した際の、主軸先端から測定対象面までの距離である。例えば、基準値は、距離センサ40が正負の等しいレンジを持つとすると0になる。測定対象面は、距離センサ40の測定結果が0となる基準面である。
図5は、一般的な工作機械に対して設定される機械構成情報に含まれる各情報の関係を示す第1の図である。図6は、一般的な工作機械に対して設定される機械構成情報に含まれる各情報の関係を示す第2の図である。機械構成情報に含まれる各情報の関係は、図5または図6で示されるような関係になる。
図4の説明に戻る。測定結果算出部53は、情報収集部52から測定信号を取得する(ステップS22)。測定結果算出部53は、測定信号を取得するごとに、前述のステップS18のように、取得した機械構成情報および測定信号に基づいて、工作機械30の加工対象であるワーク31の形状を算出する。具体的には、測定結果算出部53は、工作機械30の各駆動軸の実位置から幾何誤差の補正量を減算し、各駆動軸の補正前実位置を算出する(ステップS23)。測定結果算出部53は、センサ長に、取得した測定信号に含まれる距離センサ信号の値を加算し、測距距離値を算出する(ステップS24)。測定結果算出部53は、測定信号である第1の測定信号および第1の測定信号の後に取得した測定信号である第2の測定信号に含まれる工作機械30の各駆動軸の実位置に基づいて当該駆動軸の実速度を算出する。測定結果算出部53は、対象の駆動軸の実速度、対象の駆動軸の実位置、距離センサ40のサンプリング周期、およびサーボ制御部20におけるサーボ信号のサンプリング周期に基づいて、距離センサ40から距離センサ信号が出力された時刻、すなわち距離センサ40で測定された時刻におけるサーボの補正前実位置である内挿後実位置を算出する(ステップS25)。
測定結果算出部53は、センサ長に距離センサ信号の値を加算した測距距離値、内挿後実位置、および工作機械30の機械構成情報を用いて座標変換処理を実施し、工作機械30の工具先端点に相当する座標を算出する(ステップS26)。測定結果算出部53は、図3の4段目に示した全ての測定点に対して、工作機械30の工具先端点に相当する座標を算出することになる。本実施の形態において、座標変換処理については特に限定されない。例えば、測定結果算出部53は、「同時5軸制御における工具先端点軌跡解析技術の開発 株式会社ジェイテクト 濱田賢治,齋藤敦,沖田俊之 2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 839-840頁」に記載されているような処理を行うことで、座標変換処理を実施することができる。なお、引用した文献における工具長が本実施の形態の測距距離値に相当し、引用した文献では工具長は一定値であるのに対して、本実施の形態の測距距離値は時間とともに変化することを想定している。測定結果算出部53は、ステップS25で算出した全ての内挿後実位置に対してステップS26の動作を行う。測定結果算出部53は、ステップS26の動作で得られた座標を測定結果、すなわちワーク31の形状として出力する(ステップS27)。これにより、測定結果算出部53は、図3の4段目に示した全ての測定点を利用して、ワーク31の形状を算出することができる。
つづいて、本実施の形態に係る機上計測システム60のハードウェア構成について説明する。機上計測システム60において、距離センサ40は、距離センサ40からワーク31までの距離を計測可能なセンサである。数値制御装置10、サーボ制御部20、および機上計測装置50は、処理回路により実現される。処理回路は、プログラムを格納するメモリ、およびメモリに格納されるプログラムを実行するプロセッサであってもよいし、専用のハードウェアであってもよい。処理回路は制御回路とも呼ばれる。
図7は、本実施の形態に係る機上計測システム60を実現する処理回路をプロセッサ91およびメモリ92で実現する場合の処理回路90の構成の一例を示す図である。図7に示す処理回路90は制御回路であり、プロセッサ91およびメモリ92を備える。処理回路90がプロセッサ91およびメモリ92で構成される場合、処理回路90の各機能は、ソフトウェア、ファームウェア、またはソフトウェアとファームウェアとの組み合わせにより実現される。ソフトウェアまたはファームウェアはプログラムとして記述され、メモリ92に格納される。処理回路90では、メモリ92に記憶されたプログラムをプロセッサ91が読み出して実行することにより、各機能を実現する。すなわち、処理回路90は、機上計測システム60の処理が結果的に実行されることになるプログラムを格納するためのメモリ92を備える。このプログラムは、処理回路90により実現される機上計測システム60に実行させるためのプログラムであるともいえる。このプログラムは、プログラムが記憶された記憶媒体により提供されてもよいし、通信媒体など他の手段により提供されてもよい。
ここで、プロセッサ91は、例えば、CPU(Central Processing Unit)、処理装置、演算装置、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、またはDSP(Digital Signal Processor)などである。また、メモリ92は、例えば、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)、フラッシュメモリ、EPROM(Erasable Programmable ROM)、EEPROM(登録商標)(Electrically EPROM)などの、不揮発性または揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク、フレキシブルディスク、光ディスク、コンパクトディスク、ミニディスク、またはDVD(Digital Versatile Disc)などが該当する。
図8は、本実施の形態に係る機上計測システム60を実現する処理回路を専用のハードウェアで実現する場合の処理回路93の構成の一例を示す図である。図8に示す処理回路93は、例えば、単一回路、複合回路、プログラム化したプロセッサ、並列プログラム化したプロセッサ、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)、FPGA(Field Programmable Gate Array)、またはこれらを組み合わせたものが該当する。処理回路93については、一部を専用のハードウェアで実現し、一部をソフトウェアまたはファームウェアで実現するようにしてもよい。このように、処理回路93は、専用のハードウェア、ソフトウェア、ファームウェア、またはこれらの組み合わせによって、上述の各機能を実現することができる。
以上説明したように、本実施の形態によれば、機上計測システム60において、機上計測装置50の構成情報受付部51は、機械構成情報の外部からの入力を受け付け、情報収集部52は、サーボ制御部20から取得したサーボ信号および距離センサ40から取得した距離センサ信号を測定信号として出力し、測定結果算出部53は、機械構成情報および測定信号に基づいて、工作機械30の加工対象であるワーク31の形状を算出する。このとき、情報収集部52は、距離センサ信号を距離センサ40が測定を行う距離センサ信号周期ごとに取得し、サーボ信号を距離センサ信号周期より長い周期であるサーボ信号周期ごとに取得し、1回前の測定信号の送信時刻から最新の測定信号の送信時刻までの測定信号送信周期の間に取得した、少なくとも1つのサーボ信号、および2つ以上の距離センサ信号を含む測定信号を出力することとした。
これにより、機上計測装置50は、機上計測で使用される距離センサ40の性能に応じた計測結果を利用することができる。機上計測装置50は、距離センサ40から距離センサ信号が出力される周期が、サーボ制御部20からサーボ信号が出力される周期および情報収集部52が測定信号を出力する周期より速くても、距離センサ40から出力される距離センサ信号を無駄にすることなく利用できるので、ワーク31の形状を精度良く算出することができる。
以上の実施の形態に示した構成は、一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、実施の形態同士を組み合わせることも可能であるし、要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
10 数値制御装置、20 サーボ制御部、30 工作機械、31 ワーク、40 距離センサ、50 機上計測装置、51 構成情報受付部、52 情報収集部、53 測定結果算出部、60 機上計測システム、90,93 処理回路、91 プロセッサ、92 メモリ。

Claims (7)

  1. 数値制御装置からの出力に応じて動作する送り軸および回転軸を有する工作機械の前記送り軸の位置および前記回転軸の角度を検出する位置検出器からの軸位置検出信号の情報を少なくとも含む実位置と、前記送り軸のうちの少なくとも1軸に設置された距離センサと前記工作機械の加工対象であるワークとの間の距離を計測した距離センサ信号と、を取得し、測定信号の送信周期である測定信号送信周期の間に取得した前記実位置および前記距離センサ信号を前記測定信号として出力する情報収集部と、
    前記工作機械に設定される座標系であって前記送り軸および前記回転軸、前記距離センサ及び前記ワークの相対位置を表す座標系の情報と、前記座標系に対する幾何誤差を補正する補正量の情報と、を含む機械構成情報の外部からの入力を受け付ける構成情報受付部と、
    前記機械構成情報および前記測定信号に基づいて、前記ワークの形状を算出する測定結果算出部と、
    を備えることを特徴とする機上計測装置。
  2. 前記情報収集部は、前記距離センサ信号を前記距離センサが測定を行う距離センサ信号周期ごとに取得し、前記実位置を前記距離センサ信号周期より長い周期であるサーボ信号周期ごとに取得し、1回前の前記測定信号の送信時刻から最新の前記測定信号の送信時刻までの前記測定信号送信周期の間に取得した、少なくとも1つの前記実位置、および2つ以上の前記距離センサ信号を含む前記測定信号を出力する、
    ことを特徴とする請求項1に記載の機上計測装置。
  3. 前記測定結果算出部は、前記測定信号である第1の測定信号および前記第1の測定信号の後に取得した前記測定信号である第2の測定信号に含まれる前記工作機械の各送り軸および各回転軸前記実位置に基づいて当該送り軸および当該回転軸の実速度を算出し、対象の前記送り軸および前記回転軸の実速度、対象の前記送り軸および前記回転軸の実位置、前記距離センサのサンプリング周期、および前記実位置のサンプリング周期に基づいて、前記距離センサから前記距離センサ信号が出力された時刻における対象の前記送り軸および前記回転軸の内挿後実位置を算出する、
    ことを特徴とする請求項1または2に記載の機上計測装置。
  4. 前記機械構成情報には、少なくとも、前記工作機械の前記回転軸が前記ワークの側または前記工作機械における主要な駆動軸である主軸の側のどちらに設置されているかを表す情報および前記回転軸が直交3軸のどの軸を基準として回転するかを表す情報から成る回転軸構成情報と、直交3軸を前記工作機械の規定された原点に設定した際の主軸先端である機械原点から前記ワークが設置されるテーブルの規定されたテーブル原点までの直交3軸それぞれの距離を表す三次元ベクトルと、前記距離センサの基準長さであるセンサ長と、が含まれる、
    ことを特徴とする請求項3に記載の機上計測装置。
  5. 前記測定結果算出部は、前記センサ長に前記距離センサ信号の値を加算した測距距離値、前記内挿後実位置、および前記機械構成情報を用いて座標変換処理を実施し、前記工作機械の工具先端点に相当する座標を算出し、前記ワークの形状として出力する、
    ことを特徴とする請求項4に記載の機上計測装置。
  6. 動作する送り軸および回転軸を有する工作機械の動作を制御するための制御信号を出力する数値制御装置と、
    前記数値制御装置から出力された前記制御信号に応じて前記工作機械の前記送り軸の位置および前記回転軸の角度を検出する位置検出器からの軸位置検出信号の情報を少なくとも含む実位置を出力するサーボ制御部と、
    前記送り軸のうちの少なくとも1軸に設置された距離センサと前記工作機械の加工対象であるワークとの間の距離を計測して距離センサ信号を出力する距離センサと、
    前記実位置と、前記距離センサ信号と、を取得し、測定信号の送信周期である測定信号送信周期の間に取得した前記実位置および前記距離センサ信号を前記測定信号として出力する情報収集部と、
    前記工作機械に設定される座標系であって前記送り軸および前記回転軸、前記距離センサ及び前記ワークの相対位置を表す座標系の情報と、前記座標系に対する幾何誤差を補正する補正量の情報と、を含む機械構成情報の外部からの入力を受け付ける構成情報受付部と、
    前記機械構成情報および前記測定信号に基づいて、前記ワークの形状を算出する測定結果算出部と、
    を備えることを特徴とする機上計測システム。
  7. 数値制御装置が、動作する送り軸および回転軸を有する工作機械の動作を制御するための制御信号を出力する第1のステップと、
    サーボ制御部が、前記数値制御装置から出力された前記制御信号に応じて前記工作機械の前記送り軸の位置および前記回転軸の角度を検出する位置検出器からの軸位置検出信号の情報を少なくとも含む実位置を出力する第2のステップと、
    距離センサが、前記送り軸のうちの少なくとも1軸に設置された距離センサと前記工作機械の加工対象であるワークとの間の距離を計測して距離センサ信号を出力する第3のステップと、
    情報収集部が、前記実位置と、前記距離センサ信号と、を取得し、測定信号の送信周期である測定信号送信周期の間に取得した前記実位置および前記距離センサ信号を前記測定信号として出力する第4のステップと、
    構成情報受付部が、前記工作機械に設定される座標系であって前記送り軸および前記回転軸、前記距離センサ及び前記ワークの相対位置を表す座標系の情報と、前記座標系に対する幾何誤差を補正する補正量の情報と、を含む機械構成情報の外部からの入力を受け付ける第5のステップと、
    測定結果算出部が、前記機械構成情報および前記測定信号に基づいて、前記ワークの形状を算出する第6のステップと、
    を含むことを特徴とする機上計測方法。
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