JP7391708B2 - ガス検知器およびオゾンガス除去フィルタ - Google Patents

Description

本発明は、ガス検知器およびオゾンガス除去フィルタに関する。

ジボランガスなどの毒性ガスは、高圧ガス保安法により許容濃度が定められており、たとえばジボランガスは、０．１ｐｐｍと定められている。したがって、毒性ガスが使用される作業環境においては、許容濃度以下に毒性ガスの濃度を管理する必要がある。その目的のために、毒性ガスの許容濃度以下の感度を有するガスセンサを備えたガス検知器が求められる。

低濃度の毒性ガスなどの検知対象ガスを検知するためのガスセンサとして、たとえば特許文献１に開示されるような定電位電解式ガスセンサなどが用いられる。定電位電解式ガスセンサは、電解液中での検知対象ガスの電気化学反応を利用して、検知対象ガスを検知する。定電位電解式ガスセンサは、高感度であり、ｐｐｂレベルの濃度の検知対象ガスを検知することができる。

特開２０１４－９８６７９号公報

ところが、定電位電解式などの電気化学式ガスセンサを用いてｐｐｂレベルの濃度の検知対象ガスを検知しようとすると、大気中にオゾンガスがほぼ同レベルの濃度で存在しているため、検知対象ガスに関連する信号の強度に対して無視できない強度のオゾンガス信号が測定されてしまう。したがって、低濃度の検知対象ガスを検知する場合には、オゾンガスの干渉を抑制し、検知対象ガスの選択性を高める必要がある。

たとえば、電気化学式ガスセンサを備えたガス検知器では、検知対象ガス以外の干渉ガスをフィルタリングするために、ガスセンサの上流において、活性炭を含むガスフィルタが用いられることがある。しかし、活性炭を含むガスフィルタは、ガス吸着性が高く、干渉ガスだけでなく検知対象ガスも吸着する。したがって、ガス検知器は、活性炭を含むガスフィルタを使用しても、オゾンガスに対する感度が下がるとともに、検知対象ガスの感度も下がるために、検知対象ガスの選択性を高めることができない。このように、特にガスセンサの上流に配置される有効なオゾンガス除去フィルタが存在せず、ガス検知器において、オゾンガスの干渉を抑制し、検知対象ガスの選択性を向上させることが難しい。

本発明は、上記問題に鑑みなされたもので、オゾンガスによる干渉を抑制し、検知対象ガスの選択性を高めたガス検知器、およびオゾンガスを除去するためのオゾンガス除去フィルタを提供することを目的とする。

本発明のガス検知器は、測定対象ガスに含まれる検知対象ガスを検知するためのガスセンサと、前記ガスセンサの上流に配置され、前記測定対象ガスに含まれるオゾンガスを除去するためのオゾンガス除去フィルタとを備えるガス検知器であって、前記オゾンガス除去フィルタは、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性の低い材料を表面に含むフィルタ部材を備えることを特徴とする。

また、前記オゾンガス除去フィルタは、入口および出口を備えるフィルタ部材収容部を備え、前記フィルタ部材は、前記入口と前記出口とを結ぶ軸に対して前記フィルタ部材の表面が傾斜するように、前記フィルタ部材収容部内に収容されていることが好ましい。

また、前記材料は、フッ素樹脂であることが好ましい。

また、前記ガスセンサが、電気化学式ガスセンサであり、前記検知対象ガスが、モノシラン、ジシラン、アルシン、ホスフィン、ジボラン、モノゲルマンまたはセレン化水素を含む特殊高圧ガスであることが好ましい。

また、前記ガス検知器は、撥水性およびガス透過性を有するシートを備えることが好ましい。

また、前記ガス検知器は、前記測定対象ガスを吸引するガス吸引装置を備えることが好ましい。

本発明のオゾンガス除去フィルタは、測定対象ガスに含まれる検知対象ガスを検知するためのガスセンサの上流に配置され、前記測定対象ガスに含まれるオゾンガスを除去するためのオゾンガス除去フィルタであって、前記オゾンガス除去フィルタは、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性の低い材料を表面に含むフィルタ部材を備えることを特徴とする。

本発明によれば、オゾンガスによる干渉を抑制し、検知対象ガスの選択性を高めたガス検知器、およびオゾンガスを除去するためのオゾンガス除去フィルタを提供することができる。

本発明の一実施形態に係るガス検知器の概略図である。 図１のガス検知器に含まれる電気化学式ガスセンサの断面図である。 図１のガス検知器に含まれる変形例の電気化学式ガスセンサの断面図である。 図１のガス検知器に含まれるオゾンガス除去フィルタの分解図である。 フィルタ部材を収容するフィルタ部材収容部の断面図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係るガス検知器およびオゾンガス除去フィルタを説明する。ただし、以下に示す実施形態は一例であり、本発明のガス検知器およびオゾンガス除去フィルタは以下の例に限定されることはない。

＜ガス検知器＞
本実施形態のガス検知器Ｄは、図１に示されるように、測定対象ガスに含まれる検知対象ガスを検知するためのガスセンサ１と、ガスセンサ１の上流に配置され、測定対象ガスに含まれるオゾンガスを除去するためのオゾンガス除去フィルタＯとを備える。ガス検知器Ｄは、以下で詳しく述べるように、測定対象ガスに含まれるオゾンガスの少なくとも一部をオゾンガス除去フィルタＯにより除去し、少なくとも一部のオゾンガスが除去された測定対象ガスに含まれる検知対象ガスをガスセンサ１により検知する。ガス検知器Ｄは、ガスセンサ１の上流にオゾンガス除去フィルタＯを備えることで、オゾンガスによる干渉を抑制し、検知対象ガスの選択性を高めることができる。なお、ガスセンサ１は、以下に示す実施形態では、電気化学式ガスセンサであるが、電気化学式ガスセンサに限定されることはなく、超高純度水素センサやニオイセンサなど、大気中のオゾンガス濃度と同レベルの濃度の検知対象ガスを検知するガスセンサを採用することができる。また、検知対象ガスとは、ガス検知器Ｄが検知の対象とするガスのことであり、測定対象ガスとは、検知対象ガスが含まれる可能性のある、測定対象とする環境中のガスのことである。

ガス検知器Ｄは、本実施形態では、図１に示されるように、電気化学式ガスセンサ１と流体接続し、電気化学式ガスセンサ１に測定対象ガスを供給するガス流路Ｆを備える。ガス流路Ｆは、測定対象ガスが流入するガス流入口Ｆ１と、測定対象ガスが流出するガス排出口Ｆ２との間に延び、ガス流入口Ｆ１から流入した測定対象ガスがガス排出口Ｆ２に向かって流れるように構成される。ガス流路Ｆは、電気化学式ガスセンサ１の上流に配置される上流側ガス流路Ｆ３と、電気化学式ガスセンサ１の下流に配置される下流側ガス流路Ｆ４と、上流側ガス流路Ｆ３と下流側ガス流路Ｆ４との間に配置され、電気化学式ガスセンサ１と流体接続される中間ガス流路Ｆ５とを備えている。本実施形態では、上流側ガス流路Ｆ３は、ガス吸引管Ｐ１の内部空間として、下流側ガス流路Ｆ４は、ガス排出管Ｐ２の内部空間として、中間ガス流路Ｆ５は、ガス流路Ｆを電気化学式ガスセンサ１に流体接続する流路接続部材Ｐ３と電気化学式ガスセンサ１との間に形成される空間として具現化されている（図２参照）。なお、ガス検知器Ｄは、本実施形態ではガス流路Ｆを備えているが、ガス流路Ｆを備えることなく、測定環境中に設置されてもよい。

ガス検知器Ｄは、本実施形態では、図１に示されるように、測定対象ガスを吸引するガス吸引装置Ｐを備える。ガス吸引装置Ｐは、測定対象ガスを吸引し、測定対象ガスを電気化学式ガスセンサ１に供給する。ガス検知器Ｄは、ガス吸引装置Ｐを備えることにより、電気化学式ガスセンサ１が配置された場所から離れた環境における測定対象ガスを電気化学式ガスセンサ１に導くことができ、また、ガス吸引装置Ｐを備えない場合と比べて、電気化学式ガスセンサ１に測定対象ガスを高速で供給することができ、検知対象ガスの検知時間を短縮することができる。

ガス吸引装置Ｐは、本実施形態では、図１に示されるように、ガス流路Ｆに設けられ、ガス流路Ｆに測定対象ガスを（たとえば所定の流速で）流すことができるように構成される。より具体的には、ガス吸引装置Ｐは、ガス排出管Ｐ２（図２参照）に接続されることで下流側ガス流路Ｆ４に設けられ、ガス吸引装置Ｐよりも上流側にある上流側ガス流路Ｆ３、中間ガス流路Ｆ５および下流側ガス流路Ｆ４を介してガス流入口Ｆ１から測定対象ガスを吸引し、ガス吸引装置Ｐよりも下流側にある下流側ガス流路Ｆ４を介してガス排出口Ｆ２から測定対象ガスを排出する。なお、ガス検知器Ｄは、本実施形態ではガス吸引装置Ｐを備えているが、ガス吸引装置Ｐを備えることなく、測定環境中に設置されて、測定環境中の自然対流によって測定対象ガスが電気化学式ガスセンサ１に導かれるように構成されていてもよい。

ガス検知器Ｄは、上述した構成以外にも、公知のガス検知器が備える構成を備えていてもよい。たとえば、ガス検知器Ｄは、図示しない演算装置を備え、電気化学式ガスセンサ１の検知信号に基づいて、検知対象ガスの有無および／または量を判定するように構成されていてもよい。また、ガス検知器Ｄは、図示しない通知装置を備え、検知対象ガスが検知されたことをユーザに対して通知するように構成されていてもよい。通知装置は、視覚式、聴覚式、触覚式などで、検知結果に関する情報をユーザに通知するように構成されていてもよい。

＜電気化学式ガスセンサ＞
電気化学式ガスセンサ１は、検知対象ガスに起因した電気化学反応を利用して、検知対象ガスを検知する。電気化学式ガスセンサ１は、電気化学反応を利用して検知対象ガスを検知することができればよく、特に限定されることはないが、たとえば以下で詳しく述べるように、定電位電解式ガスセンサとすることができる。本実施形態における電気化学式ガスセンサ１が検知対象とする検知対象ガスとしては、モノシラン、ジシラン、アルシン、ホスフィン、ジボラン、モノゲルマンまたはセレン化水素を含む特殊高圧ガスが例示される。しかし、電気化学式ガスセンサ１は、特殊高圧ガスに限定されることはなく、二酸化硫黄、硫化水素、二酸化窒素、一酸化窒素、ホスゲン、シアン化水素、四フッ化ケイ素、三フッ化ケイ素、三塩化ホウ素、三臭化ホウ素、臭素、オキシ塩化リン、アルシン、ジボラン、一酸化炭素、アンモニア、塩素、フッ素、ゲルマン、フッ化水素、セレン化水素、ジクロルシラン、臭化水素、塩化水素、ホスフィン、六フッ化タングステン、四塩化水素、シラン、三フッ化塩素、ジシラン、四フッ化硫黄、三フッ化リン、五フッ化リン、三フッ化窒素など、特殊高圧ガス以外のガスも検知対象とすることができる。なお、測定対象ガスは、上述したように検知対象ガスが含まれる可能性のある環境における環境雰囲気ガスであり、たとえば大気雰囲気ガスなどが例示される。

電気化学式ガスセンサ１は、本実施形態では、図１に示されるように、ガス流路Ｆに流体接続されて、ガス流路Ｆを流れる測定対象ガスに含まれる検知対象ガスを検知する。電気化学式ガスセンサ１は、たとえば、ガス流路Ｆ内を流れる測定対象ガスの流速よりも小さな流速で電気化学式ガスセンサ１内に測定対象ガスが流入するように、ガス流路Ｆに流体接続される。電気化学式ガスセンサ１は、図２に示されるように、ガス吸引管Ｐ１およびガス排出管Ｐ２に接続された流路接続部材Ｐ３に接続されるが、上記目的のために、流路接続部材Ｐ３内に形成される中間ガス流路Ｆ５に対して交差する方向（図示された例では直交する方向）から、中間ガス流路Ｆ５を流れる測定対象ガスが電気化学式ガスセンサ１の内部に流入するように、流路接続部材Ｐ３に接続される。このように、電気化学式ガスセンサ１内に流入する測定対象ガスの速度を、ガス流路Ｆ内の測定対象ガスの速度よりも小さくすることで、電気化学式ガスセンサ１の近傍まで測定対象ガスを速く導きながら、電気化学式ガスセンサ１内での測定対象ガスによる撹乱を抑制し、電気化学式ガスセンサ１の検知信号を安定させることができる。ただし、電気化学式ガスセンサ１は、ガス流路Ｆに流体接続されることなく、測定対象ガスが含まれる測定環境中に設置されてもよい。また、測定対象ガスは、電気化学式ガスセンサ１内に流入すればよく、必ずしもガス流路Ｆ内を流れる測定対象ガスの流速よりも小さな流速で電気化学式ガスセンサ１内に流入しなくてもよく、ガス流路Ｆ内を流れる測定対象ガスの流速よりも大きなまたは同等の流速で電気化学式ガスセンサ１内に流入してもよい。

電気化学式ガスセンサ１は、測定対象ガスに含まれる検知対象ガスを検知することができればよく、その構成は特に限定されることはない。電気化学式ガスセンサ１は、本実施形態では、図２に示されるように、検知対象ガスを検知するための電極２と、電極２に接触する電解液３と、電極２および電解液３を収容する容器４とを備える。

電極２は、電解液３に接触するように配置され、電解液３中に流入した測定対象ガス中の検知対象ガスを検知するように構成されている。電極２は、図２に示されるように、検知対象ガスを電気化学反応させる反応極２１と、反応極２１に対する対極２２と、反応極２１の電位の基準となる参照極２３とを備えている。反応極２１、対極２２および参照極２３は、電解液３に接触するように容器４内に配置され、たとえば、図示しない公知のポテンショスタットなどの制御手段にリード線を介して接続される。

反応極２１は、参照極２３の電位を基準として一定の電圧が印加されて、検知対象ガスに電気化学反応を生じさせる電極である。反応極２１は、図２に示されるように、電解液３に接触するように、後述する隔膜５上に形成される。反応極２１は、たとえば、公知の電極材料により作製されたペーストを隔膜５上に塗布・焼成して、形成することができる。反応極２１を構成する電極材料は、たとえばカーボン系触媒など、検知対象となるガスの種類や使用する電解液などに応じて適宜選択することができる。

対極２２は、反応極２１での検知対象ガスの電気化学反応に対応して、別の電気化学反応を生じさせる電極である。対極２２は、図２に示されるように、電解液３に接触するように、後述する隔膜６上に形成され、電解液３を介して反応極２１に対向して配置される。対極２２は、たとえば、公知の電極材料により作製されたペーストを隔膜６上に塗布・焼成して、形成することができる。対極２２を構成する電極材料は、たとえばカーボン系触媒など、検知対象となるガスの種類や使用する電解液などに応じて適宜選択することができる。

参照極２３は、反応極２１の電位の基準となる電極である。参照極２３は、図２に示されるように、電解液３に接触するように、隔膜６上に形成され、対極２２とともに、電解液３を介して反応極２１に対向して配置される。参照極２３は、たとえば、隔膜６上に固定された銀線として構成することができる。ただし、参照極２３を構成する電極材料は、特に限定されることはなく、検知対象となるガスの種類や使用する電解液などに応じて適宜選択することができる。

本実施形態の電気化学式ガスセンサ１では、反応極２１に、参照極２３の電位を基準として一定の電圧が印加され、参照極２３との間に一定の電位差が付加される。参照極２３との間に一定の電位差が付加された反応極２１は、反応極２１に接触する電解液３中に流入した検知対象ガスに電気化学反応を生じさせる。検知対象ガスの電気化学反応が生じると、その電気化学反応に対応して、対極２２側においても別の対応する電気化学反応が生じる。反応極２１および対極２２において生じる電気化学反応の結果として、反応極２１と対極２２との間に電解電圧が生じ、電解電流が流れる。その電解電圧および／または電解電流を検知することで、検知対象ガスを検知することができ、電解電圧および／または電解電流の大きさに応じて検知対象ガスの濃度を求めることができる。

電解液３は、電気伝導性を有する溶液である。電解液３は、電極２に接触するように容器４内に収容される。電解液３としては、検知しようとする検知対象ガスの種類や、検知のために使用する電極２の種類などに応じて適宜選択することができ、たとえば硫酸やリン酸などの酸性水溶液や、臭化リチウムや塩化カルシウムなどの中性塩水溶液などを用いることができる。

容器４は、電極２および電解液３を収容する部材である。容器４は、図２に示されるように、検知対象ガスを含む測定対象ガスが容器４内に流入するための流入口４１と、流入口４１と連通し、電解液３を収容する電解液収容部４２と、電解液収容部４２と連通し、電解液収容部４２内のガスが容器４外に流出するための流出口４３とを備えている。容器４は、流入口４１の延びる方向Ｘがガス流路Ｆ（中間ガス流路Ｆ５）に対して交差（図示された例では直交）するように、流路接続部材Ｐ３に接続される。これにより、測定対象ガスは、ガス流路Ｆ内よりも小さな流速で、流入口４１を介して容器４内に流入する。

流入口４１は、図２に示されるように、容器４の外部と接続する一方側の端部４１ａの開口と、容器４内の電解液収容部４２と接続する他方側の端部４１ｂの開口との間で延び、一方側の端部４１ａの開口から他方側の端部４１ｂの開口に向かって測定対象ガスが流れるように配置されている。流入口４１の一部は、後述する隔膜５を容器４に固定するための流入側蓋部材４４の内部に形成された内腔により構成される。

流出口４３は、図２に示されるように、容器４内の電解液収容部４２と接続する一方側の端部４３ａの開口と、容器４の外部と接続する他方側の端部４３ｂの開口との間で延び、一方側の端部４３ａの開口から他方側の端部４３ｂの開口に向かってガスが流れるように配置されている。流出口４３の一部は、後述する隔膜６を容器４に固定するための流出側蓋部材４６の内部に形成された内腔により構成される。

電解液収容部４２は、図２に示されるように、流入口４１の他方側の端部４１ｂの開口と接続されて、流入口４１を介して容器４外の測定対象ガスが内部に流入し、流出口４３の一方側の端部４３ａの開口と接続されて、電解液収容部４２内のガスが容器４外に流出するように構成されている。流入口４１における容器４の内部側（他方の端部４１ｂ側）には、電解液３が流入口４１から容器４外に流出するのを防止する隔膜５が設けられている。また、流出口４３における容器４の内部側（一方の端部４３ａ側）には、電解液３が流出口４３から容器４外に流出するのを防止する隔膜６が設けられている。隔膜５、６はそれぞれ、電解液収容部４２内の電解液３が流入口４１／流出口４３を介して容器４の外部に流出するのを防止する一方で、測定対象ガスが容器４の外部から電解液収容部４２内に流入する／電解液収容部４２内のガスが容器４の外部に流出するのを許容する。したがって、電解液収容部４２は、電解液収容部４２に接続する流入口４１および流出口４３が隔膜５、６により液密に閉鎖されることで、内部に電解液３を収容可能であり、隔膜５、６がガスの通過を許容することで、内部にガスが流入可能であり、内部からガスが流出可能である。

隔膜５は、図２に示されるように、反応極２１が積層されて、反応極２１が電解液収容部４２側に面し、隔膜５が流入口４１の一方の端部４１ａ側に面するように配置されて、Ｏリング４５などの公知の密封手段を介して、流入側蓋部材４４によって固定される。また、隔膜６は、対極２２および参照極２３が積層されて、対極２２および参照極２３が電解液収容部４２側に面し、隔膜６が流出口４３の他方の端部４３ｂ側に面するように配置されて、Ｏリング４７などの公知の密封手段を介して、流出側蓋部材４６によって固定される。

隔膜５、６は、電解液３の通過を防止し、ガスの通過を許容することができればよく、その構成は特に限定されない。隔膜５、６としては、たとえば、撥水性およびガス透過性を有する多孔質ポリテトラフルオロエチレンフィルムを用いることができる。なお、隔膜５、６は、電解液収容部４２に対する流入口４１および流出口４３の配置に応じて、適宜省略することが可能である。その場合、反応極２１、対極２２および参照極２３は、隔膜５、６に設けられることなく、独立して容器４に収容される。

容器４は、電極２および電解液３を収容して保持する強度を有していればよく、たとえばポリカーボネート、塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレンなどの公知の樹脂材料を用いて形成することができる。

電気化学式ガスセンサ１は、図２に示されるように、流入口４１に設けられるオゾンガス除去手段７を備えている。オゾンガス除去手段７は、検知対象ガスの通過を許容し、測定対象ガスに含まれるオゾンガスを除去する。オゾンガス除去手段７は、流入口４１に設けられて、測定対象ガスに含まれるオゾンガスを除去することにより、電解液収容部４２に収容される電解液３内へのオゾンガスの流入を抑制することができる。したがって、電気化学式ガスセンサ１は、オゾンガスによる干渉を抑制し、検知対象ガスの選択性を高めることができる。

オゾンガス除去手段７は、流入口４１に設けられ、検知対象ガスの少なくとも一部の通過を許容し、測定対象ガスに含まれるオゾンガスの少なくとも一部を除去することができれば、流入口４１内の設けられる位置は特に限定されない。オゾンガス除去手段７は、たとえば、図２に示されるように、隔膜５より流入口４１における容器４の外部側、すなわち流入口４１における隔膜５の上流側に設けられてもよい。オゾンガス除去手段７が隔膜５の上流側に設けられることで、流入口４１に流入した測定対象ガスが隔膜５に到達する前に測定対象ガスに含まれるオゾンガスを除去することができ、それによって電解液収容部４２に収容される電解液３内へのオゾンガスの流入をより確実に抑制することができる。

オゾンガス除去手段７は、少なくとも検知対象ガスの通過する割合がオゾンガスの通過する割合よりも大きくなるように、検知対象ガスの少なくとも一部の通過を許容し、測定対象ガスに含まれるオゾンガスの少なくとも一部を除去することができればよく、その構成は特に限定されることはない。オゾンガス除去手段７は、たとえば、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりも測定対象ガス（特に検知対象ガス）の吸着能が低く、オゾンガスの分解を促進するフィルタであってもよい。ここで、オゾンガスは、分解しやすい性質を有しているために、フィルタなどの対象物に衝突して反応することで容易に分解する。したがって、オゾンガス除去手段７として、測定対象ガスの吸着能が低いフィルタを用いることで、オゾンガス以外のガス（特に検知対象ガス）の吸着を抑制しながら、オゾンガスの衝突・反応による分解を促進することができる。

オゾンガス除去手段７は、測定対象ガスの吸着能をより低く抑える目的で、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトを含まないことが好ましい。オゾンガス除去手段７は、活性炭およびシリカゲルを含まないことにより、測定対象ガスの吸着をより抑え、ひいては検知対象ガスの吸着をより抑えることができるので、検知対象ガスの検知感度が低下するのをより抑制しながら、オゾンガスの干渉をより抑制することができる。したがって、オゾンガス除去手段７として、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトを含まず、測定対象ガスの吸着能の低いオゾンガス除去手段７のみが流入口４１に設けられることが好ましい。

オゾンガス除去手段７は、たとえば、図２に示されるように、フッ素樹脂製フィルタ７１および／または金属製フィルタ７２を含んでいてもよい。フッ素樹脂製フィルタ７１および金属製フィルタ７２はいずれも、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりも測定対象ガス（特に検知対象ガス）の吸着能が低く、オゾンガスの分解を促進することが可能である。オゾンガス除去手段７は、フッ素樹脂製フィルタ７１および金属製フィルタ７２のいずれかを含んでいてもよいが、フッ素樹脂製フィルタ７１および金属製フィルタ７２の両方を含んでいてもよい。オゾンガス除去手段７がフッ素樹脂製フィルタ７１および金属製フィルタ７２の両方を含む場合は、たとえば、図２に示されるように、フッ素樹脂製フィルタ７１および金属製フィルタ７２が、流入口４１の上流側から下流側に向けて順に配置されることが好ましい。フッ素樹脂製フィルタ７１を上流側に、金属製フィルタ７２を下流側に設けることで、測定対象ガスに含まれるオゾンガスの除去をより効率的に行なうことができる。これは、フッ素樹脂製フィルタ７１の有するガス拡散機能と、金属製フィルタ７２の有するオゾンガス反応分解機能とがバランスよく機能するからではないかと考えられる。つまり、フッ素樹脂製フィルタ７１が上流側に配置されることで、フッ素樹脂製フィルタ７１により測定対象ガスが拡散され、測定対象ガスがランダムな方向を向いて金属製フィルタ７２に向かって流れるので、測定対象ガスに含まれるオゾンガスが金属製フィルタ７２に衝突する確率が高くなって、より多くのオゾンガスを分解・除去することができるものと考えられる。

フッ素樹脂製フィルタ７１は、フッ素樹脂により形成される、ガスが通過可能な多孔質部材である。フッ素樹脂製フィルタ７１は、フッ素樹脂により形成されることで、測定対象ガス（特に検知対象ガス）の吸着が抑えられている。したがって、フッ素樹脂製フィルタ７１は、測定対象ガス（特に検知対象ガス）の吸着を抑えながら、オゾンガスの衝突による分解を促進することができる。フッ素樹脂製フィルタ７１としては、ガスが通過可能な複数の貫通孔を有していればよく、たとえば繊維状の多孔質フィルムを用いることができる。フッ素樹脂製フィルタ７１に使用されるフッ素樹脂としては、測定対象ガスの吸着が抑制されるものであればよく、特に限定されることはないが、たとえばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、パーフルオロエチレンプロペンコポリマー（ＦＥＰ）などを用いることができる。

金属製フィルタ７２は、金属により形成される、ガスが通過可能な多孔質部材である。金属製フィルタ７２は、金属により形成されることで、衝突するオゾンガスの分解反応を促進する。金属製フィルタ７２としては、ガスが通過可能な複数の貫通孔を有していればよく、たとえば金属製のメッシュやパンチングメタルなどを用いることができる。また、金属製フィルタ７２を構成する金属としては、測定対象ガスの吸着を抑制することができ、オゾンガスの分解反応を促進することができるものであればよく、特に限定されることはないが、たとえばステンレス、アルミ、銅などを用いることができ、ガスの吸着がより抑制される緻密な酸化膜が表面に形成されるステンレスを好適に用いることができる。

金属製フィルタ７２は、オゾンガス反応分解能力を維持しながら、検知対象ガスの分解反応を抑制するために、測定対象ガスとの適度な接触時間が確保できるような厚さに設定することができる。たとえば、検知対象ガスの分解反応を抑制するという観点では、金属製フィルタ７２は、測定対象ガス、特に検知対象ガスとの接触時間ができるだけ短くなるように薄く形成することが好ましい。その場合、短い接触時間でオゾンガスの分解効率を上げるために、上述したように、金属製フィルタ７２の上流側に、オゾンガスや検知対象ガスの分解能力が相対的に小さいフッ素樹脂製フィルタ７１を設けることで、測定対象ガス、特にオゾンガスを拡散（分散）させて、オゾンガスとの接触確率を高めてもよい。また、金属製フィルタ７２と測定対象ガスとの間の適度な接触時間を確保するために、上流側にフッ素樹脂製フィルタ７１を設けることにより、測定対象ガスの拡散速度を制御して、接触時間を調整することもできる。

オゾンガス除去手段は、測定対象ガスの吸着能が低く、オゾンガスの分解を促進するフィルタとして、フッ素樹脂製フィルタや金属製フィルタ以外にも、ガス吸着能の低いガラス繊維製のフィルタなどを用いることもできる。また、オゾンガス除去手段は、検知対象ガスの検知信号強度の低下を抑制しながら、オゾンガスを除去することができれば、本実施形態に限定されることはなく、紫外線照射など他の公知のオゾンガス除去手段を用いることもできる。

電気化学式ガスセンサ１は、図２に示されるように、流入口４１の上流側（一方の端部４１ａ側）に設けられ、測定対象ガスの容器４内への流入速度を低下させる減速手段８を備えていてもよい。この場合、流入口４１の上流側に減速手段８が設けられ、流入口４１の下流側にオゾンガス除去手段７が設けられる。電気化学式ガスセンサ１は、以下でも詳しく述べるように、流入口４１の上流側に減速手段８を設け、流入口４１の下流側にオゾンガス除去手段７を設けることで、測定対象ガス中のオゾンガスをより効率的に除去することができる。なお、図２に示された電気化学式ガスセンサ１では、オゾンガス除去手段が設けられる例を示したが、たとえば図３に示された変形例の電気化学式ガスセンサ１のように、オゾンガス除去手段は設けられなくてもよい。ただし、オゾン除去量を調整する観点からは、複数箇所にオゾンガスを除去できる手段が設けられることが好ましいので、電気化学式ガスセンサ１にオゾンガス除去手段が設けられるほうが好ましい。

減速手段８は、上述したように、測定対象ガスの容器４内への流入速度を低下させるように構成されている。たとえば、ガス検知器Ｄがガス吸引装置Ｐを備える場合には、ガス吸引装置Ｐによって測定対象ガスが流入口４１に所定の流速で供給される。減速手段８は、容器４外から流入口４１内に供給される測定対象ガスのガス分子を流入口４１内で拡散（または、散乱、分散など）させることで、ガス分子の進行方向を、流入口４１の一方の端部４１ａから他方の端部４１ｂに向かう方向Ｘから変化させて、流入口４１の一方の端部４１ａから他方の端部４１ｂに向かう方向Ｘの速度成分を低下させる。このように、減速手段８により、容器４外から流入口４１内に供給される測定対象ガスの容器４内への流入速度を低下させることにより、測定対象ガスが、減速手段８よりも下流側に配置されるオゾンガス除去手段７を通過する時間が長くなり、測定対象ガス中のオゾンガスを効率的に除去することができる。また、減速手段８により、測定対象ガスのガス分子の進行方向を、流入口４１の一方の端部４１ａから他方の端部４１ｂに向かう方向Ｘから変化させることで、ガス分子がオゾンガス除去手段７と衝突する確率が高くなり、測定対象ガス中のオゾンガスを効率的に除去することができる。

減速手段８としては、たとえば、多孔質フィルタを用いることができる。多孔質フィルタとしては、たとえばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、パーフルオロエチレンプロペンコポリマー（ＦＥＰ）などのフッ素樹脂により形成された多孔質フィルムを用いることができる。ただし、減速手段８は、測定対象ガスの容器４内への流入速度を低下させることができれば、特に限定されることはなく、たとえば、ピンホールなどによって構成することもできる。また、たとえばガス吸引装置Ｐを用いない場合のように、流入口４１への測定対象ガスの流入速度が大きくない場合には、図３に示された変形例の電気化学式ガスセンサ１のように、減速手段８を省略することもできる。

＜オゾンガス除去フィルタ＞
つぎに、図１、図３および図４を参照して、オゾンガス除去フィルタＯの詳細を説明する。オゾンガス除去フィルタＯは、図１に示されるように、電気化学式ガスセンサ１の上流に設けられ、電気化学式ガスセンサ１に測定対象ガスが流入する前に、測定対象ガスに含まれるオゾンガスの少なくとも一部を除去する。オゾンガス除去フィルタＯは、本実施形態では、電気化学式ガスセンサ１の上流にあるガス流路Ｆ（上流側ガス流路Ｆ３）に設けられ、ガス流路Ｆの一部を形成する。オゾンガス除去フィルタＯは、ガス流路Ｆに設けられることで、電気化学式ガスセンサ１に供給される測定対象ガス中のオゾンガスを効率的に除去することができる。特に、オゾンガス除去フィルタＯは、本実施形態のように上流側ガス流路Ｆ３を形成するガス吸引管Ｐ１（図２参照）に設けることができるように構成することで、すでに設置されたガス検知器に対しても大きな改造を必要とすることなく容易に組み込むことができる。ただし、オゾンガス除去フィルタＯは、電気化学式ガスセンサ１の上流に設けられていれば、配置される位置は特に限定されることはなく、ガス流路Ｆ以外の測定対象ガスが流れている場所に設けられていてもよいし、たとえば電気化学式ガスセンサ１に一体として設けられ、電気化学式ガスセンサ１とともにガスセンサユニットを構成してもよい。

オゾンガス除去フィルタＯは、測定対象ガスが通過する際に、測定対象ガスに含まれる少なくとも一部のオゾンガスを除去するとともに、測定対象ガスに含まれる検知対象ガスの吸着を抑制するように構成される。その目的のために、オゾンガス除去フィルタＯは、図３に示されるように、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性の低い材料を表面に含むフィルタ部材Ｏ１を備える。フィルタ部材Ｏ１は、オゾンガス除去フィルタＯ内において、フィルタ部材Ｏ１の表面に測定対象ガスが衝突するように配置される。オゾンガスを構成するオゾン分子は、分解しやすい性質を有しているために、フィルタ部材Ｏ１の表面を構成する材料の種類によらず、フィルタ部材Ｏ１に衝突して反応することで容易に分解する。その一方で、フィルタ部材Ｏ１の表面にガス吸着性の低い材料を含むことで、フィルタ部材Ｏ１へのガス（特に検知対象ガス）の吸着が抑制される。したがって、オゾンガス除去フィルタＯは、ガス吸着性の低い材料を表面に含むフィルタ部材Ｏ１を用いることで、ガス（特に検知対象ガス）の吸着を抑制しながら、オゾン分子の衝突・反応による分解を促進することができる。ガス検知器Ｄは、オゾンガス除去フィルタＯによりオゾンガスを優先的に除去することで、オゾンガスによる干渉を抑制し、検知対象ガスの選択性を高めることができる。

フィルタ部材Ｏ１は、ガス（特に検知対象ガス）の吸着をさらに抑制する目的で、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性の低い材料が、その表面の全体に含まれることが好ましい。フィルタ部材Ｏ１の表面の全体に、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性の低い材料を含むことにより、ガス（特に検知対象ガス）が吸着する確率をより低下させることができる。また、フィルタ部材Ｏ１は、ガス（特に検知対象ガス）の吸着をさらに抑制する目的で、その表面に活性炭、シリカゲルまたはゼオライトを含まないことが好ましい。ただし、フィルタ部材Ｏ１は、その表面の少なくとも一部に、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性の低い材料を含んでいればよく、その表面の一部に他の材料を含んでいても構わない。また、フィルタ部材Ｏ１は、その全体に、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性の低い材料が含まれていてもよいし、その内部が別の材料により形成されて、表面にのみ、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性の低い材料が含まれていてもよい。

フィルタ部材Ｏ１の表面に含まれる材料は、少なくとも検知対象ガスの吸着性が活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりも低い材料であればよく、特に限定されることはないが、検知対象ガスの吸着をさらに抑制し、検知対象ガスの選択性をさらに高めるという観点から、フッ素樹脂であることが好ましい。フッ素樹脂としては、特に限定されることはなく、たとえばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、パーフルオロエチレンプロペンコポリマー（ＦＥＰ）などを用いることができる。

フィルタ部材Ｏ１は、本実施形態では、図３および図４に示されるように、軸Ｚ方向に延びる略筒状（たとえば略円筒状）に形成されている。フィルタ部材Ｏ１が略筒状に形成されることで、測定対象ガスが衝突する可能性のある表面が筒の外面および内面の両方となるため、測定対象ガスがフィルタ部材Ｏ１に衝突する確率が高くなる。それによって、より多くのオゾンガスを除去することができ、オゾンガスの干渉をより低く抑えることができる。ただし、フィルタ部材Ｏ１は、少なくとも活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性の低い材料を表面に含んでいればよく、本実施形態におけるような略筒状の部材に限定されることはなく、中実のペレット状など他の形状を有する部材であっても構わない。フィルタ部材Ｏ１の大きさおよび量は、特に限定されることはないが、たとえば、検知対象ガスの通過量の低下を抑制するという観点から、後述するフィルタ部材収容部Ｏ２内の体積の略半分以下の充填率で充填される大きさおよび量を選択することができる。

オゾンガス除去フィルタＯは、測定対象ガスからオゾンガスをさらに除去し、オゾンガスによる干渉をさらに抑制するという観点から、図４に示されるように、測定対象ガスがフィルタ部材Ｏ１の表面に衝突して散乱するように、測定対象ガスのガス流路Ｆを形成していることが好ましい。ここで、散乱とは、衝突によって測定対象ガスの流れる方向が変化することを意味する。つまり、この場合、オゾンガス除去フィルタＯは、測定対象ガスがフィルタ部材Ｏ１の表面に衝突して、元のガス流路Ｆに対して傾斜する方向に散乱するように構成される。測定対象ガスがフィルタ部材Ｏ１に衝突して散乱することで、さらに別のフィルタ部材Ｏ１や別の部材に衝突する確率が高くなり、オゾンガス、つまりオゾン分子の分解がより促進される。そのような観点から、オゾンガス除去フィルタＯは、測定対象ガスがフィルタ部材Ｏ１の表面に複数回衝突して散乱するように、測定対象ガスのガス流路Ｆを形成していることが好ましい。

オゾンガス除去フィルタＯは、本実施形態では、図３および図４に示されるように、入口Ｏ２２１および出口Ｏ２３１を備えるフィルタ部材収容部Ｏ２を備えている。フィルタ部材収容部Ｏ２は、入口Ｏ２２１および出口Ｏ２３１がガス流路Ｆ（上流側ガス流路Ｆ３）上に位置付けられるようにガス流路Ｆに沿って配置される。フィルタ部材Ｏ１は、入口Ｏ２２１と出口Ｏ２３１とを結ぶフィルタ部材収容部Ｏ２の軸Ｙに対してフィルタ部材Ｏ１の表面が傾斜するように、フィルタ部材収容部Ｏ２内に収容されている。フィルタ部材Ｏ１の表面が軸Ｙに対して傾斜していることで、フィルタ部材収容部Ｏ２の軸Ｙに沿って流れる測定対象ガスは、フィルタ部材Ｏ１の表面に衝突して散乱する際に、フィルタ部材収容部Ｏ２の軸Ｙに対して傾斜した方向に散乱する。これにより、測定対象ガスは、フィルタ部材Ｏ１の表面から散乱された後に、別のフィルタ部材Ｏ１や別の部材（たとえばフィルタ部材収容部Ｏ２の内壁）に衝突する確率が高くなり、それによってフィルタ部材Ｏ１などに衝突するオゾンガス（オゾン分子）の割合が高くなって、オゾンガス（オゾン分子）の分解がより促進される。そのような観点から、フィルタ部材収容部Ｏ２の軸Ｙに対して表面が傾斜するフィルタ部材Ｏ１が、フィルタ部材収容部Ｏ２内に複数収容されていることが好ましい。

本実施形態では、略筒状に形成されるフィルタ部材Ｏ１は、図３および図４に示されるように、フィルタ部材収容部Ｏ２の軸Ｙに対してフィルタ部材Ｏ１の軸Ｚが傾斜するようにガス流路Ｆに配置される。そのように配置されるフィルタ部材Ｏ１の表面は、フィルタ部材収容部Ｏ２の軸Ｙに対して傾斜する。それによって、上述したように、フィルタ部材収容部Ｏ２の軸Ｙに沿って流れる測定対象ガスは、フィルタ部材収容部Ｏ２の軸Ｙに対して傾斜した方向に散乱し、別のフィルタ部材Ｏ１や別の部材（たとえばフィルタ部材収容部Ｏ２の内壁）に衝突する確率が高くなり、それによってフィルタ部材Ｏ１などに衝突するオゾンガス（オゾン分子）の割合が高くなって、オゾンガス（オゾン分子）の分解がより促進される。そのような観点から、オゾンガス除去フィルタＯは、図示されるように、軸Ｚが互いに異なる方向を向くように配置される複数のフィルタ部材Ｏ１を含むことが好ましい。つまり、オゾンガス除去フィルタＯは、測定対象ガスが流れる方向に対して、それぞれの軸Ｚがランダムな方向を向いた複数のフィルタ部材Ｏ１を備えることが好ましい。それによって、測定対象ガスは、様々な方向に散乱し、別のフィルタ部材Ｏ１や別の部材（たとえばフィルタ部材収容部Ｏ２の内壁）に衝突する確率がさらに高くなる。

フィルタ部材収容部Ｏ２は、本実施形態では、図３および図４に示されるように、両端に入口Ｏ２２１および出口Ｏ２３１を備え、入口Ｏ２２１と出口Ｏ２３１とを結ぶ軸Ｙに沿ってガス流路Ｆが内部に形成されるように、略筒状（たとえば略円筒状）に形成されている。フィルタ部材収容部Ｏ２は、入口Ｏ２２１と出口Ｏ２３１とを結ぶ軸Ｙに沿ってフィルタ部材Ｏ１が配置されるように、１つまたは複数のフィルタ部材Ｏ１を内部に収容する。フィルタ部材収容部Ｏ２は、図示されるように、軸Ｙに沿って延びるように略筒状（たとえば略円筒状）に形成された収容部本体部材Ｏ２１と、収容部本体部材Ｏ２１の軸Ｙ方向の一方側（入口Ｏ２２１側）の端部に取り付けられる入口側蓋部材Ｏ２２と、収容部本体部材Ｏ２１の軸Ｙ方向の他方側（出口Ｏ２３１側）の端部に取り付けられる出口側蓋部材Ｏ２３とを備えている。入口側蓋部材Ｏ２２および出口側蓋部材Ｏ２３は、それぞれ、入口Ｏ２２１および出口Ｏ２３１を備え、収容部本体部材Ｏ２１の両端に嵌入することで、収容部本体部材Ｏ２１の端部を部分的に閉鎖する。ただし、フィルタ部材収容部Ｏ２は、１つまたは複数のフィルタ部材Ｏ１を収容することができればよく、その形状は図示された例に限定されることはない。

フィルタ部材収容部Ｏ２は、１つまたは複数のフィルタ部材Ｏ１を収容することができればよく、その材料は特に限定されることはないが、たとえば、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス（特に検知対象ガス）の吸着性が低い材料を内壁の表面に含んでいてもよい。フィルタ部材収容部Ｏ２の内壁の表面に、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性が低い材料を含むことにより、測定対象ガスがフィルタ部材Ｏ１に衝突・散乱してフィルタ部材収容部Ｏ２の内壁に衝突したとしても、検知対象ガスの内壁への吸着を抑制しながら、オゾンガスの分解を促進することができる。フィルタ部材収容部Ｏ２の内壁の表面に含まれる材料としては、たとえばフッ素樹脂が例示され、フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、パーフルオロエチレンプロペンコポリマー（ＦＥＰ）などが例示される。

フィルタ部材収容部Ｏ２は、図３および図４に示されるように、入口Ｏ２２１および／または出口Ｏ２３１を閉鎖するための、撥水性およびガス透過性を有するシートＯ２４、Ｏ２５を備えていてもよい。シートＯ２４、Ｏ２５は、液体が通過するのを抑制し、ガスが通過するのを許容するように構成される。フィルタ部材収容部Ｏ２の入口Ｏ２２１および出口Ｏ２３１をシートＯ２４、Ｏ２５で閉鎖することにより、フィルタ部材Ｏ１がフィルタ部材収容部Ｏ２の入口Ｏ２２１および出口Ｏ２３１から外に出ることが抑制される。また、フィルタ部材Ｏ１の少なくとも上流に（フィルタ部材収容部Ｏ２の入口Ｏ２２１側に）シートＯ２４を備えることにより、測定対象ガスとともに液体がフィルタ部材収容部Ｏ２の内部に侵入して、フィルタ部材Ｏ１が液体に曝されることが抑制されて、フィルタ部材Ｏ１の性能が劣化するのを抑制することができる。また、ガス検知器Ｄが、電気化学式ガスセンサ１の上流にいずれかのシートＯ２４、Ｏ２５を備えることで、測定環境中に含まれる液体が電気化学式ガスセンサ１の内部に侵入するのが抑制されて、電気化学式ガスセンサ１の性能の劣化を抑制することができる。

シートＯ２４、Ｏ２５は、液体が通過するのを抑制し、ガスが通過するのを許容するように構成されていればよく、特に限定されることはないが、たとえば、撥水性およびガス透過性を有する多孔質ポリテトラフルオロエチレンフィルムを用いることができる。

オゾンガス除去フィルタＯは、図３に示されるように、フィルタ部材収容部Ｏ２を収容するための収容容器Ｏ３を備えていてもよい。収容容器Ｏ３は、フィルタ部材収容部Ｏ２を収容した状態でガス流路Ｆ（上流側ガス流路Ｆ３）上に配置されることで、収容するフィルタ部材収容部Ｏ２をガス流路Ｆ上に位置付ける。収容容器Ｏ３は、図示されるように、ガス流路Ｆに沿って延びるように略筒状（たとえば略円筒状）に形成される収容容器本体Ｏ３１と、収容容器本体Ｏ３１の上流側の端部に取り付けられる上流側流路接続部材Ｏ３２と、収容容器本体Ｏ３１の下流側の端部に取り付けられる下流側流路接続部材Ｏ３３とを備えている。上流側流路接続部材Ｏ３２および下流側流路接続部材Ｏ３３は、それぞれ、測定対象ガスが通過する上流側内部流路Ｏ３２１および下流側内部流路Ｏ３３１を備え、ぞれぞれの内部流路Ｏ３２１、Ｏ３３１が上流側ガス流路Ｆ３に連通するように、上流側ガス流路Ｆ３を構成するガス吸引管Ｐ１（図２参照）と接続される。

上流側流路接続部材Ｏ３２および下流側流路接続部材Ｏ３３は、それぞれ、収容容器本体Ｏ３１の端部に螺合接続されるように構成されている。上流側流路接続部材Ｏ３２および下流側流路接続部材Ｏ３３は、収容容器本体Ｏ３１のそれぞれの端部に螺合されることで互いに接近し、フィルタ部材収容部Ｏ２をその両端から挟持するように構成されている。上流側流路接続部材Ｏ３２および下流側流路接続部材Ｏ３３が、フィルタ部材収容部Ｏ２の入口Ｏ２２１側の端部および出口Ｏ２３１側の端部に密接するように、フィルタ部材収容部Ｏ２を挟持することで、ガス流路Ｆ上にフィルタ部材収容部Ｏ２をより正確に配置することができ、また、上流側流路接続部材Ｏ３２および下流側流路接続部材Ｏ３３と、フィルタ部材収容部Ｏ２のそれぞれの端部との間から測定対象ガスが漏出するのが抑制されて、フィルタ部材収容部Ｏ２内に測定対象ガスをより確実に導くことができる。

以下において、実施例をもとに本実施形態のガス検知器およびオゾンガス除去フィルタの優れた効果を説明する。ただし、本発明のガス検知器およびオゾンガス除去フィルタは、以下の実施例に限定されるものではない。

（測定対象ガスの測定）
図１に例示されたガス検知器を用いて、検知対象ガスであるジボランガス（１６０ｐｐｂ）を含む大気雰囲気ガス、および干渉ガスであるオゾンガス（３００ｐｐｂ、６００ｐｐｂ）を含む大気雰囲気ガスのそれぞれの測定対象ガスの測定を行なった。測定対象ガスの吸引速度は、０．５Ｌ／分とした。図１に例示されたガス検知器において、オゾンガス除去フィルタを設けたものを実施例とし、オゾンガス除去フィルタを設けないものを比較例とした。

（電気化学式ガスセンサ）
電気化学式ガスセンサとして、図２に例示された定電位電解式ガスセンサを作製した。反応極および対極にカーボン触媒、参照極に銀線を用い、電解液に８ｍｏｌ／Ｌ臭化リチウム水溶液を用いた。流入口側および流出口側の隔膜はいずれも、ポリテトラフルオロエチレン製多孔質フィルム（空孔率：約７５％、厚さ：約０．１ｍｍ）を用いた。減速手段は、ポリテトラフルオロエチレン製多孔質フィルム（空孔率：約７５％、厚さ：約０．１ｍｍ）を用いた。オゾンガス除去手段として、ポリテトラフルオロエチレン製多孔質フィルム（空孔率：約７５％、厚さ：約０．１ｍｍ）を２枚重ねて構成したフッ素樹脂製フィルタを上流側に、ステンレス製パンチングメタル（開孔率：１３％、厚さ：０．１５ｍｍ）で構成した金属製フィルタを下流側に配置した。

（オゾンガス除去フィルタ）
オゾンガス除去フィルタとして、図３に例示されたオゾンガス除去フィルタを作製した。フィルタ部材収容部の収容部本体部材には、内径１５ｍｍ、長さ６０ｍｍの円筒状のポリカーボネート製パイプを用いた。フィルタ部材収容部の両端には、ポリテトラフルオロエチレン製多孔質フィルム（空孔率：約７５％、厚さ：約０．１ｍｍ）を取り付けた。フィルタ部材は、フィルタ部材の大きさに応じて、収容できるだけの数をフィルタ部材収容部内に収容した。フィルタ部材収容部内に収容したフィルタ部材の種類を以下の表１に示す。

（ジボランガス指示値低下率およびオゾンガス除去率の測定）
実施例および比較例のガス検知器を用いて、オゾンガス除去フィルタを通過した後の測定対象ガスについてのジボランガス指示値低下率およびオゾンガス除去率を測定した。ジボランガスの指示値低下率およびオゾンガスの除去率は、大気中のジボランガス１６０ｐｐｂに対するセンサ出力値、大気中のオゾンガス３００ｐｐｂ、６００ｐｐｂそれぞれに対するセンサ出力値を測定し、それぞれのガスについて、比較例から得られたセンサ出力値から、実施例から得られたセンサ出力値が低下した割合を算出することにより求めた。その結果を表１に示す。

表１を参照すると、いずれの実施例においても、オゾンガス除去フィルタを設けることで、ジボランガスの指示値がわずかに低下しているものの、その割合に比べて、除去されたオゾンガスの割合が大きくなっている。この結果から、ガス検知器において、上述したオゾンガス除去フィルタを用いることで、ジボランガスの感度の低下を抑制しつつ、オゾンガスの感度を低下させることができることが分かる。そして、ガス検知器は、上述したオゾンガス除去フィルタを用いることにより、オゾンガスによる干渉を抑制し、検知対象ガスの選択性を高めることができることが分かる。

また、円筒状のフィルタ部材を用いた実施例１～６と、ペレット状のフィルタ部材を用いた実施例７～８とを比較すると、実施例１～６の方が、実施例７～８よりも、ジボランガス指示値低下率の絶対値が小さく、オゾンガス除去率の絶対値が大きい。この結果から、円筒状のフィルタ部材を用いることにより、ジボランガスの感度の低下をより抑制しつつ、オゾンガスの感度をより低下させることができることが分かる。そして、ガス検知器は、円筒状のフィルタ部材を用いることにより、オゾンガスによる干渉をより抑制し、検知対象ガスの選択性をより高めることができることが分かる。

また、円筒状のフィルタ部材を用いた実施例１～６において、フィルタ部材の大きさの違いに着目すると、フィルタ部材の大きさが小さくなるにしたがって（実施例５、６→実施例３、４→実施例１、２）、ジボランガス指示値低下率の絶対値がわずかに大きくなっているものの、オゾンガス除去率の絶対値がそれよりも大きな変化率で大きくなる傾向が見られる。この結果から、より小さい円筒状のフィルタ部材を用いることで、オゾンガスの感度をより低下させて、オゾンガスによる干渉をより抑制し、検知対象ガスの選択性をより高めることができることが分かる。

また、円筒状のフィルタ部材を用いた実施例１～６において、フィルタ部材の材料の違いに着目すると、フィルタ部材がＰＦＡにより形成されている場合よりもＰＴＦＥで形成されている場合の方が（実施例１、３、５→実施例２、４、６）、ジボランガス指示値低下率の絶対値がわずかに変化しているものの、オゾンガス除去率の絶対値がそれよりも大きな変化率で大きくなっている。この結果から、ＰＴＦＥで形成された円筒状のフィルタ部材を用いることで、オゾンガスの感度をより低下させて、オゾンガスによる干渉をより抑制し、検知対象ガスの選択性をより高めることができることが分かる。

１ 電気化学式ガスセンサ（定電位電解式ガスセンサ）
２ 電極
２１ 反応極
２２ 対極
２３ 参照極
３ 電解液
４ 容器
４１ 流入口
４１ａ 流入口の一方の端部
４１ｂ 流入口の他方の端部
４２ 電解液収容部
４３ 流出口
４３ａ 流出口の一方の端部
４３ｂ 流出口の他方の端部
４４ 流入側蓋部材
４５ Ｏリング
４６ 流出側蓋部材
４７ Ｏリング
５ 隔膜
６ 隔膜
７ オゾンガス除去手段
７１ フッ素樹脂製フィルタ
７２ 金属製フィルタ
８ 減速手段
Ｄ ガス検知器
Ｆ ガス流路
Ｆ１ ガス流入口
Ｆ２ ガス排出口
Ｆ３ 上流側ガス流路
Ｆ４ 下流側ガス流路
Ｆ５ 中間ガス流路
Ｏ オゾンガス除去フィルタ
Ｏ１ フィルタ部材
Ｏ２ フィルタ部材収容部
Ｏ２１ 収容部本体部材
Ｏ２２ 入口側蓋部材
Ｏ２２１ 入口
Ｏ２３ 出口側蓋部材
Ｏ２３１ 出口
Ｏ２４、Ｏ２５ シート
Ｏ３ 収容容器
Ｏ３１ 収容容器本体
Ｏ３２ 上流側流路接続部材
Ｏ３２１ 上流側内部流路
Ｏ３３ 下流側流路接続部材
Ｏ３３１ 下流側内部流路
Ｐ ガス吸引装置
Ｐ１ ガス吸引管
Ｐ２ ガス排出管
Ｐ３ 流路接続部材
Ｘ 流入口の延びる方向
Ｙ フィルタ部材収容部の軸
Ｚ フィルタ部材の軸

Claims (6)

1. 測定対象ガスに含まれる検知対象ガスを検知するためのガスセンサと、
   前記ガスセンサの上流に配置され、前記測定対象ガスに含まれるオゾンガスを除去するためのオゾンガス除去フィルタと
   を備えるガス検知器であって、
   前記オゾンガス除去フィルタは、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性の低い材料を表面に含むフィルタ部材を備え、
   前記オゾンガス除去フィルタは、入口および出口を備えるフィルタ部材収容部を備え、
   前記フィルタ部材は、前記入口と前記出口とを結ぶ軸に対して前記フィルタ部材の表面が傾斜するように、前記フィルタ部材収容部内に収容されている、
   ガス検知器。
2. 前記材料は、フッ素樹脂である、
   請求項１に記載のガス検知器。
3. 前記ガスセンサが、電気化学式ガスセンサであり、
   前記検知対象ガスが、モノシラン、ジシラン、アルシン、ホスフィン、ジボラン、モノゲルマンまたはセレン化水素を含む特殊高圧ガスである、
   請求項１または２に記載のガス検知器。
4. 前記ガス検知器は、撥水性およびガス透過性を有するシートを備える、
   請求項１～３のいずれか１項に記載のガス検知器。
5. 前記ガス検知器は、前記測定対象ガスを吸引するガス吸引装置を備える、
   請求項１～４のいずれか１項に記載のガス検知器。
6. 測定対象ガスに含まれる検知対象ガスを検知するためのガスセンサの上流に配置され、前記測定対象ガスに含まれるオゾンガスを除去するためのオゾンガス除去フィルタであって、
   前記オゾンガス除去フィルタは、活性炭、シリカゲルまたはゼオライトよりもガス吸着性の低い材料を表面に含むフィルタ部材を備え、
   前記オゾンガス除去フィルタは、入口および出口を備えるフィルタ部材収容部を備え、
   前記フィルタ部材は、前記入口と前記出口とを結ぶ軸に対して前記フィルタ部材の表面が傾斜するように、前記フィルタ部材収容部内に収容されている、
   オゾンガス除去フィルタ。

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