JP7387692B2 - Heat treatment oven heater power connection device - Google Patents
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Description
本発明は、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットに対する通電性能を向上させる、熱処理オーブンのヒーター電源接続装置に関する。 The present invention relates to a heater power supply connection device for a heat treatment oven that improves the power supply performance to a heater unit mounted in a chamber of the heat treatment oven.
最近、ディスプレイは、ＴＶ、携帯電話、モニターなどのさまざまな種類の画像装置に適用されており、急速な技術の発達により、製品の性能を向上させるための努力が続けられている。有機発光表示装置及びＬＣＤ基板（以下、「基板」または「ガラス基板」という）は、次世代ディスプレイ装置の一つであり、様々な製品分野に適用されている。ディスプレイ装置を構成するガラス基板は熱処理によって製造するが、熱処理の際に工程ごとに要求される条件を満たすためには、外気の影響を防ぎ、熱がチャンバーの外に放出されることを最小限に抑えなければならない。それにより、性能の低下を防止することができ、製品の不良率を下げることができる。また、完成品の歩留まりを向上させるためには熱処理の際に基板の面内バラツキが少ないほど良いので、より高性能の熱処理オーブンが求められており、継続的な研究が行われている。 Recently, displays have been applied to various types of imaging devices such as TVs, mobile phones, and monitors, and with rapid technological development, efforts are being made to improve the performance of products. 2. Description of the Related Art Organic light emitting display devices and LCD substrates (hereinafter referred to as "substrates" or "glass substrates") are one of the next generation display devices and are applied to various product fields. The glass substrates that make up display devices are manufactured through heat treatment, but in order to meet the conditions required for each process during heat treatment, it is necessary to prevent the influence of outside air and minimize the heat released outside the chamber. must be kept to a minimum. Thereby, it is possible to prevent a decline in performance and reduce the defective rate of products. Furthermore, in order to improve the yield of finished products, it is better to have fewer in-plane variations in the substrate during heat treatment, so there is a need for a heat treatment oven with higher performance, and ongoing research is being conducted.
基板を製造するにあたり、温度管理と温度均一性は、良品の基板品質及び歩留まりの維持のために必ず必要である。例えば、熱処理オーブンを用いた基板製造工程では、基板の表面に有機物層が形成されて一定量の水分を含むことができるため、水分を蒸発させる乾燥工程を必要としているが、ガラス基板の製造工程では、基板の表面に感光膜をコートする前に洗浄工程を行い、洗浄工程の後には水分除去のための加熱乾燥工程を行っており、大部分の基板製造工程は、加熱及び乾燥工程を行って基板を製造している。このように基板製造工程から発生する水分は、赤外線を活用するか、或いは、シースヒーター（ｓｈｅａｔｈ ｈｅａｔｅｒ）などの発熱体を含む熱処理オーブンのチャンバーに入れて加熱乾燥によって、基板に残留する水分を除去している。 When manufacturing substrates, temperature control and temperature uniformity are absolutely necessary to maintain good substrate quality and yield. For example, in the substrate manufacturing process using a heat treatment oven, an organic layer is formed on the surface of the substrate and can contain a certain amount of moisture, so a drying process is required to evaporate the moisture. In Japan, a cleaning process is performed before coating the surface of the substrate with a photoresist film, and after the cleaning process, a heating and drying process is performed to remove moisture.Most of the substrate manufacturing processes involve heating and drying processes. The company manufactures circuit boards. Moisture generated during the substrate manufacturing process can be removed by using infrared rays or by heating and drying the substrate in a heat treatment oven chamber containing a heating element such as a sheath heater. are doing.
これに関連して、韓国登録特許第１０－１２３８５６０号公報及び韓国公開特許第１０－２０１３－００２８３２２号公報には、「ＬＣＤガラスオーブンチャンバー」が提案されている。 In this regard, 'LCD glass oven chamber' is proposed in Korean Patent No. 10-1238560 and Korean Published Patent No. 10-2013-0028322.
一方、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットは、発熱線を接続させて電流を通電させる多数のバスバーが接続された導電部を含んで構成されており、仕様によって異なるが、通常の場合、熱処理オーブンのヒーターユニットは、電気抵抗により発熱する発熱線（発熱コイル）を内蔵し、その上下部には板状のヒーティングプレートを設置して、熱処理オーブンのチャンバー内で行われる基板加熱及び乾燥工程を行うように構成されている。 On the other hand, the heater unit installed in the chamber of the heat treatment oven is configured to include a conductive part connected to a number of bus bars that connect heating wires and conduct current. The heater unit of the heat treatment oven has a built-in heating wire (heating coil) that generates heat due to electrical resistance, and plate-shaped heating plates are installed above and below the heating wire to heat and dry the substrate inside the chamber of the heat treatment oven. configured to perform the process.
しかし、熱処理オーブンのチャンバーに実装された従来のヒーターユニットは、板状のヒーティングプレートに電源を直接接続して通電させる方式が適用されているので、端子部が電気的特性に晒されて端子部の構造及び形状による耐久性に直接影響を及ぼすが、通常の場合、端子部の耐久性が急激に低下してショート及び短絡などの問題として現れるため、製品の信頼性を低下させるという問題がある。例えば、従来の電源供給端子部は、電気的特性により接触抵抗の変化が発生し、接触抵抗の不均衡に伴うアーク発生（Ａｒｃｉｎｇ）の危険に晒されており、組立の形状に応じて絶縁性能の変動が大きく、高熱による熱変形により接触力が弱化でき、高温での素材の酸化による抵抗値の変化などが発生することができる。 However, in conventional heater units mounted in the chamber of a heat treatment oven, a power supply is directly connected to the plate-shaped heating plate. The structure and shape of the terminal directly affect the durability, but normally the durability of the terminal decreases rapidly and appears as problems such as shorts and short circuits, which reduces the reliability of the product. be. For example, in conventional power supply terminals, changes in contact resistance occur due to electrical characteristics and are exposed to the risk of arcing due to unbalanced contact resistance.Insulation performance varies depending on the shape of the assembly. The contact force can be weakened due to thermal deformation caused by high heat, and changes in resistance can occur due to oxidation of the material at high temperatures.
これにより、ヒーターユニットに印加される電気容量に相応する十分な電気的許容容量を提供する一方、バスバーからヒーターユニットに通電される電流の流れを妨害したり干渉を最小化したりして電流の流れを安定的に維持させ、電気的接触を最小限に抑えて接触抵抗による問題を解決することができる、端子部に対する新しい構造設計が求められている。 This provides sufficient electrical capacity commensurate with the capacitance applied to the heating unit, while minimizing interference with or blocking the flow of current from the bus bar to the heating unit. There is a need for a new structural design for terminals that can maintain stability, minimize electrical contact, and solve problems caused by contact resistance.
本発明で解決しようとする技術的課題の一つは、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットに対する通電性能を向上させることにある。 One of the technical problems to be solved by the present invention is to improve the power supply performance of a heater unit mounted in a chamber of a heat treatment oven.
本発明で解決しようとする技術的課題の一つは、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットの端子部から発生する耐久性の低下の問題とショート及び短絡などの問題とを解決することにある。 One of the technical problems to be solved by the present invention is to solve the problem of reduced durability and problems such as short circuits and short circuits that occur from the terminal part of a heater unit mounted in the chamber of a heat treatment oven. be.
本発明で解決しようとする技術的課題の一つは、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットのバスバーからヒーティングプレートに通電される電流の流れの妨害及び干渉を最小限に抑えて電流の流れを安定的に維持させ、電気的接触を最小限に抑えるために電源接続端子部を提供することにある。 One of the technical problems to be solved by the present invention is to minimize the obstruction and interference of the current flow from the bus bar of the heater unit mounted in the chamber of the heat treatment oven to the heating plate. The object of the present invention is to provide a power supply connection terminal part in order to maintain a stable flow and minimize electrical contact.
上記の目的は、本発明によれば、熱処理オーブンのヒーター電源接続装置であって、熱処理オーブンのチャンバー内に実装されて熱を介して基板を加熱又は乾燥させるために電極を接続して低電圧、大電流を供給するバスバーを含み、前記バスバーに通電される電極を有する発熱体が備えられたヒーティングプレートを含むヒーターユニット；及び前記ヒーターユニットのバスバーから電源の供給を誘導する電源供給線を介して前記発熱体に通電させるために前記ヒーティングプレートに装着され、前記電源供給線を接続させる電源供給端子部；を含むことを特徴とする、熱処理オーブンのヒーター電源接続装置により達成できる。 The above object, according to the present invention, is a heat treatment oven heater power connection device, which is implemented in the chamber of the heat treatment oven and connects electrodes to a low voltage to heat or dry the substrate through heat. , a heater unit including a heating plate that includes a bus bar that supplies a large current and is equipped with a heating element that has an electrode that is energized to the bus bar; and a power supply line that induces the supply of power from the bus bar of the heater unit. This can be achieved by a heater power supply connection device for a heat treatment oven, characterized in that it includes: a power supply terminal section that is attached to the heating plate to supply electricity to the heating element through the power supply terminal section, and to which the power supply line is connected.
本発明の実施形態によれば、前記ヒーティングプレートは、発熱体を中心に、その上部は上部絶縁層、下部は下部絶縁層からなり、ステンレス鋼からなる基板層を含んで構成できる。 According to an embodiment of the present invention, the heating plate may include a heating element, an upper insulating layer above the heating element, a lower insulating layer below the heating element, and a substrate layer made of stainless steel.
本発明の実施形態によれば、前記電源供給端子部は、ホールが穿設された端子を有する電源供給線を接続させるものであり、前記ヒーティングプレートに穿設されたホールと；前記ヒーティングプレートのホールに対してセンタリングされたホールを備え、ヒーティングプレートの上面に装着され、電源供給線を介して誘導される電源と通電され、平行接触を維持させる電源供給ブッシュと；前記電源供給ブッシュ及び電源供給線の端子側のホールに対してセンタリングされたホールを備え、電流の外部流れを抑制する絶縁ブッシュと；前記ヒーティングプレート、絶縁ブッシュ、電源供給線の端子、及び電源供給ブッシュに穿設されたそれぞれのホールを連続的に通過してヒーティングプレートに絶縁ブッシュ、電源供給線の端子、及び電源供給ブッシュを固定させる固定手段と；を含んで構成できる。 According to an embodiment of the present invention, the power supply terminal portion connects a power supply line having a terminal with a hole, and the heating plate has a hole formed in the heating plate; a power supply bushing having a hole centered with respect to the hole in the plate, mounted on the top surface of the heating plate, and energized with a power source induced through a power supply line to maintain parallel contact; and an insulating bushing having a hole centered with respect to the hole on the terminal side of the power supply line and suppressing the external flow of current; The heating plate may include a fixing means for fixing the insulating bush, the power supply line terminal, and the power supply bush to the heating plate by continuously passing through the provided holes.
本発明の実施形態によれば、前記ヒーティングプレートの上面に装着された絶縁ブッシュは、上部の直径が大きく、下部の直径が上部の直径に比べて小さい段差を有し、その下部は、前記電源供給線の端子に設けられたホールを通過する突出部として突出した形状に構成できる。 According to an embodiment of the present invention, the insulating bush attached to the upper surface of the heating plate has a step having a larger diameter at the upper part and a smaller diameter at the lower part than the diameter at the upper part. The protrusion can be formed into a protruding shape that passes through a hole provided at the terminal of the power supply line.
本発明の実施形態によれば、前記ヒーティングプレートの上面に装着された絶縁ブッシュは、電源供給線の端子側電流の外部流れを抑制し且つ耐久性を強化するセラミック素材の中から選択して製造できる。 According to an embodiment of the present invention, the insulating bushing mounted on the upper surface of the heating plate is selected from ceramic materials that suppress external flow of current on the terminal side of the power supply line and enhance durability. Can be manufactured.
本発明の実施形態によれば、前記固定手段は、前記絶縁ブッシュ、電源供給線の端子、電源供給ブッシュ、及びヒーティングプレートに穿設された各ホールを連続的に通過してヒーティングプレートの上面に絶縁ブッシュ、電源供給線の端子、及び電源供給ブッシュを順次固定し、ヒーティングプレートの下面においてナットによって締結される固定ボルト；を含んで構成できる。 According to an embodiment of the present invention, the fixing means continuously passes through the insulating bush, the terminal of the power supply line, the power supply bush, and each hole drilled in the heating plate to secure the heating plate. The heating plate may include a fixing bolt that sequentially fixes an insulating bush, a power supply line terminal, and a power supply bush on the upper surface, and is fastened with a nut on the lower surface of the heating plate.
本発明の実施形態によれば、前記ヒーティングプレートの下面とナットとの間にはワッシャーが介在し、上部に平ワッシャー、下部にスプリングワッシャーが２重に積層挿入された構造を含んで構成できる。 According to an embodiment of the present invention, a washer may be interposed between the lower surface of the heating plate and the nut, and the structure may include a structure in which a flat washer is inserted in the upper part and a spring washer is inserted in the lower part. .
本発明は、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットに対する通電性能を向上させるという効果がある。 INDUSTRIAL APPLICATION This invention has the effect of improving the electrical conductivity performance with respect to the heater unit mounted in the chamber of a heat treatment oven.
また、本発明は、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットの端子部から発生する耐久性の低下の問題とショート及び短絡などの問題とを解決することができるという効果がある。 Furthermore, the present invention has the advantage of being able to solve problems such as a decrease in durability and short circuits caused by the terminal portion of a heater unit mounted in a chamber of a heat treatment oven.
また、本発明は、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットのバスバーからヒーティングプレートに通電される電流の流れの妨害及び干渉を最小限に抑えて電流の流れを安定的に維持させ、電気的接触を最小限に抑えて高信頼性の熱処理オーブンを製作することができるという効果がある。 Further, the present invention minimizes obstruction and interference with the flow of current flowing from the bus bar of the heater unit mounted in the chamber of the heat treatment oven to the heating plate, maintains the current flow stably, and maintains the current flow stably. This has the effect of making it possible to manufacture a highly reliable heat treatment oven while minimizing physical contact.
以下、本発明の好適な実施形態に係る「熱処理オーブンのヒーター電源接続装置」を説明する。
図１は熱処理オーブンを示す例示図である。図２は熱処理オーブンの正面を示す例示図である。図３は熱処理オーブンの平面を示す例示図である。図４は熱処理オーブンの側面を示す例示図である。
Hereinafter, a "heater power supply connection device for a heat treatment oven" according to a preferred embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is an exemplary diagram showing a heat treatment oven. FIG. 2 is an exemplary diagram showing the front of the heat treatment oven. FIG. 3 is an exemplary plan view of a heat treatment oven. FIG. 4 is an exemplary diagram showing a side view of the heat treatment oven.
図１乃至図４は熱処理オーブン１００の全体構造を示すもので、チャンバー２００を含んで構成された熱処理オーブン１００の例示図である。 1 to 4 show the overall structure of a heat treatment oven 100, and are exemplary diagrams of the heat treatment oven 100 including a chamber 200. As shown in FIG.
熱処理オーブン１００は、図１乃至図４に示されているように、基板を熱処理するために、熱処理対象の基板を、チャンバー２００内に設けられた各段に取り込んだり、熱処理工程済みの基板をチャンバー２００から取り出したりするために、背面部にはドア部１１０、前面部にはシャッター部１２０をそれぞれ備えることができる。 As shown in FIGS. 1 to 4, the heat treatment oven 100 takes the substrates to be heat treated into each stage provided in the chamber 200, and heats the substrates after the heat treatment process. In order to take out the device from the chamber 200, a door section 110 can be provided on the back surface, and a shutter section 120 can be provided on the front surface.
また、熱処理オーブン１００は、加熱または乾燥が必要とされる基板を収容するチャンバー２００を備え、チャンバー２００内には発熱体３１０（図８参照）からなる複数のヒーターユニット３００を実装することにより、そのヒーターユニット３００から発生する熱で基板を加熱するか或いは水分を蒸発乾燥させるように構成される。 Further, the heat treatment oven 100 includes a chamber 200 that accommodates a substrate that needs to be heated or dried, and by mounting a plurality of heater units 300 consisting of heating elements 310 (see FIG. 8) in the chamber 200, The heater unit 300 is configured to use heat generated to heat the substrate or evaporate moisture to dry it.
そして、熱処理オーブン１００は、チャンバー２００の一側に、プロセスガスを含む流体を流入させる給気口、及びチャンバー２００内の流体を排気させる排気口を備え、チャンバー２００を支持又はサポートするラグ付きフレーム、及びヒーターユニット３００の発熱線を接続して電流を通電させる多数のバスバー３０１が接続された導電部を含んで構成されている。 The heat treatment oven 100 is equipped with an air supply port for introducing a fluid containing a process gas into one side of the chamber 200 and an exhaust port for discharging the fluid in the chamber 200, and a frame with lugs that supports or supports the chamber 200. , and a conductive portion connected to a number of bus bars 301 that connect the heating wires of the heater unit 300 and supply current.
また、仕様によって異なるが、通常の場合、図８に示されているように、ヒーターユニット３００を構成する発熱体３１０の上下部にはヒーティングプレート３１１を密着設置して、チャンバー２００内で行われる基板加熱工程を効果的に行うように構成されている。 Also, although it varies depending on the specifications, normally, as shown in FIG. It is configured to effectively perform the substrate heating process.
一方、図１及び図４において、未説明符号「２１０」と「２２０」は、チャンバー２００の「内外部ケーシング」を示す。未説明符号「２３０」は、チャンバー２００に冷却気流を形成して、チャンバー２００の内部に構成された冷却気流誘導路を介してチャンバー２００を均一な温度分布で冷却させる「冷却ジャケット」を示す。未説明符号「２４０」は、フィードスルーを突出させ、これを介してチャンバー２００内に電源を供給する「電源供給部」を示す。 On the other hand, in FIGS. 1 and 4, unexplained symbols "210" and "220" indicate "inner and outer casings" of the chamber 200. The unexplained symbol ``230'' indicates a ``cooling jacket'' that forms a cooling airflow in the chamber 200 and cools the chamber 200 with uniform temperature distribution through a cooling airflow guide path configured inside the chamber 200. An unexplained symbol "240" indicates a "power supply unit" that protrudes through a feedthrough and supplies power into the chamber 200 through the feedthrough.
ちなみに、図１及び図４に示されているような、熱処理オーブン１００を構成する基本的な構成、例えば、チャンバー２００の構造及びプロセスガスの給気及び排気系統、ヒーターユニット３００に電源を供給する電源供給部２４０の構成は、本発明と直接の関連がない。そして、熱処理オーブン１００の基本的な該当構成は、本発明の要旨とは無関係である公知の構成なので、本発明の構成及び動作の説明で省略することとする。 Incidentally, the basic configuration of the heat treatment oven 100 as shown in FIGS. 1 and 4, such as the structure of the chamber 200, the process gas supply and exhaust system, and the supply of power to the heater unit 300 The configuration of the power supply unit 240 is not directly related to the present invention. Since the basic configuration of the heat treatment oven 100 is a known configuration that is unrelated to the gist of the present invention, it will be omitted in the description of the configuration and operation of the present invention.
図１乃至図４に示されているように、熱処理オーブンは、一般に、基板を熱処理するために、熱処理対象の基板を、ヒーターユニットが設置されたチャンバー内に設けられた各段に取り込んだり、熱処理工程済みの基板をチャンバーから取り出したりするために、背面部にはドア部、前面部にはシャッター部をそれぞれ備えることができる。 As shown in FIGS. 1 to 4, in order to heat-treat the substrate, the heat treatment oven generally takes the substrate to be heat-treated into each stage provided in a chamber in which a heater unit is installed, and In order to take out the substrate that has undergone the heat treatment process from the chamber, a door section can be provided on the back surface and a shutter section can be provided on the front surface.
また、熱処理オーブンは、加熱または乾燥が必要とされる基板を収容するチャンバーを備え、チャンバー内には発熱体からなるヒーターユニットを実装することにより、ヒーターユニットから発生する熱で基板を加熱するか或いは水分を蒸発乾燥させるように構成できる。 In addition, a heat treatment oven is equipped with a chamber that houses a substrate that needs to be heated or dried, and a heater unit made of a heating element is installed in the chamber, so that the substrate can be heated with the heat generated from the heater unit. Alternatively, it can be configured to evaporate water to dryness.
また、仕様によって異なるが、通常の場合、ヒーターユニットを構成する発熱体の上下部にはヒーティングプレートを密着設置して、基板加熱工程を効果的に行うように構成されている。 Further, although it varies depending on the specifications, in normal cases, heating plates are installed in close contact with the upper and lower parts of the heating element constituting the heater unit, so that the substrate heating process can be performed effectively.
また、熱処理オーブンのチャンバーの一側には、プロセスガスを含む流体を流入させる給気口、及びチャンバー内の流体を排気させる排気口を備え、チャンバーを支持及びサポートするラグ付きフレーム、及びヒーターユニットの発熱線を接続して電流を通電させる多数のバスバーが接続された導電部を含んで構成されている。 In addition, one side of the chamber of the heat treatment oven is equipped with an air supply port for inflowing a fluid containing a process gas and an exhaust port for discharging the fluid in the chamber, a frame with lugs that supports and supports the chamber, and a heater unit. The device includes a conductive section connected to a large number of bus bars that connect the heating wires and supply current.
一方、熱処理オーブンは、チャンバーの内部に基板の熱処理工程中に基板上に残存する水分を除去するためにヒーターユニットを含んでおり、製品の品質向上のため、より効率的で高い性能の工程能力を要求している。 Meanwhile, the heat treatment oven contains a heater unit inside the chamber to remove the moisture remaining on the substrate during the heat treatment process of the substrate, resulting in more efficient and high performance process capability for improving product quality. is requesting.
また、熱処理工程の時間短縮を介して、より多くの量の製品を量産するために、チャンバーの内部に設置されたヒーターユニットが高性能でありながらも、構造的に強化された耐久性を要求している。 In addition, in order to mass-produce a larger quantity of products by shortening the time of the heat treatment process, the heater unit installed inside the chamber needs to have high performance and structurally strengthened durability. are doing.
しかし、熱処理オーブンのチャンバーに実装された従来のヒーターユニットは、板状のヒーティングプレートに電源を直接接続して通電させる方式が適用されているので、端子部の電気的特性により端子部の構造及び形状による耐久性に直接影響を及ぼすが、通常の場合、端子部の耐久性が急激に低下してショート及び短絡などの問題として現れ、製品の信頼度を低下させている。 However, in conventional heater units mounted in the chamber of a heat treatment oven, a power supply is directly connected to a plate-shaped heating plate. The durability is directly affected by the shape and shape, but normally the durability of the terminal portion is rapidly reduced, resulting in problems such as short circuits and short circuits, reducing the reliability of the product.
例えば、従来の電源供給端子部は、電気的特性により接触抵抗の変化が発生し、接触抵抗の不均衡によるアーク発生（Ａｒｃｉｎｇ）の危険に晒されており、組立の形状に応じて絶縁性能の変動が大きく、高熱による熱変形により接触力が弱化することができ、高温での素材の酸化による抵抗値の変化などが発生している。 For example, in conventional power supply terminals, changes in contact resistance occur due to electrical characteristics, and there is a risk of arcing due to imbalance in contact resistance.Insulation performance may vary depending on the shape of the assembly. The fluctuation is large, and the contact force can be weakened due to thermal deformation due to high heat, and changes in resistance value occur due to oxidation of the material at high temperatures.
これにより、本発明は、ヒーターユニットに印加される電気容量に相応する十分な電気的許容容量を提供する一方、バスバーからヒーターユニットに通電される電流の流れを妨害したり干渉を最小限に抑えたりして電流の流れを安定的に維持させ、電気的接触を最小限に抑えて接触抵抗による問題を解決することができる、新しい端子部の構造設計を含む、熱処理オーブンのヒーター電源接続装置を提示する。 Thereby, the present invention provides sufficient electrical capacity commensurate with the electrical capacitance applied to the heater unit, while minimizing disruption or interference with the flow of current from the bus bar to the heater unit. The heat treatment oven heater power connection device includes a new terminal structure design that can maintain a stable current flow, minimize electrical contact, and solve problems caused by contact resistance. present.
また、本発明は、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットに対する通電性能を向上させる、熱処理オーブンのヒーター電源接続装置を提示する。 Further, the present invention provides a heater power supply connection device for a heat treatment oven that improves the power supply performance to a heater unit mounted in a chamber of the heat treatment oven.
また、本発明は、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットの端子部から発生する耐久性の低下の問題とショート及び短絡などの問題とを解決する、熱処理オーブンのヒーター電源接続装置を提示する。 Further, the present invention provides a heater power supply connection device for a heat treatment oven, which solves the problems of reduced durability and short-circuits caused by the terminals of the heater unit mounted in the chamber of the heat treatment oven. .
また、本発明は、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットのバスバーからヒーティングプレートに通電される電流の流れの妨害及び干渉を最小限に抑えて電流の流れを安定的に維持させ、電気的接触を最小限に抑えて信頼性の高い熱処理オーブンを製作することができるようにする、熱処理オーブンのヒーター電源接続装置を提示する。 Further, the present invention minimizes obstruction and interference with the flow of current flowing from the bus bar of the heater unit mounted in the chamber of the heat treatment oven to the heating plate, maintains the current flow stably, and maintains the current flow stably. A heater power supply connection device for a heat treatment oven is presented, which allows a highly reliable heat treatment oven to be fabricated with minimal physical contact.
次に、本発明による熱処理オーブンのヒーター電源接続装置を構成する主要構成について、図５乃至図１０を参照して具体的に説明する。 Next, the main components of the heater power supply connection device for a heat treatment oven according to the present invention will be specifically described with reference to FIGS. 5 to 10.
図５は熱処理オーブンに配置されたヒーターユニットの例示図である。図６は熱処理オーブンに配置されたヒーターユニットを平面構造で示す例示図である。 FIG. 5 is an exemplary diagram of a heater unit arranged in a heat treatment oven. FIG. 6 is an exemplary plan view showing a heater unit disposed in a heat treatment oven.
本発明の一実施形態による熱処理オーブンのヒーター電源接続装置は、図７乃至図１０に示すように、ヒーターユニット３００を構成するバスバー３０１の電流をヒーティングプレート３１１に効果的に接続させるように構成できる。 A heater power supply connection device for a heat treatment oven according to an embodiment of the present invention is configured to effectively connect the current of a bus bar 301 constituting a heater unit 300 to a heating plate 311, as shown in FIGS. 7 to 10. can.
図７は図６のＡ部を抜粋して示すもので、本発明の一実施形態による熱処理オーブンのヒーター電源接続装置の例示図である。 FIG. 7 shows an excerpt from part A of FIG. 6, and is an illustrative diagram of a heater power supply connection device for a heat treatment oven according to an embodiment of the present invention.
図８は本発明の一実施形態による熱処理オーブンのヒーター電源接続装置を構成するヒーティングプレートを模式図で示す例示図である。 FIG. 8 is an exemplary diagram schematically showing a heating plate constituting a heater power supply connection device for a heat treatment oven according to an embodiment of the present invention.
図９は本発明の一実施形態による熱処理オーブンのヒーター電源接続装置を構成するヒーティングプレートを模式図で示す例示図である。 FIG. 9 is an exemplary diagram schematically showing a heating plate constituting a heater power supply connection device for a heat treatment oven according to an embodiment of the present invention.
図１０は本発明の一実施形態による熱処理オーブンのヒーター電源接続装置を分解状態で示す例示図である。 FIG. 10 is an exemplary diagram showing a heater power supply connection device for a heat treatment oven in an exploded state according to an embodiment of the present invention.
本発明の一実施形態による熱処理オーブンのヒーター電源接続装置は、図７～図１０に示されているように、ヒーターユニット３００を含み、ヒーターユニット３００が、熱処理オーブン１００のチャンバー２００内に実装され、熱を介して基板を加熱又は乾燥させるために電極を接続して低電圧、大電流を供給するバスバー３０１を含み、バスバー３０１に通電される電極を有する発熱体３１０が備えられたヒーティングプレート３１１を備えることができる。 A heater power supply connection device for a heat treatment oven according to an embodiment of the present invention includes a heater unit 300, as shown in FIGS. , a heating plate including a bus bar 301 connecting electrodes to supply low voltage and large current in order to heat or dry the substrate through heat, and equipped with a heating element 310 having an electrode that is energized to the bus bar 301; 311.
また、ヒーター電源接続装置は、ヒーターユニット３００のバスバー３０１から電源の供給を誘導する電源供給線３３０を介して発熱体３１０に電流を安定的に通電させるためにヒーティングプレート３１１に装着され、電源供給線３３０を接続させる電源供給端子部３２０を含んで構成できる。電源供給線３３０は、ホール３３１ａが穿設された端子３３１を有することができる。 Further, the heater power supply connection device is attached to the heating plate 311 in order to stably supply current to the heating element 310 via the power supply line 330 that induces the supply of power from the bus bar 301 of the heater unit 300. It can be configured to include a power supply terminal section 320 to which a supply line 330 is connected. The power supply line 330 may have a terminal 331 with a hole 331a formed therein.
また、ヒーティングプレート３１１は、図８に示されているように、発熱体３１０を中心に、その上部は上部絶縁層３１３、下部は下部絶縁層３１４からなることができる。 Further, as shown in FIG. 8, the heating plate 311 may include a heating element 310 at its center, an upper insulating layer 313 above the heating element 310, and a lower insulating layer 314 below the heating element 310.
また、絶縁層３１４の下部は、ステンレス鋼からなる基板層３１５を含んで構成できる。 Further, the lower part of the insulating layer 314 may include a substrate layer 315 made of stainless steel.
このように、発熱体３１０を中心に、上部絶縁層３１３、下部絶縁層３１４、及びステンレス鋼ＳＵＳ４０３からなる基板層３１５を積層型に積んでヒーティングプレート３１１を構成する場合、優れた電気的特性及び絶縁性を有し、変形が少ないながらも堅固な耐久性を有する。 In this way, when the heating plate 311 is constructed by stacking the heating element 310, the upper insulating layer 313, the lower insulating layer 314, and the substrate layer 315 made of stainless steel SUS403 in a laminated manner, excellent electrical properties can be obtained. It has insulation properties, and has strong durability with little deformation.
また、電源供給端子部３２０は、図７～図１０に示されているように、ヒーティングプレート３１１にホール３１１ａを穿設して構成され、ヒーティングプレート３１１に穿設されたホール３１１ａを中心に、その周辺部には電極メッキ層３４２を設置して構成できる。 Further, as shown in FIGS. 7 to 10, the power supply terminal section 320 is configured by making a hole 311a in the heating plate 311, and the power supply terminal part 320 is centered around the hole 311a made in the heating plate 311. In addition, an electrode plating layer 342 can be provided around the periphery.
また、電源供給端子部３２０は、ヒーティングプレート３１１のホール３１１ａに対してセンタリングされたホール３２１ａを備え、ヒーティングプレート３１１の上面に装着されて電源供給線３３０を介して誘導される電源と通電され、平行接触を維持させる電源供給ブッシュ３２１を含んで構成できる。 Further, the power supply terminal section 320 has a hole 321a centered with respect to the hole 311a of the heating plate 311, and is attached to the upper surface of the heating plate 311 to conduct electricity with the power induced through the power supply line 330. The power supply bushing 321 may be included to maintain parallel contact.
また、電源供給端子部３２０は、電源供給ブッシュ３２１及び電源供給線３３０の端子３３１側のホール３３１ａに対してセンタリングされたホール３４１ａを備え、電流の外部流れを抑制する絶縁ブッシュ３４０を含んで構成できる。 Further, the power supply terminal section 320 includes a power supply bush 321 and an insulating bush 340 that has a hole 341a centered with respect to the hole 331a on the terminal 331 side of the power supply line 330 and suppresses the external flow of current. can.
また、電源供給端子部３２０は、ヒーティングプレート３１１、絶縁ブッシュ３４０、電源供給線３３０の端子３３１、及び電源供給ブッシュ３２１に穿設された各ホール３１１ａ、３２１ａ、３３１ａ、３４１ａを連続的に通過してヒーティングプレート３１１に各部品（絶縁ブッシュ３４０、電源供給線３３０の端子３３１、及び電源供給ブッシュ３２１）を固定させる固定手段を含んで構成できる。 Further, the power supply terminal section 320 continuously passes through the heating plate 311, the insulating bush 340, the terminal 331 of the power supply line 330, and the holes 311a, 321a, 331a, and 341a formed in the power supply bush 321. The heating plate 311 may include a fixing means for fixing each component (insulating bush 340, terminal 331 of the power supply line 330, and power supply bush 321) to the heating plate 311.
また、ヒーティングプレート３１１の上面に装着された絶縁ブッシュ３４０は、上部の直径が大きく、下部の直径が上部の直径に比べて小さい段差を有し、その下部は、電源供給線３３０の端子３３１に設けられたホール３３１ａを通過する突出部３４１として突出した形状に構成できる。 In addition, the insulating bush 340 attached to the upper surface of the heating plate 311 has a step in which the diameter of the upper part is large and the diameter of the lower part is smaller than the diameter of the upper part. The protrusion 341 can be formed into a protruding shape that passes through the hole 331a provided in the protrusion 341.
これにより、電源供給線３３０の端子３３１に設けられたホール３３１ａ内に突出部３４１が進入して電源供給線３３０の端子３３１の揺れ遊動と振動による緩みを遮断することができ、間隙の遊隔によるアーク発生を最小限に抑えることができる。 As a result, the protrusion 341 enters into the hole 331a provided in the terminal 331 of the power supply line 330, and the looseness due to swinging and vibration of the terminal 331 of the power supply line 330 can be blocked, and the clearance in the gap is The occurrence of arcs caused by this can be minimized.
また、ヒーティングプレート３１１の上面に装着された絶縁ブッシュ３４０は、電源供給線３３０の端子３３１側電流の外部流れを抑制し且つ耐久性を強化するセラミック素材の中から選択して製造することが好ましいことができる。 Further, the insulating bush 340 attached to the upper surface of the heating plate 311 can be manufactured by selecting a ceramic material that suppresses the external flow of current on the terminal 331 side of the power supply line 330 and enhances durability. It can be preferable.
また、ヒーティングプレート３１１、絶縁ブッシュ３４０、電源供給線３３０の端子３３１、及び電源供給ブッシュ３２１に穿設された各ホール３１１ａ、３２１ａ、３３１ａ、３４１ａを連続的に通過してヒーティングプレート３１１に各部品を固定する固定手段は、図１０に示されているように構成できる。 In addition, it continuously passes through the heating plate 311, the insulating bush 340, the terminal 331 of the power supply line 330, and the holes 311a, 321a, 331a, and 341a drilled in the power supply bush 321 to the heating plate 311. The fixing means for fixing each component can be configured as shown in FIG.
図１０に示されているように、固定手段は、絶縁ブッシュ３４０、電源供給線３３０の端子３３１、電源供給ブッシュ３２１、及びヒーティングプレート３１１に穿設された各ホール３４１ａ、３３１ａ、３２１ａ、３１１ａを連続的に通過してヒーティングプレート３１１の上面に絶縁ブッシュ３４０、電源供給線３３０の端子３３１、及び電源供給ブッシュ３２１を順次固定し、ヒーティングプレート３１１の下面においてナット３５１によって締結される固定ボルト３５０で構成できる。 As shown in FIG. 10, the fixing means includes holes 341a, 331a, 321a, 311a formed in the insulating bush 340, the terminal 331 of the power supply line 330, the power supply bush 321, and the heating plate 311. The insulating bush 340, the terminal 331 of the power supply line 330, and the power supply bush 321 are sequentially fixed on the upper surface of the heating plate 311 by passing through the heating plate 311 continuously, and the fixing member is fastened with a nut 351 on the lower surface of the heating plate 311. It can be configured with 350 bolts.
ここで、固定ボルト３５０は、他の締結要素で代替できるが、各部品を締め付けトルクで結束することができ、ＡＳ点検などのためにボルト及びナット締結要素が好ましい締結要素として選択できる。 Here, the fixing bolt 350 can be replaced with another fastening element, but each part can be bound with a tightening torque, and bolt and nut fastening elements can be selected as preferable fastening elements for AS inspection and the like.
また、ヒーティングプレート３１１の下面とナット３５１との間には、各部品間の緊縮結合を誘導し且つ各部品間の変形と緩みを防止するためにワッシャーを介在することが好ましい。 Further, it is preferable that a washer be interposed between the lower surface of the heating plate 311 and the nut 351 in order to induce a tight connection between each component and to prevent deformation and loosening of each component.
好ましくは、ヒーティングプレート３１１から近い位置に平ワッシャー３５２を締結し、その下部にはスプリングワッシャー３５３を２重に積層するものであり、これにより、固定ボルト３５０の締付力で各部品を緊密な状態で締結及び結束することができ、各部品間の間隙を減らして通電時にアーク発生を最小限に抑えることができる。 Preferably, a flat washer 352 is fastened at a position close to the heating plate 311, and a spring washer 353 is laminated in two layers under the flat washer 352, so that the tightening force of the fixing bolt 350 tightly tightens each part. The parts can be fastened and bundled in a safe state, and the gaps between each part can be reduced to minimize arcing when electricity is applied.
このように、本発明による熱処理オーブンのヒーター電源供給装置は、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットに対する通電性能を効果的に向上させることができるという利点がある。 As described above, the heater power supply device for a heat treatment oven according to the present invention has an advantage in that it can effectively improve the power supply performance to the heater unit mounted in the chamber of the heat treatment oven.
また、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットの端子部から発生する耐久性の低下の問題とショート及び短絡などの問題とを解決することができるという利点がある。 Further, there is an advantage in that it is possible to solve problems such as a decrease in durability and problems such as short circuits and short circuits that occur at the terminal portion of the heater unit mounted in the chamber of the heat treatment oven.
また、熱処理オーブンのチャンバーに実装されたヒーターユニットのバスバーからヒーティングプレートに通電される電流の流れの妨害及び干渉を最小限に抑えて電流の流れを安定的に維持させ、電気的接触を最小限に抑えて高品質、高信頼性の熱処理オーブンを製作することができるという利点がある。 In addition, it minimizes interference and interference with the current flow from the bus bar of the heater unit mounted in the chamber of the heat treatment oven to the heating plate, maintains a stable current flow, and minimizes electrical contact. The advantage is that a high-quality, highly reliable heat treatment oven can be manufactured with a minimum amount of heat treatment.
本発明は、図示された一実施形態を参照して説明されたが、実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱することなく修正及び変更して実施することができ、それらの修正と変更も本発明の技術思想に含まれると理解されるべきである。 Although the present invention has been described with reference to an illustrated embodiment, it is not limited to the embodiment, and can be implemented with modifications and changes without departing from the gist of the present invention, and those modifications and changes can be made without departing from the gist of the present invention. It should be understood that modifications are also included in the technical idea of the present invention.
１００ 熱処理オーブン
２００ チャンバー
３００ ヒーターユニット
３０１ バスバー（ｂｕｓｂａｒ）
３１０ 発熱体
３１１ ヒーティングプレート（Ｔｈｉｃｋ Ｆｌｉｍ Ｈｅａｔｅｒ）
３１１ａ ホール
３１３ 上部絶縁層
３１４ 下部絶縁層
３１５ 基板層
３２０ 電源供給端子部
３２１ 電源供給ブッシュ
３２１ａ ホール
３３０ 電源供給線
３３１ 端子
３３１ａ ホール
３４０ 絶縁ブッシュ
３４１ 突出部
３４１ａ ホール
３５０ 固定ボルト
３５１ ナット
３５２ 平ワッシャー
３５３ スプリングワッシャー
100 Heat treatment oven 200 Chamber 300 Heater unit 301 Busbar
310 Heating element 311 Heating plate (Thick Flim Heater)
311a Hole 313 Upper insulating layer 314 Lower insulating layer 315 Board layer 320 Power supply terminal portion 321 Power supply bush 321a Hole 330 Power supply line 331 Terminal 331a Hole 340 Insulating bush 341 Projection 341a Hole 350 Fixing bolt 351 Nut 352 Flat washer 353 Spring washer
Claims (4)
前記熱処理オーブンのチャンバー内に実装されて熱を介して基板を加熱又は乾燥させるために電極が接続されるバスバーを含み、前記バスバーに通電される電極を有する発熱体が備えられたヒーティングプレートを含むヒーターユニット；及び
前記ヒーターユニットのバスバーから電源の供給を誘導する電源供給線を介して前記発熱体に通電させるために前記ヒーティングプレートに装着され、前記電源供給線を接続させる電源供給端子部；を含み、
前記電源供給端子部は、ホールが穿設された端子を有する電源供給線を接続させるものであり、
前記ヒーティングプレートに穿設されたホールと；
前記ヒーティングプレートのホールに対してセンタリングされたホールを備え、ヒーティングプレートの上面に装着され、電源供給線を介して誘導される電源と通電され、平行接触を維持させる電源供給ブッシュと；
前記電源供給ブッシュ及び電源供給線の端子側のホールに対してセンタリングされたホールを備え、電流の外部流れを抑制する絶縁ブッシュと；
前記ヒーティングプレート、絶縁ブッシュ、電源供給線の端子、及び電源供給ブッシュに穿設されたそれぞれのホールを連続的に通過してヒーティングプレートに絶縁ブッシュ、電源供給線の端子、及び電源供給ブッシュを固定させる固定手段と；を含む、ことを特徴とする、熱処理オーブンのヒーター電源接続装置。 A heater power supply connection device for a heat treatment oven,
A heating plate including a bus bar mounted in a chamber of the heat treatment oven to which an electrode is connected for heating or drying the substrate through heat, and equipped with a heating element having an electrode that is energized to the bus bar. a heater unit including; and a power supply terminal section that is attached to the heating plate and connects the power supply line to supply electricity to the heating element via a power supply line that guides the supply of power from the bus bar of the heater unit. ;
The power supply terminal section connects a power supply line having a terminal with a hole,
a hole bored in the heating plate;
a power supply bushing having a hole centered with respect to the hole of the heating plate, mounted on the upper surface of the heating plate, and energized with a power source induced through a power supply line to maintain parallel contact;
an insulating bushing comprising a hole centered with respect to the hole on the terminal side of the power supply bushing and the power supply line to suppress external flow of current;
The heating plate, the insulating bushing, the terminal of the power supply line, and the power supply bushing are continuously passed through the respective holes drilled in the heating plate, the insulating bushing, the terminal of the power supply line, and the power supply bushing to the heating plate. A heater power supply connection device for a heat treatment oven , comprising: a fixing means for fixing the.
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