JP7384883B2 - 最適化された長さのマスクフレーム - Google Patents
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Description
上記において、凹部は平坦部に代替し、遮断部は上の方へ突出した突出部上で外側へ延長された翼のような形状にすることができる。
即ち、本発明は、
基板に合着されるマスクが固定されるマスクフレームにおいて、
その端部に平坦部または基板のある内側に作られた凹部形状を具備した片辺;
上記の平坦部または凹部が形成された辺に対向する辺は外側へ突出した遮断部;及び
上記の凹部と遮断部が形成されたマスクフレームの2辺は上の方への突出部;を具備して、
なお、本発明は、
基板に合着されるマスクが固定されるマスクフレームにおいて、
その端部に平坦部または基板のある内側へ作られた凹部形状を具備した片辺;及び
上記の平坦部または凹部が形成された辺に対向する辺は外側へ突出した遮断部;を具備し、
上記において、凹部と遮断部が形成されないマスクフレーム辺の端部の上の方への突出部を更に含むことを特徴とするマスクフレームを提供する。
上記において、上記の突出部は、マスクスティックが通過してマスクフレームに固定できるように開口部を含むことを特徴とするマスクフレームを提供する。
上記のマスクフレーム;及び
上記において、上記の基板は、チャックプレートにチャッキングされたのを特徴とする蒸着システムを提供する。
なお、本発明は、
基板に合着されるマスクが固定されるマスクフレームにおいて、
その端部に基板のある内側へ作られた凹部形状を具備した片辺;及び
上記の凹部が形成された辺に対向する辺は、外側へ突出した遮断部;を具備し、
上記のマスクフレームの内壁は、
マスクフレームの内側へ突出した第1段差部;及び
上記の第1段差部から下段の方へ連続した第2段差部;を具備し、
上記の第1段差部は、マスクプレートに搭載されるチャックプレートの端部への移送のためのレールが安着されるレール安着部として機能し、
上記の第2段差部は、チャックプレートに具備されたスリップ防止パッドを支持するためのスリップ防止パッド安着部として機能し、
なお、本発明は、
基板に合着されるマスクが固定されるマスクフレームにおいて、
その端部に基板のある内側へ作られた凹部形状を具備した片辺;及び
上記の凹部が形成された辺に対向する辺は、外側へ突出した遮断部;を具備し、
上記のマスクフレームの内壁は、
マスクフレームの内側へ突出した第1段差部;及び
上記の第1段差部から下段へ連続した第2段差部;を具備し、
上記の第1段差部にはクランプを含めた基板固定装置が配置され、
上記の第2段差部は、基板を支持するための支持面となり、
上記において、第2段差部に該当するスリップ防止パッド安着部に所定の間隔にて多数形成されたクランプ挿入溝;を更に含み、
上記のクランプ挿入溝は、チャックプレートの基板を固定する補助手段であるクランプを受容する空間であることを特徴とするマスクフレームを提供する。
上記において、
上記のマスクフレーム;及び
上記のマスクフレーム;及び
なお、製作されるマスクフレームのサイズも縮小されることによって重量が減少されるため、材料と運搬などの利点もある。
なお、本発明は、上記のような基板間の間隔を短縮させると同時に突出部による剛性及び張力強化によってマスクフレームのたわみ現象が防止できる。
図1は、現在使用されているマスクフレームの構成を示す斜視図と断面図である。
最適化のために2辺のみ突出部を形成したものに再び戻って細部寸法を調整したのが図19のものである。
図20は、図19のマスクフレームに対するシミュレーション結果を示していて、たわみ量は1.59に、もっと減ることと予測される。
図20の結果によって4辺に全部突出部を形成した場合に対してもより良い結果を得るために細部寸法の最適化を試みた。
図25は、マスクフレームの下部にマスクスティックを引っ張って溶接するようになっている実施例を示す。
マスクを蒸着システムから移送するためにローラーのような駆動部と接触、支持するローラー支持面(420)がマスクフレームの端部にある。
図26は、蒸着システムにおいて前後に配置されたマスクの凹部(210)と遮断部(220)が重なった部分を拡大して示す拡大断面図である。
図27は、本実施例のマスクフレームに対する3D図面である。
図29は、マスクフレームのサイド別に厚さを別にしたことを示す斜視図である。
上記の実施例の外にもマスクフレームの各辺の厚さは多様な組み合わせで設定できる。
200:マスクフレーム
210:凹部
230、235:突出部
250:端部胴体
270:開口部
280:スティック挿入溶接部
300:斜めの断面
400、410:安着部
450:マスクスティック
500:チャックプレート
510:スリップ防止パッド
520:レール
501:段差部
511:クランプ
521:基板支持面
Claims (2)
- 基板に合着されるマスクが固定されるマスクフレームにおいて、
その端部に基板のある内側へ作られた凹部形状を具備した片辺;及び
上記の凹部が形成された辺に対向する辺は、外側へ突出した遮断部;を具備し、
マスクフレーム端部胴体の内側の辺は、放射状に飛散する物質ビームを遮らないように天井に向かって拡がる面取り形状の傾斜を有し、
相互連続して配置された基板に合着されたマスクフレームの端部の第1マスクフレームの遮断部が第1マスクフレームと隣り合う第2マスクフレームの凹部へ進入した状態を維持するが、各々が当たらないように基板と基板との間の間隔を短縮させると同時に蒸発物のチャンバーの天井の方への飛散はマスクフレームの遮断部によって遮断させ、
上記の凹部と遮断部はそれぞれマスクフレーム辺の端部胴体の所定の高さに形成されるが、遮断部が凹部に噛み合うように進入され、互いが当たらない状態を維持させたのを特徴とするマスクフレーム。 - 凹部形状を具備したマスクフレームの辺は上方への突出部を更に含むことを特徴とする請求項1に記載のマスクフレーム。
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