JP7384615B2 - 圧電素子の製造方法 - Google Patents
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Claims (3)
- 少なくとも一端が支持基板に支持された圧電膜からなる振動板と、前記圧電膜を挟んで配置する一対の電極とを備えた圧電素子の製造方法において、
前記支持基板上に圧電膜を形成する工程と、
該圧電膜上にポリイミド前駆体を含む膜を形成する工程と、
前記支持基板の一部を除去し、前記圧電膜からなる振動板を形成した後、前記振動板上に形成した前記ポリイミド前駆体を含む膜を熱処理し、ポリイミド膜を形成する熱処理工程と、を含み、
前記熱処理工程は、前記振動板の反りを緩和する応力を有する前記ポリイミド膜を形成する工程であることを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 請求項1記載の圧電素子の製造方法において、
前記熱処理工程は、前記ポリイミド前駆体を含む膜を熱処理する際、昇温速度、熱処理開始温度、到達温度の少なくともいずれかを選定した熱処理工程であることを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 請求項1または2いずれか記載の圧電素子の製造方法において、
前記圧電膜上にポリイミド前駆体を含む膜を形成する工程は、該ポリイミド前駆体を含む膜を熱処理して形成される前記ポリイミド膜が前記振動板の反りを緩和する応力を有する膜となるように、前記ポリイミド前駆体を含む膜を選定した厚さに形成する工程であることを特徴とする圧電素子の製造方法。
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