JP7375343B2 - 樹脂組成物 - Google Patents
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Description
[1] (A)ラジカル重合性カルド系樹脂、(B)エポキシ樹脂、及び(C)充填材を含む樹脂組成物。
[2] (A)成分が、カルボキシ基及びカルド系構造を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂である、上記[1]に記載の樹脂組成物。
[3] (B)成分が、イソシアヌル酸骨格を有するエポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、及びビスフェノールF型エポキシ樹脂からなる群から選択される少なくとも1種である、上記[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4] (B)成分が、イソシアヌル酸骨格を有する液状エポキシ樹脂である、上記[3]に記載の樹脂組成物。
[5] (A)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、15質量%以上60質量%以下である、上記[1]~[4]の何れかに記載の樹脂組成物。
[6] (B)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、5質量%以上30質量%以下である、上記[1]~[5]の何れかに記載の樹脂組成物。
[7] (C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、3質量%以上55質量%以下である、上記[1]~[6]の何れかに記載の樹脂組成物。
[8] さらに(D)ラジカル重合性モノマーを含む、上記[1]~[7]の何れかに記載の樹脂組成物。
[9] さらに(E)光重合開始剤を含む、上記[1]~[8]の何れかに記載の樹脂組成物。
[10] ソルダーレジスト用である上記[1]~[9]の何れかに記載の樹脂組成物。
[11] 上記[1]~[10]の何れかに記載の樹脂組成物を含有する、感光性フィルム。
[12] 支持体と、該支持体上に設けられた上記[1]~[10]の何れかに記載の樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、を有する支持体付き感光性フィルム。
[13] 上記[1]~[10]の何れかに記載の樹脂組成物の硬化物。
[14] 上記[13]に記載の硬化物により形成された絶縁層を含むプリント配線板。
[15] 絶縁層が、ソルダーレジストである、上記[14]に記載のプリント配線板。
[16] 上記[14]又は[15]に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。
本発明の樹脂組成物は、(A)ラジカル重合性カルド系樹脂、(B)エポキシ樹脂、及び(C)充填材を含む。このような樹脂組成物を用いることにより、解像性、クラック耐性、及び絶縁性に優れた硬化物を得ることができる。
本発明の樹脂組成物は、(A)ラジカル重合性カルド系樹脂を含有する。(A)ラジカル重合性カルド系樹脂とは、カルド系構造、及びラジカル重合性基を有する化合物を意味し、さらにカルボキシ基を含有することが好ましい。ラジカル重合性基を有することで、ネガ型の感光性を呈し、カルボキシ基を含有することでアルカリ現像液での現像が可能となる。(A)ラジカル重合性カルド系樹脂は1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の樹脂組成物は、(B)エポキシ樹脂を含有する。(B)エポキシ樹脂とは、エポキシ基を有する樹脂を意味する。
本発明の樹脂組成物は、(C)充填材を含有する。(C)充填材としては、無機充填材及び有機充填材が挙げられる。充填材は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
本発明の樹脂組成物は、(D)ラジカル重合性モノマーを含有する場合がある。
本発明の樹脂組成物は、(E)光重合開始剤を含有する場合がある。
本発明の樹脂組成物は、(F)増感剤を含有する場合がある。樹脂組成物に(F)増感剤を加えることで樹脂組成物の感光性を向上させることができる。
本発明の樹脂組成物は、(G)着色剤を含有する場合がある。(G)着色剤を用いることにより、樹脂組成物およびその硬化物を呈色させることができる。
本発明の樹脂組成物は、不揮発性成分として、さらに任意の添加剤を含んでいてもよい。このような添加剤としては、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、酸無水物系硬化剤、活性エステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、カルボジイミド系硬化剤、イミダゾール系硬化剤等の硬化剤;アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、リン系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、金属系硬化促進剤等の硬化促進剤;フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂;有機銅化合物、有機亜鉛化合物、有機コバルト化合物等の有機金属化合物;ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、フェノチアジン等の重合禁止剤;シロキサン等のレベリング剤;ベントン、モンモリロナイト等の増粘剤;シリコーン系消泡剤、アクリル系消泡剤、フッ素系消泡剤、ビニル樹脂系消泡剤の消泡剤;ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤等の紫外線吸収剤;尿素シラン等の接着性向上剤;シランカップリング剤;トリアゾール系密着性付与剤、テトラゾール系密着性付与剤、トリアジン系密着性付与剤等の密着性付与剤;ヒンダードフェノール系酸化防止剤、ヒンダードアミン系酸化防止剤等の酸化防止剤;フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤;リン系難燃剤(例えばリン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物、ホスフィン酸化合物、赤リン)、窒素系難燃剤(例えば硫酸メラミン)、ハロゲン系難燃剤、無機系難燃剤(例えば三酸化アンチモン)等の難燃剤等が挙げられる。添加剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。(H)その他の添加剤の含有量は当業者であれば適宜設定できる。
本発明の樹脂組成物は、上述した不揮発性成分以外に、揮発性成分として、さらに任意の有機溶剤を含有する場合がある。(I)有機溶剤としては、不揮発性成分の少なくとも一部を溶解可能なものである限り、公知のものを適宜用いることができ、その種類は特に限定されるものではない。(I)有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸イソアミル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、γ-ブチロラクトン等のエステル系溶剤;テトラヒドロピラン、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジフェニルエーテル等のエーテル系溶媒;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール等のアルコール系溶剤;酢酸2-エトキシエチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセタート、エチルジグリコールアセテート、γ-ブチロラクトン、メトキシプロピオン酸メチル等のエーテルエステル系溶剤;乳酸メチル、乳酸エチル、2-ヒドロキシイソ酪酸メチル等のエステルアルコール系溶剤;2-メトキシプロパノール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(ブチルカルビトール)等のエーテルアルコール系溶剤;N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン等のアミド系溶剤;ジメチルスルホキシド等のスルホキシド系溶剤;アセトニトリル、プロピオニトリル等のニトリル系溶剤;ヘキサン、シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチルベンゼン等の芳香族炭化水素系溶剤等を挙げることができる。有機溶剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。
本発明の樹脂組成物は、例えば、任意の反応容器に(A)ラジカル重合性カルド系樹脂、(B)エポキシ樹脂、(C)充填材、必要に応じて(D)ラジカル重合性モノマー、必要に応じて(E)光重合開始剤、必要に応じて(F)増感剤、必要に応じて(G)着色剤、必要に応じて(H)その他の添加剤、及び必要に応じて(I)有機溶剤を、任意の順で及び/又は一部若しくは全部同時に加えて混合することによって、製造することができる。また、各成分を加えて混合する過程で、温度を適宜設定することができ、一時的に又は終始にわたって、加熱及び/又は冷却してもよい。また、各成分を加えて混合する過程において、撹拌又は振盪を行ってもよい。また、加えて混合する際に又はその後に、樹脂組成物を、例えば、ミキサーなどの撹拌装置を用いて撹拌し、均一に分散させてもよい。
本発明の樹脂組成物は、(A)ラジカル重合性カルド系樹脂、(B)エポキシ樹脂、及び(C)充填材を含むため、解像性、クラック耐性、及び絶縁性に優れた硬化物を得ることができる。解像性に優れるという特性により、未露光部に樹脂等の残渣が発生し難い。また、通常は、L/S(ライン/スペース)の間やホール内に樹脂埋まりや剥離が発生し難い。
本発明の樹脂組成物の用途は、特に限定されないが、感光性フィルム、プリプレグ等の絶縁樹脂シート、回路基板(積層板用途、多層プリント配線板用途等)、ソルダーレジスト、アンダ-フィル材、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等、感光性の樹脂組成物が必要とされる用途の広範囲に使用できる。なかでも、プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物(樹脂組成物の硬化物を絶縁層としたプリント配線板)、層間絶縁層用樹脂組成物(樹脂組成物の硬化物を層間絶縁層としたプリント配線板)、メッキ形成用樹脂組成物(樹脂組成物の硬化物上にメッキが形成されたプリント配線板)、及びソルダーレジスト用樹脂組成物(樹脂組成物の硬化物をソルダーレジストとしたプリント配線板)として好適に使用することができる。
本発明の樹脂組成物は、そのまま或いは必要に応じて有機溶剤を加えて樹脂ワニスとした上で、支持基板上に塗布し、乾燥させて有機溶剤を除去することで樹脂組成物層を形成して、感光性フィルムとすることができる。また、予め支持体上に形成された感光性フィルムを支持基板に積層して用いることもできる。感光性フィルムは様々な支持基板に積層させることができる。支持基板としては主に、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板が挙げられる。
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む。該絶縁層は、ソルダーレジストとして使用することが好ましい。
樹脂組成物を、そのまま又は有機溶剤に溶解した樹脂ワニスとして、直接的に回路基板上に塗布し、有機溶剤を乾燥させることにより、回路基板上に感光性フィルムを形成する。
また、支持体付き感光性フィルムを用いる場合には、樹脂組成物層側を、真空ラミネーターを用いて回路基板の片面又は両面にラミネートする。ラミネート工程において、支持体付き感光性フィルムが保護フィルムを有している場合には該保護フィルムを除去した後、必要に応じて支持体付き感光性フィルム及び回路基板をプレヒートし、樹脂組成物層を加圧及び加熱しながら回路基板に圧着する。支持体付き感光性フィルムにおいては、真空ラミネート法により減圧下で回路基板にラミネートする方法が好適に用いられる。
回路基板上への塗布及び乾燥工程、あるいはラミネート工程により、回路基板上に感光性フィルムを設けた後、次いで、マスクパターンを通して、樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射し、照射部の樹脂組成物層を光硬化させる露光工程を行う。活性光線としては、例えば、紫外線、可視光線、電子線、X線等が挙げられ、特に紫外線が好ましい。紫外線の照射量はおおむね10mJ/cm2~1000mJ/cm2である。露光方法にはマスクパターンをプリント配線板に密着させて行う接触露光法と、密着させずに平行光線を使用して露光する非接触露光法とがあるが、どちらを用いてもかまわない。また、樹脂組成物層上に支持体が存在している場合は、支持体上から露光してもよいし、支持体を剥離後に露光してもよい。
露光工程後、樹脂組成物層上に支持体が存在している場合にはその支持体を除去した後、ウエット現像又はドライ現像で、光硬化されていない部分(未露光部)を除去して現像することにより、パターンを形成することができる。また、このパターン形成により、ビアホール等の穴を形成してもよい。
上記現像工程終了後、熱硬化(ポストベーク)工程を行い、ソルダーレジストを形成する。ポストベーク工程としては、高圧水銀ランプによる紫外線照射工程やクリーンオーブンを用いた加熱工程等が挙げられる。紫外線を照射させる場合は必要に応じてその照射量を調整することができ、例えば0.05J/cm2~10J/cm2程度の照射量で照射を行うことができる。また加熱の条件は、樹脂組成物中の樹脂成分の種類、含有量などに応じて適宜選択すればよいが、好ましくは150℃~220℃で20分間~180分間の範囲、より好ましくは160℃~200℃で30分間~120分間の範囲で選択される。
プリント配線板は、ソルダーレジストを形成後、さらに穴あけ工程、デスミア工程を含んでもよい。これらの工程は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。
本発明の半導体装置は、プリント配線板を含む。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を用いて製造することができる。
工程1 1,1-ビス(4-ヒドロキシフェニル)インダンの合成
工程2で得られたカルド系構造含有エポキシ樹脂30.0g、アクリル酸7.52g、2,6-ジ-tert-ブチル-p-クレゾール0.080g、テトラブチルアンモニウムクロリド0.183g、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMAc)11.0gを仕込み、90℃で1時間、105℃で1時間及び120℃で17時間攪拌した。室温まで冷却し、無水コハク酸4.06g、4,4’-オキシジフタル酸無水物4.25g、テトラブチルアンモニウムクロリド0.427g、及びPGMAc11.1gを加えて、100℃で5時間攪拌した。さらに、工程2で得られたカルド系構造含有エポキシ樹脂12.0g、2,6-ジ-tert-ブチル-p-クレゾール0.080g、及びPGMAc0.600gを加えて、90℃で90分、120℃で5時間攪拌後、PGMAc24.0gを加え、目的物のカルド系構造含有エポキシアクリレート樹脂(Mw4,900、Mn2,250、酸価(固形分)47mgKOH/g)のPGMAc溶液を得た。得られた溶液は、カルド系構造含有エポキシアクリレート樹脂を44.4質量%含有していた。
製造例1で製造したカルド系構造含有エポキシアクリレート樹脂(Mw4,900、Mn2,250、酸価(固形分)47mgKOH/g、不揮発分44.4%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液)71部、液状イソシアヌル型エポキシ樹脂(日産化学工業社製「TEPIC-PAS B22」、エポキシ当量182g/eq.)10部、無機充填材(デンカ社製「UFP-30」、球状シリカ、メタクリルシラン系カップリング剤(信越化学工業社製「KBM-503」、処理量2%(対充填材))で表面処理、比表面積30.7m2/g、平均粒径0.3μm)30部、多官能アクリレート(日本化薬社製「カヤラッドDPHA」、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)10部、オキシムエステル系光重合開始剤(BASFジャパン社製「イルガキュアOXE02」)0.5部、フタロシアニン系顔料(大日精化工業社製「シアニングリーン5370」、主成分C.I.Pigment Green36)0.1部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂組成物を調製した。
液状イソシアヌル型エポキシ樹脂(日産化学工業社製「TEPIC-PAS B22」、エポキシ当量182g/eq.)10部の代わりに、液状イソシアヌル型エポキシ樹脂(日産化学工業社製「TEPIC-VL」、エポキシ当量135g/eq.)10部を使用したこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
液状イソシアヌル型エポキシ樹脂(日産化学工業社製「TEPIC-PAS B22」、エポキシ当量182g/eq.)10部の代わりに、固体状イソシアヌル型エポキシ樹脂(日産化学工業社製「TEPIC-S」、エポキシ当量99g/eq.)10部を使用したこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
液状イソシアヌル型エポキシ樹脂(日産化学工業社製「TEPIC-PAS B22」、エポキシ当量182g/eq.)10部の代わりに、液状ビスフェノール型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ZX-1059」、エポキシ当量165g/eq.)10部を使用したこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
無機充填材(デンカ社製「UFP-30」、球状シリカ、メタクリルシラン系カップリング剤(信越化学工業社製「KBM-503」、処理量2%(対充填材))で表面処理、比表面積30.7m2/g、平均粒径0.3μm)30部の代わりに、無機充填材(アドマテックス社製「SO-C2」、球状シリカ、メタクリルシラン系カップリング剤(信越化学工業社製「KBM-503」、処理量1%(対充填材))で表面処理、比表面積5.9m2/g、平均粒径0.5μm)30部を使用したこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
無機充填材(デンカ社製「UFP-30」、球状シリカ、メタクリルシラン系カップリング剤(信越化学工業社製「KBM-503」、処理量2%(対充填材))で表面処理、比表面積30.7m2/g、平均粒径0.3μm)30部の代わりに、有機充填材(根上工業社製「MM-101SM」、ウレタン系球状有機充填材、平均粒径0.07~0.1μm、不揮発分30%、MEK:シクロヘキサン(4:1)溶液)33.3部を使用したこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
製造例1で製造したカルド系構造含有エポキシアクリレート樹脂(Mw4,900、Mn2,250、酸価(固形分)47mgKOH/g、不揮発分44.4%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液)71部の代わりに、市販のカルド系構造含有エポキシアクリレート樹脂(新日鉄住金化学社製「V-259ME」、Mw3,500、不揮発分55%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液)56部を使用したこと、さらに溶剤(メチルエチルケトン)14部を加えたこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
オキシムエステル系光重合開始剤(BASFジャパン社製「イルガキュアOXE02」)0.5部の代わりに、アルキルフェノン系光重合開始剤(BASFジャパン社製「イルガキュア907」)2部を使用したこと、さらに増感剤(日本化薬社製「DETX-S」、2,4-ジエチルチオキサントン)0.5部を加えたこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
無機充填材(デンカ社製「UFP-30」、球状シリカ、メタクリルシラン系カップリング剤(信越化学工業社製「KBM-503」、処理量2%(対充填材))で表面処理、比表面積30.7m2/g、平均粒径0.3μm)の使用量を30部から2部に変更したこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
無機充填材(デンカ社製「UFP-30」、球状シリカ、メタクリルシラン系カップリング剤(信越化学工業社製「KBM-503」、処理量2%(対充填材))で表面処理、比表面積30.7m2/g、平均粒径0.3μm)の使用量を30部から5部に変更したこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
無機充填材(デンカ社製「UFP-30」、球状シリカ、メタクリルシラン系カップリング剤(信越化学工業社製「KBM-503」、処理量2%(対充填材))で表面処理、比表面積30.7m2/g、平均粒径0.3μm)の使用量を30部から50部に変更したこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
無機充填材(デンカ社製「UFP-30」、球状シリカ、メタクリルシラン系カップリング剤(信越化学工業社製「KBM-503」、処理量2%(対充填材))で表面処理、比表面積30.7m2/g、平均粒径0.3μm)の使用量を30部から60部に変更したこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
製造例1で製造したカルド系構造含有エポキシアクリレート樹脂(Mw4,900、Mn2,250、酸価(固形分)47mgKOH/g、不揮発分44.4%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液)71部の代わりに、市販のカルボキシ基含有クレゾールノボラック型エポキシアクリレート樹脂(日本化薬社製「CCR-1171H」、酸価99mgKOH/g、不揮発分65%)48部を使用したこと、さらに溶剤(メチルエチルケトン)22部を加えたこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
製造例1で製造したカルド系構造含有エポキシアクリレート樹脂(Mw4,900、Mn2,250、酸価(固形分)47mgKOH/g、不揮発分44.4%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液)71部の代わりに、市販のカルボキシ基含有ポリアクリレート樹脂(ダイセル・オルネクス社製「サイクロマーP(ACA)Z-250」、Mw22,000、酸価69mgKOH/g、不揮発分45%、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液)70部を使用したこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
無機充填材(デンカ社製「UFP-30」、球状シリカ、メタクリルシラン系カップリング剤(信越化学工業社製「KBM-503」、処理量2%(対充填材))で表面処理、比表面積30.7m2/g、平均粒径0.3μm)を使用しなかったこと以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂組成物を調製した。
支持体としてPETフィルム(東レ社製「ルミラーT60」、厚み38μmを用意した。各実施例及び比較例で調製した樹脂組成物(感光性樹脂組成物)をかかるPETフィルムに乾燥後の感光性樹脂組成物層の厚みが10μmになるよう、ダイコーターにて均一に塗布し、80℃から110℃で6分間乾燥することにより、離型PET上に感光性樹脂組成物層を有する支持体付き感光性フィルムを得た。
〇:最小ビア径が10μm以下
×:最小ビア径が10μm超
厚さ18μmの銅層をパターニングした回路が形成されているガラスエポキシ基板(銅張積層板)の銅層に対して、5%硫酸により処理をした。次に試験例1で得た支持体付き感光性フィルムを感光性樹脂組成物層が銅回路表面と接するように配置し、真空ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製、VP160)を用いて積層し、前記銅張積層板と、前記感光性樹脂組成物層と、前記支持体とがこの順に積層された積層体を形成した。圧着条件は、真空引きの時間30秒間、圧着温度80℃、圧着圧力0.7MPa、加圧時間30秒間とした。該積層体を室温30分以上静置し、該積層体の支持体上から、丸穴パターンを用いパターン形成装置を用いて、紫外線で露光を行った。露光パターンは開口:12μm/15μm/20μm/30μm/40μm/50μmの丸穴を描画させる石英ガラスマスクを使用した。室温にて5分間静置した後、前記積層体から支持体を剥がし取った。該積層板上の感光性樹脂組成物層の全面に、現像液として30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.2MPaにて2分間スプレー現像を行った。スプレー現像後、1J/cm2の紫外線照射を行い、さらに170℃、60分間の加熱処理を行って感光性樹脂組成物層を硬化させ、開口部を有する絶縁層を該積層体上に形成した。これをクラック耐性評価用積層体とした。
○:500回後にクラック及び剥離が認められるが、200回後にクラック及び剥離が認められない。
×:200回後にクラック及び剥離が認められる。
ポリイミド基材上にライン幅15μm、スペース幅15μmで、くし型状の銅回路を用意した。次に試験例1で得た支持体付き感光性フィルムの感光性樹脂組成物層が銅回路表面と接するように配置し、真空ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製、VP160)を用いて積層し、前記銅張積層板と、前記感光性樹脂組成物層と、前記支持体とがこの順に積層された積層体を形成した。圧着条件は、真空引きの時間30秒間、圧着温度80℃、圧着圧力0.7MPa、加圧時間30秒間とした。該積層体を室温30分以上静置し、該積層体の支持体上から、全面を紫外線で露光を行った。この際の露光量は、解像性が最も良かった露光量とした。室温にて5分間静置した後、前記積層体から支持体を剥がし取った。該積層板上の感光性樹脂組成物層の全面に、現像液として30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.2MPaにて2分間スプレー現像を行った。スプレー現像後、1J/cm2の紫外線照射を行い、さらに170℃、60分間の加熱処理を行って感光性樹脂組成物層を硬化させ、開口部を有する絶縁層を該積層体上に形成した。これを絶縁性評価用積層体とした。得られた絶縁性評価用積層体の絶縁抵抗値を、抵抗測定機(J-RAS社製「ECM-100」)にて測定した。その後、絶縁性評価用積層体を、HAST試験機(楠本化成(株)製「PM422」)を用いて温度130℃、相対湿度85%の環境に付し、さらに電極の両端に3.3Vの電圧を印加した。100時間後、および200時間後、絶縁性評価用積層体を取り出し、絶縁抵抗値を測定し、下記評価基準に基づき評価した。
〇:100時間後の絶縁抵抗値が1×107Ω未満の配線が6箇所中で1箇所以下
×:100時間後の絶縁抵抗値が1×107Ω未満の配線が6箇所中で2箇所以上
Claims (11)
- (A)ラジカル重合性カルド系樹脂、(B)エポキシ樹脂(ただし(A)成分に該当するものを除く)、及び(C)充填材を含む樹脂組成物であって、
(A)成分が、下記式(3)で表される構造を含み、
(B)成分が、イソシアヌル酸骨格を有する液状エポキシ樹脂であり、
(C)成分が、無機充填材及び有機充填材から選ばれる1種以上の充填材であり、
(A)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、25質量%以上60質量%以下であり、
(B)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、5質量%以上30質量%以下であり、
(C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、3質量%以上55質量%以下である、樹脂組成物。
R 1 は、それぞれ独立して、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アリール基、アリールオキシ基、アリールカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アリールカルボニルオキシ基、アラルキル基、これらの組み合わせから選ばれる置換基であり;
R 2 は、水素原子又はメチル基を示し;
Xは、それぞれ独立して、-(-O-X 1 -) n -O-で表される基であり、X 1 は、それぞれ独立して、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アリール基、アリールオキシ基、アリールカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アリールカルボニルオキシ基、アラルキル基、これらの組み合わせから選ばれる置換基で置換されていてもよいアルキレン基を示し、nは、0~10の整数を示し;
Yは、下記式(Y2)~(Y30)で表される2価の基であって、さらにハロゲン原子、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アリール基、アリールオキシ基、アリールカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アリールカルボニルオキシ基、アラルキル基、これらの組み合わせから選ばれる置換基で置換されていてもよい2価の基を示し;
Zは、テトラカルボン酸二無水物から2個の-CO-O-CO-を除いた4価の基に相当し、炭素原子、酸素原子、窒素原子、及び硫黄原子から選ばれる1~100個の骨格原子からなる4価の有機基を示し;
sは、0~3の整数を示し;
tは、0~10の整数を示し;
uは、1~50の整数を示す。)
- (A)成分が、式(Y2)~(Y30)で表される2価の基であって、さらにハロゲン原子、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アリール基、アリールオキシ基、アリールカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アリールカルボニルオキシ基、アラルキル基、これらの組み合わせから選ばれる置換基で置換されていてもよい2価の基と、カルボキシ基の両方を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂である、請求項1に記載の樹脂組成物。
- さらに(D)ラジカル重合性モノマーを含む、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。
- さらに(E)光重合開始剤を含む、請求項1~3の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- ソルダーレジスト用である請求項1~4の何れか1項に記載の樹脂組成物。
- 請求項1~5の何れか1項に記載の樹脂組成物を含有する、感光性フィルム。
- 支持体と、該支持体上に設けられた請求項1~5の何れか1項に記載の樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、を有する支持体付き感光性フィルム。
- 請求項1~5の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物。
- 請求項8に記載の硬化物により形成された絶縁層を含むプリント配線板。
- 絶縁層が、ソルダーレジストである、請求項9に記載のプリント配線板。
- 請求項9又は10に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。
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